DE2747512B2

DE2747512B2 - CTD-Transversalfilter

Info

Publication number: DE2747512B2
Application number: DE2747512A
Authority: DE
Inventors: Paul R. Fountain Valley Calif. Prince (V.St.A.)
Original assignee: Hughes Aircraft Co
Current assignee: Raytheon Co
Priority date: 1976-10-29
Filing date: 1977-10-22
Publication date: 1979-01-25
Also published as: DE2747512C3; JPS5355940A; NL7711861A; FR2369742A1; DE2747512A1; IL53103A0; US4195273A

Description

Die Erfindung betrifft ein CTD-Transversalfilter, bestehend aus einem CTD-Schieberegister, auf dessen Substrat in Transportrichtung hintereinander eine

so Anzahl Elektrodengruppen angeordnet ist, deren einzelne Elektroden an Impulsquellen angeschlossen sind, die Impulssignale verschiedener Phase liefern, welche eine Ladungsübertragung von Elektrode zu Elektrode bewirken, wobei die Elektrodengruppen jeweils eine schwimmende Fühlelektrode umfassen, die einen positiven oder negativen Gewichtungskoeffizienten für das abgetastete Signal definiert und an einer Einrichtung zur Kombination der abgetasteten Signale sowie an einer Rückstelleinrichtung angeschlossen ist, die den Fühlelektroden periodisch Rückstellimpulse zuführt

Es sind ein- und zweiseitige CTD-Transversalfilter entwickelt worden, wie beispielsweise das einseitige CCD-Transversalfilter, das den Gegenstand der älteren

r> Patentanmeldung P 26 30 085.6-35 (DE-OS 26 30 085) bildet Hierbei steht CTD für »charge transfer device« und CCD für »charge coupled device«. CTD-Bauelemente umfassen sowohl CCD-Bauelemente als auch Eimerketten-Bauelemente. Bei dem in der DE-OS

-,o 26 30 085 vorgeschlagenen, einseitigen Transversalfilter, das von einem Einphasen-Betrieb Gebrauch macht, sind Signal-Ladungspaket 2 jeweils unter den Φι-Speicherelektroden angeordnet, wenn das Signal Φ\ einen niedrigen Wert hat (Bauelement mit P-Kanal). Zu

) -, einer Zeit f₂ legt ein Signal $s£rpositive Abgriffe an eine Spannung <Prefi- und alle negativen Abgriffe an eine Spannung <Pref- Das Signal Φςετ wird erzeugt, während das Signal Φ\ den niedrigen Wert besitzt, so daß, wenn das Signal Φι ansteigt, die Verschiebeströme

bo in den Gruppen, nämlich den positiven und negativen Gruppen der Elektrode, voneinander getrennt an ihren jeweiligen Knoten-Kapazitäten summiert werden. Die resultierenden positiven Signale auf den beiden Ausgangsleitungen werden dadurch bedingt, daß die

b) einzelnen Ladungspakete unter die in Transportrichtung folgende, potentialfreie oder schwimmende Elektrode eintreten. Da die resultierenden Verschiebungsströme in die Knotenkapazität fließen, muß anschlie-

Bend aus den Signalen Dv₊ und Dv- auf den beiden Ausgangsleitungen die genaue Differenz gebildet werden, beispielsweise unter Verwendung eines Differenzverstärkers. Die Verwendung von Differenzverstärkern bietet jedoch manche Probleme, insbesondere bezüglich Gleichtakt-Unterdrückung, linearität. Rauschen, Bandbreite, Leistungsbedarf, Größe und relativer Verstärkung.

Der Erfindung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, ein CTD-Transversalfilter der eingangs beschriebenen Art so auszubilden, daß die Notwendigkeit zur Bildung der Differenz der Ausgangssignalc entfällt und daher alle mit der Anwendung von Differenzverstärkern verbundenen Schwierigkeiten vermieden werden.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß die an Impulssignale verschiedener Polarität angeschlossenen Elektroden einer Elektrodengruppe in bezug auf die Fühlelektrode der gleichen Gruppe derart angeordnet sind, daß zu einem vorgegebenen Zeitpunkt den Fühlelektroden, die Gewichtungskoefilzienten der einen Polarität definieren, Ladungen zugeführt werden, während gleichzeitig von den Fühlelektroden, die Gewichtungskoeffizienten der anderen Polarität definieren, Ladungen abgeführt werden, und daß alle Fühlelektroden an eine gemeinsame Source-Folger-Anordnung angeschlossen sind.

Bei der erfindungsgemäßen Anordnung wird eine Subtraktion der Ladungs-Verschiebeströme durch Anwendung spezieller Elektroden-Strukturen und Taktungs-Methoden erzielt, weiche für manche Elektroden eine Summierung der positiven Ladungs-Verschiebungsströme und für andere Elektroden eine Summierung der negativen Ladungs-Verschiebungsströme in den allen Elektroden gemeinsamen Knoten hinein oder aus diesem heraus bewirkt Diese Polaritäts-Differenzen werden hervorgerufen, indem alle Signalladungen in dem Abschnitt der zweiten Polarität, beispielsweise dem Abschnitt des Transversalfilters mit den negativen Abgriffen, um ein halbes Bit gegenüber den Signalladungen in dem Abschnitt anderer Polarität oder dem Abschnitt mit positiven Abgriffen verschoben wird und alle Fühlelektroden miteinander verbunden werden. Auf diese Weise wird nur eine Summierkapazität benötigt, so daß alle Abgriffe, also positive und negative, miteinander verbunden werden können, wodurch die Anwendung eines Differenzverstärkers unnötig wird.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist eine einzigartige Anordnung vorgesehen, um eine Nullgewichtung oder eine von Null verschiedene Gewichtung an den Abgriffen vorzusehen, die sich zwischen Filterabschnitteri entgegengesetzter Polarität befinden. Je nach der Konfiguration der Impuls-Übertragungsfunktion des Transversalfilters, die zu verwirklichen ist, erlaubt die Anwendung einer einzigen Knotenkapazität eine Löschung aller oder im wesentlichen aller aufgenommenen Taktsignale.

