DE2746269A1 - Mikroskopobjektiv - Google Patents

Description

Olympus Optical Co, Limited oot 7618

_ . /-, 14. Okt, 1977

Tokyo/Japan

L/Br

Mikroskopobj ektiv

Die Erfindung bezieht sich auf ein Mikroskopobjektiv, insbesondere ein Mikroskopobjektiv vom Achromattyp, das sich durch eine gute Bildebenheit auszeichnet.

Bei den meisten Mikroskopobjektiven dieser Art ist das Bild nur im Mittelbereich eben „ während es an den Randbereichen nicht zufriedenstellend eben ist. Darüber hinaus ist bei bekannten Mikroskopobjektiven dieser Art, bei denen die Ebenheit des Bildes in einem verhältnismäßig großen Bereich gut ist, die numerische Apertur gering.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskopobjektiv mit großer numerischer Apertur, d.h. einer numerischen Apertur N,A,=o,7 anzugeben, bei dem die außeraxialen Aberrationen besser korrigiert sind, so daß das Bild im Randbereich ebenso eben wie im Mittelbereich wird.

-2-

809817/0748

Dies wird erfindungsgemäß erreicht durch die in den Ansprüchen gekennzeichneten Merkmale.

Die Erfindung wird nun anhand erfindungsgemäßer Objektive mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert. In den Zeichnungen zeigt:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht durch die Mikroskopobjektive nach der Erfindung,

Fig. 2 die Korrekturkurven eines ersten Objektivs nach der Erfindung, Fig. 3 die Korrekturkurven eines zweiten Objektivs nach der Erfindung, Fig. 4 die Korrekturkurven eines dritten Objektivs nach der Erfindung, Fig. 5 die Korrekturkurven eines vierten Objektivs nach der Erfindung, Fig. 6 die Korrekturkurven eines fünften Objektivs nach der Erfindung, Fig. 7 die Korrekturkurven eines sechsten Objektivs nach der Erfindung, Fig. 8 die Korrekturkurven eines siebten Objektivs nach der Erfindung, Fig. 9 die Korrekturkurven eines achten Objektivs nach der Erfindung, Fig.io die Korrekturkurven eines neunten Objektivs nach der Erfindung.

Die Mikroskopobjektive nach der Erfindung besitzen den schematisch in Fig. 1 dargestellten Aufbau. Sie bestehen aus fünf Linsengliedern,

erste
wobei das von der Gegenstandsseite aus gerechnet eine dicke meniskusförmige Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, das zweite Linsenglied eine meniskusförmige Sammellinse mit konkaver Fläche gegenstandsseitig, das dritte Linsenglied ein Kittglied mit positiver Brechkraft, das vierte Linsenglied ebenfalls ein Kittglied mit positiver Brechkraft und das

-3-

809817/0748

fünfte Linsenglied ein meniskusförmiges zerstreuendes Kittglied mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig ist. Dabei erfüllt das Mikroskopobjektiv erfindungsgemäß die folgenden Bedingungen

η - 1 η. - 1

(D 1,75 £ -J / -L- £.1,95

~ ^r1 ^r2

(2) 1,45 ^n_ld₁ / f ^2,15

η_Λ - 1 n₇ - 1

(3) 1,25 ^ -2- / -*- £.1,55

^r13 ^r11

n_d₁₁ + n_fld₁₀

(4) 1, 3o 4 ■ —2_1£ ^2,35

n. - 1

(5) -0,05^.-^- f 4o,o5o

^r5

(6) 3,ο L

(7) 9o ^ f(0₄ - O₃ ) + ( O₆ - v»

Darin bezeichnen

f die Gesamtbrennweite des Objektivs

r₁ und r_ die Krümmungsradien der Oberflächen des ersten Linsenglieds,

Γς den Krümmungsradius der gegenstandsseitigen Oberfläche des dritten Linsenglieds,

r~j und r₁₃ die Krümmungsradien der gegenstandsseitigen und bildseitigen Oberflächen des fünften Linsenglieds,

dj die Dicke des ersten Linsenglieds, dj* und d~2 ^die Dicke der das fünfte Linsenglied bildenden Linsen, d_lo den Luftabstand zwischen viertem und fünftem Lisenglied,

809817/0748

η. den Brechungsindex des ersten Linsenglieds,

n, den Brechungsindex der gegenstandsseitigen Linse im dritten

Linsenglied,
n- und n_o die Brechungsindizes der das fünfte Linsenglied bildenden

Linsen,
\)τ und ^) . die Abbe-Zahlen der das dritte Linsenglied bildenden Linsen und

\) c und J g die Abbezahlen der das vierte Linsenglied bildenden Linsen.

