DD259056A5 - Einrichtung zum abtasten der oberflaeche eines gegenstandes - Google Patents

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DD259056A5 DD87300116A DD30011687A DD259056A5 DD 259056 A5 DD259056 A5 DD 259056A5 DD 87300116 A DD87300116 A DD 87300116A DD 30011687 A DD30011687 A DD 30011687A DD 259056 A5 DD259056 A5 DD 259056A5
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Abstract

Bei der erfindungsgemaessen Einrichtung ist der Messwertgeber oder -wandler (22) an einen Staender (14 bis 18) montiert, der an einem Aufbaurahmen von einem ersten Satz von Vibrationsdaempfern oder -absorbern (10) getragen wird, wobei der Aufbaurahmen (2) auf dem Boden durch einen zweiten Satz von Vibrationsdaempfern oder -absorbern (6) montiert ist. Die beiden Saetze Vibrationsdaempfer oder -absorber (10, 6) haben unterschiedliche Eigenfrequenzen, und der erste Absorbersatz (10) ist so angeordnet, dass alle Vibrationen des Staenders bestrebt sind, in der Operationszone (21) des Messwertgebers oder Messwertwandlers aus allen vier Richtungen in einem Punkt zusammenzulaufen. Dies wird dadurch erreicht, dass die Steifigkeit der Absorber des ersten Satzes (10) in der Richtung (24) durch die Operationszone (21) hindurch groesser ist als in der Querrichtung der Absorber. Fig. 1

Description

Hierzu 5 Seiten Zeichnungen
Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Abtasten der Oberfläche eines Gegenstandes, die insbesondere für Meßgeräte wie beispielsweise Drehtische, Winkelmeßsysteme und Geräte für die Messung von Profilfehlern einschließlich der Rundheit, Geradheit und der Oberflächenfeinstruktur anwendbar ist.
Charakteristik des bekannten Standes der Technik
Bei der Herstellung von Präzisionsbauteilen ist es erforderlich, deren Kennwerte wie beispielsweise ihre Rundheit oder Oberflächenfeinstruktur zu messen. In der Vergangenheit mußten die Bauteile aus der Produktionslinie des Betriebes herausgenommen und für die Messung in einen speziellen Meßraum gebracht werden, der verschiedene Meßapparaturen enthielt und sich an einer Stelle befand, wo die Bodenvibrationen minimal waren. Dadurch wurde vermieden, daß die Messungen durch äußere Vibrationen beeinflußt wurden. Dies war in der Vergangenheit mit beträchtlichen Mühen verbunden, da das zu testende Bauteil in den Meßraum gebracht werden mußte. Es besteht deshalb die Notwendigkeit, ein Meßgerät zu schaffen, das gegen Bodenvibrationen hinreichend unempfindlich ist, so daß es in der Nähe einer Produktionslinie aufgestellt werden kann. Ein ähnlicher Bedarf kann auch für andere Anwendungsfälle bestehen, wie beispielsweise bei jedem Hochpräzisionsapparat, bei dem jener auszuführende Vorgang — ganz gleich ob es sich z. B. um einen Meß- oder Beobachtungsoder um einen maschinellen Bearbeitungsvorgang handelt — durch äußere Vibrationen beeinträchtigt wird.
Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung besteht darin, sowohl die Arbeitsproduktivität bei der Messung von Präzisionsbauteilen, als auch die Meßgenauigkeit zu erhöhen.
Darlegung des Wesens der Erfindung ·
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zum Abtasten der Oberfläche eines Gegenstandes mit einer verbesserten Vibrationsdämpfung oder Vibrationsabsorption zu schaffen, die auf einer Auflage mit Bodenvibration, beispielsweise dem Fußboden, montiert werden kann und bei der die Vibrationsdämpfer so angeordnet sind, daß die Vibrationsenergie in erster Linie in jeder Richtung verbraucht bzw. abgebaut wird, in der die Wirkung der Vibration auf den zur Abtastung verwendeten Meßwertgeber zumindest genug oder vorzugsweise minimal ist.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die Vibrationsabsorber in einer ersten Richtung eine höhere Steifigkeit als in einer zweiten Richtung quer zur ersten Richtung aufweisen und so angeordnet sind, daß die erste Richtung durch die ,Operationszone hindurchgeht.
