DE2535912C3

DE2535912C3 -

Info

Publication number: DE2535912C3
Application number: DE2535912A
Authority: DE
Inventors: Heinrich Dipl.-Ing. 3201 Ahstedt Mushardt; Ernst Dr.-Ing. 2106 Bendestorf Salje; Eugen Dipl.- Ing. 3300 Braunschweig Scherf
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1975-08-12
Filing date: 1975-08-12
Publication date: 1979-12-13
Also published as: US4106333A; GB1540918A; IT1068041B; DE2535912B2; DE2535912A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen, insbesondere von dy^ch ein Schleifwerkzeug bearbeiteten Oberflächen, auf ihre Rauhigkeit, wobei die Oberfläche mittels eines nachgiebig gehaltenen Tastorgans unter linienförmiger Relativbewegung zwischen Tastorgan und Oberfläche abgetastet wird.

Die Rauhigkeit ist ein wichtiges Qualitätsmerkmal geschliffener oder in anderer Weise feinbearbeiteter Werkstücke. Gelingt es, den Verlauf der Rauhigkeit als Funktion der Schleifzeit zu ermitteln, ergeben sich daraus zugleich wichtige Aufschlüsse über den Zustand der Schleifscheibe und die Änderungen dieses Zustandes, so daß auch das Standzeitende festgestellt werden kann. Es ist wünschenswert, die Rauhigkeit jeweils schnell und möglichst sogar während des Bearbeitungsvorganges, namentlich bei einer Schleifoperaiion, zu ermitteln, um dadurch den Ablauf des Bearbeitungsvorganges und das Standzeitverhalten der Schleifscheibe überwachen zu können. Bestehende Meßverfahren lassen dies nicht zu. Bei bekannten Methoden erfolgt die Ermittlung der Rauhigkeit außerhalb der Bearbeitungsmaschine in einer gesonderten Einrichtung. Eine solche weist eine Tastspitze auf, die über die Oberfläche des Prüflings geführt wird und zugeordnete Elemente so beeinflußt, daß das Profil dieser Oberfläche auf einem Aufzeichnungsträger wiedergegeben wird. Bei solchen Einrichtungen wird angestrebt, daß das Tastorgan der Oberflächenkontur einwandfrei folgt, um eine möglichst exakte geometrische Beschreibung der Oberflächentopographie zu erhalten. Das sich dabei ergebende Diagramm muß anschließend ausgewertet werden.

So ist in der Zeitschrift »Fachberichte für Oberflächentechnik« Juli/August 1969, Seite 158, ein Oberflächenmeßgerät erläutert, bei dem ein Diamant von einer Antriebseinheit mit gleichmäßiger Geschwindigkeit über einen Prüfling gezogen wird. Dabei bewirken die Unregelmäßigkeiten der Oberfläche ein Auslenken des über sie gleitenden Diamanten. Ein dadurch beeinflußbarer piezoelektrischer Kristall gibt eine analoge Spannung ab. Dies ist ein nach dem Profil- oder Tastschnitt-Prinzip arbeitendes Gerät. Weitere zu dieser Gattung gehörende Geräte sind in der Zeitschrift »Fachberichte für Oberflächentechnik« Il (1973), H. I₁

S. 20 bis 23, und in den »DJN-MITTEILUNGEN« Bd, 47, November 1968, Heft 11, S, 729 bis 740, beschrieben.

Wenn in Veröffentlichungen über solche Geräte bisweilen von »Schwingungen« gesprochen wird, wie z.B. in der DE-PS 9 29 644, dann ist damit in Wirklichkeit keine Schwingung im exakten Sinne gemeint, sondern vielmehr diejenige Bewegung, die ein Tastorgan ausführen muß, wenn es über Oberflächen-Unregelmäßigkeiten geführt wird, denen es möglichst genau folgen soll. Bei der genannten Veröffentlichung ergibt sich dies aus ihrem gesamten Inhalt, u. a. auch aus der Angabe, daß Spannungsänderungen entstehen, die den Oberflächen-Unregelmäßigkeiten proportional sein sollen. Der Ausdruck »Schwingungen« wird also in unzutreffender Weise für Folgebewegungen bei einem nach dem Profil- oder Tastschnitt-Prinzip arbeitenden Gerät benutzt Tatsächliche Schwingungen werden bei Geräten dieser Gattung als nachteilig angesehen und sollen so weit wie möglich verhindert werden.