Von diesen Bedingungen dienen die Bedingungen (1) und (2) dazu,
die Brechkraft und die Durchbiegung des ersten Gliedes festzulegen, welches eine zerstreuende meniskusförmige Einzellinse ist. In
Verbindung mit den Bedingungen (3) und (4), deren Bedeutung nachstehend noch näher erläutert wird, dienen diese Bedingungen auch dazu, die Bildfeldkrümmung durch Korrektur der Petzval-Summe des Gesamtobjektivs zu beseitigen und darüber hinaus sphärische
Aberration und Koma des Gesamtobjektivs gut zu korrigieren. Wenn der in der Bedingung (1) angegebene Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (1) ist, wird die Bildfeldkrümmung überkorrigiert und Koma durch sphärische Aberration von Schrägstrahlen wird unterkorrigiert. Wenn der in der Bedingung (1) angegebene
Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird die Bildfeldkrümmung unterkorrigiert und Koma überkorrigiert. Wenn der durch die Bedingung (2) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bed-ingung (2) ist,wird die Bildfeldkrümmung unterkorrigiert und Koma durch Schrägstrahlung überkorrigiert. Wenn der durch die

809817/0748

Bedingung (2) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert wird, wird die Bildfeldkrümmung überkorrigiert und Koma durch Schrägstrahlung unterkorrigiert. Die Bedingungen (3) und (4) dienen

Durch

zur Bestimmung der Brechkraft und der biegung des fünften Linsenglieds, das ein zerstreuendes meniskusförmiges Kittglied aus zwei Linsen ist. Zusammen mit den obenerwähnten Bedingungen (1) und (2) dienen diese Bedingungen dazu, die Bildfeldkrümmung und die Astigmatismusdifferenz durch Korrektur der Petzval-Summe zu beseitigen. Darüber hinaus dienen diese Bedingungen in Verbindung mit der Bedingung (6) dazu, Koma zu beseitigen. Wenn der durch die Bedingung (3) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (3) ist, wird die Bildfeldkrümmung sowie die Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und die zonale Aberration der sphärische*Aberration durch Schrägstrahlen ist groß. Wenn der durch die Bedingung (3) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird die Bildfeldkrümmung und Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert.

Wenn der durch die Bedingung (4) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (4) ist, wird die Bildfeldkrümmung und Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und die sphärische Aberration durch Schrägstrahlen ist groß. Wenn der durch die Bedingung (4) begrenzte Ausdruck größer als der untere Grenzwert ist, wird die Bildfeldkrümmung und Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert.

Die Bedingung (5) dient dazu, die Durchbiegung des dritten Linsenglieds, das ein sammelndes Kittglied ist, zu begrenzen. Diese

80981 7/0748

Bedingung ist in der Hauptsache zur guten Korrektur der Astigmatismusdifferenz und daneben zur Beseitigung asymmetrischer Koma vorgesehen. Wenn der durch die Bedingung (5) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (5) ist, wird die Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert und es wird unmöglich, die verbleibende Astigmatismusdifferenz durch andere Faktoren gut zu korrigieren. Darüber hinaus wird asymmetrische Einwärtskoma groß. Wenn der durch die Bedingung (5) begrenzte Ausdruck kleiner als dor untere Grenzwert ist, wird die Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und asymmetrische Auswärtskoma wird groß.

Die Bedingung (6) ist zur Begrenzung des Luftabstandes zwischen der Frontlinsengruppe mit dem ersten, zweiten, dritten und vierten Linsenglied und der aus dem fünften Linsenglied bestehenden hinteren Linsengruppe vorgesehen. Diese Bedingung dient in erster Linie zur guten Korrektur asymmetrischer Koma durch Schrägstrahlung. Wenn der durch die Bedingung (6) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (6) ist, wird Koma hervorgerufen. Wenn der durch die Bedingung (6) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird Einwärtskoma hervorgerufen. Wenn der durch die Bedingung (6) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird Auswärtskoma hervorgerufen.

Die Bedingung (7) bezieht sich auf die achromatischen Linsen in der Frontlinsengruppe und dient zur guten Korrektur der chromatischen Längs- und Queraberration des Gesamtobjektivs. Wenn der durch die Bedingung (7) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert

809817/0748 -7-

27Λ62Β9

der Bedingung (7) ist, wird chromatische Längsaberration durch Randstrahlen kurzer Wellenlänge zu sehr überkorrigiert, wenn chromatische Queraberration zufriedenstellend korrigiert ist und es tritt eine Unscharfe in dem Bild auf. Infolgedessen wird der Bildkontrast ungünstig. Wenn der durch die Bedingung (7) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, ergibt sich eine unzulässige Unterkorrektur von chromatischer Queraberration, wenn die chromatische Längsaberration zufriedenstellend korrigiert ist.

Wie so weit dargelegt, ist es möglich, die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe mit einem Mikroskopobjektiv des angegebenen Aufbaues durch Erfüllung der oben erwähnten Bedingungen zu lösen. Es ist jedoch noch vorteilhafter, wenn das Mikroskopobjektiv nach der vorliegenden Erfindung weiter die folgenden Bedingungen erfüllt:

(8)	-ο	,45	η_ -	1	f
(9)	-ο	,ο3	Ä r4		■ f
^η5 -	1
" r8

f 4o,

Darin bezeichnen

r. den Krü-mmungsradius auf der bildseitigen Oberfläche des

zweiten Linsenglieds,
Tq den Krümmungsradius der gegenstandsseitigen Oberfläche des vierten Linsenglieds,

n, den Brechungsindex des zweiten Linsenglieds und n. den Brechungeindex der gegenstandsseitigen Linse im vierten

