DE2915229A1 - Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen

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DE2915229A1
DE2915229A1 DE19792915229 DE2915229A DE2915229A1 DE 2915229 A1 DE2915229 A1 DE 2915229A1 DE 19792915229 DE19792915229 DE 19792915229 DE 2915229 A DE2915229 A DE 2915229A DE 2915229 A1 DE2915229 A1 DE 2915229A1
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Ernst Prof Dr Ing Salje
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

  • Verfahren und Vorrichtung zur Rauhigkeitsprüfung
  • von Oberflächen Zusatz zu Patent ..... (Patentanmeldung P 25 35 912.0-52) Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen auf ihre Rauhigkeit, wobei die Oberfläche mittels eines nachgiebig gehaltenen Tastorgans unter linienförmiger Relativbewegung zwischen Tastorgan und Oberfläche abgetastet wird und an dem Tastorgan oder mit ihm in Verbindung stehenden teiles auftretende, von den Unebenhelten der Prüflingsoberfläche angeregte mechanische Eigenschwingungen aufgenommen werden, dabei ein der Größe der Amplituden dieser Eigenschwingungen wenigstens annähernd entsprechender Wert ermittelt wird und dieser Amplitudenwert als Kriterium für die Rauhigkeit der Oberfläche verwendet wird, nach Patent .. .. ... (Patentanmeldung P 25 35 912.0-52).
  • Mit einem solchen Verfahren ist es möglich gemacht worden, in vorteilhafter Weise und ohne großen Zeitaufwand ein Kriterium für die Rauhigkeit von Werkstück-Oberflächen zu gewinnen. Das angewendete Meßprinzip, nämlich die Erfassung von Eigenschwingungen eines Feder-Masse-Systems, die durch stochastische Impulse beim Gleiten des Tastorgans bzw. einer an diesem befindlichen Tastspitze über die zu prüfende Oberfläche angeregt werden, führt zu einer schnellen Information und einer guten Möglichkeit zur Beurteilung der Oberfläche.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, das Verfahren und die Vorrichtung zur Rauhigkeitsprüfung noch weiter zu entwickeln und zu verbessern. Dies gilt in verschiedener Hinsicht.
  • Insbesondere will die Erfindung den Problemen Rechnung tragen, die sich bei Oberflächen mit sehr geringen Rauhigkeiten ergeben. Auch in diesem Fall sollen günstige Bedingungen für die Ermittlung eines Beurteilungs-Kriteriums geschaffen werden. Sowohl in Verbindung damit als auch allgemein strebt die Erfindung ferner an, störende Beeinflussungen des Prüfvorganges weitgehend auszuschalten. Dem kommt bei der Prüfung von Oberflächen mit kleinen Rauhigkeitswerten besondere Bedeutung zu. Weitere Probleme, mit denen sich die Erfindung befaßt, ergeben sich aus der jeweiligen Erläuterung der aufgezeigten Lösung.
  • Die Erfindung sieht vor, daß beim Abtastvorgang eine aus sich überlagernden Relativbewegungen zwischen dem Tastorgan und dem Prüfling resultierende Abtastbewegung erzeugt wird.
  • Ein solches Verfahren ist in mehrfacher Hinsicht von Vorteil.
  • Es läßt sich dadurch auch unter schwierigen Bedingungen ein für die jeweilige Oberfläche repräsentatives Maßsignal erzielen. Weil die Abtastbewegung durch Überlagerung von verschiedenen Einzelbewegungen erzeugt wird, kann die Abtastlinie, d.h. die vom Tastorgan bzw. von einer an diesem befindlichen Tastspitze auf der Prüflingsoberfläche beschriebenen Bahn, entsprechend den jeweiligen Gegebenheiten optimal gewählt werden. Dabei sieht die Erfindung insbesondere vor, daß diese Abtastlinie auf der Oberfläche des Prüflings vorhandene Bearbeitungsspuren kreuzt. Bei solchen Bearbeitungsspuren kann es sich um feine Riefen oder ähnliche Spuren handeln, wie sie beispielsweise beim Schleifen oder beim Honen oder einem anderen spanabhebenden, ggfs. auch spanlosen Bearbeitungsvorgang entstehen.