Die erfindunungsgemäße Einrichtung zeichnet sich weiter dadurch aus, daß ein Drehtisch, der für die Aufnahme des zu prüfenden Gegenstandes bestimmt ist, auf einem Untergestell montiert ist und daß der Stützarm in der Vertikalen und Horizontalen bewegbar ist. Dabei ist die Operationszone im wesentlichen plan oder hat eine räumliche Ausdehnung. Die erste Vibrationsabsorptionsvorrichtung umfaßt gemäß der Erfindung eine Vielzahl von gesonderten Vibrationsabsorbern, wobei · diese einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen und die erste Richtung die axiale Richtung ist. Es ist aber auch möglich, daß die einzelnen Vibrationsabsorber kegelstumpfförmig ausgebildet sind und vorzugsweise ein Dämpfungskissen aus Natur- oder Synthesegummi aufweisen. Eine besonders vorteilhafte Lösung besteht darin, daß sich die ersten Richtungen der . Vibrationsabsorber in der Operationszone, vorzugsweise in einem einzigen Punkt schneiden, wobei dieser Punkt vorzugsweise im Zentrum der Operationszone liegt.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform besteht darin, daß sich die ersten Richtungen der ersten Gruppe von Vibrationsabsorbern in einem ersten Punkt schneiden, und sich die ersten Richtungen einer zweiten Gruppe von Vibrationsabsorbern in einem zweiten Punkt schneiden, wobei sich diese Punkte vorzugsweise in der Qperationszone befinden.
Zweckmäßigerweise ist der erste und der zweite Punkt im wesentlichen gleichweit diesseits und jenseits des Zentrums der Operationszone entfernt, wobei der erste und der zweite Punktauch auf einer horizontalen Linie liegen können, die die Operationszone im wesentlichen halbiert.
In einer weiteren Ausbildung der Erfindung befindet sich der Schwerpunkt unter dem Untergestell.
Ferner umfaßt die Erfindung erfindungsgemäß einen Aufbaurahmen und Vibritionsabsorber, die das Untergestell auf dem Aufbaurahmen abstützen. Vorteilhafterweise sind dabei alle Vibrationsabsorber zwischen den Flächen des Aufbaurahmens und dem Untergestell, das sich im rechten Winkel zur ersten Richtung erstreckt, gesichert. Es ist auch möglich, daß zwei Vibrationsabsorber den Aufbaurahmen tragen und daß sich die Eigenfrequenz der zweiten Vibrationsabsorber am Montageort von der der zuerst genannten Vibrationsabsorber unterscheidet.
Einem weiteren Merkmal der Erfindung gemäß umfaßt die zweite Vibrationsvorrichtung eine Vielzahl von gesonderten Vibrationsabsorbern, die vorzugsweise federnde Dämpfungskissen aus Natur- oder Synthesegummi umfassen und die auch mit einer Nivelliereinrichtung versehen sein können.
Ausführungsbeispiel
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die dazugehörige Zeichnung näher beschrieben. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1: eine schematische perspektivische Ansicht einer Einrichtung zum Abtasten der Oberfläche eines Gegenstandes;
Fig. 2: eine Skizze zur weiteren Darstellung der Ausführungsform gemäß Fig. 1;
Fig.3: eine Schnittdarstellung längs der Linie lll-III gemäß Fig. 1;
Fig.4: eine Schnittdarstellung längs der Linie IV-IVgemäß Fig.!;
Fig. 5: eine Ansicht in Richtung des Pfeiles V gemäß Fig. 4;
Fig. 6: eine Skizze ähnlich der gemäß Figur 2 zur Darstellung einer Modifikation des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 1.
