DE2611734A1 - Optische informationsaufzeichnungseinrichtung - Google Patents

Optische informationsaufzeichnungseinrichtung

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DE2611734A1
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DE
Germany
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energy
information recording
proportional
recording device
signal
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DE19762611734
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Bruno Blondet
Sylvain Kretschmer
Jean Pierre Lacotte
Jean Paul Peltier
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Thomson-Brandt SA
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Thomson-Brandt SA
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    • G11B7/126—Circuits, methods or arrangements for laser control or stabilisation

Description

THOMSON - BRANDT
173t Bd. Haussmann
75008 Paris / Frankreich
Unser Zeichen; T 1949
Optische Informationsaufzeichnungseinrichtung
Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der optischen Aufzeichnung von Information mit Hilfe einer lichtempfindlichen Schicht, die auf einen platten- oder streifenförmigen Tretger aufgebracht ist,der als Informationsträger dient.
In den bekannten Aufzeichnungseinrichtungen ist die von der Quelle kohärenten Lichtes abgestrahlte Energie, bis auf die Modulation, eine konstante Größe, so daß die von der lichtempfindlichen Schicht empfangene Energie, wenn das Modulationssignal den Wert "Eins" hat, konstant ist.
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Die Erfahrung zeigt aber, daß unter diesen Bedingungen sich die Energie, die zu der lichtempfindlichen Schicht wirklich übertragen wird, ändert. Diese Erscheinung beruht auf der Tatsache, daß der Transmissionskoeffizient (und somit der Reflexionskoeffizient) des durch die Luft und die lichtempfindliche Schicht gebildeten Brechungssystems sich bei kleinen Änderungen der Dicke der verschiedenen darunterliegenden Schichten, die den Träger bilden und bei welchen es sich beispielsweise um .eine Glasschicht und eine feine Metallschicht handelt, auf die die lichtempfindliche Schicht aufgebracht ist, schnell ändert.
Damit bei dem Lesen die Beugung des Lesebündels korrekt ist, ist es erforderlich, daß die Breite der räumlichen Spur, die sich beispielsweise nach photochemischer Behandlung der be-r lichteten Schicht ergibt, konstant ist. Das kann unter der Bedingung erreicht werden, daß die Energie, die effektiv durch die lichtempfindliche Schicht während der Belichtung empfangen wird, konstantgehalten wird.
Demgemäß ist es Aufgabe der Erfindung, eine optische Informationsaufzeichnungseinrichtung zu schaffen, welche gestattet, die Eintragung einer Spur mit im wesentlichen konstanter Breite mit Hilfe einer Einrichtung zur Folgeregelung der von der Quelle kohärenten Lichtes abgestrahlten Energie zu erhalten, so daß die zu der lichtempfindlichen Schicht übertragene Energie bezüglich der Ungleichförmigkeit des Tr ansm issionskoeff izienten des durch die Luft und die lichtempfindliche Schicht gebildeten
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Brechungssystems konstant ist.
Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung. In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 die optische Aufzeichnungseinrichtung
nach der Erfindung,
die Fig. 2 bis 4 Erläuterungsdiagramme, und
Fig. 5 das Schema einer Zusatzeinrichtung,
wel ehe eine korrekte Fokussierung des Bündels unabhängig von Änderungen der von der Quelle ausgesandten Energie ermöglicht.
Es seien Ro und To der Reflexionskoeffizient bzw. der Transmissionskoeffizient in einer ersten "Zone der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht und Eo die durch diese Schicht in dieser ersten Zone empfangene Energie sowie R und T der Reflexionskoeffizient bzw. der Transmissionskoeffizient in einer zweiten Zone der lichtempfindlichen Schicht.
Es ist bekannt, daß gilt: Ro + To = 1
R + T = 1 und RoEo + ToEo = Eo.
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Für die Energie, die von der Quelle abgestrahlt werden soll, damit die übertragene Energie konstant ist, nämlich E, gilt:
ToEo = TE
mit RE + TE = E
woraus folgt E = Eof- ——J
Für die Änderung der von dem Laser abgestrahlten Energie, damit die übertragene Energie konstant ist, gilt: ΔΕ = Eo
Die Aufzeichnungseinrichtung nach der Erfindung enthält eine Folgeregeleinrichtung, die aufgrund der durch die verschiedenen
'S
Zonen der lichtempfindlichen Schicht reflektierten Energie und der von der Quelle abgestrahlten Energie ein zu ΔΕ proportionales Fehlersignal bildet, welches das Signal zur Steuerung der Änderung der abgestrahlten Energie darstellt.
