DE2643003C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einätzen von Löchern in ein Metallband sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens nach den Oberbegriffen der Patentansprüche 1 bzw. 6.

Bei den üblichen Farbfernsehröhren befindet sich zwischen den die Elektronen aussendenden Elektroden und dem eigentlichen phosphorisierenden Bildschirm eine sogenannte Schattenmaske, die mit einer Vielzahl von kleinen Löchern versehen ist. Durch diese Löcher dringen die Elektronenstrahlen durch und veranlassen bei ihrem Auftreffen auf einen einer bestimmten Farbe zugeordneten Bildpunkt das Aufleuchten dieser Farbe auf dem Bildschirm. Hinter jeder dieser Öffnungen in der Schattenmaske ist jeweils ein Satz von drei Farbpunkten vorgesehen, die jeweils eine der drei Grundfarben darstellen. Um jeden diesen Punkt bildet sich normalerweise eine schwarze Zone aus, durch die die einzelnen Punkte voneinander getrennt werden. Während des Betriebes der Bildröhre dienen die in der Schattenmaske vorhandenen Bohrungen als Führung für die Elektronenstrahlen. Bei der Herstellung einer solchen Schattenmaske für einen Fernsehapparat ist es sehr schwierig, diese kleinen Löcher ausreichend genau und mit der jeweils gewollten Größe in diese Maske einzuarbeiten. Neuerdings besteht die zunehmende Tendenz nach Schattenmasken mit länglichen Öffnungen, wobei die Längsausdehnung dieser Öffnungen nicht größer sein soll als die Dicke des Bandmaterials, aus welchem die Maske gefertigt wird. Das Problem besteht somit darin, in ein metallisches Band Öffnungen einzuarbeiten, deren maximale lichte Weite nicht größer ist als die Dicke des Maskenmaterials, d. h. in ein Bandmaterial mit einer Stärke von 0,15 bis 0,23 mm müssen Löcher eingearbeitet werden, deren lichte Weite zwischen 0,05 mm und 0,18 mm liegen darf. Es hat sich nun herausgestellt, daß die übliche Massenproduktion mit Hilfe einer Ätztechnik, bei der beide Seiten des Bandes in gleicher Weise der Ätzflüssigkeit ausgesetzt werden, nicht brauchbar ist, weil bei einer solchen Ätztechnik Ausätzungen und Falschätzungen nicht zu vermeiden sind. Das Ausätzen kommt dadurch zustande, daß das Ausgangsmaterial auch von der Seite her angegriffen wird und daß dieses meist zu zu großen Löchern führende seitliche Wegätzen von Material sich ganz zwangsweise ergibt, wenn die Ätzflüssigkeit senkrecht auf die Materialfläche gesprüht wird. Nur durch eine laufende Überwachung und eine sehr sorgfältige Einstellung des jeweiligen Ätzvorgangs war es bisher möglich, einigermaßen brauchbare Lochmasken herzustellen, wobei aber die umständliche und zeitraubende Herstellungsweise sowie der bei dieser Ätzart notwendige Prüfvorgang einer Massenproduktion solcher Lochmasken hindernd im Wege stehen.

Aus dem US-Patent 36 79 500 sowie der deutschen Offenlegungsschrift 24 32 602 ist es bereits bekannt, für die Herstellung solcher Lochmasken einen von einer Rolle abziehbaren Film zu verwenden. Auf welche Weise aber eine Vorrichtung gebaut werden kann, die es ermöglicht, sowohl vom Qualitäts- wie vom wirtschaftlichen Standpunkt her die Fertigung von Lochmasken in einer befriedigenden Weise zu ermöglichen, kann diesem Stand der Technik nicht entnommen werden.

Weiterhin ist aus der DE-OS 24 54 199 ein Einätzen von Durchbrechungen in ein Metallband bekannt, bei dem zunächst gegen Ätzmittel resistente Schichten auf beiden Seiten des Metallbands aufgebracht werden, von denen eine Schicht mit einem Schutzfilm versehen wird. Hierauf wird das Ätzmittel auf die andere Seite mit der resistenten Schicht, die jedoch nicht mit einem Schutzfilm versehen ist, aufgesprüht. Anschließend kann der Schutzfilm beseitigt und das Ätzmittel auf die resistenten Schichten beider Seiten des Metallbands aufgesprüht werden. Nachteilig ist bei diesem bekannten Verfahren, daß die resistente Schicht auf dem Band aufreißen oder platzen kann.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, das Aufreißen oder Platzen der gegen Ätzmittel resistenten Schicht auf einem Metallband zu verhindern.