Entsprechend der zugehörigen Zeichnung umfaßt die Einrichtung einen massiven Hauptrahmen oder einen Aufbaurahmen 2 mit vier Beinen 4 (von denen nur drei in der Figur 1 dargestellt sind), die am Boden alle mit einem Vibrationsabsorber 6 ausgerüstet sind, die die Einrichtung auf dem (in Figur 1 nicht dargestellten) Boden abstützt. Mit Hilfe von vier weiteren Absorbern 10 ist ein Untergestell 8 auf dem Hauptrahmen 2 montiert und trägt einen motorgetriebenen Drehtisch 12 für die Ablage eines (nicht dargestellten) zu messenden Werkstücks, sowie eine vertikale Säule 14. Ein motorgetriebener Support 16 ist wie durch den Pfeil A angedeutet, längs der Säule 14 in der Vertikalen bewegbar. Ein motorgetriebener Stützarm 18, der am Support 16 für seine horizontale Bewegung in der angegebenen Pfeilrichtung B montiert ist, trägt einen Meßwertgeber 20 mit einem Fühlstift 22 für die Abtastung der Oberfläche eines auf dem Drehtisch 12 montierten Werkstücks, so daß verschiedene Kenngrößen des Werkstücks wie beispielsweise dessen Rundheit, Geradheit oder Oberflächenrauheit gemessen werden können. Durch die vertikale Bewegung des Supports 16 und der horizontalen Bewegung des Stützarms 18 kann die Spitze des Fühlstiftes 22 an jede Stelle innerhalb der Operationszone 21, die in Figur 2 dargestellt wird, bewegt werden. Die Operationszone 21 liegt im wesentlichen in einer sich in der Horizontalen erstreckenden radialen Ebene des Drehtisches 12. Ein Kniehebel 23 gestattet die Bewegung des Meßwertgebers 20 und des Fühlstifts 22 in bezug auf den Stützarm 18 aus der horizontalen Stellung gemäß Figur 1 in eine Stellung, in der der Fühlstift 22 senkrecht steht. Der Kniehebel'23 ist so beschaffen, daß die Spitze des Fühlstiftes 22 im wesentlichen in der Ebene 21 bleibt, ungeachtet dessen, ob die Fühlspitze sich in seiner horizontalen oder vertikalen Stellung befindet. ..
Bei Betrieb der bisher beschriebenen Einrichtung wird ein Werkstück, dessen Oberfläche zu messen ist, auf einen Drehtisch 12 gelegt. Anschließend werden der Drehtisch 12, der Support 16 und der Stützarm 18 vorzugsweise unter der Kontrolle eines (nicht dargestellten) Computersystems so bewegt, daß die Oberfläche des Werkstücks vom Fühlstift 22 überquert wird, wodurch der Meßwertgeber 20 ein Signal abgibt, das für Oberflächeneigenschaften repräsentativ ist. Die beschriebene Einrichtung ist entsprechend den höchsten Präzisionsstandards hergestellt und für den Nachweis der kleinsten Veränderung der zu messenden Parameter und insbesondere dafür bestimmt, Messungen in der Größenordnung für einen Mikrometer oder noch kleiner vorzunehmen. Somit würde die geringste Erschütterung, der der Meßwertgeber 20 oder der Fühlstift 22 ausgesetzt wären, die vorgenommenen Messungen ungültig machen. Die Vibrationsabsorber 6 und 10 sind im wesentlichen dafür vorgesehen und angeordnet, daß die Übertragung von Vibrationen, die ihren Ursprung außerhalb der Einrichtung haben, zum Meßwertgeber 20 oder Fühlstift 22 hin ausgeschlossen wird. Dies wird bei der Ausführungsform gemäß der Figuren durch die Kombination von zwei Maßnahmen erreicht:
Eine dieser Maßnahmen beinhaltet, daß die Eigenfrequenz, mit der der massive Aufbaurahmen 2 auf den Absorberfüßen 6 oszilliert, anders als die ist, mit der das Untergestell 8 auf den Absorbern 10 oszillieren kann. Mit anderen Worten, es ist die Eigenfrequenz der Vibrationsabsorber 10 am Montageort von der der Absorber(füße) 6 verschieden. Vorzugsweise soll die Eigenfrequenz der Absorberfüße 6 am Montageort kleiner sein als die der Vibrationsabsorber 10. . Typischerweise liegt die Eigenfrequenz derAbso.rberfüße 6 am Montageort im Bereich von 9... 11 Hz und jene der Absorber 10 im Bereich von 15...20Hz, vorzugsweise im Verhältnisbereich von etwa 1:1,5... 1:2.