  • Ein wichtiger Vorteil der Erfindung liegt weiterhin darin, daß sich auch bei Oberflächen mit sehr geringen Rauhigkeiten ein zuverlässiges Meßsignal gewinnen läßt, z.B. dann, wenn die Rauhtiefen-Werte unter 0,5 ym liegen. Dies gilt u..
  • für sehr feine Oberflächenstrukturen, wie sie beispielsweise beim Honen entstehen.
  • Die Erfindung ermöglicht es weiterhin, einen Prüfling mehrfach in demselben Flächenbereich abzutasten oder bei einem drehbaren Prüfling eine zeitlich längere bzw. sogar ständige Abtastung einer Mantelfläche od.dgl. durchzuführen, ohne daß die Gefahr einer Beschädigung der Oberfläche besteht, wie es der Fall wäre, wenn eine Tastnadel ständig auf ein-und derselben Umfangslinie eines Werkstückes laufen würde.
  • Für die Erzeugung der sich aus mehreren Einzeibewegungen zusammensetzenden resultierenden Abtastbewegung bestehen gemäß der Erfindung zahlreiche Möglichkeiten, so daß den unterschiedlichsten Bedarfsfällen Rechnung getragen werden kann. So kann die Abtastbewegung durch Überlagerung wenigstens einer Rotationsbewegung und wenigstens einer Translationsbewegung, durch Überlagerung verschiedener Rotationsbewegungen oder durch Überlagerung verschiedener Translationsbewegungen erzeugt werden. Wenn hier und an anderen Stellen von einer Rotationsbewegung gesprochen wird, so schließt dieser Begriff sowohl eine vollständige Drehbewegung als auch eine nur über einen begrenzten Winkel erfolgende Drehung oder eine Schwenkbewegung ein. Vorteilhaft wird wenigstens eine de sich zur resultierenden Abtastbewegung überlagernden Bewegungen als hin und her gehende bzw. oszillierende Bewegung ausgeführt. Jede der erzeugten Bewegungen kann stetig oder absatzweise erfolgen.
  • Die sich überlagernden Relativbewegungen können ausschließlich dem Prufling oder ausschließlich dem Tastorgan erteilt werden, wobei der jeweilige andere Teil feststehend oder einstellbar gehalten sein kann. Die Einzelbewegungen lassen sich aber vorteilhaft auch teils dem Prüfling und teils dem Tastorgan zuordnen. Es können dadurch spezielle Erfordernisse unter Berücksichtigung der Gegebenheiten des jeweiligen Falles erfüllt werden. In vielen Fällen ist es günstig, dem Prüfling eine Hauptbewegung und dem Tastorgan eine Zusatzbewegung zu erteilen. Die Abtastbewegungen können z.B. entlang Kreisen, Schraubenlinien, Spiralen oder Geraden erfolgen. Je nach den Gegebenheiten kann eine der vielen grundsätzlich möglichen Abtastlinien im Vergleich zu anderen besonders günstig sein. In allen Fällen läßt sich erreichen, daß sich die Abtastrichtung mit der Richtung vorhandener Riefen oder Bearbeitungsspuren kreuzt, und generell, daß die Abtastlinien auf einem Prüfling zueinander versetzt liegen und keine Beschädigungen der Oberfläche auftreten können, die Intensität der Anregung des schwingungsfähigen Abtastsystems jedoch zunimmt.
  • Bei einer sehr vorteilhaften Ausführungsweise des Verfahrens wird der Prüfling während eines Bearbeitungsvorganges abgetastet und es wird dabei eine Vorschubbewegung des Prüflings gleichzeitig als eine der sich zur resultierenden Abtastbewegung überlagernden Relativbewegungen ausgenutzt. Bei einem rotationssymmetrischen Werkstück kommt hierfür insbesondere eine Drehbewegung desselben in Betracht, während bei einem Werkstück anderer Form, z.B.
  • einem blockartigen Körper mit ebener Oberfläche eine Translationsbewegung günstig ist.
  • Gegenstand der Erfindung ist weiterhin eine Vorrichtung zum Prüfen von Oberflächen auf ihre Rauhigkeit, mit eic nem Tastkopf, der ein beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand gehaltenes Tastorgan, zweckmäßig mit einer daran befindlichen Nadel, Tastspitze od.dgl., und ein Aufnehmersystem für Eigenschwingungen eines mit dem Tastorgan in Verbindung stehenden oder dieses enthaltenden schwingungsfähigen Systems aufweist, und die sich dadurch kennzeichnet, daß der Tastkopf relativ zu einer ihn tragenden oder stützenden Halterung mittels Antriebs, insbesondere motorischen Antriebs, auf einer vorgegebenen Bahn geführt bewegbar ist. Für die Ausbildung von Führungsmitteln für die Bewegung bestehen verschiedene Möglichkeiten.