Diese Aufgabe wird gemäß den kennzeichnenden Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.

Bevorzugte Ausführungsformen und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sind den Ansprüchen 2 bis 12 zu entnehmen.

Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, daß ein problemloses Herstellen von Schattenmasken für Farbfernsehröhren ermöglicht wird.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.

In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1a, 1b, 1c, 1d, 1e und 1f, die in dieser Folge aneinander zu fügen sind, eine Anlage für das Einätzen von Löchern in ein von einer Rolle abziehbares Metallband und

Fig. 2 einen vergrößerten Schnitt durch dieses Metallband und eine in diesem Metallband eingeätzte Öffnung.

In Fig. 1 ist die erste Bearbeitungsstation der Anlage mit 10 bezeichnet. In dieser Station 10 befindet sich im Kasten 51 die nicht mehr dargestellte Rolle eines Me­ tallbandes, das durch nachfolgende Ätzstationen mit Löchern versehen wird. Außerdem ist eine Vorratsrolle für einen Schutzfilm 9 vorhanden und dieser Schutzfilm 9 wird auf das Band 8 aufgebracht, nach dem dieses den Kasten 51 ver­ lassen hat. Als Schutzfilm wird ein Polyesterfilm mit einer Stärke von 0,002 mm oder weniger verwendet, doch kann auch jeder andere Schutzfilm genommen werden. Er wird auf die Oberseite der resistenten Schicht geklebt, die das Metallband 8 belegt. Die Beschichtung des Metallban­ des mit einer solchen resistenten Schicht ist kein Teil der vorliegen­ den Erfindung. Es wird aber davon ausgegangen, daß das Band auf beiden Seiten mit einer solchen resistenten Schicht belegt ist und daß in dieser Schicht diejenigen Stellen ausgespart sind, an denen Löcher in das Metallband einge­ ätzt werden sollen. Dabei soll voraussetzungsgemäß der Durchmesser dieser Löcher etwa gleich oder kleiner sein als der Dicke des Bandes entspricht. Um schließlich einen solchen Lochdurchmesser zu erhalten, ist es notwendig, in der resistenten Schicht solche Aussparungen vorzusehen, wie sie in Fig. 2 dargestellt sind.

In Fig. 2 ist der Schnitt durch eine Lochstelle mit 171 bezeichnet, wobei das Metallband eine Dicke T besitzt. Die auf beiden Seiten des Metallbandes 8 aufgetragene, gegenüber dem Ätzmittel resistente Schicht ist mit 172 und 173 beziffert. Hinter der resistenten Schicht 172 befindet sich eine durch den Ätzvorgang hervorgerufene Vertiefung, die wesentlich größer ist als die Vertiefung, die durch den Ätzvorgang hinter der Schicht 173 entstan­ den ist. Mit X2 ist die lichte Weite der in der Schicht 172 befindlichen Aussparung bezeichnet, und es geht aus der Zeichnung klar hervor, daß sie wesentlich größer ist als die Aussparung in der Schicht 173, deren Bezeichnung X1 lautet. Dieselbe Weite weist aber auch die eingeätzte Durchbrechung im Metallband 8 auf, da das Maß X1 sowohl für den Lochdurchmesser der Schicht 173 wie für die Durch­ brechung in der Schicht 8 gilt. Es zeigt sich auch, daß das Maß X1 kleiner ist als das Dickenmaß T.

Die vorliegende Erfindung hat ein Verfahren und eine An­ lage zum Gegenstand, die es ermöglicht, in einem fort­ laufenden Arbeitsvorgang laufend Schattenmasken zu pro­ duzieren, die mit schmalen, länglichen Öffnungen versehen sind und die aus einem fortlaufenden Streifen von Flachmaterial gefertigt werden. Die üblichen Dimensionen für eine solche Schattenmaske betragen für die Dicke T etwa 0,15 mm und für den Längsschlitz bezogen auf das Maß X1 0,05 mm als unterste und 0,19 mm als oberste Grenze. Zur Ein­ ätzung derartiger Öffnungen wird auf die beiden Seiten des Bandes 8 eine gegenüber dem Ätzmittel resistente Schicht aufgebracht, wobei die Schicht 172 mit Öffnungen X2 versehen ist, deren lichte Weite X2 etwa 0,035 bis 0,04 mm beträgt und damit wesentlich größer ist als die lichte Weite X1 der in der resistenten Schicht 173 vor­ gesehenen Öffnungen. Die Länge der Längslöcher soll sich senkrecht zur Zeichenebene erstrecken und etwa den drei- bis 10-fachen Wert der Öffnungsweite X1 der einzelnen Langlöcher aufweisen.