Die zweite Maßnahme beinhaltet die Verwendung von Bauteilen für die Vibrationsabsorber 10, die längs einer Linie 24, die durch die Operationszone 21 des Fühlstiftes 22 hindurchgeht, eine größere Steifigkeit aufweisen als in einer quer zu dieser verlaufenden Richtung. Vorzugsweise beträgt das Verhältnis der beiden Steifigkeiten 5:1 .Wie in den Figuren 1 und 2 dargestellt, gehen alle Linien 24 durch einen Punkt C, der annähernd in der Mitte der Operationszone 21 liegt. Bei dieser Anordnung bewirken die durch die Vibrationsabsorber 10 vom Boden aus übertragenen Vibrationen nur eine einzige Rotationsoszillation des Drehtisches 8 um einen Punkt in der Operationszone des Fühlstiftes 22, so daß die Wirkung dieser Vibration auf den Fühlstift 22 nahezu vernachlässig bar ist. Da der Fühlstift 22 in der Horizontalen und Vertikalen bewegt werden kann, wird ersieh nicht immer
genau an jeder Stelle befinden, an der die Vibrationen den minimalsten Effekt haben, d.h. die Suszeptibilität der Einrichtung gegenüber Vibration schwankt in Abhängigkeit von der Stellung des Fühlstiftes innerhalb seiner Operationszone 21. Nichtsdestoweniger stellt die beschriebene Einrichtung — verglichen mit den gegenwärtig verfügbaren Einrichtungen — eine große Verbesserung dar, die darin besteht, daß das Meßgerät an Orten wie beispielsweise neben einer Produktionslinie aufgestellt werden kann, wo bisher infolge der Vibrationsempfindlichkeit kein Meßgerät einsetzbar war. Um des weiteren alle Vibrationseinwirkungen, die zum Untergestell 8 hin übertragen werden, zu minimalisieren, sollte der Schwerpunkt des Aufbaus bestehend aus Untergestell 8, Drehtisch 12, Säule 14, Support 16, Arm 18 sowie Meßwertgeberund Fühlstift 20,22 und so tief wie möglich gelagert werden. Die dargestellte Ausführungsform kann so gebaut sein, daß das Gravitationszentrum dieses Aufbaus sich auf einem Niveau von etwa zwei oder mehr Zoll unterhalb der Oberfläche des Drehtisches 12 befestigt.
Beim Einsatz des Meßgerätes jedoch verlagert sich der eigentliche Schwerpunkt bei Bewegung von Support 16 und/oder Arm 18. Wenn des weiteren ein Werkstück auf den Drehtisch gelegt wird, hängt der Schwerpunkt des Aufbaus einschließlich des Werkstücks von der Beschaffenheit des Werkstücks und seiner Lage und Ausrichtung auf dem Drehtisch ab. Bevorzugte Formen der Absorberfüße 6 und 10 werden nun unter Bezugnahme auf die Figuren 3 bis 5 der zugehörigen Zeichnung beschrieben.