Durch die Erfindung wird demnach ein CTD-Transversalfilter geschaffen, das ohne Anwendung eines Differenzverstärkers auskommt Dabei erlaubt dieses Transversalfilter die Verwirklichung von im wesentlichen jeder beliebigen Impuls-Filtercharakteristik mit einem hohen Ausmaß an Gleichtakt-Unterdrückung. Dabei findet der gesamte Filtervorgang in der Struktur des CTD-Transversalfilters selbst statt, so daß das eine vorbestimmte Funktion aufweisende gefilterte Signal auf einer gemeinsamen Ausgangsleitung erscheint. Das erfindungsgemäße CTD-Transversalfilter erfordert keine Kompensation der relativen Verstärkung und gewährleistet ein hohes Maß an Gleichtakt-Unterdrükkung bei großer Bandbreite und Linearität sowie einem Minimum an Rauschen und Leistungsbedarf.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und erläutert Die der Beschreibung und der Zeichnung zu entnehmenden Merkmale können bei anderen Ausführungsformen der Erfindung einzeln für

sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination Anwendung finden. Es zeigt

F i g. 1 einen schematischen Längsschnitt durch ein CCD-Transversalfilter nach der Erfindung, der die Struktur der Eingangsanordnung und der Elektroden veranschaulicht

Fig.2 und 2a eine schematische Seitenansicht der Elektroden und ein Diagramm zur Erläuterung der Übertragung von Ladungspaketen in dem Transversalfilter nach F i g. 1 unter Verwendung einer Beschleunigung der Signalladungen im negativen Abschnitt um ein halbes Bit gegenüber den Signalladungen in dem positiven Abschnitt und mit einer das Gewicht Null aufweisenden Anzapfung zwischen den Abschnitten,

Fig.3 ein Zeitdiagramm von Spannungen zur weiteren Erläuterung der Anordnung nach F i g. 2,
Fig.4 und 4a die schematische Seitenansicht der Elektrodenstruktur und ein Diagramm zur Erläuterung der Übertragung von Ladungspaketen in dem Transversalfilter nach Fig. 1 unter Verwendung einer Beschleunigung der Signalladungen im negativen Abschnitt um jo ein halbes Bit in bezug auf die Ladungen in dem positiven Abschnitt ohne Vorliegen eines mit Null gewichteten Abgriffes zwischen den Abschnitten,

Fig.5 ein Zeitdiagramm zur weiteren Erläuterung der Anordnung nach F i g. 4,

J5 Fig.6 eine schematische Draufsicht auf einen Abschnitt des Transversalfilters nach F i g. 2 mit geteilten und durchgehenden Elektroden,

F i g. 7 eine schematische Draufsicht auf weitere Einzelheiten des Transversalfilters nach F i g. 2,
Fig.8 eine schematische Draufsicht auf einen Abschnitt des Transversalfilters nach Fig.4, der geteilte und potentialfreie Elektroden sowie spezielle Steuerelektroden umfaßt

Fig.9 eine schematische Draufsicht auf einen 5 Abschnitt des Transversalfilters nach Fig.4, der geteilte und potentialfreie Elektroden sowie spezielle Steuerelektroden umfaßt

F i g. 10 das Äquivalentschaltbild der Kapazitäten des CCD-Transversalfilters zur weiteren Erläuterung der Wirkungsweise und der Einrichtungen des Transversalfilters,

Fig. 11a und Ub Ersatzschaltbilder der Kapazitäten der entsprechenden positiven und negativen Abschnitte, die sich an einer einzigen Bitstelle in bezug auf die Gesamtkapazität eines Abschnittes bestimmter Polarität befinden,

Fig. 12a bis 12d Diagramme der Impuls-Übertragungsfunktionen, die von den Strukturen oder Abschnitten der Filter nach den F i g. 2 und 4 erzeugt werden,
Fig. 13 ein Diagramm der Abgriff-Gewichtung des Transversalfilters nach F i g. 2,

Fig. 14 ein Diagramm der Abgriff-Gewichtung des Transversalfilters nach F i g. 4,

Fig. 15 und 16 Diagramme der Impuls-Übertrah) gungsfunktionen der Filteranordnungen nach den F i g. 2 und 4,

Fig. 17 eine schematische Draufsicht auf ein mit L.adungssubtraktion arbeitendes einseitiges Iransvtr-

salfilter mit Doppelfunktion,

Fig. 17a, 17b und 17c detailliertere Abschnitte der Draufsicht nach F i g. 17 in vergrößertem Maßstab und

Fig. 18 ein Zeitdiagramm von Signalen zur Erläuterung der Anordnung nach F ig. 17.

Das in F i g. 1 dargestellte CCD-Transversalfilter besteht aus einem Substrat C vom N-Typ, der mit einer leitenden Bodenplatte 12 versehen ist, die an eine Spannungsquelle 14 von + 5 V angeschlossen ist. Die Anordnung bildet ein CCD-Bauelemen·. mit P-Kanal. Eine zum Zuführen eines Eingangssignals V_/n dienende Anordnung umfaßt eine Elektrode 20, der das Eingangssignal V7„über eine Leitung 17 zugeführt wird, und eine Elektrode 24, an die mittels einer Leitung 22 eine Vorspannung von — 10 V angelegt ist. Ein durch Diffusion erzeugter Eingangsbereich 26 vom P+-Typ ist bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel an Masse gelegt, so daß durch die an die Bodenplatte 12 angelegte Spannung von +5 V der Bereich eine Vorspannung in Sperrichtung erhält. Das Eingangssignal wird mittels der Elektroden 30 und 32 abgetastet, denen Taktimpulse Φι zugeführt werden. Die Elektroden 20 und 30 sind an der Oberfläche angeordnet, während die Elektroden 24 und 32 innerhalb einer Oxidschicht 40 begraben sind. Die Elektroden 20 und 24, 30 und 32 erstrecken sich ohne Unterbrechung über die Breite des Substrates 10 zwischen an dessen Rändern angeordneten Stoppkanälen vom N+ -Typ. Die zur Erläuterung der Erfindung benutzten Elektroden sind fortlaufend mit 50 bis 81 numeriert und u. a. in F i g. 2 dargestellt. Der Querschnitt jo nach F i g. 1 zeigt wesentliche Einzelheiten einer beispielhaften Ausführungsform der Elektrodenstruktur, die für die Ausführungsformen nach den F i g. 2, 4 und auch 15 geeignet ist. Die potentialfreien Elektroden, wie beispielsweise die Elektrode 67 für das Bit Nr. 5, können geteilte Elektroden sein, an deren Trennstelle im Substrat 10 ein durch Diffusion erzeugter, begrabener N+ -Bereich 100 vorhanden ist, um die Ladung gemäß der Länge der Abschnitte der geteilten Elektrode zu unterteilen und dadurch die Größe des zugeordneten Wertes der Impuls-Übertragungsfunktion zu definieren. Neben und vor der vergrabenen geteilten Elektrode 67 befindet sich eine Oberflächenelektrode 66, die über eine Leitung 102 mit einer Gleichspannungsquelle 104 verbunden ist. Die Elektrode 67 wird von einer Oberflächenelektrode 68 und einer vergrabenen Elektrode 69 gefolgt. Diese beiden F.lektroden sind an eine #2-Leitung 106 angeschlossen. Die schwimmende Elektrode 67 ist mit einem Summierknoten verbunden, der von einer Leitung 105 gebildet wird, die an einen Sourcefolger angeschlossen ist. wie es die Fig. 2 und 4 zeigen, und über einen Rürkstcllschalter 114 an eine ^«-Quelle. Andere in I i g. 1 dargestellte schwimmende Elektroden sind die Elektroden 53,57,63 und 81.