In Fig. 1 sendet ein Laser 1 ein im wesentlichen paralleles Bündel aus. Ein optischer Modulator 30, der durch eine Rechteckträgerschwingung gesteuert wird, welche winkelmoduliert ist und aus einem Modulator 40 kommt, der das einzutragende Informationssignal S empfängt, moduliert das von dem Laser ausgesandte Lichtbündel nach dem Zweipunkt- oder "Ja oder Nein"-Prinzip . Eine dünne Trennplatte oder Trennschicht 2 gestattet, das Ausgangsbündel des Modulators. 30 in ein zu einer Sammellinse 3 gerichtetes Bündel, welche das Fokussieren des Bündels auf das lichtempfindliche Material gestattet, das auf ein Substrat
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in Form einer drehbaren Platte aufgebracht ist, und in ein zu einem Detektor 5 geleitetes Referenzbündel zu unterteilen.
Die durch den Detektor 5 empfangene Energie ist in jedem Zeitpunkt proportional zu der durch das lichtempfindliche Material empfangenen Energie. Es sei E diese Energie in einem als Ursprung genommenen Zeitpunkt und E(t) diese Energie in Abhängigkeit von der Zeit. Ein Teil dieser Energie wird zu dem lichtempfindlichen Material durchgelassen, während der Rest reflektiert wird, wieder die Linse 3 durchquert, dann durch die Schicht 2 reflektiert und von einem Detektor 6 empfangen wird. Die von den Detektoren 5 und gelieferten elektrischen Signale werden zwei Tastspeichern 50 bzw. 60 zugeführt, welche die elektrischen Signale nach den Vorderflanken der Impulse abtasten, die einer Beleuchtung "Ja oder Nein" entsprechen und den Wert des elektrischen Signals für eine maximale Beleuchtung bis zur nächsten Abtastung speichern.
Die Ausgänge der Tastspeicher 50 und 60 sind mit den Eingängen einer Initialisierungsschaltung 7 (in Fig. 1 gestrichelt) verbunden, welche einen Differenzverstärker 8 enthält, dessen Minuseingang mit dem Ausgang des Tastspeichers 60 verbunden ist und dessen Pluseingang mit dem Ausgang des Tastspeichers 50 verbunden ist.
Der Ausgang des Tastspeichers 50 ist außerdem mit dem Eingang
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eines ersten Speichers 9 verbunden und der Ausgang des Differenzverstärkers 8 ist mit einem zweiten Speicher 10 verbunden, wobei die Ausgänge dieser beiden Speicher die Ausgänge der Initialisierungsschaltung 7 bilden.
In dem als Ursprung genommenen Zeitpunkt mißt der Detektor 5 die Energie, die zu der Energie Eo proportional ist, wel ehe von dem lichtempfindlichen Material empfangen wird. Diese Energie Eo wird gespeichert, während der Differenzverstärker 8 Eo - RoEo berechnet und der Speicher 10 diesen Wert speichert. Die Werte Eo und Eo - RoEo sind die Werte, die als Bezugswerte für die Regelung der von dem Laser ausgesandten Leistung benutzt werden.