Linsenglied,

809817/0748

27Λ6269

Von diesen Bedingungen dient die Bedingung (8) zur Begrenzung der Brechkraft des zweiten Linsenglieds, das eine sammelnde Meniskuslinse ist und diese Bedingung ist dazu vorgesehen, sphärische Aberration und Sinusbedingung des Objektivs gut zu korrigieren. Wenn der durch die Bedingung (8) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (8) ist, wird sphärische Aberration überkorrigiert und die zonale Aberration der Sinusbedingung ist groß. Wenn der durch die Bedingung (8) begrenzte Ausdruck kleiner als der untere Grenzwert ist, wird sphärische Aberration unterkorrigiert. Wenn versucht wird, sphärische Aberration durch andere Faktoren zu korrigieren, wird zonale Aberration groß. Darüber hinaus wird der Ausgleich zwischen der Sinusbedingung und sphärischen Aberration gestört und asymmetrische Aberration durch Schrägstrahlen wird verursacht.

Die Bedingung (9) betrifft die Durchbiegung des vierten Linsengliedes. Diese Bedingung dient hauptsächlich zur Korrektur der Astigmatismusdifferenz des Objektivs, wie die zuvor erwähnte Bedingung (5). Bezüglich der Korrektur der Astigmatismusdifferenz ist die Bedingung (5) die Hauptbedingung und die Bedingung (9) die Sekundärbedingung. Daher ist zur Korrektur der Astigmatismusdifferenz die Bedingung (5) wirkungsvoller und wesentlicher als die Bedingung (9). Wenn der durch die Bedingung (9) begrenzte Ausdruck größer als der obere Grenzwert der Bedingung (9) ist, wird die Astigmatismusdifferenz unterkorrigiert und asymmetrische Einwärtskoma wird groß. Wenn der durch die Bedingung (9) begrenzte Ausdruck

kleiner als der untere Grenzwert ist, wird die Astigmatismusdifferenz überkorrigiert und asymmetrische Auswärtskoma groß.

809817/0748

- 9—

Das Objektiv 1 hat die nachstehend in Tabelle 1 aufgeführten Ttumerisclrcn Datenr

f-1,O N. A- O,7 ß=-4oX

W.D ■ 0,1374 Petzval-Summe Γ_χ - -0,4820

ά_χ - 0,8512 Ti₁ - 1,8044 T₂ - -0,8883

d₂ - 0,0252 r₃ - -8,6970

d₃ - 0,3976 n₂ - 1,4925 r₄ - -1,2888

d₄ - 0,0345 r₅ - 70,2367

d₅ - 0,2101 n₃ - 1,57501 r₆ - 1,9721

d_Ä - 0-9118 η. - 1.4925 r₇ - -2,0299

d_? - 0,0537 r₈ - -35,0845

d₈ - 0,2182 n₅ - 1,80741 r₉ - 1,9211

d₉ - 0,8296 n₆ - 1,4925 r₁₀ - -2,5774

d₁₀ » 3,3850

^rll * ¹J⁸⁵⁰²

d_lx - 0,8023 n_? - 1,7200

^r12 * "*⁵r³⁸⁶⁵

^d12 * °r^{1801 n}8 " 1/61484 r₁₃ - 1,1815 809817/074·

Tabelle -0,090

>, - 39,6

- 81,9

41,5 81_f9

31,6 81,9

42,1

51,2

Das Objektiv 2 hat die nachstehend in Tabelle 2 aufgeführten

r₅ -

numerischen Daten:

f-1,o N.A-O,7

W.D - 0,1775
T₁ - -0,6174

U₁ - 1,1273 T₂ - -1,0928

d₂ - 0,0258 T₃ - -7,9397

d₃ - 0,4025 r₄ - -1,5078

d₄ - 0,0263 225,0088

d₅ - 0,2369 2,1418

d₆ - 0,8817 -2,1959

d_? - 0,0373 11,9166

d₈ - 0,2415 2.4781

d₉ - 0,6823 ' -5,4291

d₁₀ - 4,2798 ' 2,2353

^dll * l|0278

Tabelle 2

ß=-4oX

r_? -

r₈ -

^r12 " "

- 1,3126

Petzvalsunune" -0,070

1,8040 v, » 46,6

- 1,4925 v₂ - 81,9

n₃ - 1,57501 V₃ - 31,3

n₄ - 1,43389 V₄ - 95,2 n₅ - 1,8074 V₅ - 35,4

n₆ - 1,4925 _Vg - 81,9 n₇ -.1,72 V₇ - 42,7

d₁₂ - 0,2486 n₈ - 1,61484 Vg - 51,8

809817/0748

Das Objektiv 3 hat die nachstehend in Tabelle 3 aufgeführten

numerischen Daten; f-1,O

Tabelle 3

N.A-0,7 ß-r4oX

W.D - 0,1787 T₁ - -0,6138

ά_λ - 1,1255 r₂ - -1,1090

d₂ ■ 0,0057 r, « -10,8395 r₄ - -1,5183 r₅ - -16,4591 r₆ - 1,9565 r- - -2,3135

d₄ - 0,0015

d₅ - 0_f2111

r₈ - 18,3411 r_a ■

2,3097

r₁₀ - -4,1418

- 4,4450

2,2152

d.. · 1,0591

r₁₂ - -4,3117 r₁₃ - 1,2984

Petzvalsumme ■ -0,079

It₁ - 1,8040

d₃ - 0,3882 n₂ = 1,4925

n₃ «■ 1,57501

d₆ - 0,8902 n₄ » 1,4925

d₇ - 0,0386

d₈ - 0,2345 n₅ ■ 1,80741

dg - 0,7370 n₆ - 1,4925

1,72

- 0,2558 n₈ - 1,62041

809817/0748

V₁ - 46,6

V₂ ■ 81,9

V₃ - 41,6

V^ ■ 81^9

V₅ » 31,6 V₆ - 81,9

- 48,6

- 60,3

Das Objektiv 4 hat die nachstehend in Tabelle 4 aufgeführten numerischen Daten:

f-1,O	°·	N.A-O,	7	ß=-4oX	Tabelle	4
H.D -		1793		Petzvalsumme :	= -0,080
-0,6123	dl
		- 1,1216		ηχ = 1,8040	V1 - 46,	6
-1,1004	d_
	«0,0053

-11,9«53

- -1,5303

0,3884

- 0,0007

-13,5820

d₅ - 0,2086

r₆ - 1,9633 r₇ - -2,3008

18,3419

d₇ - 0,0383 dg - 0,2302

r_g - 2,3197

2,1927

r₁₂ - -4,5524

12

- 1,2908

n₂ - 1,4925 V₂ - 81,9 n₃ - 1,57501 V₃ - 41,5

d₆ - 0,8866 n₄ - 1,4925 V₄ - 81,9

n₅ - 1,80741 V₅ - 31,6

d_g - 0,7330 n₆ - 1,4925 v_g - 81,9

10 - ⁴I⁴²²⁸ ,, - 1,0526

n₇ = 1,72

- 48,6

n₈ - 1,62041 v_R - 60.3 ^w öl

809817/0748

Das Objektiv 5 hat die nachstehend in Taoexle 5 avft^e numerischen Daten:

£-1,o

W.D - 0,1801

N.A10,7

ß=-4oX Tabelle

- -0,6121

r, - -1,0892

^r4 *

^r5 *

-12,5765

-1,5447

< -14_f7577

- 0,0243

- 0,37£s3

0,0243

- 0,1969

r₆ - 1,9544

T₇ - -2,3255

- 0,0385

r₈ - 20,6541

d_ft - 0,2252

r₉ - 2,3318

0,7320

r₁₀ - -4,0870

d₁₀ - 4,4418

2,1639

- 1,0616

r₁₂ - -5,1345

1,2791

Petzvalsumme«-0,079

- 1,1176 n. - 1,8040

n₆ - 1,4925

- 46,6

n₂ - 1,4925 V₃ - 81,9 n₃ - 1,57501 V₃ - 41,5

d₆ - 0,8805 n₄ - 1,4925 V₄ - 81,9

n₅ - 1,80741 V₅ - 31,6

- 81,9

n₇ « 1,72 V₇ a 48,6

- 0,2571 n₈ - 1,62041 v_g - 60,3

809817/0748

Das Objektiv 6 hat die nachstehend in Tabelle 6 aufgeführten numerischen Daten:

	N.A-O,7	W.D - 0,1608	dl	-0,9872	d2	-6,7428	d3	-1,3574	d4	13,4725	d5	1,8018	d6	-2,3788	d7	276,3533	d8	2,1579	d9	-3,5266	d10	1,9104	dll	-5,2779	d12	- 0,9893	ß--4oX	- 1,8061	- -0	Tabelle 6
f-1,o	-0,5416			Petzvalsumme
	- 0,0239			vl	,078
	nl
- 0,4179		- 1,4925		- 40,9
- 0,0239			V2
	n2
- 0,3042		- 1,58406		- 81,9
- 0,8602		- 1,4925	V3
	n3
- 0,0349			V4	- 37,0
	n4
- 0,2418		- 1,80741		- 81,9
- 0,6867		- 1,4925	V5
	n5
- 4,0201			V6	- 31,6
	n6
- 0,7503		- 1,72		- 81,9
- 0,1912		- 1,6223	V7
	n7
			V8	- 42,1
	n8
	-53,2

r₁₃ - 1,2313

809817/0748

3b

Das Objektiv 7 hat die nachstehend in Tabelle 7 aufgeführten numerischen Daten:

	Of	■	d8	»	N.A*o,7	ß=-4oX	-.	1,8061	Tabelle 7	40,9
f=1,O				1594	Petzvalsumme
W.D -	dl	d9
-0,5000		- 0,8896	nl "		- -0,074
	d2			1,4925		81,9
-0,9081		- 0,0237			\i WB
	d3
-7,1807		- 0,4323	n2 "
	d4			1,58406		37,0
-1,2718		- 0,0237			V2 ■
	d5			1,4925		81,9
15,0770		- 0,3704	n3 *
	d6
1,6894		- 0,8565	n4 -		V3 *
	d7	*		1,80741		31,6
-2,3253	- 0,0346			V4 *
			1,4925		81,9
194,429(	- 0,2061	n5 e
2,1650	- 0,6322	n6 *	V5 *
-3,3632	d10 * 3r9253	V6 *

1,8164

^r12 " "