  • So lassen sich eine oder mehrere von relativ zueinander verschiebbaren Teilen gebildete Führungen vorsehen. Eine besonders vorteilhafte Ausführung kennzeichnet sich durch eine von Federn gebildete Parallelführung für den Tastkopf.
  • Eine den Tastkopf tragende oder stützende Halterung ist zweckmäßig als relativ zu einem Basiskörper, Gerätegestell od.dgl. verstellbarer Support od.dgl. ausgebildet.
  • Der Tastkopf oder ein ihn haltender Teil kann mittels elastisch aus einer Mittelstellung oder Grundposition auslenkbarer Elemente, namentlich Blattfedern od.dgl., gehalten oder aufgehängt sein. Hierdurch wird auf einfache und den Abtastvorgang nicht beeinflussende Weise ein Ausgleich von etwaigen Maß- oder Formfehlern des Prüflings erreicht.
  • Gegenstand der Erfindung ist weiterhin eine Vorrichtung zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen auf ihre Rauhigkeit mit einem Tastkopf, der ein beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand gehaltenes Tastorgan, insbesondere mit einer Tastspitze, Tastnadel od.dgl., und ein Aufnehmersystem für Eigenschwingungen eines mit dem Tastorgan in Verbindung stehenden oder dieses enthaltenden schwingungsfähigen Systems aufweist. Dabei sieht die Erfindung vor, daß zwischen dem Tastkopf bzw. einem mit ihm verbundenen Teil und einem oder mehreren Halte- oder Führungsteilen wenigstens eine schwingungsdämmende und/oder -dämpfende Anordnung angebracht ist. Vorteilhaft ist eine solche Anordnung weiterhin zwischen dem Tastkopf bzw. einem Gehäuse desselben und zur Anlage am Prüfling bestimmten Kufen vorhanden. Auch wird eine solche Anordnung zweckmäßig zwischen dem Tastkopf bzw. einem mit ihm verbundenen Teil und einem Antrieb zum Bewegen des Tastkopfes vorgesehen.
  • Durch solche Maßnahmen können in einfacher und wirksamer Weise störende Einflüsse ausgeschaltet werden. Dies gilt u.a. dann, wenn die Oberflächenprüfung während der Bearbeitung in einer Werkzeugmaschine, z.B. Schleif- oder Honmaschine oder einer Feindrehmaschine, erfolgt und Schwingungen durch den Arbeitsablauf zu erwarten sind.
  • Von besonderem Wert ist die Maßnahme in allen denjenigen Fällen, in denen es sich um die Prüfung von Oberflächen mit geringen Rauhigkeiten handelt.
  • Die an den jeweiligen Stellen der Vorrichtung vorgesehene schwingungsdämmende und/oder -dämpfende Anordnung wird mit besonderem Vorteil so gestaltet, daß sie wenigstens eine Schicht aus viskoelastischem Material enthält oder durch eine solche gebildet wird. Bei einer Schwingungsbeanspruchung treten in einer solchen Schicht durch Relativbewegungen der sie einschließenden benachbarten Teile Schubspannungen auf, die eine hohe Dämpfungswirkung zur Folge haben. Zugleich wird durch den jeweils beim Übergang von einem Material zum anderen vorhandenen "Sprung" in den Werkstoffeigenschaften, besonders hinsichtlich des Eiastizitätsmoduls, eine Dämmung erzielt.
  • Eine Schwingungsisolierung des Tastkopfes bzw. des Meßsystems und damit in Verbindung stehender Teile gegenüber der Umwelt kann weiterhin auch durch seismische Aufhängung erreicht werden.
  • Im elektrischen Teil der Vorrichtung lassen sich angepaßte Filter zur Störungsunterdrückung vorsehen. Dies kann auch zusätzlich zu schwingungsdämpfenden bzw. schwingungstilgenden bzw. schwingungsisolierenden Konstruktionselementen im mechanischen Teil der Vorrichtung der Fall sein.
  • Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Erläuterung von Ausführungsbeispielen, aus der zugehörigen Zeichnung sowie aus den Ansprüchen. Es zeigen: Fig. 1 eine Ausführungsform einer Vorrichtung in teils schematischer perspektivischer Ansicht, Fig. 2 einen Tastkopf bei einer abgewandelten Ausführung in Seitenansicht bzw. einem Schnitt nach der Linie II - II in Fig. 3, Fig. 3 eine Vorderansicht des Tastkopfes nach Fig. 2 und Fig. 4 bis 9 verschiedene Ausführungsweisen der Abtastung von Oberflächen.
  • Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung enthält einen Tastkopf 1, dessen Gehäuse auf der Vorderseite mit zwei zur Auflage auf der Oberfläche eines Prüflings, z.B. eines zylindrischen Werkstückes W, bestimmten Kufen 2 versehen ist und eine öffnung 5 für den Durchtritt einer an einem Tastorgan 3 befindlichen Tastspitze 4 aufweist. Der Tastkopf 1 kann im Prinzip ebenso oder ähnlich aufgebaut sein, wie es dir Fig. 2 und 3 bei einer im übrigen abgewandelten Ausführung zeigen.
  • Dort ist die Tastspitze 4 am Ende einer das Tastorgan bildenden, am oberen Ende mittels einer Schraube 6 an einem Gehäuseteil 7 befestigten Blattfeder 3 angebracht. Diese steht über einen Steg 8 mit einem eine physikalische Masse 9 bildenden Gewicht od.dgl. in Verbindung, das sich ant freien Ende einer im Tastkopf 1' fest eingespannten Biegefeder befindet. Der z.B. durch einen gebogenen Stahlstreifen gebildete Steg 8 ist infolge seines Werkstoffes und/oder seiner Formgebung bei genügender Nachgiebigkeit zur Übertragung von Erregerkräften geeignet, d.h. er weist solche Eigenschaften auf, daß er beim Gleiten der Tastspitze 4 über eine rauhe Oberfläche dabei auftretende stochastische, stoßartige Impulse derart auf das die Masse 9 und die Biegefeder 10 enthaltende schwingungsfähige System überträgt, daß dieses zu Eigenschwingungen angeregt wird, also zu Schwingungen mit einer dem System eigenen Frequenz. Der Steg 8 und das Tastorgan 3 können ebenfalls Teile des schwingungsfähigen Systems bilden. Die Größe der Amplituden der Eigenschwingungen ist ein Kriterium für die Rauhigkeit der abgetasteten Oberfläche. Die Größe der Amplituden wird durch ein geeignetes Aufnahmeisystem erfaßt, wozu verschiedene Möglichkeiten bestehen. Bei dem dargestellen Ausführngsbeispiel bildet die Biegefeder selbst ein Aufnefimersystem. Sie ist zu diesem Zweck als Piezoelement ausgebildet. In Fig. 2 sind beiderseits an diesem Element angebrachte Kontakte 11, 12 schematisch angedeutet. Mit der Ziffer 13 ist die elektrische Leitung bezeichnet, über welche die Meßsignale einem sie weiter verarbeitenden und/oder anzeigenden Gerät zugeführt werden, das nicht dargestellt ist. Darin kann insbesondere auch ein geeignetes elektrisches Filter vorgesehen sein, das unerwünschte Störsignale unterdrückt.
  • Bei der Ausführung nach Fig. 1 befindet sich der Tastkopf 1, dessen elektrischer Anschluß der Übersichtlichkeit halber hier nicht eingezeichnet ist, an einem Tragbalken 14, dessen Enden über zwei parallele Blattfedern 15, 16 mit einer als Support 17 ausgebildeten Halterung verbunden ist, derart, daß sich eine Parallelführung für den Tragbalken 14 mit dem Tastkopf 1 ergibt. Der Support 17 ist mittels nicht gezeigter Antriebselemente, z.B. einer Gewindespindel mit Handrad, relativ zu einem feststehenden Basiskörper 19, etwa einer von einem Ständer 20 od.dgl. vorstehenden Konsole, verschiebbar. Mit der Ziffer 18 ist eine Schwalbenschwanzführung für diese Bewegung bezeichnet. Dadurch kann der Tastkopf 1 an ein zu prüfendes Werkstück W angestellt werden, um die Tastspitze 4 auf dessen Oberfläche aufzusetzen und auch die Kufen 2 zur Anlage an der Oberfläche zu bringen.