Zu diesem Zweck sind die Ausgänge der Tastspeicher, welche die Energien E(t) bzw. R(t)E(t) liefern, mit den beiden Eingängen eines Teilers 11 verbunden, welcher in jedem Zeitpunkt ein Signal abgibt, das zu dem Reflexionskoeffizienten R(t) des Materials in der belichteten Zone der Oberfläche des Trägers proportional ist. Der Ausgang des Teilers 11 ist mit dem Minuseingang eines Differenzverstärkers 13 verbunden, welcher einen Verstärkungsfaktor Eins hat und an seinem Pluseingang eine Referenzspannung V empfängt, die für eine Totalreflexion (Reflexionskoeffizient gleich 1) kennzeichnend ist. Der Ausgang dieses Verstärkers liefert somit ein Signal, dessen Amplitude proportional zu 1 - R(t) ist, das an einen Eingang eines Teilers 14 angelegt wird, dessen anderer Eingang mit dem Ausgang des Speichers 10 verbunden ist und dessen
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Ausgang ein Signal liefert, das zu EoJ- ——!proportional
ist. Dieser Ausgang ist mit dem Pluseingang eines Differenzverstärkers 15 verbunden, dessen Minuseingang mit dem Ausgang des Speichers 9 verbunden ist. Auf diese Weise ist das Ausgangssignal des Differenz Verstärkers 15 proportional zu Ar- r- /1 - Ro Λ \ _ /R(t) - Ro \
ΔΕ = Eo (i -Roo "1/ = Eo( 1 -Roo j
und ist somit proportional zu der Änderung der einfallenden Energie des von dem Laser 1 gelieferten Lichtbündels. Dieses Fehlersignal, das dem Eingang zur Steuerung der von dem Laser gelieferten Energie zugeführt wird, gestattet, die von dem Laser ausgesandte Energie zu vergrößern oder zu verringern, so daß die Änderung der Energie des auf den Informationsträger konzentrierten Lichtbündels gleich ΔΕ ist.
Für diese Energie gilt somit in jedem Zeitpunkt:
Eo To.
Damit die Einrichtung, die die von dem Laser abgegebene Leistung dem Reflexionskoeffizienten des Brechungssystems nachregelt, das durch die Luft und die auf das Substrat aufgebrachte lichtempfindliche Schicht gebildet wird, zufriedenstellend arbeitet, ist es erforderlich, daß in jedem Zeitpunkt das einfallende Bündel auf diese Schicht fokussiert ist. Zu diesem Zweck ist es erforderlich, eine Einrichtung zur Kontrolle der Fokussierung zu verwenden, die von den Änderungen der von dem Laser abgegebenen Leistung unabhängig ist.
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— σ —
Die inn folgenden beschriebene Einrichtung ist dieser Fokussierungskontrolle in besonderer Weise angepasst, denn sie benutzt als Fokussierungskriterium das Verhältnis von zwei Beleuchtungen und ist somit von den Änderungen der von dem Laser ausgesandten Energie unabhängig.
Diese Einrichtung nutzt die Resultate aus, die durch die im folgenden angegebene Erfahrung gegeben sind.
Wenn der Schreibfleck, der die lichtempfindliche Schicht belichtet, aus einer Quelle kohärenten Lichtes mit Hilfe eines Objektivs mit großer numerischer Öffnung erhalten wird, ist die durch die lichtempfindliche Schicht reflektierte Energie je nach dem, ob sich die reflektierende Fläche S hinter oder vor der Fokussierungsebene des einfallenden Bündels befindet, nicht in derselben Weise in einer Ebene verteilt, die zu der Fokussierungsebene des einfallenden Bündels bezüglich des Objektivs konjugiert ist, wie die Kurven P , P und P von Fig.
12 3
zeigen. Die Kurve P stellt die Energieverteilung in der konjugierten Ebene dar, wenn die Fläche S mit der Fokussierungsebene zusammenfällt. Die Kurve P stellt diese Verteilung dar, wenn die Fläche S hinter der Fokussierungsebene liegt, und
die Kurve P stellt diese Verteilung dar, wenn die Fläche S 3
zwischen dem Objektiv und der Fokussierungsebene liegt.
Dieses Ergebnis kann anhand der Fig. 3 und 4, welche die Situationen darstellen, die die Kurven P und P ergeben,
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■ folgendermaßen interpretiert werden:
Die Verteilung der von dem Laser ausgesandten Energie folgt einem im wesentlichen Gauß'schen Gesetz, wobei die Beleuchtung auf der optischen Achse des Bündels auf einer zu dieser optischen Achse senkrechten Geraden maximal ist.
In der Fokussierungsebene dieses Bündels ist die Energieverteilung etwa gleich einer Airy-Verteilung, wobei der zentrale Fleck sehr strahlend ist. Diese Verteilung findet sich wieder in der Erfassungsebene, die zu der Fokussierungsebene mit Bezug auf das Objektiv konjugiert ist.