Während des Ätzvorganges in den verschiedenen Ätzvorrich­ tungen befindet sich die mit der resistenten Schicht 175 versehene Seite des Metallbandes 8 jeweils oben und wird durch den Schutzfilm 9 vollkommen abgedeckt, so lange das Band 8 die Ätzstationen 11 und 12 durchläuft. Die Verwen­ dung eines Schutzfilmes als Abdeckung auf der Oberseite der resistenten Schicht 173 dient dazu, den Angriff von Ätzgasen und Ätzflüssigkeit auf die resistente Schicht 173 oder den unterhalb dieser Schicht befindlichen Be­ reich des Bandes 8 zu verhindern. Es hat sich nämlich er­ wiesen, daß durch Ätzdämpfe und durch herumspritzende Teilchen der Ätzflüssigkeit die Oberfläche des Bandes angegriffen wird und daß dadurch eine Ausweitung der Löcher erfolgt und daß auch die korrekte Anordnung der Löcher im Band stark gestört werden kann.

Zurückgekehrt zur Fig. 1a kann man feststellen, daß die untere Seite des Bandes 8 über die Sprühdüsen 82 mit Ätzflüssigkeit besprüht wird, da diese Sprühdüsen 82 in der Ätzstation 11 angeordnet sind. Das Ätzmittel wird aber gleichzeitig auch durch einen oberen Satz von Sprühdüsen 80 von oben her auf das Band 8 gesprüht, doch kommt nur die Ätzflüssigkeit, die von den unteren Düsen stammt, in Kontakt mit dem Band 8, da die Oberseite des Bandes 8 durch den Schutzfilm 9 abgedeckt ist.

Die Anlage umfaßt im allgemeinen mehrere solche Bear­ beitungsstationen, die von dem Band nacheinander durch­ laufen werden. Hinter der Ausgangsstation 10 ist ein Luftkanal 52 angeordnet, der frische Luft zuführt, doch ist diese Luftzuführung kein notwendiger Teil der Anlage.

Im weiteren Verlauf des Transportweges für das Band be­ finden sich mehrere Bearbeitungsstationen, die alle ein gemeinsames Fundament 32 besitzen. Dieses Fundament ruht auf einer gemeinsamen Tragplatte 31.

Die erste Ätzstation 11 hat einen Satz von Sprühdüsen 80, die oberhalb des Bandes angeordnet sind und einen entsprechenden Satz von Sprühdüsen 82, die sich unterhalb des Bandes befinden. Die Sprühdüsen stehen über entsprech­ ende Leitungen mit einem Vorratsbehälter für die Ätz­ flüssigkeit in Verbindung, der um etwa 55 Grad schwenkbar ist, damit die ausgesprühte Ätzflüssigkeit über einen ver­ hältnismäßig weiten Bereich des Bandes gesprüht werden kann. Hinter der ersten Ätzstation 11 befindet sich eine zweite Ätzstation 12, deren Aufbau dem Aufbau der Ätz­ station 11 voll entspricht. Hinter der Ätzstation 12 und noch vor der Ätzstation 14 befindet sich eine Abziehvor­ richtung für den Schutzfilm, die mit 13 bezeichnet ist. Anschließend gelangt das Metallband zu einem weiteren Paar von Ätzstationen 15 und 16, die die endgültige Ätzung bzw. Durchätzung der Löcher in dem Metallband 8 bewirken, so daß hier getrennte Ätzstationen vorhanden sind. Die Ätz­ flüssigkeit besteht beispielsweise aus einem eisenhaltigen Chlorid, das durch die Sprühdüsen gegen das Band gesprüht wird.

Nach Verlassen der Ätzstation 16 gelangt das Band in eine Spülstation 17, die als Wasserspülung ausgebildet ist und der eine weitere Spülstation 18 folgt, in der ein kau­ stisches Spülmittel Verwendung findet. Nach Verlassen der Spülstation 18 durch das metallische Band 8 wird dieses einer Heißwasserspülung in der Station 19 unterworfen, der eine Kaltwasserspülung in der Station 21 folgt. Nachdem das Metallband 8 die letzte Spülstation 21 durchlaufen hat, ge­ langt es in eine Trockenvorrichtung 22 und in der Antriebs­ vorrichtung 24 wird durch die beiden Transportrollen 100 und 101 der laufende Vorschub des Bandes bewirkt. Eine Schneidvorrichtung 25 schneidet von dem Band die einzel­ nen Abschnitte ab, die jeweils eine Fernsehbildmaske dar­ stellen und über eine Rutsche 108 gelangen diese Abschnitte 6 auf eine Transportvorrichtung 105, über die sie den Weiterbearbeitungs- oder Verpackungsstellen zugeführt werden.