Die Vibrationsabsorber 6 gemäß Figur 3 umfassen einen Puffer oder ein Dämpfungskissen 30, das vorzugsweise aus Neopren besteht und auf dem Boden 32 ruht und an der Stelle 34 mit dem glockenförmigen Stahlgehäuse 36 verbunden ist. Das Gehäuse 36 ist an der Unterseite einer horizontalen Platte 38, die zum Bein 4 gehört, mittels eines Gewindebolzens 40 gesichert, dessen unteres Ende 42 gegen die Innenseite des Glockenstahlflansches 44 drückt, der bei 46 mit dem Puffer 30 verbunden ist. Der Gewindebolzen 40 ist mit Sicherungsmuttern 48 versehen und so angeordnet, daß die Einrichtung durch Justierung der Gewindebolzen 40 nivelliert werden kann, wobei durch eine derartige Einstellung die Höhe des Puffers 30 eingestellt werden kann, um die dieser unter dem Gehäuse 36 auslädt. Wie in Fig. 4 sind alle Vibrationsabsorber 10 zwischen einer Halterung 50 des Haupt-oder Aufbaurahmens 2 angeordnet und besitzen eine Auflagefläche 52 im rechten Winkel zur Richtung 24, und eine Klammer 54 des Tisches 8 mit einer Auflagefläche 56 parallel zur Auflagefläche 52. Wie aus den Figuren 4 und 5 hervorgeht, umfassen al Ie Vibrationsabsorber 10 ei η kegelstumpfförmiges Dämpfungskissen 58, das vorzugsweise aus Neopren besteht und eine axiale Steifigkeit aufweist, die um 5:1 größer ist als die Quersteifigkeit, und mit seinem schmalen Ende unten angeordnet ist, wobei seine Achse mit der Linie 24 zusammenfällt. Eine Stahlplatte 60 ist am unteren Ende des Dämpfungskissens 58 mit diesem verbunden und hat einen angeschweißten Gewindestutzen 62 und geht durch eine Öffnung 64 in die Halterung 50, die einen größeren Durchmesser hat als der Gewindestutzen 62, so daß eine Einstellung möglich ist. Eine Mutter 63 am Gewindestutzen 62 sichert die Platte 60 an der Fläche 52 der Halterung 50. Eine Platte 66 ist mit dem oberen Ende des Dämpfungskissens 58 verbunden und durch Gewindestutzen 68, die durch Öffnungen 70 hindurchgehen, an der Fläche 56 der Halterung 54 gesichert. Bei der modifizierten Ausführungsform gemäß Figur 6 werden die Vibrationsabsorber 10 so angeordnet, daß die Linie 24 zwei Punkte, C1 und C 2, und nicht nur einen Punkt schneidet wie bei der vorausgegangenen Ausführungsform. Die Punkte C1 und C 2 liegen einen bestimmten Abstand voneinander entfernt auf der horizontalen Linie 27, die die rechtwinklige Operationszone 21 des Fühlstiftes 22 in etwa halbiert, wobei die Punkte C1 und C2 im wesentlichen vom Zentrum C der rechtwinkligen Zone 21 gleichweit entfernt sind. Somit liegt die beste Isolierung gegen Vibration dann vor, wenn der Meßwertgeber 22 in Höhe der Linie 27 positioniert ist, wobei der erreichte Grad der Vibrationsabsorption mitzunehmendem Abstand von der Linie 27 abnimmt. Obwohl sich in Figur 2 alle vier Linien 24 vorzugsweise in einem einzigen Punkt C etwa im Zentrum der Operationszone 21 schneiden und sich in Figur 6 die Linien 24 vorzugsweise an zwei Stellen C1 und C2 schneiden, sind Anordnungen möglich, bei denen sich keine der Linien 24 gegenseitig schneiden. Auf diese Weise können die einzelnen Linien 24 durch unterschiedliche Punkte durch die Operationszone 21 hindurchgehen. Obwohl des weiteren vorzugsweise die Linien 24 einen Punkt nahe dem Zentrum der Operationszone 21 gehen sollten, ist dies nicht unbedingt erforderlich, jedoch wird dies bevorzugt, damit die Vibrationswirkungen auf die gesamte Operationszone 21 des Fühlstiftes 22 auf ein Mindestmaß reduziert wird. Verschiedene andere Modifikationen sind möglich. Zum Beispiel wäre es möglich, die Erfindung auf Aufbauten anzuwenden, bei der Meßwertgeber in der Horizontalen in zwei Richtungen bewegbar ist, obwohl bei der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsform der Meßwertgeber so montiert ist, daß er in der Horizontalen nur in einer Richtung bewegt werden kann. In diesem Fall ist die Operationszone des Meßwertgebers eine räumliche Zone anstelle einer ebenen Fläche, und die Vibrationsabsorber 10 wurden so angeordnet sein, daß die Linie 24 durch diese räumliche Operationszone hindurchgeht. Des weiteren kann die-Erfindung bei Einrichtungen angewendet werden, bei denen das Werkstück statt auf einem Drehtisch auf einem stationären Tisch aufliegt, und der Meßwertgeber veranlaßt wird, allein durch seine Bewegung die Oberfläche des Werkstücks zu überqueren, während letzteres festgehalten wird.