Wenn sich die reflektierende Fläche S zwischen dem Objektiv und der Fokussierungsebene befindet, folgt die auf der reflektierenden Fläche erhaltene Energieverteilung im Wesentlichen einem Gauß'schen Gesetz, das man in der Erfassungsebene wiederfindet, denn alle an der Fläche S reflektierten Strahlen durchqueren wieder das System, wie Fig. 3 zeigt. Die Energie, die von einem auf die Beugungslinie erster Ordnung in der Erfassungsebene zentrierten Detektor empfangen wird, wenn die reflektierende Fläche mit der Fokussierungsebene zusammenfällt, nimmt somit schnell ab.
Dagegen, wenn die reflektierende Fläche S weiter entfernt liegt als die Fokussierungsebene mit Bezug auf das Objektiv, zeigt Fig. 4, daß allein der zentrale Teil des einfallenden Bündels von der reflektierenden Fläche durch das Objektiv und seine Pupille zurückgeschickt wird (schraffierter Teil in Fig. 4).
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Die Beleuchtungsverteilung in der entsprechenden Nutzfläche der reflektierenden Ebene entspricht dem zentralen Teil eines Gauß* sehen Gesetzes, das mit einer konstanten Amplitudenver— teilung in dieser gesamten Räche und mit einer Amplitudenverteilung von Null außerhalb verglichen werden kann. Die vorherrschende Erscheinung rührt dann von der Beugung durch die Pupille des Objektivs des Rückkehrbündels her. Die in der Fokussierungsebene des" Rückkehrbündels erhaltene Beugungs— figur besteht nach der Fraunhofer* sehen Theorie aus konzentrischen Ringen. Da jedoch die Erfassungsebene nicht mehr mit der Fokussierungsebene des Rückkehrbündels zusammenfällt, nähert sich der der Beugungslinie erster Ordnung entsprechende Ring der mittleren Interferenzlinie. Die von dem Detektor empfangene Beleuchtung, der in fokussierter Position auf die mittlere Interferenzlinie zentriert ist, nimmt schnell ab.
Wenn X die von einem auf die mittlere Interferenzlinie zentrierten Detektor empfangene Beleuchtung ist und wenn die reflektierende Fläche mit der Fokussierungsebene des einfallenden Bündels zusam-· menfällt und wenn Y die von einem auf die Beugungslinie erster Ordnung zentrierten Detektor empfangene Beleuchtung unter denselben Bedingungen ist, hat das Verhältnis X/Y einen bestimmten Wert, wenn die reflektierende Fläche der Fokussierungsebene entspricht, d.h. einen Wert, der zunimmt, wenn die reflektierende Fläche sich unter Annäherung an das Objektiv verschiebt, und der abnimmt, wenn die reflektierende Fläche sich von dem Objektiv entfernt. Diese Ergebnisse sind korrekt in einem Bereich von
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einigen Zehntel Mikrometern vor und hinter der Fokussierungsebene, unter Berücksichtigung der großen numerischen Öffnung des Objektivs. Der Positionierungsspielraum der Erfassungsebene ist aufgrund der linearen Vergrößerung des benutzten Objektivs groß. Für eine Vergrößerung G in der Größenordnung von 1 000 ruft nämlich ein Positionsfehler der Erfassungsebene von 10 cm nur einen Positionierungsfehler der reflektierenden Fläche von 1/10 um hervor.
Die in Fig. .5 dargestellte Einrichtung nutzt dieses Ergebnis aus, um die Verschiebung des Objektivs 3 den Änderungen des Verhältnisses der durch zwei Detektoren empfangenen Beleuchtungen nachzuregeln, von denen der eine auf die mittlere Interferenzlinie und der andere auf die Beugungslinie erster Ordnung zentriert ist und die beide in der konjugierten Ebene der Fokussierungsebene des einfallenden Bündels mit Bezug auf das Objekt liegen.