  • Die Kraft, mit der die Tastspitze 4 an die Oberfläche angedrückt wird, hängt einerseits von der Steifigkeit einer auf das Tastorgan wirkenden Feder bzw. der selbst das Tastorgan 3 bildenden Feder (Fig. 2) und andererseits von dem Betrag ab, um den die Tastspitze 4 im Ruhezustand über die Vorderseite der Kufen 2 vorsteht (Fig. 2).
  • Der abzutastende Prüfling, so z.B. das zylindrische Werkstück W gemäß Fig. 1, kann von einem Gestell oder einem sonstigen Teil der Prüfvorrichtung gehalten sein, z.B. in einem Prisma, mit Hilfe von Spannfuttern oder auf andere geeignete Weise. Er läßt sich beim Abtastvorgang von Hand oder mittels eines motorischen Antriebs im Sinne des Pfeiles R1 drehen. Eine solche Drehbewegung kann insbesondere eine Bewegung sein, die dem Prüfling während der Bearbeitung auf einer Werkzeugmaschine erteilt wird, z.B. beim Außenrundschleifen. Die in Fig. 1 strichpunktiert angedeuteten Elemente 21 sollen ungeachtet der Ausbildung im einzelnen generell eine Halterung mit Drehmöglichkeit für den Prüfling veranschaulichen. Für das Werkstück kann im übrigen auch eine Bewegungsmöglichkeit in Richtung des Pfeiles Q vorhanden sein, ggfs. auch eine Schwenkbarkeit, namentlich um eine vertikale Achse.
  • Einer Drehbewegung des Werkstückes W wird während des Abtastvorganges bei der Ausführung nach Fig. 1 eine hin und her gehende Translationsbewegung des Tastkopfes 1 mit dem Tastorgan 3 im Sinne des Pfeiles T1 überlagert. Die Bewegung wird durch einen Getriebemotor 22, z.B. einen Elektromotor oder einen Druckmittelmotor, erzeugt, der auf einer vom Support 19 getragenen Platte 23 befestigt ist und über einen Kurbeltrieb 24 mit Schubstange 25 und Zapfen 26 mit dem Tragbalken 14 für den Tastkopt 1 in antreibender Verbindung steht. Die Führung bei dieser Bewegung geschieht durch die parallelen Blattfedern 15, 16.
  • Die Schubstange 25 ist aus zwei Teilen 25a und 25b zusammengefügt, wobei zwischen denselben an schräg verlaufenden Flächen eine Schicht 27 aus viskoelastischem Material vorgesehen ist, insbesondere aus einem geeigneten Kunststoff, der zugleich einen Kleber bildet. Dadurch wird eine Dämmung und Dämpfung von antriebsseitig entstehenden Schwingungen und Erschütterungen erreicht, so daß diese vom Tragbalken 14 ferngehalten werden. Vorteilhaft sind auch zwischen den unteren Enden der Blattfedern 15, 16 und dem Tragbalken 14 solche schwingungsdämmenden und/oder -dämpfenden Anordnungen 28 vorgesehen, die eine oder mehrere viskoelastische Schichten enthalten können. Die oberen Enden der Blattfedern 15, 16 sind bei der gezeigten Ausführung mit Nieten oder Schrauben 29 am Support 17 befestigt. Auch hier können schwingungsisolierende Maßnahmen getroffen sein.
  • Des weiteren ist eine schwingungsdämmende und/oder -dämpfende Anordnung 30 der erläuterten oder ähnlicher Art zwischen dem Tragbalken 14 und dem Tastkopf 1 vorhanden. Durch solche Maßnahmen wird eine Beeinträchtigung des Prüfvorganges durch äußere Störeinflüsse in einfacher und zuverlässiger Weise vermieden. Dies ist von besonderer Bedeutung bei der Beurteilung von Oberflächen mit geringer Rauhigkeit und bei Durchführung der Prüfung während eines Bearbeitungsvorganges.