Mit der Erfindung soll es nun möglich gemacht werden, in vorteilhafter Weise und ohp.-e großen Zeitaufwand ein Kriterium für die Rauhigkeit von Werkstück-Oberflächen zu gewinnen, so daß sich jeweils schnell und insbesondere sogar während des >5 Bearbeitungsvorganges der Zustand der Werkstückoberfläche hinsichtlich der Rauhigkeit beurteilen läßt und auch Rückschlüsse auf den Zustand eines Bearbeitungswerkzeuges, namentlich einer Schleifscheibe, gezogen werden können. Das Beurteilungskriterium soll nach Möglichkeit geeignet sein, für eine Beeinflussung eines Bearbeitungsvorganges selbst verwendet zu werden. Die Erfindung strebt ferner die Schaffung einer zweckmäßigen und den Bedürfnissen der Praxis besonders gut gerecht werdenden Vorrichtung zur Prüfung der Rauhigkeit einer Oberfläche an. Weitere, mit der Gesamtaufgabe in Verbindung stehenden Probleme, mit denen sich die Erfindung befaßt, ergeben sich aus der jeweiligen Erläuterung aufgezeigter Lösungen.

Die Erfindung sieht vor, daß beim Abtastvorgang an dem Tastorgan oder an mit ihm in Verbindung stehenden Teilen auftretende, von den Unebenheiten der Prüflingsoberfläche angeregten mechanische Eigenschwingungen aufgenommen werden, dabei ein der « Größe der Amplituden dieser Eigenschwingungen wenigstens annähernd entsprechender Wert ermittelt wird und daß dieser Amplitudenwert als Kriterium für die Rauhigkeit der Oberfläche verwendet wird.

Bei der Erfindung wurde erkannt, daß eine Korrela- w tion zwischen den Amplituden von beim Abtastvorgang auftretenden Schwingungen und der Rauhigkeit der abgetasteten Oberfläche besteht. Der Informationsgehalt des ermittelten Amplitudenwertes genügt vollauf, um die Rauhigkeit iiner Oberfläche in einer sehr großen ^r,^r, Zahl von Bedarfsfällen ausreichend beurteilen zu können, so daß dann eine bildliche Wiedergabe des Oberflächenprofils und die zeitraubende Auswertung einer solchen nicht erforderlich ist. Bei ailedem ist das Verfahren auch geeignet, unter Werkstattbedingungen mi und sogar unmittelbar an einer Bearbeitungsmaschine, besonders einer Schleifmaschine, durchgeführt zu werden, so daß es nicht der besonderen Gegebenheiten eines Prüfraumes od. dgl. bedarf.

In der DE-OS 21 38 289 wird zwar vorgeschlagen, die Oberflächen-Rauheit während der Bearbeitung zu messen, jedoch soll die? durch Abtasten der Oberfläche an vielen verschiedenen Einzelounkten nach dem Prinzip der Profilausmessung geschehen.

Bei der Erfindung ist eine Anzeige der Größe der Schwinguogsamplituden grundsätzlich auf verschiedene Weise möglich. Die Erfindung sieht insbesondere vor, daß in Verbindung mit der Aufnahme der mechanischen Schwingungen ein den Amplitudenwert repräsentierendes elektrisches Signal erzeugt wird. Ein solches Signal ist sowohl für eine Anzeige als auch für eine Weiterverarbeitung gut geeignet

Weiterhin sieht die Erfindung vor, daß wenigstens eine eine Bearbeitungsoperation beeinflussende Größe oder Einstellung in Abhängigkeit von der Größe der Schwingungsamplitude oder einem diese repräsentierenden Signal gesteuert oder geregelt wird.