Nach diesem allgemeinen Überblick über die Anlage soll diese nun im einzelnen beschrieben werden, und zwar ins­ besondere im Hinblick auf die Vorgänge, durch die die ge­ naue und fortlaufende Ätzung der Längslöcher in dem Me­ tallstreifen ermöglicht wird, um auf diese Weise Schattenmasken für Farbfernsehbildröhren herzustellen.

In der Ausgangsstation 10 befindet sich zunächst eine Vorrichtung 51, durch die auf hydrostatische Weise eine Vorratsrolle eines Metallbandes geführt wird, das seiner­ seits mit einer Schicht aus einem gegenüber der Ätz­ flüssigkeit resistenten Material bedeckt ist. Die hydro­ statische Lagerung ermöglicht es, daß das betreffende mit der resistenten Schicht überzogene Metallband so der Transporteinrichtung zugeführt wird, daß es völlig plan auf den Transportrollen aufliegt, voll geglättet ist und daher auch einwandfreie Bildmasken durch die nach­ folgenden Ätzvorgänge herzustellen erlaubt. Durch ent­ sprechende Führung des Bandes ist sichergestellt, daß dabei keine Beschädigungen der resistenten Schicht auf­ treten können. Die mit der resistenten Schicht bedeckte Metallfolie 8 gelangt über die Umlenkrollen 61, 62, 63 und 64 zwischen ein Paar mit einem kontrollierbaren Druck gegeneinanderdrückende Rollen 65 und 66, wobei der von diesen beiden Rollen 65 und 66 auf das Band ausgeübte Druck einstellbar ist.

Die Rolle 62 ist an einem Hebelarm 101 gelagert und mit Hilfe eines Gewichtes 101A kann der auf das Band ausge­ übte Druck eingestellt werden, damit eine entsprechend straffe Führung des Bandes gesichert bleibt. Die in ihrem Anpreßdruck einstellbaren Rollen 65 und 66 sind Teil einer Magnetbremse, die sicherstellt, daß ein Mit­ laufen der Rollen 65 und 66 erst dann zustande kommt, wenn der von der Magnetbremse ausgeübte Druck überwunden wird. In einer bevorzugten Ausführungsform enthält die Magnetbremse einen Elektromagneten, der eine konstante Reibungskraft während einer Rotation der Rollen 65 und 66 ausübt.

Eine mit dem Schutzfilm 9 versehene Vorratsrolle ist ebenfalls in der Station 10 gelagert und über die Leit­ rollen 70, 71 und 73 wird der Schutzfilm 9 der Oberseite des Bandes 8, und zwar zwischen den Rollen 65 und 66 zu­ geführt. Kurz vor den Rollen 65 und 66 wird eine Kleb­ flüssigkeit über die Düse 75 auf die Oberseite des Ban­ des 8 aufgesprüht und durch den durch die Rollen 65 und 66 ausgeübten Druck erfolgt eine dichte und sichere Ver­ klebung des Schutzfilmes 9 mit der resistenten Schicht auf der Oberseite des Bandes 8. In der dargestellten Aus­ führungsform wird das Klebemittel unmittelbar vor Ein­ tritt des Bandes 8 in die durch die Rollen 65 und 66 gebildete Preßvorrichtung auf das Band aufgesprüht, doch ist es selbstverständlich auch möglich, die Unter­ seite des Filmes 9 mit dem Klebemittel zu besprühen. Es ist auch möglich, den Schutzfilm 9 von vornherein mit einer Haftschicht zu versehen, so daß es nicht notwen­ dig ist, ein zusätzliches Klebemittel auf den Film 9 oder die Oberseite des Bandes 8 aufzusprühen. In diesem Fall könnte auf das Anbringen der Düse 75 verzichtet wer­ den.