In den F i g. 6 und 7 sind Anordnungen dargestellt, die sich im Bereich des Polaritätswechsels der Impuls-Übertragungsfunktion des Filters befinden. Bei der in F i g. 6 dargestellten Anordnung A wird eine Abgriff-Gewichtung Null durch eine Eigenverzögerung erreicht, während bei der in Fig.7 dargestellten Anordnung C eine Abgriff bildende Gewichtung Null nach einem Wechsel vom negativen zum positiven Abschnitt der impuls-iJbertragungsfunktion erzwungen wird, indem Treibimpulse mit der dargestellten Polarität benutzt (,5 werden. Im Γ all der Anordnung A nach F i g. 6 sind die Obcrflächcnclektrode 60 und die begrabene Dektrode 61 Φ 4 . - Elektroden, die eine Verzögerung bewirken.

welche die nach der Erfindung vorgesehene Verschiebung um ein halbes Bit darstellt, welche das Entstehen eines einzigen mit Null gewichteten Bits zur Folge hat, da alle Signalladungen in diesem Bereich eine Taktperiode verbringen, ohne festgestellt zu werden. Für einen Nulldurchgang von Positiv nach Negativ sind die Elektroden 60 und 61 in der dargestellten Weise an eine $2-Leitung 106 angeschlossen. Wenn dagegen ein von Null verschiedener Übergang zwischen Positiv und Negativ vorgesehen ist, werden die Elektroden 60 und 61 an ein spezielles Signal Φ\η angeschlossen, um die Ladung über die eigene Null-Gewichtung hinwegzuschieben, wie es später noch erläutert wird. Beim Übergang von negativen zu positiven Abschnitten liefert bei den dargestellten Polaritäten der Eingangs-Treibsignale ein erzwungenes Null-Abgriffsgewicht 210 oder das Fehlen eines erzwungenen Null-Abgriffgewichtes zu einem Null-Übergang oder einem von Null verschiedenen Übergang. In den F i g. 2,2a und 3 ist eine Anordnung nach der Erfindung dargestellt, die einen positiven Abschnitt mit positiven Abgriffen, einen negativen Abschnitt mit negativen Abgriffen und wiederum einen positiven Abschnitt mit positiven Abgriffen aufweist und bei denen die Nulldurchgänge in der Impuls-Übertragungsfunktion die in Fig. 15 veranschaulichte Lage haben. Von den Elektroden 50 bis 81 sind die potentialfreien Elektroden mit einer Leitung 105 verbunden, die ihrerseits mit einem Sourcefolger 83 verbunden ist, der einen Feldeffekttransistor (FET) 84 enthalten kann, der zwischen entsprechende negative und positive Potentialquellen Vdd und Vss geschaltet is? und ein Ausgangssignal VOu, liefert Zu einer Zeit fi befinden sich die Ladungen in der in Fig.2a dargestellten Weise an der Oberfläche des Potentialprofils 109 und es ist ersichtlich, daß sich die Ladungen in den positiven Abschnitten unter den begrabenen Elektroden 51, 55, 59, 75 und 79 befinden, wogegen in dem negativen Abschnitt die Ladungen unter den schwimmenden Elektroden 63, 67 und 71 angeordnet sind. Zur Zeit fi wurde der negative Treibimpuls Φι gemäß Kurve 111 u. a. an die Elektroden 50,51 und 54, 55 des ersten positiven Abschnittes angelegt, um zu bewirken, daß sich die Ladungen unter diesen Elektroden bewegen. Ladungen sind auch durch die Wirkung des Impulses Φι gemäß Kurve 112 auf die Elektroden 64, 65 und 68, 69 im negativen Abschnitt unter die schwimmenden Elektroden 63, 67 und 71 bewegt worden. Zur Zeit f₂ wird ein Impuls Φ_Α, nach Kurve 113 einem Set Schalter 114 zugeführt, so daß eine Spannung Vsw von einer Quelle 115 der Leitung 105 und damit den schwimmenden Elektroden 53,57,63,67, 71, 77 und 81 zugeführt, um das Oberflächenpotential zu erzeugen und damit ein Bezugspotential auf der Leitung 115 herzustellen, so daß Strom entweder der Knotenkapazität Ct zufließt oder von dieser abfließt, je nachdem, ob deren Spannung positiv oder negativ in bezug auf die Spannung V&/ zur Zeit fi war. Die Kapazität Q dient zur Speicherung der Summe der Ströme, welche durch die Ladungsverschiebung aus den Potentialtöpfen unter allen schwimmenden Elektroden zur Zeit i₃ bewirkt wird, um eine Differenzspannung zu erzeugen. Zur Zeit t₃ steigt der Impuls Φι an, während der Impuls Φ₂ nach Kurve 112 auf sein negatives Potential abfällt, so daß die Ladungsübertragung gegenüber dem Spannungsprofil 109 stattfindet, das in Fig.2a durch die Pfeile angedeutet ist. Zur Zeit /3 werden die Ladungen in den positiven Abschnitten an die unter den schwimmenden Elektroden, wie beispielsweise 53, 57, 77 und 81 der