  • Wenn die Vorrichtung wie bei den gezeigten Ausführungsbeispielen mit Kufen 2 versehen ist, die auf der Oberfläche des Prüflings gleiten, dann lassen sich vorteilhaft auch diese Kufen gegenüber dem Tastkopf bzw. dem Gehäuse desselben schwingungsisoliert anbringen. So zeigt Fig. 2 eine entsprechende Anordnung 31 mit einer oder mehreren viskoelastischen Schichten zwischen der betreffenden Kufe 2 und dem zugehörigen tragenden Gehäuseteil 7a.
  • Bei der Ausführung nach den Fig. 2 und 3 ist der Tastkopf 1' mittels zweier paralleler Blattfedern 32, 33 an einem Querstück 34 aufgehängt. Die Blattfedern 32, 33 halten den Tastkopf 1' normalerweise in der wiedergegebenen Position, ermöglichen aber ein Ausweichen in Richtung des Pfeiles 35, d.h. lotrecht zu einer abzutastenden Oberfläche. Dies ist u.a. zum Ausgleich von Maß- und Formfehlern bzw. bei unebener Oberfläche eines Prüflings von Vorteil.
  • Der in Fig. 2 mit der Ziffer 36 bezeichnete Teil ist ein den Tastkopf haltendes oder tragendes Element, dessen Ausbildung und Anordnung sich nach den jeweiligen Erfordernissen richtet. Es kann sich dabei z.B. um einen dem Tragbalken 14 der Ausführung nach Fig. 1 oder dem Support 17 entsprechenden Teil handeln oder auch um ein fest stehendes Element der Vorrichtung. Wie Fig. 2 veranschaulicht, ist vorteilhaft zwischen diesem Halterungsteil 36 und dem Querstück 34, an dem die Blattfedern 32, 33 angeschraubt sind, eine schwingungsdämmende und/oder -dämpfende Anordnung 37 vorgesehen, welche zugleich die Verbindung zwischen den Teilen übernimmt. Mit der Ziffer 38 ist dabei eine viskoelastische Schicht zwischen zwei an den benachbarten Teilen befestigten Platten 39 bezeichnet, die bei Schubspanm mgsbeanspruchung infolge auftretender Schwingungen oder Erschütterungen eine hohe Dämpfungswirkung hat. Es können auch mehrere viskoelastische Schichten mit jeweils benachbarten bzw. dazwischenliegenden Platten oder Schichten aus Metall oder einem anderen Werkstoff vorgesehen sein. Für die anderen erläuterten Anordnungen zur Schwingungsminderung gilt dies entsprechend.
  • In den Fig. 4 bis 9 sind verschiedene Beispiele für die Erzeugung einer aus mehreren Einzelbewegungen resultierenden Abtastbewegung dargestellt, wobei jeweils durch die Linien B auf den Oberflächen der Prüflinge vorhandene Riefen, Bearbeitungsspuren od.dgl. angedeutet sind.
  • In Fig. 4 handelt es sich um einen zylindrischen Prüfling W1, insbesondere um ein in der Bearbeitung befindliches Werkstück, dem eine Drehbewegung im Sinne des Pfeiles R1 erteilt wird. Dieser Drehung überlagert sich eine hin und her gehende oder oszillierende Translationsbewegung des Tastorgans 3 im Sinne des Pfeiles T1, so daß die Oberfläche entlang einer Sinuslinie L1 abgetastet wird. Der Abtastvorgang kann dem in Verbindung mit der Vorrichtung nach Fig.1 erläuterten Vorgang entsprechen. Die Translationsbewegung kann statt vom Tastorgan 3 auch vom Werkstück W1 ausgeführt werden, wie durch einen Pfeil T1' angedeutet ist.
  • Gemäß Fig. 5 wird ein kegelstumpfförmiges Werkstück W2, das eine Drehung im Sinne des Pfeiles R1 ausführt, vom Tastorgan 3 mit einer parallel zur Begrenzung der Mantelfläche erfolgenden hin und her gehenden Translationsbewegung im Sinne des Pfeiles T2 abgetastet, wobei sich eine kurvenförmige Abtastlinie L2 ergibt.
  • Fig. 6 veranschaulicht die Prüfung bei einem im Sinne des Pfeiles R1 gedrehten tonnenförmigen Körper W3, wobei das Tastorgan 3 eine schwenkende Bewegung im Sinne des Pfeiles R2 auf einer parallel zur Kontur des PrSiflings verlaufenden Bahn ausführt, so daß sich eine Tastlinie L3 ergibt.