Auf diese Weise kann insbesondere ein Schleifprozeß so gesteuert werden, daß die Werkstückrauhigkeit immer unterhalb eines vorgebbaren größten Wertes bleibt. Es läßt sich sowohl eine Qualitätsüberwachung bei den Werkstücken wie auch eine Überwachung der Schleifscrrfcibenstandzeit erreichen. Aufgrund der jeweiligen Ergebnisse, die während eint.· Bearbeitung oder z. B. sofort im Anschluß an eine solche ei «nittelt werden, kann eine Sortierung der Werkstücke erfolgen. Weiterhin läßt sich beim Erreichen eines vorgegebenen Grenzwertes der Schwingungsamplitude ein Kommando zurr. Abrichten einer Schleifscheibe od. dgl. auslösen.

Die Rauhigkeit einer geschliffenen Oberfläche ist von der Zustellung und der Schneidenraumtopographie der Schleifscheibe abhängig. Wenn letztere sich infolge von Verschleiß verändert, kann ihr Einfluß auf die Rauhigkeit durch die Zustellung kompensiert werden. Auch dies läßt sich in Abhängigkeit von dem jeweils ermittelten Wert durchführen.

Bei einem mehrstufigen Bearbeitungsvorgang sollen während des Schruppens das Werkstückaufmaß abgeschliffen und beim Schichten und Ausfunken die geforderte Werkstückrauhigkeit bei der gewünschten Maßgenauigkeit erzielt werden. Bei der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann durch das Abtasten der Werkstückoberfläche während des Schlichtens gemeldet werden, ob und wann die geforderte Rauhigkeit erreicht ist. Dementsprechend kann der Schlichtprozeß gesteuert werden. Mit weiterführender Datenverarbeitung läßt sich sogar eine Op'imierregelung erzielen.

Eine vorteilhafte Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist ein beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand von einer Halterung getragenes Tastorgan auf und kennzeichnet sich dadurch, daß das Tastorgan oder dessen Träger mit einem an seinem Ausgang elektrische Signale für die Amplitudenwerte der Eigenschwingungen liefernden Aufnehmersystem in Verbindung steht. Es kenn sich dabei insbesondere um fin j. iezoelektrisches Aufnehmersystem oder auch um ein induktives oder kapazitives Aufnehmersystem handeln.

Bekannte Geräte, so nach der DE-OS 21 38 289, der DE-PS 9 29 877 und der GB-PS 5 85 247, weisen zwar piezoelektrische, induktive und kapazitive Einrichtungen auf. Diese dienen dort aber der genauen Profilabtastung. Dagegen handelt es sich bei der Erfindung um Aufnehmersysteme für Ampl'tuJen von Eigenschw ngungen.

Bei einer zweckmäßigen Ausführung der Vorrichtung ist ein Tragorgan ρ η einem Ende mit einer Tastnadel od. dgl. versehen und am anderen Ende in einen Grundkörper elastisch eingebettet sowie über ein Verbindungsglied mit dem Aufnehmersystem gekop-

Insbesondere läßt sich die Ausführung so treffen, daß ein Biegeplättchen aus piezo-keramischem Material im Grundkörper gehalten und im Bereich seines freien Teiles über einen Steg mit dem Tragorgan verbunden ist.

Das vom Aufnehmersystem gelieferte Signal wird zweckmäßig verstärkt und gleichgerichtet und kann, ggfs. über einen Filter, einem Organ zur Abnahme und/oder Anzeige der gelieferten Größe zugeführt werden.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. In der nachfolgenden Beschreibung wird die Erfindung an Hand eines dargestellten Ausführungsbeispieles erläutert. Es zeigt

Fi g. 1 eine grundsätzliche Darstellung einer Vorrichtung nach der Erfindung, teils im Schnitt,

F i g. 2 eine Ausführungsform der Vorrichtung, ebenfalls zum Teil im Schnitt und

F i g. 3 ein Blockschaltbild der Signalverarbeitung.