Nachdem das Metallband 8 und der Film 9 miteinander ver­ klebt sind, gelangen sie unter die mit einem verhältnis­ mäßig großen Durchmesser versehene Rolle 76 und an­ schließend wird das Band bzw. der betreffende Bandab­ schnitt der ersten Sprühkammer 11 zugeführt, die mit einem oben angeordneten und oszillierenden Satz von Sprüh­ düsen 80 und mit einem entsprechend ausgebildeten, ebenfalls oszillierenden Satz unterer Sprühdüsen 82 versehen ist. Durch die oszillierenden Sprühdüsen wird ein gleichmäßiger Überzug des Ätzmittels auf der Unterseite und auf der Unterseite des Metallbandes 8 und der Oberseite des Schutz­ filmes 9 hervorgerufen.

Zweckmäßig schwingen sowohl die oben als auch die unten befindlichen Düsen um etwa 55 Grad, so daß durch einander überlappende Besprühung der gesamten Bandfläche eine gleichmäßige Zuführung des Ätzmittels erfolgt. Die im Gegensinn des Uhrzeigers rotierenden Rollen 81, die in der Ätzkammer 11 angeordnet sind, halten das Band in der horizontalen Lage und unterstützen den Transport des Ban­ des durch die Station 11. Es sei dabei nochmals darauf hingewiesen, daß durch die Rollen 81 der Transport des Bandes durch die Ätzstation 11 unterstützt wird, während durch die Rollen 65 und 66 ein Druck auf das Band 8 und den Schutzfilm 9 ausgeübt wird, der dem Transport des Ban­ des durch die Ätzkammer 11 entgegenwirkt. Die hauptsäch­ liche Antriebskraft für das Band 8 wird jedoch durch die Transportrollen 100 und 101 (Fig. 1f) ausgeübt. Da zwei Antriebskräfte für den Transport des Bandes wirksam sind, also einmal die Antriebsrollen 81 und zum andern die durch die Rollen 100 und 101 ausgeübte Ziehvorrichtung ist es notwendig, die Drehzahlen dieser Rollen genau aufeinander abzustimmen, damit keine Faltenbildung erfolgt und kein Abrieb des resistenten Materials vom Metallband beim Durchlaufen der einzelnen Ätzstationen stattfindet.

Ein wesentliches Merkmal besteht nun darin, während des Transportes des Metallbandes 8 mittels der Rollen 81 durch die Ätzstation 11 die unterhalb des Bandes 8 angeordneten Sprühdüsen 82 die Ätzflüssigkeit auf die Unterseite des Bandes 8 sprühen, während die oberen Sprühdüsen 80 die Ätzflüssigkeit auf den Schutzfilm 9 verteilen. Da aber der Schutzfilm 9 sowohl für Flüssig­ keiten als auch für Dämpfe undurchdringlich ist, wird verhindert, daß Ätzflüssigkeit oder Ätzdämpfe auf die Oberfläche des Bandes 8 gelangen und dadurch auch keine Erosions- oder Ätzerscheinungen hervorrufen können. Daß nun trotzdem das Ätzmittel auf den Schutzfilm ge­ sprüht wird, und zwar in Abweichung der bisher üblichen Maßnahme hat den Zweck, eine einwandfreie Führung des Bandes in der Ätzkammer sicherzustellen, obgleich dieses Band nur von unten her effektiv besprüht wird. Würde man nämlich das Band nur von unten her besprühen, so könnte sich dieses von den Transportrollen 81 abheben und zu Flattern beginnen, womit eine einwandfreie Ätzung an den vorgesehenen Stellen und in der vorgesehenen Größe der Löcher nicht mehr gewährleistet werden könnte. Das gleichmäßige Besprühen des Bandes 8 von unten durch die Sprühdüsen 82 und von oben durch die Sprühdüsen 80, deren Wirkung aber durch den Schutzfilm 9 aufgehoben wird, verhindert zwangsläufig, eine Vertikalbewegung des Bandes, da auf hydrodynamische oder hydrostatische Weise eine einwandfreie Führung des Bandes gesichert wird.

Nach dem Passieren der Ätzstation 11 werden das Band 8 und der Schutzfilm 9 der zweiten Ätzstation 12 zuge­ führt, die ebenfalls eine Reihe von oszillierenden oberen Sprühdüsen 84 und eine Reihe von unteren Sprüh­ düsen, die ebenfalls oszillieren, 85 enthält und die in ihrer Anordnung und Wirkung den Sprühdüsen der Station 11 entsprechen. Es sei noch darauf hingewiesen, daß sowohl die Ätzstation 11 als auch die Ätzstation 12 Fenster bzw. mit Fenstern versehene Türen 90 enthalten, damit der an dieser Vorrichtung Bediende das Band 8 und den Schutz­ film 9 laufend inspizieren kann, wenn diese durch die Station 12 hindurchtransportiert werden. Es sei noch darauf hingewiesen, daß in der Ätzstation 12 wiederum das Ätzmittel sowohl auf die Oberfläche des Schutzfilmes 9 als auch auf die untere Seite des Bandes 8 gesprüht wird. Wie in der Station 11 wird allerdings nur die untere Seite des Bandes 8 eingeätzt, da die obere Seite abgedeckt ist. Zum Transport des Bandes durch die Ätzkammer 12 dienen wiederum Transportrollen, wobei diese Rollen etwa 30 cm voneinander entfernt liegen.