0,6746 n₇ - 1,72

d₁₂ - 0,1201 η» - 1,6223

809817/0748

- 42,1 - 52,9

Das Objektiv 8 hat die nachstehend in Tabelle 8 aufgeführten

numerischen Daten:	f«1,O	0,1604	0.	N	.A-O,7	ß*-4oX	1,8061	Tabelle	077
	W.D -					Petzvalsumme m
	- -0r5413	di-	o,				-o,	- 40,9
rl				0112	nl "
	- -0,9964	d2-	Or			1,4925	Vl
r2				0238
	- -7,8380	d3-	0,					- 81,9
r3				3722	n2 -
	- -1,3700	d4-	o,			1,58406	V2
r4				0238
	- 11,8263	d5 -	0.			1,4925		- 37,0
r5				2750	n3 -
	- 1,7424	d6-				V3	- 81,9
r6			9142	n4 -
	- -2,4077	d. -			V4
r7			0348

r_Q - 2,1129

d₈ - 0,2240 n₅ -1,80741

^d9 " 0,7117 »ig - j.,.

n* - 1,4925

r₁₀ - -3,5089

1,8949

'10

- 3,9211

0,6848 n₇ - 1,72

-5,0874 1,2292

d₁₂ - 0,2144 n₈

V₅ - 31,6

V₆ - 81,9

42,1

- 53,2

809817/0748

Das Objektiv 9 weist die nachbbehend in Tabelle 9 aufgeführten

numerischen Daten auf:

f»1,o N.A»o,7

-1,3593

r₅ - 12,4704

- 1,7989

-2,3880

d_? - 0,0349

r₈ « 288,1485

2,1463

r₁₀ - -3,5288

d₁₀ - 4,0225

- 1,9156

r₁₂ - -5,1341

" ⁰I^{7460 d}12<" °i¹⁸⁶⁹

- l_f2355

Tabelle 9

W.O - 0,1608

- -0,5420

O₁ - 0,9919 Ii₁ - 1,8061

- -0,9896

d₂ - 0,0239

- -6,6031

d₃ - 0,4225 n₂ - 1,4925 ß=-4oX Petzvalsumme» -0,078

" ¹I⁷² ν_χ - 25,8

81,9

- 0,0024

- 0,3109 n₃ - 1,58406 V₃ - 39,6

d₆ - 0,8657 n₄ - 1,4925 V₄ - 81,9

dg - 0,2459 n₅ * 1,80741 V₅ - 27,7

0,6913 n₆ - 1,4925 v_fi - 81,9

43,0

50,0

809817/0748

Darin bezeichnen

f die Brennweite des Objektivs, r^ bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

d. bis ά.j die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,

n.. bis n₈ die Brechungsindizes der Linsen, ^₁ bis >J g die Abbe-Zahlen der Linsen, N.Ά die numerische Apertur, ß die Vergrößerung und W.D den Arbeitsabstand

809817/0748

Claims (1)

1. oot 7618

   Patentansprüche

   !.^Mikroskopobjektiv, dadurch gekennzeichnet, daß das aus einem ersten Linsenglied in Form einer dicken meniskusförmigen Zerstreuungslinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, aus einem zweiten Linsenglied in Form einer meniskusförmigen Sammellinse mit konkaver Oberfläche gegenstandsseitig, einem dritten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes, einem vierten Linsenglied in Form eines sammelnden Kittgliedes und einem fünften Linsenglied in Form eines zerstreuenden meniskusförmigen Kittgliedes mit konkaver Oberfläche bildseitig bestehende Linsensystem den folgenden Bedingungen genügt

   Π) 1,75 £. / -— £1,95

   1 2

   (2) 1,45 4 n^/f £ 2,15

   n_a - 1 n₇ *- 1

   (3) 1,25 ά. -^- / -¹— -1,55

   ^r13 ^r11

   n₇d₁₁ + n_Rd_i:>

   (4) 1,3o 4 -L_LL_—»-Η ^2,35

   n₃ - 1

   (5) -o,o5 ^ f ^.o,o5o

   ^r5

   (6) 3,ο ^

   -2-

   809817/0748

   worin bezeichnen

   f die Gesamtbrennweite des Objektivs

   T₁ und r„ die Krümmungsradien der Oberfläche des ersten Linsenglieds, r- den Krümmungsradius der gegenstandsseitigen Oberfläche des

   dritten Linsenglieds,
   T₁₁ und T₁- die Krümmungsradien der gegenstandsseitigen und bild-

   seitigen Oberfläche des fünften Linsengliedes, d₁ die Dicke des ersten Linsengliedes, d. ₁ und d_1? die Dicken der das fünfte Linsenglied bildenden Linsen,' d₁ den Luftabstand zwischen viertem und fünftem Linsenglied, n- den Brechungsindex des ersten Linsenglieds, n₃ den Brechungsindex der gegenstandsseitig angeordneten Linse

   im dritten Linsenglied,
   n- und n₈ die Brechungsindizes der das fünfte Linsenglied bildenden

   Linsen,
   -^₃ und j^₄ die Abbe-Zahlen der das dritte Linsenglied bildenden Linsen und

   ^₅ und j, die Abbe-Zahlen der das vierte Linsenglied bildenden Linsen.