Wie Fig. I erkennen läßt, ist ein Tragorgan 1. vorteilhaft ein leichtes Metallröhrchen od. dgl., an seinem hinteren Ende in einem Block 2 aus Gummi oder einem anderen elastischen Material eingebettet und dadurch nachgiebig gehalten. Der Gummiblock 2 greift mit einem Ansatz 2a in einen festen Grundkörper 3 ein und ist dadurch an dem letzteren befestigt. Der Grundkörper kann z. B. ein aus Leichtmetall oder Kunststoff hergestelltes Teil mit geeigneter äußerer Form sein. Am vorderen Ende des stab- oder rohrförmigen Tragorgans 1 ist eine Tastnadel 4 angebracht.

Oberhalb des Tragorgans 1 befindet sich ein Biegeplättchen 5 aus piezo-keramischen Material, das mit einem Ende im Grundkörper 3 gehalten ist und zwei Kontakte 6a, 66 mit von diesen abgehenden Leitungen 7a, Tbaufweist. Außerdem ist am Biegeplättchen 5 in der Nähe seines freien Endes ein Steg 8 aus steifem Material befestigt, dessen unteres Ende einen gabelartigen Kopf 8a bildet, der an dem Tragorgan 1 angreif'.. Dieses stegförmige Verbindungsglied kann Schwingungen des Tragorgans 1 auf das Biegeplättchen 5 übertragen. Es

I If! 1 IUt It 3tV.ll IHtI UtI fll3U Ulli till f~\U IlICtIIIIV«! 3TOt^III IUI mechanische Schwingungen, das an seinem Ausgang (Leitungen 7a, Tb) elektrische Signale liefert, die eine relativ hohe Frequenz haben können. Es lassen sich aber auch anders ausgebildete Aufnehmersysteme verwenden, namentlich ein solches nach Art eines Phono-Tonkopfes.

Die gelieferten Signale werden zweckmäßig, wie F i g. 3 zeigt, in einem Verstärker 21 verstärkt, dann einem Gleichricnter 22 zugeleitet und, ggfs. unter Zwischenschaltung eines Filters 23, an einem geeigneten Gerät 24, beispielsweise einem Zeigerinstrument, durch Ziffernröhren oddgL angezeigt In Fig.3 ist strichpunktiert eine unmittelbare Verbindung zwischen dem Gleichrichter 22 und dem Anzeigegerät 24 angedeutet

Die gleitend im Sinne des Pfeiles Fl über die in F i g. 1 durch die strichpunktierte Linie 9 angedeutete Oberfläche eines Prüflings geführte Tastnadel 4 kann in gewissem Maße der Kontur des Prüflings folgen, wird in jedem Fall aber zu Eigenschwingungen angeregt, deren Amplitudengröße ein Kriterium für die Beurteilung der Rauhigkeit der abgetasteten Oberfläche ist Bei gleicher Grundcharakteristik der Oberfläche und gleicher Richtung der Tastbewegung relativ zu den auf dem Prüfling vorhandenen Bearbeitungsriefen ist somit bei einer beliebigen Anzahl von gleichen oder unterschied!!- chen Werkstücken eine schnelle und den Bedürfnissen der Praxis besonders gut gerechtwerdende Beurteilung der Rauhigkeit möglich gemacht worden.

Bei der in Fig. 2 dargestellten Ausführung der

·■> Vorrichtung sind die im Prinzip mit Fig. 1 übereinstimmenden Teile mit denselben Bezugsziffern versehen, so daß insoweit auf die vorausgegangene Erläuterung verwiesen werden kann. Der Grundkörper 3 ist mit dem Tragorgan 1 und dem Aufnehmersystem 5 in einem