Nachdem das Band 8 und der Film 9 die Ätzstation 12 ver­ lassen haben, gelangen sie in eine dritte Ätzstation 14. Bis zu diesem Zeitpunkt wurde eine verhältnismäßig große Aussparung in die Unterseite des Metallbandes 8 einge­ ätzt, deren Tiefe jedoch im allgemeinen nicht mehr als 60% der Dicke des Metallbandes 8 selbst beträgt. In der Ätzstation 14 läuft das Band 8 weiter durch, während der Schutzfilm abgezogen wird, und zwar mit Hilfe einer Abzieh­ vorrichtung 13. Diese enthält eine erste Rolle 96 und eine zweite Rolle 97, über die der Schutzfilm 9 vom Metall­ band 8 abgezogen wird. Über die Rolle 97 gelangt der Film nach Passieren einer weiteren Umlenkrolle 98 zu einer der beiden Aufnahmerollen 91 oder 99. Dementsprechend sind auch zwei Umlenkrollen 92 und 93 vorgesehen, damit der Film ent­ weder der Rolle 91 oder der Rolle 99 zugeführt werden kann. Das Vorhandensein zweier Aufnahmerollen 91 und 92 dient dazu, einen unterbrechungsfreien Produktionsvorgang zu sichern, damit während der Abnahme der einen Rolle bereits auf die zweite Rolle der Schutzfilm weiter aufgewickelt werden kann. Ein Anhalten des Fabrikationsvorganges ist infolgedessen für das Wechseln der Rollen nicht notwendig.

Die Rolle 96 ist auf einem einseitig gelagerten Arm 95 befestigt und über die Rolle 96 wird das Band 8 so niedergedrückt, daß es die nachfolgende Ätzkammer 14 horizontal durchläuft. Es ist zu beachten, daß der Schutzfilm 9 nach rückwärts, d. h. entgegen der Trans­ portrichtung des Bandes 8 abgezogen wird, um die Ge­ fahr einer Verletzung der resistenten Schicht auf dem Band 8 möglichst klein zu halten. Diese resistente Schicht enthält außerdem nur die die Weite X1 aufweisen­ den engen Löcher und nicht die bedeutend größeren Öffnungen, die zur Einätzung der auf der anderen Band­ seite befindlichen großen Ausnehmungen mit der Weite X2 vorhanden sind.

Dadurch daß die den Schutzfilm von dem Band 8 abziehende Vorrichtung 13 innerhalb der Ätzstation 14 eingebaut wird, kann man das Sprühmittel auf die Oberseite des Bandes 8 bereits zuführen, sobald der Schutzfilm 9 weggezogen ist. Würde man den Film 9 vom Band 8 noch vor Eintritt des Bandes in die Ätzstation 14 entfernen, würde sich die Gefahr einer Versprühung von Ätzmitteln oder der Einwirkung von Ätzdämpfen auf die Oberseite des Bandes 8 stark ver­ größern und dadurch ein nichtkontrollierbares Vorätzen dieser Seite des Bandes 8 die Folge sein. Ein solches Vorätzen würde aber im Produktionsgang den Ausschuß wesentlich vergrößern, da dadurch die korrekte Einhaltung der Durchmesseröffnungen und der Anordnung dieser Öffnungen nicht mehr gewährleistet werden könnte.

Hinter der Ätzstation 14 sind nun noch zwei weitere Ätz­ stationen 15 und 16 angeordnet, die in gleicher Weise die Ätzstationen 11, 12 und 14 ausgebildet sind. Durch sie wird der Ätzvorgang zur Herstellung der Löcher in dem Band 8 vollendet. Daß fünf solcher Ätzstationen mit einer Vielzahl von Sprühdüsen vorgesehen sind, dient sowohl dazu, beim Ausfall der einen oder anderen Düse trotzdem ein einwand­ freies Ätzen zu sichern, als auch dazu, eine genauere Kontrolle des Ätzvorganges zu ermöglichen. Natürlich können auch mehr oder weniger Ätzstationen gebraucht werden. Es ist aber zweckmäßig, mindestens vier Ätz­ stationen vorzusehen, wenn man ein gutes Resultat erhal­ ten will. Wie bereits erwähnt, kann die Abziehvorrich­ tung 13 für den Schutzfilm entweder in der Ätzstation 14 wie auch am Eingang dieser Ätzstation angeordnet werden. Auch eine andere Anordnung dieser Abwickelvorrichtung ist möglich.