In Fig. 5 ist allein die Kontrolleinrichtung ohne die in Fig. 1 dargestellte Folgeregeleinrichtung dargestellt worden. In den Fig. 1 und 5 tragen gleiche Teile gleiche Bezugszeichen. Der Laser 1, die halbreflektierende dünne Platte oder Schicht 2, das Objektiv 3 und der Informationsträger 4 sind in der gleichen Weise wie in Fig. 1 angeordnet. Das durch die Fläche S des Informationsträgers 4 reflektierte Bündel wird durch die halbreflektierende Schicht 2 und dann durch einen Spiegel 20 reflektiert. Eine zweite dünne Trennplatte oder Trennschicht 21 teilt das Bündel in zwei Bündel. Ein Detektor 22, der auf die mittlere
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Interferenzlinie zentriert ist, ist in einer Ebene angeordnet, die zu der optischen Achse eines dieser beiden Bündel senkrecht ist, und ein Detektor 23, der auf die Beugungslinie erster Ordnung zentriert ist, ist in einer Ebene angeordnet, die zu der optischen Achse des zweiten Bündels senkrecht ist. Die beiden Detektoren 22 und 23 befinden sich in derselben Entfernung von der Trennschicht 21 und in einer Entfernung voider Trennschicht 2, die gleich dem Abstand des Punktes O, d.h. des virtuellen Objekts, das dem von dem Laser ausgesandten Bündel aufgrund der natürlichen Divergenz dieses Bündels entspricht, von der Trennschicht 2 ist. Die durch diese beiden Detektoren empfangenen Beleuchtungen X und Y werden in elektrische Signale umgewandelt, die an die beiden Eingänge eines Teilers 24 angelegt werden, welcher ein elektrisches Signal liefert, das .zu dem Verhältnis X/Y der Beleuchtung, die durch den auf die mittlere Interferenzlinie zentrierten .Detektor 22 empfangen wird, zu der Beleuchtung, die durch den auf die Beugungslinie erster Ordnung zentrierten Detektor 23 empfangen wird, proportional ist. Der Teiler fuhrt einen derartigen Proportionalitätsfaktor ein, daß, wenn die reflektierende Fläche S des Informationsträgers mit der Fokussierungsebene des einfallenden Bündels zusammenfällt, das das Verhältnis X/Y kennzeichnende Signal einen Bezugswert hat. Dieses Signal ist das Signal zur Steuerung eines Motors 25, der die Verschiebung des Objektivs 3 steuert, indem er es dem Informationsträger 4 nähert, wenn daß das Verhältnis X/V kennzeichnende Signal einen Wert hat» der kleiner als der Bezugswert ist, und indem er es von dem Informationsträger
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entfernt, wenn das Gegenteil der Fall ist.
Diese Fokussierungskontr oll einrichtung ist in ihrer Empfindlichkeit nur durch das durch den Detektor hervorgerufene Rauschen begrenzt.
Die Einrichtung zur Nachregelung der von dem Lager gelieferten Leistung gestattet das Herstellen einer Aufzeichnungseinrichtung, welche die Aufzeichnung in einer Spur mit im wesentlichen konstanter Breite vornimmt. Sie ist nicht auf die beschriebene und dargestellte Ausführungsform beschränkt. Sie kann aus Verstärkern und Teilern bestehen, die in anderer Weise angeordnet sind, vorausgesetzt, daß das erhaltene Fehlersignal für die Änderung der zu der lichtempfindlichen Schicht übertragenen Energie kennzeichnend ist.
Außerdem kann bezüglich der Fokussierungskontrolleinrichtung das zu X/Y proportionale Signal, welches für die Fokussierungsabweichung charakteristisch ist, auch nicht direkt in der Folgeregelschleife des Objektivs benutzt werden, sondern zum Kompensieren der langsamen Driftvorgänge der Folgeregelung, wobei der Fokussierungsbweichungsfühler von anderer Art ist, beispielsweise kapazitiv, und wobei das Steuersignal das Ausgangssignal dieses Abweichungsfühlers ist.