Obwohl in der Zeichnung bevorzugte Formen von Vibrationsabsorbern dargestellt wurden, können eine Vielzahl von anderen Formen angewendet werden, wobei jedoch die dargestellten besonders vorteilhaft sind.
Obwohl die Erfindung insbesondere für Einrichtungen zum Abtasten anwendbar ist—wie dies hierin veranschaulicht wurde —, kann sie auch auf ein Gerät angewendet werden, bei dem eine andere Meßvorrichtung als der Fühlstift oder Meßwertgeber für die Durchführung einer Meßoperation auf oder bezüglich der Oberfläche eines Gegenstandes angewendet werden kann. Ein Beispiel für die Anwendung eines solchen anderen Apparates wäre eine Werkzeugmaschine. Bei der Verwendung einer Werkzeugmaschine würden die Linien 24 durch jene Zone hindurchgehen, in der die Bearbeitungsvorrichtung, wie beispielsweise eine Schleifscheibe, betrieben wird.
Obwohl das Dämpfungskissen 58 der bevorzugten Ausführungsform kegelstumpfförmig und mit dem breiteren Ende nach oben montiert ist, wäre es möglich, diese Art Dämpfungskissen auch anders herum zu montieren. Es könnten andere Formen von Dämpfungskissen als das Dämpfungskissen 58 angewendet werden. Obwohl bei der dargestellten Ausführungsform vier Dämpfungskissen 58 vorgesehen sind, liegt es im Geltungsbereich der Erfindung, daß alle Ausführungsformen von Vibrationsabsorbern genutzt werden können, die in der einen Richtung eine größere Steifigkeit als in der Querrichtung aufweisen.

Claims (23)

1. Einrichtung zum Abtasten der Oberfläche eines Gegenstandes, bestehend aus .einem Untergestell für die Ablage eines Gegenstandes, dessen Oberfläche abzutasten ist; einem Stützarm, der von
diesem Untergestell getragen wird; einem Sensor in Form eines Fühlstiftes, der vom Stützarm
getragen wird; Vorrichtungen für die Durchführung einer relativen Bewegung zwischen dem"
Gegenstand und dem Sensor in Form eines Fühlstiftes, damit der Fühlstift in einer Operationszone wirksam wird und er die Oberfläche des Gegenstandes überquert und abtastet; und
Vibrationsabsorber zur Abstützung des Untergestells, gekennzeichnet dadurch, daß die
Vibrationsabsorber (10) in einer ersten Richtung (24) eine höhere Steifigkeit als in einer zweiten
Richtung quer zur ersten Richtung (24) aufweisen und so angeordnet sind, daß die erste Richtung (24) durch die Operationszone (21) hindurchgeht.
2. Einrichtung nach Anspruch !,gekennzeichnet durch einen Drehtisch (12), der auf dem Untergestell (8) montiert und für die Aufnahme des zu prüfenden Gegenstandes bestimmt ist.
3. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, gekennzeichnet dadurch, daß der Stützarm (18) in der Vertikalen und Horizontalen bewegbar ist.
4. Einrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet dadurch, daß die
Operationszone (21) im wesentlichen plan ist.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß die Operationszone eine räumliche Ausdehnung hat.
6. Einrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet dadurch, daß die erste Vibrationsabsorptionsvorrichtung eine Vielzahl von gesonderten Vibrationsabsorbern (10)
umfaßt.
7. Einrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet dadurch, daß die Vibrationsabsorber (10) einen
kreisförmigen Querschnitt haben, wobei die erste Richtung (24) die axiale Richtung ist.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet dadurch, daß die einzelnen Vibrationsabsorber (10) kegelstumpfförmig sind.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, gekennzeichnet dadurch, daß die einzelnen
Vibrationsabsorber (10) vorzugsweise ein massives Dämpfungskissen aus Natur- oder
Synthesegummi umfassen.
10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, gekennzeichnet dadurch, daß sich die ersten
Richtungen (24) der betreffenden Vibrationsabsorber (10) in der Operationszone (21) vorzugsweise in einem einzigen Punkt (C) schneiden.
11. Einrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet dadurch, daß der einzige Punkt (C) vorzugsweise im Zentrum der Operationszone (21) liegt.
12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, gekennzeichnet dadurch, daß sich die ersten
Richtungen (24) der ersten Gruppe von Vibrationsabsorbern (10) in einem ersten Punkt (C-i)
schneiden, und sich die ersten Richtungen (24) einer zweiten Gruppe von Vibrationsabsorbern (10) in einem zweiten Punkt (C2> schneiden, wobei sich die Punkte (C|, C2) vorzugsweise in der
Operationszone (21) befinden.
13. Einrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet dadurch, daß der erste und zweite Punkt (Ci, C2) im wesentlichen gleichweit dies- und jenseits des Zentrums (C) der Operationszone (21) entfernt
sind.
14. Einrichtung nach Anspruch 12 oder 13, gekennzeichnet dadurch, daß der erste und der zweite
Punkt (C1, C2) auf einer horizontalen Linie (27) liegen, die die Operationszone (21) im wesentlichen halbiert.
15. Einrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet dadurch, daß sich der Schwerpunkt unter dem Untergesteil (8) befindet.
16. Einrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet durch einen
Aufbaurahmen (2) und Vibrationsabsorber (10), die das Untergestell (8) auf dem Aufbaurahmen (2) abstützen.
17. Einrichtung nach Anspruch 16 und direkt oder indirekt nach einem der Ansprüche 6 bis 14,
gekennzeichnet dadurch, daß alle Vibrationsabsorber (10) zwischen den Flächen (52, 56) des
Aufbaurahmens (2) und dem Untergestell (8), das sich im rechten Winkel zur ersten Richtung (24) erstreckt, gesichert sind.
18. Einrichtung nach Anspruch 16 oder 17, gekennzeichnet durch zweite Vibrationsabsorber (6), die den Aufbaurahmen (2) trägen.
19. Einrichtung nach Anspruch 18, gekennzeichnet dadurch, daß sich die Eigenfrequenz der zweiten Vibrationsabsorber (6) am Montageort von der der zuerst erwähnten Vibrationsabsorber unterscheidet.
20. Einrichtung nach Anspruch 19, gekennzeichnet dadurch, daß die zweite Vibrationsabsorptionsvorrichtung eine Vielzahl von gesonderten Vibrationsabsorbern (6) umfaßt.
21. Einrichtung nach Anspruch 20, gekennzeichnet dadurch, daß alle Vibrationsabsorber (6) der zweiten Vibrationsabsorptionsvorrichtung vorzugsweise federnde Dämpfungskissen aus Naturoder Synthesegummi umfassen. ·
22. Einrichtung nach Anspruch 20 oder 21, gekennzeichnet dadurch, daß alle Vibrationsabsorber (6) der zweiten Vibrationsabsorptionsvorrichtung eine Nivelliereinrichtung (40) einschließt.
23. Einrichtung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet dadurch, daß die Einrichtung ein Meßgerät ist.
DD87300116A 1986-02-25 1987-02-23 Einrichtung zum abtasten der oberflaeche eines gegenstandes DD259056A5 (de)

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