Nachdem das Band 8 die letzte Ätzstation 16 verlassen hat, gelangt es in eine Spülvorrichtung 17, in der die Ätzlösung vom Band 8 so schnell wie möglich abgespült wird, um den Ätzvorgang zu beenden. Dieser Ätzvorgang wird durch die Wasserspülung beendet, so daß ein Weiter­ ätzen unterbunden wird. Nach der Spülung des Bandes 8 ge­ langt dieses in eine mit kaustischer Soda arbeitende Station 18, die den resistenten Überzug auf den beiden Seiten des Bandes 8 entfernt. Nach dem Durchlauf der Reinigungsstation 18 gelangt das Band 8 in eine Heiß­ wasserstation 19, durch die die kaustische Soda enthal­ tende Lösung weggespült wird. Anschließend erfolgt der Durchgang des Bandes 8 durch die mit kaltem Wasser ge­ füllte Station 21, um damit den Spülvorgang zu beenden, nachdem sichergestellt ist, daß die Maske nunmehr voll­ kommen rein ist. Zweckmäßig enthält die Spülstation 21 entionisiertes Wasser, um damit sicherzustellen, daß vor dem Eintritt in die Trockenstation 22 alle fremden Bestandteile vom Band entfernt sind. Die Trocken­ station 22 enthält Radiatoren, die sich oberhalb und unterhalb des Bandes 8 befinden.

An manchen Stellen der Anlage kann die Größe der Öffnungen durch Meßvorrichtungen 23 überprüft werden, um sich davon zu überzeugen, daß die Öffnungen und Vertiefungen sich innerhalb der Toleranzen befinden. Sind die Öffnungen zu groß, so kann die Bedienung die Zuführung des Ätzmittels in den Ätzstationen 15 oder 16 reduzieren. Andererseits ist es möglich, für den Fall daß die eingeätzten Öffnungen zu klein oder zu groß sind, die Transportgeschwindigkeit entsprechend zu ändern, d. h. den Transport des Bandes durch die Ätzkammern zu beschleunigen oder zu verlang­ samen. Selbstverständlich kann diese Überprüfung der Öffnungen auch erst dann erfolgen, wenn die einzelnen Schattenmasken geschnitten sind und in diesem Fall sind keine Meßvorrichtungen in dem System eingebaut.

Das Metallband 8 gelangt auf seinem Transportweg in eine Antriebsvorrichtung 24, mit deren Hilfe das Band 8 durch die verschiedenen Ätzstationen gezogen wird. Die Antriebsvorrichtung enthält ein Paar Antriebsrollen 100 und 101, die aufeinanderdrücken und durch einen Motor gegenläufig in Umlauf gesetzt werden. Die in den ver­ schiedenen Ätzstationen vorgesehenen Transportrollen 81 stehen mit den Antriebsrollen 100 und 101 in Ver­ bindung, damit eine gleichmäßige Förderung des Bandes durch die Anlage gesichert wird und es zu keinen Stauungen oder Spannungen im Band durch die Transportvorrichtung kommt. Ein unzulässiges Auffalten des Bandes wird durch die Bremsrollen 65 und 66 verhindert. Diese Bremse kann entweder mechanisch, hydraulisch oder magnetisch ar­ beiten, doch wird im vorliegenden Ausführungsbeispiel der Erfindung eine handelsübliche Magnetbremse verwen­ det, die ein Drehen der Rollen 65 und 66 verhindert, bis eine bestimmte Antriebsspannung erreicht wird. Die Bremskraft ist so eingestellt, daß die in den einzelnen Stationen liegenden Antriebsrollen 81 nicht imstande sind, das Band 8 durch die Station zu treiben, sondern erst dann, wenn das Band durch die Rollen 100 und 101 gezogen wird. Nach Verlassen der Antriebsvorrichtung 24 gelangt das Band in eine Schneidevorrichtung 25, die die einzelnen Bandabschnitte abtrennt, wobei jeder Bandabschnitt eine für einen Farbfernseher bestimmte Lochmaske darstellt. Die abgeschnittene Maske 6 gleitet über eine Rampe 108 in eine Transportstation 26, wobei ein Anschlag 107 die Maske daran hindert, über die letzten Rollen 105 hinauszugelangen. Die Rollen 105 werden durch einen nicht dargestellten Motor angetrieben und transportieren die Maske 6 zu einer Verpackungsstation, wo die Masken verpackt und weiter transportiert werden.