positiven Abschnitte gebracht und in den negativen Abschnitten von ihrem Platz unter den schwimmenden Elektroden wie beispielsweise 63 und 67 entfernt, um einen Verschiebungsstrom zu bewirken, der für die Ladungen in den positiven Abschnitten in die Kapazität C₁ hineinfließt und für den negativen Abschnitt aus dieser Kapazität herausfließt, so daß auf der Leitung 105 eine Differenzspannung Q/Q entsteht. Die Spannung Voui auf der Leitung 105 ist demnach gleich der Spannung V&, zuzüglich der Filterspannung. Der an die Leitung 105 angeschlossene Sourcefolger 83 gestattet dieser Leitung zu schwimmen, und es wird dann die Filterspannung V'oui einer Ausgangsleitung 116 zugeführt. Wird ein Verstärkungsfaktor 1 angenommen, so ist Vom gegenüber dem Wert Vout nur durch die Gegenspannung des Sourcefolgers 83 verschoben. Zur Zeit U kann die Spannung gemäß Kurve 117 von einer geeigneten Ausgangsschaltung abgetastet werden. Es ist demnach ersichtlich, daß die Ladungen in den Abschnitten mit positiven Abgriffen und den Abschnitten mit negativen Abgriffen zur Zeit /3 oder kurz danach voneinander subtrahiert werden, weil die Signale Φι und Φι nach den Kurven 111 und 112 einen Betrieb mit gegenseitiger Phasenverschiebung bewirken. Der Übergang von dem positiven zum negativen Abschnitt, der in Fig.2 als Anordnung A ausgebildet ist und eine Null-Gewichtung ergibt, die auf eine Eigenverzögerung zurückzuführen ist, wird durch Elektroden 60 und 61 gesteuert, die eine zusätzliche Verzögerung des Ladungspaketes 119 bewirken, so daß zur Zeit {3 das Ladungspaket weder unter eine schwimmende Elektrode gelangt noch von dem Platz unter einer schwimmenden Elektrode entfernt wird, so daß eine Null-Gewichtung stattfindet. Da bei der dargestellten Anordnung die Impulse Φ&γ während der Dauer der Impulse Φι erscheinen, erfordert der Übergang zwischen dem negativen und dem positiven Abschnitt eine mit NuM gewichtete Fühlelektrode 77 in Verbindung mit an die Φι-Leitung 107 angeschlossenen Elektroden 74 und 75, um eine C-Anordnung für den Übergang zu bilden, die einen Punkt mit dem Wert Null für die Impuls-Übertragungsfunktion ergibt. Die Elektroden 76 und 77, die eine Abgriff-Gewichtung Null ergeben, können mit der Gleichspannungs-Leitung 104 verbunden sein. Diese Anordnung Cund die Φ_ ₄-Leitungen werden später im einzelnen erläutert. Die Operation wird in gleicher Weise fortgesetzt, wobei die Ausgangs-Information gemäß Kurve 117 fortlaufend in der Weise wiederholl wird wie die Differenzspannung, die durch die kombinierten Ströme der Ladungsverschiebung in den positiven und negativen Abschnitten gebildet wird.

Di? Fig.4, 4a und 5 veranschaulichen eine Anordnung mit einem positiven, einem negativen und wiederum einem positiven Abschnitt, bei dem die Übergänge zwischen den Abschnitten von Null verschieden sind. Diese Anordnung umfaßt die Elektroden 150 bis 181. Ähnlich wie in F i g. 2a ist in F i g. 4a die Ladungsanordnung in einem Spannungsprofil 185 zur Zeit <i dargestellt, zu der das Signal Φ\ nach Kurve 184 niedrig ist. Zur Zeit fe wird ein Impuls Φ&, der Leitung 105 zugeführt, so daß in den positiven und negativen Abschnitten die angeschlossenen Elektroden, wie beispielsweise die Elektroden 153, 167 und 181, ansprechen und die Oberflächenpotential definieren sowie ein Bezugspotential für die Ausgangsspannung herstellen. Zur Zeit ti werden die Ladungen gegenüber dem Spannungsprofil 185 verschoben, wie es die Pfeile zeigen. Wie durch die ausgezogenen Pfeile veranschaulicht, werden in den positiven Abschnitten die Ladungspakete unter die schwimmenden Elektroden gebracht, wogegen in den negativen Abschnitten die Ladungspakete aus ihren Stellungen unter den schwimmenden Elektroden entfernt werden. Demgemäß fließt in den positiven und negativen Abschnitten zur Zeit ti Strom der Knotenkapazität CV zu bzw. von dieser Kapazität ab, um die Differenzspannung zu bilden. Die Knotenkapazität Ct erzeugt eine Spannung Q/Ct aus der resultierenden Ladungsdifferenz von Strompaketen entgegengesetzter Polarität, die den Abtast-Töpfen zu oder von diesen abfließen. Zu einer Zeit U steht die Ausgangsspannung Vom auf der Leitung 105 zur Verfügung und wird über einen Sourcefolger 182 einer ^r-> Ausgangsleitung 116 zugeführt, um als Spannung VOut von einem nicht dargestellten Ausgangskreis aufgenommen zu werden. Die Spannung V'oui gemäß Kurve 190 ist gegenüber der Spannung Van um die Gegenspannung des Sourcefolgers 182 verschoben.

2(1 Bei der Anordnung nach F i g. 4, bei der am Übergang zwischen positivem und negativem Abschnitt kein Null-Abgriff vorgesehen ist, wird ein Impuls Φ1/2 nach Kurve 192 den Elektroden 160 und 161 einer Anordnung B von einer geeigneten Quelle vor dem Auftreten des Impulses Φα« zugeführt, um die Ladung 192 von ihrem Platz unter der Elektrode 161 unter die Elektrode 163 zu befördern und dadurch die Eigenverzögerung am Übergang vom positiven zum negativen Abschnitt zu überwinden. Demgemäß wird vor dem Auftreten des

3d negativen Impulses Φ2 und des Impulses >Pscid\e Ladung 192 in die Stellung 194 bewegt, während alle anderen Ladungen unbewegt bleiben. Demgemäß trägt diese Ladung im Bereich des Null-Überganges nicht zur Spannung der Kapazität Ct zur getakteten Übertra-

r> gungszeit bei und es kann eine von Null verschiedene Übergangs-Gewichtung vorgesehen werden, wie es durch die Länge der geteilten Elektrode 194 bestimmt ist. Für die Φ_ _λ -Anordnung, bei der es sich um die Anordnung D handelt, sind Elektroden 174 und 175 mit

au der das Signal Φι führenden Leitung 107 verbunden, und es handelt sich um eine gewichtete Elektrode, so daß die Ladung sich zur Zeit h unter der Elektrode 177 befindet und dadurch effektiv einen von Null verschiedenen oder gewichteten Wert beim Übergang erzeugt.

A--, In Fig.6 ist die Anordnung A nach Fig.2 am Übergang vom positiven zum negativen Abschnitt mit einem Null-Durchgang, der durch eine Eigenverzögerung bewirkt wird, näher dargestellt. Die Φ^ --Leitung 406 ist mit der Φ2-Leitung 106 verbunden, so daß die

^r,ii Ladungen kurz vor zu und nach der Zeit 0 sich nicht unter einer potentialfreien Fühlelektrode befinden. Demgemäß liefern die Elektroden 53, 57, 61 und 63 in der genannten Reihenfolge einen positiven, einen positiven, keinen und einen negativen Strom zur Ausgangs-Knotenkapazität.