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Claims (7)

  1. Patentansprüche :
    \' 1 .!Optische Einrichtung zur Aufzeichnung von Information auf einer auf einem Träger angebrachten lichtempfindlichen Schicht, mit einer Quelle kohärenter Strahlungsenergie, mit optischen Einrichtungen zur Unterteilung der von der Quelle ausgesandtenStrahlung in ein Referenzbündel und ein zweites Bündel, mit einer optischen Einrichtung zur Fokussierung des zweiten Bündels auf die lichtempfindliche Schicht und mit einer FokussierungskontroUeinrichtung, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur Folgeregelung der Strahlungsenergie, die auf die zeitlichen Änderungen des Reflexionskoeffizienten R(t) des durch die Luft und die lichtempfindliche Schicht gebildeten Brechungssystems anspricht, um die zu der Schicht übertragene Energie konstantzuhalten, mit Einrichtungen zum Messen der Energie des Referenzbündels,die zu der Energie E(t) des zweiten Bündels proportional ist, und der durch das Brechungssystem reflektierten Energie R(t) E(t), durch eine Initialisierungseinrichtung zum Speichern der Signale, die für die Energie Eo des zweiten Bündels und für die in einem als Referenzwert genommenen Zeitpunkt reflektierte Energie RoEo kennzeichnend sind, und durch eine Rechenschaltung, die mit den Ausgängen der Meßeinrichtungen und der Initialisierungseinrichtung verbunden ist und ein Fehlersignal bildet, das an einen Steuereingang osp kohärenten Quelle angelegt wird.
  2. 2. Informationsaufzeichnungseinrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die durch die kohärente Quelle
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    abgestrahlte Energie mit Hilfe des Fehlersignals derart korrigiert wird, daß sie in jedem Zeitpunkt im wesentlichen proportional zu Eo
  3. 3. informationsaufzeichnungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch
    gekennzeichnet, daß die Rechenschaltung ein zu Eo [ - j=rtr; - 1 ]
    1 1 — R(t) /
    proportionales Fehlersignal bildet, wobei die Änderung der durch die kohärente Quelle abgestrahlten Energie in jedem Zeitpunkt zu dem Fehlersignal proportional ist.
  4. 4. Informati onsaufzeichnungseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtungen zwei photoelektrische Wandler sind, von denen der erste auf dem Weg des Referenzbündels angeordnet ist, um die durch das Referenzbündel abgestrahlte Energie aufzufangen, und von denen der zweite auf dem Weg des durch das Brechungssystem reflektierten zweiten Bündels angeordnet ist, um die durch das zweite Bündel abgestrahlte Energie E(t) R(t) aufzufangen.
  5. 5. Informati onsaufzeichnungseinrichtung nach einem der . Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Fokussierungskontrolleinrichtung enthält: einen ersten und einen zweiten photoelektrischen Wandler, deren Empfangsflächen durch die optische Einrichtung mit dem geometrischen Ort der Konvergenz des zweiten Bündels, konjugiert sind, wobei der erste Wandler auf die mittlere Interferenzlinie und der zweite Wandler auf die Beugungslinie erster Ordnung der Beugungsfigur zentriert ist, die sich durch Reflexion
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    — ID —
    eines Teils des auf die lichtempfindliche Schicht fokussierten zweiten Bündels ergibt, und einen Teiler, dessen Eingänge mit den Ausgängen der beiden Wandler verbunden sind, welche ein Signal liefern, das zu dem Verhältnis der durch die beiden Wandler empfangenen Beleuchtungen proportional und für die Fokussierungsabweichung zwischen dem geometrischen Ort der Konvergenz des zweiten Bündels und der Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht kennzeichnend ist.
  6. 6. Informati onsaufzeichnungseinrichtung nach Anspruch
    5, dadurch gekennzeichnet, daß elektrisch gesteuerte Einstellvorrichtungen, die der optischen Einrichtung zugeordnet sind, diese in ihrer optischen Achse verschieben, wobei das von dem Teiler gelieferte Signal an den Steuereingang der Einstellvorrichtungen über eine Folgeregelschleife angelegt wird, welche automatisch die Einstellung regelt.
  7. 7. Informationsaufzeichnungseinrichtung nach Anspruch
    5, dadurch gekennzeichnet, daß Einstellvorrichtungen, die der optischen Einrichtung zugeordnet sind und mittels einer Folgeregelschleife durch das Ausgangssignal eines Fokussierungsabweichungsfühlers gesteuert werden, die Verschiebung der optischen Einrichtung in ihrer optischen Achse vornehmen, wobei das von dem Teiler gelieferte Signal an einen Eingang zur Kompensation der langsamen Driftvorgänge der Folgeregelschleife angelegt wird .
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