ίο dichten Gehäuse 11 untergebracht, das nur an seiner Unterseite eine Durchtrittsöffnung 12 für die Tastnadel 4 aufweist. Beiderseits der Durchtrittsöffnung 12 sitzen am Gehäuse 11 bzw. einer unteren Deckplatte I la desselben zwei Kufen 13, die sich beim Einsatz der Vorrichtung auf die Oberfläche 19 des Prüflings, z. B. eines zylindrischen Werkstückes W, auflegen. Das elastisch gehaltene Tragorgan 1 und das Aufnehmersystem 5 sind derart in das Gehäuse Il eingebaut und darin justiert, daß bei Auflage der Kufen 13 auf der Oberfläche 19 die bis dahin etwas über die Kufen nach unten vorstehende Tastnadel 4 um einen solchen Betrag nach oben zurückweicht, daß eine gewünschte Tastkraft der Tastnadel 4 mit Bezug auf die Oberfläche 19 erreicht wird. Dies läßt sich u. a. durch Wahl eines geeigneten elastischen Körpers 2 (vgl. Fig. 1) und dessen Anbringung erreichen.

De;¹ vom Gehäuse 11 mit den in ihm untergebrachten Teilen »ebildete, insgesamt mit dem Buchstaben M bezeichnete Meßkopf kann mit den Kufen 13 z. B. durch die Kraft einer hier nicht dargestellten, in der Halterung des Meßkopfes vorgesehenen Feder oder durch Eigengewicht an die Werkstück-Oberfläche 19 angelegt sein. Es ist aber auch möglich, auf die Kufen 13 zu verzichten, wenn die Auflagekraft der Tastnadel 4 durch eine definierte Zustellung bezüglich der Werkstück-Oberfläche 19 auf die letztere in vorgegebener Weise eingestellt wird.

Die Tastbewegung beim Prüfvorgang kann entweder vom Werkstück W, z. B. durch Drehung desselben im Sinne des Pfeiles Fl um einen ausreichenden, ggfs. in seiner Größe vorgebbaren Beirag, oder von der Vorrichtung ausgeführt werden.

Ljci uctii Dciapici iiani r ι g. t. i>tiii'njCi StCn äiVi

Meßkopf Mein rohrförmiger Ansatz 14, durch den die Leitungen 7a, 7£> hindurchgeführt sind und der von einem Arm 15 gehalten ist. Dieser Arm 15 kann in nicht besonders wiedergegebener Weise einstellbar bzw. verstellbar an einem Stativ oder der Führung eines Ständers angebracht sein, so daß sich der Meßkopf Min der jeweils gewünschten Weise auf das zu prüfende Werkstück aufsetzen und auch relativ zu Hiesem verschieben läßt, etwa bei den in F i g. 2 gezeigten Gegebenheiten in Achsrichtung des Werkstückes IV, um dieses an verschiedenen Stellen prüfen zu könnea Sowohl für das Aufsetzen als auch für eine Verstellbewegung können entsprechende Vorrichtungen und ggfs. auch motorische Antriebe vorgesehen sein. Ungeachtet der Ausbildung im einzelnen läßt sich die Vorrichtung so ausführen, daß die Tastkraft an der Tastnadel und die Abtastgeschwindigkeit jeweils konstant sind. Es ist aber auch möglich, unterschiedliche Bedingungen durch Eichung zu berücksichtigen.

Der Meßkopf Mläßt sich ohne weiteres so ausbilden, daß empfindliche Teile desselben vor Beschädigungen und Verschmutzungen geschützt sind. Bei Einsatz unter nassen Bedingungen kann die Tastnadel insbesondere durch eine Manschette od. dgl. hindurch aus dem Gehäuse 11 herausgeführt sein, so daß letzteres völlig

abgeschlossen ist. Bei Verwendung feuchtigkcits- oder ölempfindlicher Aufnehmersysteme kann auch eine Membran, die /.. B. das Tragorgan und/oder das Verbindungsglied zum Aufnehmersystem umgibt. Schutz bieten. Rs kann weiterhin auch zweckmäßig sein. Luft durch das Gehäuse des Meßkopfes zu leiten oder eine L.uftdüse vor der Tastnadcl anzuordnen, um dadurch eine schützende Wirkung zu erzielen und einen unerwünschten Eintritt von Schmut/tcilchcn oder flüssigkeit in den Meßkopf zu verhindern.
In F i g, 3, deren Elemente zum Teil weiter oben schon