Die geteilten oder gewichteten Elektroden, wie beispielsweise die Elektrode 53, weist zwei Abschnitte auf und ist mit einem ersten Ende 200 mit der Gleichspannungsleitung 104 und einem zweiten Ende

mi 201, dessen Länge den relativen Gewichtungskoeffizient für die Impuls-Übertragungsfunktion definiert, mit der Ausgangsleitung 105 verbunden. Um die längs des Kanals transportierte Ladung zu teilen, ist unter jeder Trennstelle oder jedem Spalt ein N⁴-Diffusionsbereich

t,5 angeordnet, wie beispielsweise der Bereich 202. Obwohl nicht dargestellt, kann dieser Bereich zugespitzte Enden aufweisen, die in Kanalrichtung auf die Eingangs- und Ausgangsenden des Kanals gerichtet sind. Weiterhin

sind an den Rändern des Kanals N ⁺ -Stoppbereiche 204 und 206 angeordnet, um die längs des Kanals transportierte Ladung im Kanal zu halten, wie es in der Technik bekannt ist.

Fig. 7 zeigt die Anordnung C für den Null-Durchgang im Transversalfilter nach F i g. 2. Hier ist die Φ_ +-Leitung mit der Φι-Leitung 107 gekoppelt, um eine Verzögerung um ein halbes Bit zu bewirken, die durch eine Null-Gewichtung an der Elektrode 77 gefolgt wird. Die Elektrode 77, die ein erzwungenes Null-Abgriffgewicht liefert, ist am oberen Ende mit der Gleichstromleitung 104 verbunden. Das andere Ende der Elektrode 77 ist nicht mit der Ausgangsleitung 105 verbunden, sondern ist mit einem N⁺-Diffusionsbereich 210 versehen, der dazu dient, die anderen N+-Diffusionsbereiche, die sich an den geteilten Elektroden, wie beispielsweise 67 befinden, auszugleichen. Indem die Elektrode 77 nicht mit der Leitung 105 verbunden wird, wird für den Null-Übergang vom negativen Abschnitt zum positiven Abschnitt des Transversalfilters ein Null-Durchgang erzwungen. Demgemäß liefern die Elektroden 67, 71, 77 und 81 in der genannten Reihenfolge ein negatives, ein negatives, kein und ein positives Signal auf der Leitung 105 an die Ausgangs-Knotenkapazität.

Fig.8 dient zur näheren Erläuterung einer Anordnung B für einen Übergang ohne Null-Stelle, wie er bei dem Transversalfilter nach Fig.4 vorhanden ist Der Φ +--Leitung 406 wird der Impuls Φ\η zugeführt. Die Elektroden 160 und 161 bewirken den Transport der Ladung in eine Abtaststellung vor dem Zeitpunkt t\, wie es oben erläutert wurde. Für diesen Übergang vom positiven zum negativen Abschnitt befindet sich die Ladung während der nächsten vollen Phase unter der Elektrode 163, bei der es sich um eine potentialfreis Elektrode handelt, die ein gewichtetes Ausga'ngssignal liefert.

Bei der in F i g. 9 näher dargestellten Anordnung D für den Übergang vom negativen zum positiven Abschnitt des Transversalfilters nach Fig.4 ist die Φ- +-Leitung 408 mit der Φι-Leitung 107 verbunden, so daß sich das Ladungspaket zur Zeit U unter der gewichteten Elektrode 177 befindet, die mit der Leitung 105 verbunden ist N+-Diffusionsbereiche sind in dem Substrat u. a. auch unter der Elektrode 177 vorhanden, so daß eine Ladungsteilung stattfindet und die Ladung geteilt bleibt, wenn sie unter die schwimmenden Elektroden gebracht wird. Demgemäß liefert bei der Anordnung D die normale gewichtete Elektrodenstruktur den Übergang vom negativen zum positiven Abschnitt der Impuls-Übertragungsfunktion des Filters ohne eigentliche Nullstelle.

Anhand der F i g. 10 und 11 wird nunmehr der zur Zeit ti stattfindende Stromfluß, der die Differenzbildung bewirkt, näher erläutert F i g. 10 zeigt zum Zwecke der Erläuterung die äquivalenten Kapazitäten zweiter Bitstellungen in jeweils dem positiven und dem negativen Abschnitt eines Filters. Die F i g. 11 a und 11 b zeigen die äquivalenten Kapazitäten jeweils einer positiven Bisteilung des positiven bzw. negativen Abschnittes der Fig. 10.

Die in den Fi g. 10, 1 Ia und 11b benutzten Symbole sind wie folgt definiert:

Der Index ρ bezeichnet die erste dargestellte gewichtete positive Elektrode, der Index π bezeichnet die erste dargestellte gewichtete negative Elektrode,

ίο

Qp bezeichnet die Signalladung, die zur Zeit

h unter die p-te Elektrode gelangt,

Q_n bezeichnet die Signalladung, die zur Zeit

h von der /j-ten Elektrode abgeführt wird. ) Dabei entspricht Q_n einem früheren und

Qp einem späteren, durch Abtasten gewonnenem Wert des Signals,

C_A umfaßt die Eingangskapazität des Verstärkers und alle Streukapazitäten, κι hpundh_nund Gewichtungsfaktoren mit einem Wert zwischen 0 und 1,

Cax ist die Oxid-Kapazität einer Elektrode voller Länge (Λ=1),

Cd ist die Verarmungs-Kapazität einer Eleki) trode voller Länge, deren Wert eine

Funktion des Oberflächenpotentiais ist,

Δ Vp, ti ist der positive Spannungszuwachs, der durch den Zutritt der Signalladung Q_p unter die Elektrode ρ zur Zeit, h erfolgt, in Δ V_n, ti ist der negative Ladungszuwachs, der durch das Abführen der Signalladung Q_n von ihrem Platz unter der Elektrode η zur Zeit h bedingt ist, und

M ist die Gesamtzahl der Fühlelektroden,

_>-> einschließlich aller Elektroden mit eige

nem oder erzwungenem Nuäl-Gewicht,

C₁ ist endlich die Gesamtkapazität an dem

die Fühlelektroden verbindenden Knoten.

to Es gelten dann die folgenden Beziehungen:

C₁ = C₁ +

C_i_ C I U

ox + W iübcr "i
lalle Af

und

VKC_0xCj

^h"^Cd ^f {vt^Vc

Vp¹--OX r »-,

h,C_t,

sofern das Transversalfilter mehr als etwa 25 gewichtete Abgriffe aufweist. Ferner gilt

-QJb

C_1n

'I_nC₁₁₁C,

",C₁₁₁C_1n \

c_11x f c,„;

«ι für

mit

C,„ » h„C_ox

C,_p = C_A

C_0xC₁

C_ä

i übt-r hi alle .V/ ilV-rp

fs	\
i über	/Ii
alle Λ/
auUer μ

= c_A + -—-=-

In den positiven und negativen Abschnitten der Anordnung nach Fig. 10 fließen zur Zeit h Verschiebungsströme in die Koppelstellen zwischen den Kapazitäten C_0x und Cd hinein bzw. aus diesen Kopplungsstellen heraus. Die resultierende Ladung Q wird gemäß dem Kapazitätsverhältnis in Ladungen Qt und Q₂ aufgeteilt Der positive Abschnitt nach Fi g. 1 la zeigt den Weg des Stromes Q_p zur Zeit h in die äquivalenten Kondensatoren, während der negative Abschnitt nach F i g. 1 Ib den Weg des Stromes aus den äquivalenten Kapazitäten für Q_v veranschaulicht. Es ist zu bemerken, daß die Fig. 11a und 11b jeweils die Stellung einer einzigen schwimmenden Elektrode veranschaulichen. Durch Überlagerung ergibt sich zur Zeit ?3 die Spannungssumme

"κ,,= Σ IK,,,.

'■ über .■He Λ/

Da weiterhin

Jedoch ist

_c- Σ

¹ f Über .ilk U

C₁ i Cj Σ /ι, für C₁₁, >Cj und kleines C₁,

/über

so daß

alle M

C, ^ CjKM,

wobei jt das Verhältnis der Gesamtfläche der Abtast-Abschnitte der geteilten Elektroden zu deren Gesamtfläche bei einem einseitigen Transversalfilter ist, K also den mittleren Wert von Λ, bedeutet. Demnach wird

J/r, Z

·' ι iiK-i

für positive und negative Gewichtungskoeffizienten ohne die Notwendigkeit, einen Differenzverstärker zu verwenden. Der effektive Verstärkungsfaktor IIK, der einen typischen Wert von 3 und mehr hat, der oben erscheint und im Ausgangssignal eines typischen CCD-Transversalfilters fehlt, ist die Folge der Verwendung eines einseitigen Transversalfilters gemäß DE-OS 26 30 085 in Verbindung mit dieser Erfindung. Diese zusätzliche Verstärkung bewirkt eine Verstärkung des Signals ohne Verstärkung des Rauschens, vielmehr wird tatsächlich eine Verminderung mancher Rauschkomponenten erzielt, so daß das Signal-Rausch-Verhältnis bedeutend erhöht ist.

Anhand der Fig. 12a bis 12d werden einige Variationen näher erläutert, welche bei Anwendung der Erfindung möglich sind. Fig. 12a veranschaulicht eine Impuls-Übertragungsfunktion mit einem Null-Abgriffsgewicht, das zwischen einem positiven und einem negativen Abschnitt erforderlich ist und verwirklicht werden kann, indem eine Eigen-Verzögerung um ein Bit

■> vorgesehen wird, das einem Null-Abgriffsgewicht gemäß Anordnung A nach F i g. 2 äquivalent ist. Fig. 12b zeigt eine Impuls-Übertragungsfunktion, die beim Übergang vom negativen zum positiven Abschnitt kein Null-Abgriffsgewicht erfordert, bei der also der

ίο negative und der positive Abschnitt nicht durch eine Verzögerung getrennt sind. Hjer liegt also eine Anordnung vom Typ D vor. Die Änderungen, die beim Übergang von einem positiven zu einem negativen Abschnitt anstatt von einem negativen zu einem

ι > positiven Abschnitt erforderlich sind, bestehen in einem Austausch der Signale Φ\ und «f>2 und der Verbindung von Φ_ ₊ mit Φ\. Es kann auch eine Umkehrung der Eingangs-Polarität vorgenommen werden. Fig. 12c veranschaulicht eine Anordnung mit drei aufeinanderfolgenden Abschnitten, von denen der mittlere negativ ist, und Übergängen mit Null-Abgriffsgewichten. Hierbei ist der erste positive Abschnitt vom negativen Abschnitt durch eine Verzögerung getrennt, während am Übergang vom negativen zum positiven Abschnitt

_>-> ein Null-Abgriffsgewicht an der ersten positven Elektrode nach dem negativen Abschnitt erzwungen wird. Die Anordnung nach Fig. 12c geht aus der Anordnung nach Fig.2 hervor. Auch Fig. 12d veranschaulicht drei Abschnitte verschiedener Polarität, von

so welchen der mittlere Abschnitt negativ ist. Hierbei sind keine Null-Abgriffsgewichte erforderlich, so daß Φ42 für den Übergang vom positiven zum negativen Abschnitt vorgesehen sein muß, wie es bei der Anordnung nach F i g. 4 der Fall ist.

υ Wie das Gewichtungsdiagramm nach Fig. 15 zeigt, das den Null-Übergang bei der Anordnung nach F i g. 2 näher veranschaulicht, macht die Anordnung C nach Fig. 12c von der Struktur der Anordnung nach Fig.2 Gebrauch. Um die Impuls-Übertragungsfunktion nach

in Fig. 12a zu verwirklichen, werden nur die beiden ersten Abschnitte der Anordnung nach F i g. 2 benutzt, so daß die Anordnung Cin Fortfall kommt.

Das Gewichtungsdiagramm nach Fig. 16 ist eine weitere Veranschaulichung der Anordnung nach F i g. 4.

ti Die Anordnung nach Fig. 12d macht von der Gesamtstruktur der Anordnung nach Fig. 4 Gebrauch. Für die Anordnung nach Fig. 12b werden nur die letzten beiden Abschnitte dieser Struktur ohne die Anordnung B benötigt. Es sei erwähnt, dal) durch die

in Verwendung nur eines gemeinsamen Knotens und eines Sourcefolgers die effektive Verknüpfungs- und liingangskapazität vermindert wird, so daß einerseits das Rückstellrauschen reduziert und andererseits die Signalamplitude erhöht und infolgedessen das Signal-Rausch

υ Verhältnis erhöht wird.