Claims (13)

1. Verfahren zum Einätzen von Löchern in ein Metallband, wobei der Durch­ messer der Löcher etwa gleich oder kleiner als die Dicke des Metallbandes ist, mit folgenden Schritten:

• a) Es werden eine erste gegen Ätzmittel resistente Schicht auf der einen Seite des Metallbandes und eine zweite gegen Ätzmittel resistente Schicht auf der anderen Seite des Metallbandes aufgebracht, wobei die beiden gegen Ätzmittel resistenten Schichten Öffnungen aufweisen, von denen die Öffnungen der ersten Schicht kleiner als die Öffnungen der zweiten Schicht sind;
• b) es wird ein gegen Ätzmittel resistenter Schutzfilm, der keine Löcher oder Durchbrechungen aufweist, auf die erste gegen Ätzmittel resistente Schicht aufgebracht;
• c) das Metallband mit dem Schutzfilm wird durch mindestens eine Ätzstation bewegt;
• d) nach dem Ätzvorgang in der mindestens einen Ätzstation wird der Schutzfilm entfernt, der sich auf der ersten gegen Ätzmittel resistenten Schicht befindet;
• e) es wird nach dem Entfernen des Schutzfilms Ätzmittel auf beide Seiten des mit den gegen Ätzmittel resistenten Schichten versehenen Metallbands aufgesprüht, um das Metallband durchzuätzen und mehrere Löcher in ihm zu erzeugen;

dadurch gekennzeichnet, daß auch vor dem Entfernen des Schutzfilms (9) gleichzeitig Ätzmittel auf beide Seiten des mit den resistenten Schichten (172, 173) versehenen Metallbands (8) aufgesprüht wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ätzmittel auf das Metallband (8) gesprüht wird, wenn dieses kontinuierlich durch Ätzstationen (11, 12, 14) läuft.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schutzfilm (9) in der Weise auf die erste resistente Schicht (173) aufgebracht wird, daß ein flüssiger Kleber auf die erste resistente Schicht (173) aufgebracht wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Schutzfilm (9) in einer Abziehvorrichtung (13) entfernt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Ätzmittel auf die erste resistente Schicht (173) unmittelbar nach Beseitigung des Schutzfilms (9) gesprüht wird.

6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 zum Ätzen eines beidseitig mit einer resistenten Schicht versehenen Metallbands, um einen Gegenstand zu erzeugen, der mehrere Löcher aufweist, wobei eine Station vorgesehen ist, welche einen Schutzfilm auf die eine Seite des sich kontinuierlich bewegenden Metallbands aufbringt, und wobei eine erste Einrichtung zum Befestigen des Films auf einer Seite des sich kontinuierlich bewegenden Metallbands sowie eine weitere Einrichtung zum Bewegen des Metallbands und des Schutzfilms vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß diese weitere Einrichtung Antriebsrollen (100, 101) aufweist, welche das Metallband (8) durch die Vorrichtung bewegen, sowie Bremsrollen (65, 66), um eine stetige Bremskraft auf das Metallband (8) zu bringen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, da eine Station (13) zum Abziehen des Schutzfilms (9) in Gegenrichtung zum Bandtransport vorgesehen ist, welche Rollen (92, 93, 96, 97) aufweist, die bewirken, daß die plane Führung des Metallbands (8) nicht beeinträchtigt wird.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Düse (75) für die Anbringung eines flüssigen Klebers vorgesehen ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schneideinrichtung (25) vorgesehen ist, welche das geätzte und anschließend gereinigte Metallband (8) in einzelne Bandabschnitte trennt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Rollen (65, 66) vorgesehen sind, welche den Schutzfilm (9) auf der resistenten Schicht des Metallbands (8) fixieren.

11. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Rollen (81) vorgesehen sind, welche das Metallband (8) während der Bewegung des Metallbands (8) durch die Vorrichtung in einer horizontalen Lage halten.

12. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch mehrere Rollen (61, 62, 63, 64, 65, 66, 76, 81, 100, 101), die das Metallband (8) kontinuierlich durch die Vorrichtung transportieren.