   2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Linsensystem weiter die folgenden Bedingungen erfüllt

   n, - 1

   (8) - 0,45 4.-=- f 4:0,25

   ^r4

   η - 1

   (9) -o,o3 ^-- f go,o75

   -3-

   809817/0748

   worin bezeichnen

   f die Gesamtbrennweite des Objektivs,

   r. den Krümmungsradius der bildseitigen Oberfläche des zweiten

   Linsenglieds, Tq den Krümmungsradius der gegenstandsseitigen Oberfläche des vierten Linsenglieds,

   n_ den Brechungsindex des zweiten Linsenglieds und n_ den Brechungsindex der gegenstandsseitigen Linse im vierten Linsenglied.

   3. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 1 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   f-1_fo • D « 0299 0 ,1374 / N. A- o, 7 ß«-4oX Tabelle 1 W 4820 Petzval-Summe - -o. d I'⁰ I - -0,090 ^rl 8883 8512 Ti₁ * 1,8044 - -0, d 2^e ° I V₁ - 39,6 ^r2 6970 0252 - -8, d 3 * ° I ^r3 2888 3976 n₂ - 1,4925 - -i. d 4" ° I V₂ - 81,9 ^r4 2367 0345 - 70, d δ"⁰ t ^r5 - 1.9721 2101 n₃ - 1,57501 d 6-° V₃ - 41,5 ^r6 - "2, 9118 n₄ - 1,4925 V₄ - 81,9 ^r7

   - 0,0537

   r₈ - -35,0845

   d₈ - 0,2182 n₅ = 1,80741 V₅ - 31,6

   - 1,9211

   -2,5774

   1,8502

   r₁₂ - -5,3865

   r₁₃ - l_ri8i5

   - 0,8296 n₆ - 1,4925 j - 3,3850

   _L - 0,8023 n_? - 1,7200

   _t - 0,1801 n_g - 1,61484

   809817/0748

   81,9

   42,1

   - 51,2

   Darin bezeichnen

   f die Brennweite des Objektivs,

   r. bis r₁₃ die Krümmungsradien der Unsenoberflachen, d₁ bis d-₂ die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,

   n. bis n₈ die Brechungsindizes der Linsen, \) ₁ bis -J Q die Abbe-Zahlen der Linsen, N.A die numerische Apertur,
   ß die Vergrößerung und
   W.D den Arbeiteabstand

   4. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 2 aufgeführten Daten:

   809817/0749

   274S2S9

   Tabelle

   f-1,o 0, - 225,0088 ^d5 N.A-O,7 1775 ß=-4oX 1,8040 -0 ,070 6 W.D - Petzvalsumme ■ ^ri - -0,6174 ^dl - 2,1418 ^d6 - 1,1273 ^Vl - 46, ⁿl " ^r2 - -1,0928 ^d2 - -2,1959 ^d7 - 0,0258 1,4925 9 ^r3 - -7,9397 ^d3 - 11,9166 ^d8 - 0,4025 ^V2 - 81, ⁿ2 " ^r4 - -1,5078 ^d4 - 2.4781 ^d9 - 0,0263 1,57501 3 ^r5 - -5,4291 <*i, - 0,2369 1,43389 ^V3 - ³¹/ 2 ⁿ3 * ^r6 - 0,8817 ^V4 - 95, ⁿ4 * ^r7 - 0,0373 1,8074 4 ^r8 - 0,2415 1,4925 ^V5 - 35, 9 ⁿ5 ^{= r}9 - 0,6823 ^V6 - 81, ⁿ6 " ^rio , - 4,2798

   2,2353

   - -4,6592 1,3126

   1,0278 n₇ - 1,72

   V₇ - 42,7

   - 0,2486 n₈ - 1,61484 Vg - 51,8

   809817/0748

   Darin bezeichnen

   f die Brennweite des Objektivs,

   r. bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

   d. bis d._ die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,

   n. bis n_ß die Brechungsindizes der Linsen, ^) ₁ bis y) g die Abbe-Zahlen der Linsen, N,A die numerische Apertur,
   0 die Vergrößerung und
   W.D den Arbeitsabstand

   5, Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 3 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   Tabelle 3

   f-1,o

   N.A=O,7

   Β=τ4οΧ

   ^rl *

   W.D - 0,1787 -0,6138

   Petzvalsiiinme ■ -0/079

   » 1,1255 η, - 1,8040

   r, - -1,1090

   r- ■

   r, -

   r- -

   2,2152

   r₁₂ - -4,3117

   - 1,0591 n₇

   ,72

   d₁₂ - 0,2558 n₈ - 1,62041

   r₁₃ - 1,2984

   809817/0748

   v, - 46,6

   -10,8395 ^d3 -16,4591 ^d5 -4,1418 - o, 0057 n₂ - ¹I 4925 ^V2 * 81/ 9 ^d2 -1,5183 ^d4 1,9565 ^d6 - o, 3882 -2,3135 ^d7 - o, 0015 ⁿ3 * Ir 57501 V₃ - 6 18,3411 ^d8 - °r 2111 n₄ - 4925 V₄ - 81, 9 2,3097 ^d9 - o, 8902 - o, 0386 n₅ * I, 80741 V₅ - 31, 6 - o. 2345 ⁿ6 ⁼ 1» 4925 ^V6 * 81, 9 - Of 7370 η - < ,4450