Beide Fig. 15und 16 veranschaulichen Impuls-Übertragungsfunktionen, und zwar Fi g. 15 die Impuls-Übertragungsfunktion der Anordnung nach Fig.2 und Fig. 16 die Impuls-Übertragungsfunktion der Anord-

mi nungnachFig.4.

Anhand Fig. 17 wird ein CCD-Transversalfilter mit L^dungssubtraktion nach der Erfindung erläutert, das eine Doppelfunktion hat und orthogonale Übertragungsfunktionen liefert.

η» Das Prinzip der Doppelfunktion des Filters wird anhand von Funktionen mit Null-Durchgängen erläutert. Fig. 17 veranschaulicht nur die schwimmenden Elektroden oder Fühlelektroden, die mit einer ersten

Summierleitung 190 bzw. einer zweiten Summierleitung 191 verbunden sind. Beide Si'mmierleitungen bilden je eine Knotenkapazität und sind je mit einem Sourcefolger 192 bzw. 193 verbunden, um entsprechende Ausgangssignale K_n* α« und VsinOut zu erzeugen. An die Leitungen 190 und 191 kann ferner mitteis Schaltern 194 und 195 in Abhängigkeit von Impulsen Φ&< eine Spannung Vs_n angelegt werden. Es sei erwähnt, daß bei manchen nach der Erfindung ausgebildeten Anordnungen die Spannungen Vs_n und/oder die Impulse Φ&ι für die beiden Knoten der beiden Filterfunktionen verschieden sein können. Der Abschnitt 17a der Anordnung nach Fig. 17 ist in Fig. 17a näher dargestellt Wie ersichtlich, weist dieser Abschnitt im oberen Bereich eine Anordnung vom Typ A auf, bei der Φ+- mit Φ₂ verbunden ist, um am Übergang vom positiven zum negativen Abschnitt durch eine Eigen-Verzögerung eine Null-Stelle zu erzwingen. Der in Fig. 17a dargestellte Abschnitt umfaßt Elektroden 200 bis 214. Aus Gründen der Klarheit sind diese Elektroden nicht als einander überlappend dargestellt, obwohl es sich versteht, daß bei der Anordnung nach Fig. 17a ebenso wie bei den Anordnungen nach den Fig. 17b und 17c einander überlappende Elektroden verwendet werden können, wie sie in F i g. 1 dargestellt sind. Den Elektroden 200 und 201 wird über eine Leitung 218 das Signal Φ\ zugeführt. Die Elektrode 202 ist an eine Gleichspannungsleitung 219 angeschlossen, während die geteilte Elektrode 203 mit ihren beiden Enden jeweils an einer der Ausgangsleitungen 190 und 191 angeschlossen ist. Der Abschnitt 220 der geteilten Elektrode 203 ist mit der Gleichspannungsleitung 219 verbunden. An den Trennstellen der Elektrode 203 sind eindiffundierte Nh -Stoppbereiche 221 und 222 im Substrat angeordnet, die nach links etwas über die Elektrode 202 und nach rechts etwas über die Elektrode 203 hinausstehen, um zu gewährleisten, daß die Potentiale an den Abschnitten der Elektrode 203 nicht die Ladungsteilung beeinflussen, die unter der Elektrode 202 stattfindet. Die sich links von der Elektrode 200 des in Fig. 17a dargestellten Abschnittes befindende Anordnung ist mit der Anordnung der Elektroden 200 bis 203 gleich. An der Stelle des Null-Überganges ist der Cos-Teil der Elektrode 207, nämlich Φ+ -, bei dem es sich nun um eine geteilte Elektrode handelt, zusammen mit dem Cos-Teil der Elektrode 206 an die $₂-Leitung 224 angeschlossen. Demnach ist durch die der Anordnung A eigene Verzögerung ein auslesefreier Null-Übergang für die Cos-Funklion geschaffen. Da au dieser Stelle die Sin-I unktion keinen Null-Durchgang aufweist, isf de* untere Teil der Elektrode 207 mit der Sin-Leitung 191 in der gleichen Weise verbunden wie die Elektrode 203 und 211, die positive Abgriffsgewichtc liefern. Die Anordnung der Elektroden rechts von der Elektrode 214 ist gleich der Anordnung der Elektroden 209 bis 214 bis /um nächsten Null-Durchgang im Abschnitt 17b der I ig.17.

Fig. 17b veranschaulicht den Abschnitt 17b der Anordnung nach Fig. 17 mit den Elektroden 250 bis 264. Hier sind die oberen Abschnitte der geteilten Elektroden 251, 255, 259 und 262 mit der Cos-Leitung 190 verbunden. Die oberen Abschnitte der Elektroden cifüll'-n ihre normale Funktion in Abhängigkeit von den Impulsen Φ>. Die Φ, -Leitung der Elektroden 256 und 257 ist mil der Φ; Leitung 224 verbunden, um eine Anordnung Λ mit einer Verzögerung zwischen dem positiven und negativen Abschnitt zu bilden. Die

Elektroden 260, 261 und 263, 264 transportieren di< Ladung kontinuierlich in Richtung auf den Übergang vom negativen zum positiven Abschnitt des Cos-Filter! nach F i g. 17.

In Fig. 17c ist der entsprechende Abschnitt 17c dei Anordnung nach Fi g. 17 dargestellt, der die Elektrodei 30(i bis 317 umfaßt. In diesem Abschnitt Findet in unteren Teil der Elektroden eine normale Ladungsüber tragung statt, während sich im oberen Teil ein Übergang von einem negativen zu einem positiven Abschnit befindet. Hier wird von einer Anordnung C Gebraucl gemacht, bei welcher die Φ_+-Leitung der Elektroder 306 und 307 mit Φι verbunden ist Das andere Ende dei Elektrode 306 ist mit einer Gleichstronileitung verbun den, während die unteren Enden der Elektroden 308 unc 309 mit der #₂-Leitung 244 verbunden sind. Di« Elektrode 309 ist nicht mit der Ausgangsleitung 19( gekoppelt und erzeugt daher eine erzwungene NuIl-Ge wichtung. Um die Gleichförmigkeit des CCD-Kanals zi erhalten, ist ein N+-Diffusionsbereich 320 an den Ender der Elektroden 308 und 309 im Substrat vorgesehen.

Es ist zu beachten, daß die Breite der N+-Stopp-Dif fusionszonen wie 320 und 321 doppelt so groß ist wie die Breite der Diffusionszonen, wie beispielsweise 322 und 323, von denen jeweils zwei der gleichen Elektrode zugeordnet sind.