erläutert wurden, ist mit der Ziffer 25 ein parallel zum Ausgang für das Anzeigegerät 24 liegender Ausgang für ein Amplitudenwertsignal bezeichnet, um anzudeuten, daß dieses Signal noch weiter ausgenutzt werden kann. So läßt sich dasselbe einer Steuer- oder Regeleinrichtung 26 zuführen, um z. B. in Abhängigkeit vom Überschreiten eines an dieser Einrichtung einstellbaren Grenzwerts eine Abrichtvorrichtung 27 einer Schleifmaschine einzuschalten oder um eine Zustelleinrichtung 28 einer Schleifmaschine in vorgebbarer Weise zu beeinflussen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen, insbesondere von durch ein Schleifwerkzeug bearbeiteten Oberflächen, auf ihre Rauhigkeit, wobei die Oberfläche mittels eines nachgiebig gehaltenen Tastorgans unter linienförmiger Relativbewegung zwischen Tastorgan und Oberfläche abgetastet wird, dadurch gekennzeichnet, daß beim Abtastvorgang an dem Tastorgan oder an mit ihm in Verbindung stehenden Teilen auftretende, von den Unebenheiten der Prüflingsoberfläche angeregte mechanische Eigenschwingungen aufgenommen werden, dabei eine der Größe der Amplituden dieser Eigenschwingungen wenigstens annähernd entsprechender Wert ermittelt wird und dieser Amplitudenwert als Kriterium für die Rauhigkeit der Oberfläche verwendet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dsJ3 in Verbindung mit der Aufnahme der mechanischen Eigenschwingungen ein deren Amplitudenwert repräsentierendes elektrisches Signal erzeugt wird.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Eigenschwingungsaufnahme und die Amplitudenwertermittlung während der Bearbeitung des zu prüfenden Werkstückes durchgeführt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine eine Bearbeitungsoperation des Werkstückes beeinflussende Größe oder Einstellung in Abhängigkeit von der Größe des Amplitudenwe:<es oder einem diesen repräsentierenden SignJ gesteuert oder geregelt wird.

5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, mit einem beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand von einer Halterung getragenen Tastorgan, dadurch gekennzeichnet, daß das Tastorgan (4) oder dessen Träger (1) mit einem, an seinem Ausgang elektrische Signale für die Amplitudenwerte der Eigenschwingungen liefernden Aufnehmersystem (5) in Verbindung steht.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein piezoelektrisches Aufnehmersystem (5).

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein induktives Aufnehmersystem.

8. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein kapazitives Aufnehmersystem.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Tragorgan (1) an einem Ende mit einer Tastnadel (4) od. dgl. versehen und am anderen Ende in einem Grundkörper (3) elastisch gehalten ist und über ein Verbindungsglied (8) mit dem Aufnehmet sytem (5) gekoppelt ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch ein Biegeplättchen (5) aus piezo-keramischem Material, das im Grundkörper (3) gehalten und im Bereich seines freien Teiles über einen Steg (8) mit dem Trägorgan (1) verbunden ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 und

10, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragorgan (1) ein leichtes Röhrchen ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis

11, dadurch gekennzeichnet, daß sie in an sich bekannter Weise auf die Oberfläche (9, 19) des Werkstückes (W) aufsetzbare Kufen (13) aufweist, zwischen denen sich das Tastorgan (4) befindet.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufnehmersystem (5) über einen Verstärker (21) mit einem Gleichrichter (22) verbunden ist und ein Organ (24; 25) zur Abnahme und/oder Anzeige der gelieferten Größe vorgesehen ist

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gleichrichter (22) und dem Organ (24; 25) zur Abnahme und/oder Anzeige der gelieferten Größe ein Filter (23) vorgesehen ist

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 14, dadurch gekennzeichnet daß der Träger (1) für das Tastorgan (4) und das Aufnehmersystem (5) einen von einem Gehäuse (U) umschlossenen Meßkopf (Abbilden.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet daß der Meßkopf (M) mit Abdichtungen versehen ist