  • In Fig. 7 sind verschiedene Möglichkeiten zur Prüfung der Seiten- oder Planfläche P eines z.B. zylindrischen Werkstückes W4 gezeigt, etwa eines Werkstückes der in Fig.1 oder in Fig. 4 wiedergegebenen Art. Diesem wird eine Drehbewegung im Sinne des Pfeiles R3 erteilt. Das Tastorgan 3 kann eine radiale Bewegung im Sinne des Pfeiles T3 in einer zur Achse der Rotationsbewegung R3 lotrechten Ebene erhalten, wobei sich eine spiralförmige Abtastlinie L4 ergibt.
  • Das Tastorgan 3 kann aber auch im Sinne des Pfeiles T4 bewegt werden, wobei eine Abtastlinie entsprechend einer Sekante auf der Planfläche P entsteht, oder das Tastorgan 3 kann im Sinne des Pfeiles R4 rotatorisch bewegt bzw. geschwenkt werden.
  • Bei dem in Fig. 8 gezeigten Abtastvorgang überlagert sich eine Translationsbewegung T5 eines z.B. auf dem Tisch einer Flachschleifmaschine aufgespannten Werkstückes WS einer Translationsbewegung des Tastorgans 3 im Sinne des Pfeiles T6 zu einer geraden Abtastlinie L5. Statt des Werkstückes kann das Tastorgan auch die zweite Translationsbewegung im Sinne des Pfeiles T7 ausführen.
  • Fig. 9 veranschaulicht bei einem translatorisch im Sinne des Pfeiles T5 bewegten Prüfling W6 eine hin und her gehende Schwenkbewegung des Tastorgans 3 im Sinne des Pfeiles R5, was zu einer sinusförmigen Abtastlinie L6 führt. Das Tastorgan 3 kann anstelle des Prüflings auch die Translationsbewegung im Sinne des Pfeiles T7 ausführen.
  • Bei allen angegebenen Beispielen kreuzen die Abtastlinien die Bearbeitungsspuren B. Dies ist in mehrfacher Hinsicht besonders günstig, u.a. bezüglich der Anregung der Eigenschwingungen des schwingungsfähigen Systems im Tastkopf, namentlich bei feinen Oberflächen mit geringen Rauhigkeiten.
  • Statt einer hin und her gehenden Schwenkbewegung kann ggfs.
  • auch eine vollständige Kreisbewegung erfolgen. Je nach dem Bedarfsfall können die betreffenden Bewegungen kontinuierlich oder absatzweise ausgeführt werden. Alle Erläuterungen gelten sinngemäß und entsprechend auch für die Prüfung von innerhalb eines Prüflings liegenden Flächen, beispielsweise bei Bohrungen.
  • Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten bzw. in der Zeichnung dargestellten Merkmale sollen, sofern der bekannte Stand der Technik es zuläßt, für sich allein oder auch in Kombinationen als unter die Erfindung fallend angesehen werden.
  • L e e r s e i t e

Claims (23)

  1. Patentansprüche Verfahren zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen auf ihre Rauhigkeit, wobei die Oberfläche mittels eines nachgiebig gehaltenen Tastorgans unter linienförmiger Relativbewegung zwischen Tastorgan und Oberfläche abgetastet wird und an dem Tastorgan oder mit ihm in Verbindung stehenden Teilen auftretende, von den Unebenheiten der Prüflingsoberfläche angeregte mechanische Eigenschwinungen aufgenommen werden, dabei ein der Größe der Amplituden dieser Eigenschwingungen wenigstens annähernd entsprechender Wert ermittelt wird und dieser Amplitudenwert als Kriterium für die Rauhigkeit der Oberfläche verwendet wird, nach Patent ..
    (Patentanmeldung P 25 35 912.0-52), dadurch gekennzeiehnet, daß beim Abtastvorgang eine aus sich überlagernden Relativbewegungen zwischen dem Tastorgan und dem Prüfling resultierende Abtastbewegung erzeugt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbewegung durch Überlagerung wenigstens einer Rotationsbewegung und wenigstens einer Translationsbewegung erzeugt wird.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbewegung durch Überlagerung verschiedener Rotationsbewegungen erzeugt wird.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbewegung durch Überlagerung verschiedener Translationsbewegungen erzeugt wird.