   ν- - 48,6

   60,3

   27Λ6269

   Darin bezeichnen

   f die Brennweite des Objektivs,

   r. bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

   d₁ bis d₁₂ die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen

   diesen,

   n. bis ng die Brechungsindizes der Linsen, ^₁ bis ^₈ die Abbe-Zahlen der Linsen, N. A die numerische Apertur,
   £ die Vergrößerung und
   W,D den Arbeitsabstand

   6. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 4 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   - 1ο-

   f-1,O N.A-O,7 ß=-4oX

   Tabelle 4

   W.D - 0,1793 -0,6123

   d_x - l_f1216 -1,1004

   0,0053

   r₃ - -11,9453 - -1,5303

   - 0,0007

   -13,5820

   ^r6 -

   1,9633

   r₇ - -2,3008 ^r8 -

   18,3419

   T₉ - 2,3197 ^r10 - -

   •11 - 2,1927

   d₅ - 0,2086 dg - 0,8866 d₇ - 0,0383 dg - 0,2302 d_g - 0,7330 d_1Q - 4,4228

   ¹Il

   -4,5524

   r₁₃ - 1,2908 Petzvalsumme ⁼ -0_/080 » 1,8040

   n₄ - 1,4925

   n₅ - 1,80741
   n₆ - 1,4925

   ^d12 " 0,2520 n₈ - 1,62041

   809817/0748 v, - 46,6

   d₃ - 0,3884 n₂ - 1,4925 V₂ - 81,9

   n₃ - 1,57501 v, - 41,5

   v- - 81,9

   - 31,6

   ν, - 81,9

   1,0526 n₇ = 1,72 v_? - 48_f6

   - 60,3

   2746289

   Darin bezeichnen

   £ die Brennweite des Objektivs,

   r, bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

   d. bis d₁₂ die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,

   n. bis ng die Brechungsindizes der Linsen, ^ . bis ^J Q die Abbe-Zahlen der Linsen, N.A die numerische Apertur,
   ß die Vergrößerung und
   W.D den Arbeitsabstand

   7. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 5 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   f-1,o

   W.D - 0,1801 -0,6121

   N,A*o,7

   ß»-4oX Tabelle 5

   r₂ - -1,0892

   -12_f5765 -l_f5447 -14,7577

   d₄ - 0,0243

   r₆ - 1,9544

   r₇ - -2,3255

   d₇ - 0,0385

   r₈ - 20,6541

   2,3318

   r₁₀ - -4,0870

   d₁₀ - 4,4418

   2,1639

   r₁₂ - -5,1345

   1,2791

   Petzvalsummee-O,079

   d_x - 1,1176 U₁ - 1,8040 ν_χ - 46,6

   d₂ - 0,0243

   d₃ - 0,3783 n₂ - 1,4925 V₂ - 81,9

   d₅ - 0,1969 n₃ - 1,57501 V₃ - 41,5

   d₆ - 0,8805 n₄ - 1,4925 V₄ - 81_r9

   dg - 0,2252 n₅ ■ 1,80741 V₅ - 31,6

   0,7320 n₆ - 1,4925 v_ß - 81,9

   1,0616 n₇ « 1,72 V₇ - 48,6

   - 0,2571 n₈ - 1,62041 v_g - 60,3

   809817/0748

   Darin bezeichnen

   f die Brennweite des Objektivs,

   r. bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

   d. bis d₁₂ die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,

   n. bis ng die Brechungsindizes der Linsen, \) . bis ^) g die Abbe-Zahlen der Linsen, N.A die numerische Apertur,
   ß die Vergrößerung und
   W.D den Arbeitsabstand

   8. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 6 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   ^dl -0,9872 ^d2 -6,7428 ^d3 -1,3574 ^d4 13,4725 ^d5 1,8018 ^d6 -2,3788 ^d7 276,3533 ^d8 2,1579 ^d9 -3,5266 ^dl( 1,9104 N.A-O,7 1608 Β—?4οΧ - 1,8061 Tabelle 6 f«1,o Petzvalsumme - " W.D - O, - 0,9893 -0,078 -0,5416 ⁿl - 0,0239 - 1,4925 V₁ - 40,9 - 0,4179 n₂ - 0,0239 - 1,58406 V₂ - 81,9 - 0,3042 - 1,4925 ⁿ3 - 0,8602 V₃ - 37,0 ⁿ4 - 0,0349 - 1,80741 V₄ - 81,9 - 0,2418 = 1,4925 ⁿ5 - 0,6867 V₅ - 31,6 ⁿ6 j - 4,0201 V₆ - 81,9

   ¹Il

   1,72

   ^r12 " "⁵r²⁷⁷⁹

   r₁₃ - 1,2313

   d₁₂ - 0,1912 η- - 1,6223

   809817/0748

   - 42,1 - 53_/2

   Darin bezeichnen

   £ die Brennweite des Objektivs,

   r₁ bis r.- die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

   d. bis ά.- <*ie Dicken der Linsen bzw. Luftabstandβ zwischen diesen,

   n. bis n« die Brechungsindizes der Linsen, ^. bis γ7 g die Abbe-Zahlen der Linsen, N. A die numerische Apertur,
   ß die Vergrößerung und
   W.D den Arbeitsabstand