In Fig. 18 sind die Φι-Impulse durch die Kurve 330 ir ihrer zeitlichen Beziehung zu den Φ^ίπιρυΐβεη nach Kurve 332 und den Φ&Γ^ρυΙβεη nach Kurve 334 dargestellt. Es ist zu beachten, daß die Impulse Φ2 nach Kurve 332 eine kürzere Dauer haben können als die Impulse Φι nach Kurve 330. Die Wirkungsweise ist dei beschriebenen Wirkungsweise des einseitigen Transversalfilters ähnlich und braucht daher nicht im einzelner beschrieben zu werden. Es versteht sich, daß das einseitige Doppel-Transversalfilter mit Ladungssubtraktion nicht auf die Realisierung von Sin- unc Cos-Funktionen oder anderen orthogonalen Funktionen beschränkt ist. Variationen im Rahmen dei Erfindung können lineare Phaseneinstellungen durch Gewichtung und Addierung der Ausgangssignale Spektralanalyse durch Phasenvergleich zwischen zwei Signalen und Chirp-Z-Transformationen umfassen. Es können zwei beliebige Funktionen auf diese Weise verwirklicht werden und es haben beide Filter die gleiche Amplituden-Verstärkung, Nichtlinearitäten und Rauschen zumindest teilweise gemeinsam.

Durch die Erfindung wird demnach eine Transversalfilter-Anordnung geschaffen, bei der eine Ladungs-Subtraktion bewirkt wird, indem potentialfreie Elektroder festgeklemmt werden, wenn sich einige Ladunger darunter befinden. Durch Kombination und richtige Phasensteucrung der positiven und negativen Abschnitte der gewählten Itnpuls-Übertragungsfunktion spei chert die Knotenkapazität, welche die Kapazität de« Verstärkers, die Kapazität der Oxidschicht und die Diffusionskapazitäl umfaßt, einen ersten Wert, der vor den Abschnitten mit beispielsweise negativer Polaritäl geliefert wird und der von den Signalen mit dei entgegengesetzten Polarität, also beispielsweise der von den Abschnitten mit positiver Polarität gelieferter Signalen, subtrahiert werden muß. Das erfindungsgemä ße Prinzip ist auch bei solchen Varianten anwendbar wie DIXMransversalfihern mit Doppelfunktion, die von einer solchen Ladungs-Subtraktion Gebrauch machen

Claims

Patentansprüche:

1. CTD-TransversalFilter, bestehend aus einem CTD-Schieberegister, auf dessen Substrat in Transportrichtung hintereinander eine Anzahl Elektrodengruppen angeordnet ist, deren einzelne Elektroden an Impulsquellen angeschlossen sind, die Impulssignale verschiedener Phase liefern, welche eine Ladungsübertragung von Elektrode zu Elektrode bewirken, wobei die Elektrodengruppen jeweils eine schwimmende Fühlelektrode umfassen, die einen positiven oder negativen Gewichtungskoeffizienten für das abgetastete Signal definiert und an eine Einrichtung zur Kombination der abgetasteten Signale sowie an eine Rückstelleinrichtung angeschlossen ist, die den Fühlelektroden periodisch Rückstellimpulse zuführt, dadurch gekennzeichnet, daß die an Impulssignale verschiedener Polarität angeschlossenen Elektroden einer Elektrodengruppe in bezug auf die Fühlelektrode der gleichen Gruppe derart angeordnet sind, daß zu einem vorgegebenen Zeitpunkt den Fühlelektroden, die Gewichtungskoeffizienten der einen Polarität definieren, Ladungen zugeführt werden, während gleichzeitig von den Fühlelektroden, die Gewichtungskoeffizienten der anderen Polarität definieren, Ladungen abgeführt werden, und daß alle Fühlelektroden an eine gemeinsame Source-Folger-Anordnung angeschlossen sind.

2. CTD-Transversalfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mit den Fühlelektroden eine Summierkapazität gekoppelt ist.

3. CTD-Transversalfilter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß an jedem Übergang der Funktion von einem Abschnitt einer Polarität zu einem Abschnitt anderer Polarität längs des Substrats eine Elektroden-Teilgruppe angeordnet ist, die das zeitlich abgetastete Signal um einen Bruchteil oder mehr der Laufzeit verzögert oder beschleunigt

4. CTD-Transversalfilter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die zwischen positiven und negativen Abschnitten angeordnete, eine Elektroden-Teilgruppe mit der Quelle der Impulse zweiter Phase gekoppelt ist, um die sich darunter befindlichen Ladungen um den Bruchteil der Laufzeit zu beschleunigen und dadurch für den Abgriff eine Null-Gewichtung herzustellen, daß die zwischen negativen und positiven Abschnitten angeordnete, andere Elektroden-Teilgruppe mit der Quelle der Impulse erster Phase gekoppelt ist, um die sich darunter befindlichen Ladungen um den Bruchteil der Laufzeit zu verzögern, und daß die jeweils den anderen Elektroden-Teilgruppen folgenden Elektrodengruppen nicht mit dem Source-Folger gekoppelt sind und dadurch ebenfalls für den Abgriff eine Null-Gewichtung herstellen.

5. CTD-Transversalfilter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mit der zwischen positiven und negativen Abschnitten angeordneten einen Elektroden-Teilgruppe eine Quelle von Impulsen halber Phase gekoppelt ist, um die sich darunter befindlichen Ladungen um eine ganze Einheit und einen Bruchteil der Laufzeit zu beschleunigen und dadurch die Null-Gewichtung zu eliminieren, wogegen die zwischen negativen und positiven Abschnitten angeordneten anderen Elektroden-Teilgruppen mit der Quelle der Impulse erster Phase gekoppelt sind.

6. CTD-Transversalfilter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Fühlelektroden zur Erzeugung einer analogen Gcwichtung geteilt sind und jeweils ein Abschnitt der geteilten Fühlelektroden zur Abtastung der Ladung potentialfrei und mit der Summiereinrichtung gekoppelt ist, wogegen der andere Abschnitt

ι ο mit einer Gleichspannungsquelle gekoppelt ist

7. CTD-Transversalfilter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Fühlelektroden in drei Abschnitte unterteilt sind, von denen ein erster mit einer ersten Summiereinrichtung, ein zweiter mit einer zweiten Summiereinrichtung und der dritte mit einer Gleichspannungsquelle gekoppelt ist und daß die beiden Summiereinrichtungen verschiedene Filterfunktionen Hefern.

8. CTD-Transversalfilter nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückstellimpulse während vorbestimmter Impulse erster oder zweiter Phase geliefert werden.