  5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß dem Prüfling zwei verschiedene Bewegungen relativ zum Tastorgan erteilt werden.
  6. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß dem Tastorgan zwei verschiedene Bewegungen relativ zum Prüfling erteilt werden.
  7. 7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem Prüfling eine Rotationsbewegung und dem Tastorgan eine im wesentlichen parallel zur Mantelflache des Prüflings gerichtete Translationsbewegung erteilt wird.
  8. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß dem Prüfling eine Rotationsbewegung und dem Tastorgan eine Bewegung in einer zur Achse der Rotationsbewegung des Prüflings im wesentlichen lotrechten Ebene erteilt wird.
  9. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der sich zur resultierenden Abtastbewegung überlagernden Bewegungen als hin und her gehende Bewegung ausgeführt wird.
  10. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine auf der Oberfläche des Prüflings vorhandene Bearbeitungs spuren kreuzende Abtastbewegung erzeugt wird.
  11. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfling während eines Bearbeitungsvorganges abgetastet wird und dabei eine Vorschubbewegung des Prüflings als eine der sich zur resultierenden Abtastbewegung überlagernden Relativbewegungen verwendet wird.
  12. 12. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 11, mit einem Tastkopf, der ein beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand gehaltenes Tastorgan und ein Aufnehmer system für Eigenschwingungen eines mit dem Tastorgan in Verbindung stehenden oder dieses enthaltenden schwingungsfähigen Systems aufweist, und mit einer Halterung für den Tastkopf, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf (1) relativ zur Halterung mittels Antriebs auf einer vorgegebenen Bahn (T1, T2, T3, T4, T6, T7, R2, R4, R5) geführt bewegbar ist.
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch eine von Federn (15, 16) gebildete Parallelführung für den Tastkopf (1).
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch eine von relativ zueinander verschiebbaren Teilen (17, 19) gebildete Führung für den Tastkopf (1).
  15. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf (1) mittels eines Kurbeltriebs (24) bewegbar ist.
  16. 16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, gekennzeichnet durch einen motorischen Antrieb (22) für die Bewegung des Tastkopfes (1).
  17. 17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf (1) von einem relativ zu einem Basiskörper (19) verstellbaren Support (17) getragen ist.
  18. 18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Tastkopf (1') oder ein ihn haltender Teil an elastisch aus einer Grundposition auslenkbaren Elementen (32, 33) angebracht ist.
  19. 19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß sie einer Bearbeitungsmaschine zugeordnet ist, mittels derer einem Prüfling (W) eine für den Abtastvorgang ausnutzbare Bewegung erteilbar ist.
  20. 20. Vorrichtung zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen auf ihre Rauhigkeit mit einem Tastkopf, der ein beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand gehaltenes Tastorgan und ein Aufnehmersystem für Eigenschwingungen eines mit dem Tastorgan in Verbindung stehenden oder dieses enthaltenden schwingungsfähigen Systems aufweist, insbesondere nach einem der Ansprüche 12 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Tastkopf (1; 1') bzw. einem mit ihm verbundenen Teil (14; 34) und einem oder mehreren Halte- oder Führungsteilen (15, 16; 36) wenigstens eine schwingungsdämmende und/oder -dämpfende Anordnung (30; 28; 37) vorgesehen ist.
  21. 21, Vorrichtung nach Anspruch 20, wobei am Tastkopf zur Anlage am Prüfling bestimmte Kufen vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Kufen (2) und dem Tastkopf (1) bzw. einem Gehäuse (7, 7a) desselben schwingungsdämmende und/oder -dämpfende Anordnungen (31) vorgesehen sind.
  22. 22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 und 21, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Tastkopf (1) bzw.
    einem mit ihm verbundenen Teil (14) und einem Antrieb (22) zum Bewegen des Tastkopfes (1) wenigstens eine schwingungsdämmende undZoder -dämpfende Anordnung (27) vorgesehen ist.
  23. 23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die schwingungsdämmende und/oder -dämpfende Anordnung (27; 28; 30; 31; 37) wenigstens ei ne Schicht (38) aus viskoelastischem Material enthält oder durch eine solche gebildet wird.
DE19792915229 1979-04-14 1979-04-14 Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen Withdrawn DE2915229A1 (de)

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