   9. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 7 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   f«1,o N.A-o,7

   W.D - 0,1594

   -0,5000

   U₁ - 0,8896 -0,9081

   d₂ - 0,0237 -7,1807

   d₃ - 0,4323 -1,2718

   - 0,0237

   r₅ - 15,0770

   - 1,6894

   - -2,3253

   r₈ - 194,4296

   - 2,1650

   ^r10 * -

   - 0_r2061

   - 0,6322

   - 3,9253

   ^r12 ^e "⁴I⁴⁹⁰⁸

   ^r13 " l|2045

   Tabelle 7 β—4οΧ

   Petzvalsunune ■ -0,074 Xi₁ - 1,8061 V₁ - 40,9

   n₂ - 1,4925

   0,3704 η₃ - !,'58406

   - 1,80741

   - 1,4925

   0_r6746 n₇ - 1,72

   - 0,1201 η₈ - 1,6223 809817/0748 81,9

   37,0

   - 0,8565 η₄ - 1,4925 V₄ - 81,9

   - 0,0346 31,6

   - 81,9

   ν. - 42,1

   - 52,9

   Darin bezeichnen f die Brennweite des Objektivs,

   r. bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

   d. bis d._ die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,

   n. bis η» die Brechungsindizes der Linsen, ^₁ bis ^q ^die Abbe-Zahlen der Linsen, N.A die numerische Apertur, ß die Vergrößerung und W,D den Arbeitsabstand

   1o. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 8 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   Tabelle 8

   r, -

   f-1,o

   H.D - 0,1604 -0,5413

   N. A-0,7 ß—4oX

   -0,9964

   -7,8380 -1,3700

   U₁ - 1,0112

   d₂ - 0,0238

   d₃ - 0,3722

   d₄ - 0,0238

   r₅ - 11,8263

   d_s - 0,2750

   r₆ - 1,7424 T₇ - -2,4077

   dg - 0,9142

   d_? - 0,0348

   ^r8 *

   - 2,1129

   r₁₀ - -3,5089

   d₁₀ - 3,9211

   - l_r8949

   ^r12 *

   ^r13 -

   -5,0874 1,2292

   - 0,2144 Petzvalsunune ■ -0,077 n_x - 1,8061 V₁ - 40,9

   n₂ - 1,4925

   n₃ - 1,58406
   n₄ - 1,4925

   d₈ - 0,2240 n₅ -1,80741

   d₉ - 0,7117 n₆ - 1,4925

   - 0,6848 n₇ » 1, 72

   n₈ - 1,6223 809817/0748 V₂ - 81,9

   V₃ - 37,0

   V₄ - 81,9

   V₅ - 31,6

   V₆ - 81,9

   42,1

   ⁵³I²

   Darin bezeichnen

   £ die Brennweite des Objektivs,

   r« bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen,

   d- bis d._ die Dicken der Linsen bzw. Luftabetände zwischen diesen,

   n. bis n« die Brechungsindizes der Linsen, ψ. bis -J Q die Abbe-Zahlen der Linsen, N.A die numerische Apertur,
   B die Vergrößerung und
   W.D den Arbeitsabstand

   11. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die nachstehend in Tabelle 9 aufgeführten numerischen Daten:

   809817/0748

   -2ο-

   fi-1,o ?' N .A-O,7 W.D - 1608 ^rl - -0,5420 ^dl - 0 ,9919 ^r2 - -0,9896

   0,0239

   r₃ - -6,6031

   r₄ - -1,3593

   - 0,0024

   ^r5 - j.z,4/g« ^d5 - 1,7989 d₆ - -2,3880 d₇ - 288,1485 ^d8 - 2,1463 ^d9 . - -3,5288 - 0 ,3109 ^r6 - 0 ,8657 ^r7 - 0 ,0349 ^r8 - 0 ,2459 ^r9 - 0 ,6913

   d₁₀ - 4,0225

   r,, - 1,9156

   " ⁰I⁷⁴⁶⁰

   - -5,1341

   ^d12 * °i¹⁸⁶⁹

   - 1,2355

   Tabelle 9 ß—4oX

   Petzvalsumme« -0,078
   ₁ - 1,8061 V₁ - 25,8

   0,4225 n₂ - 1,4925

   81,9

   n₃ - 1,58406 V₃ - 39,6

   n₄ - 1,4925 V₄ - 81,9

   n₅ - 1,80741 V₅ - 27,7

   n₆ - 1,4925 V₆ - 81,9

   n₇ - 1,72 V₇ - 43,0

   n₈ - 1,6223 V₈ - 5O₁O

   809817/0748

   Darin bezeichnen

   £ die Brennweite des Objektivs,

   r. bis r₁₃ die Krümmungsradien der Linsenoberflächen, d₁ bis d₁₂ die Dicken der Linsen bzw. Luftabstände zwischen diesen,

   n~ bis n_Q die BrechungsIndizes der Linsen, y) . bis -J ο die Abbe-Zahlen der Linsen, N,A die numerische Apertur, B die Vergrößerung und W,D den ArbeitB&bstand

   809817/0748