JP2587228B2 - 高精度装置 - Google Patents

高精度装置

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JP2587228B2
JP2587228B2 JP62042458A JP4245887A JP2587228B2 JP 2587228 B2 JP2587228 B2 JP 2587228B2 JP 62042458 A JP62042458 A JP 62042458A JP 4245887 A JP4245887 A JP 4245887A JP 2587228 B2 JP2587228 B2 JP 2587228B2
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    • G—PHYSICS
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    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B3/00—Details of movements not otherwise provided for
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    • F16F2236/00—Mode of stressing of basic spring or damper elements or devices incorporating such elements
    • F16F2236/04—Compression

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は振動絶縁手段に関するものであって、特に
速度表、角度測定システムのような測定装置および丸
さ、真直ぐさおよび表面のきめを含む輪郭エラーの測定
のための装置に応用可能である。
丸さまたは表面のきめといったその特性を測定するこ
とが精密構成要素の生産において必要である。過去にお
いては、種種の測定装置を含みかつ外部の振動によって
影響される測定を避けるために床の振動が最小の場所に
ある特別な測定の部屋に検査されるべき構成要素を生産
ラインから持って行くことが必要であった。これは検査
されるべき構成要素を測定の部屋に持って行く必要があ
るために、過去においてかなり不都合があった。したが
って床の振動に対して十分に鈍感で生産ラインの近くに
置かれてもよい測定装置の必要性がある。同様の必要性
が他の状況においても、たとえば、それがたとえば測定
または観察または機械加工の動作のいずれであっても、
実行されるべきいかなる動作も外部の振動によって影響
されるかもしれない高精度装置のいかなるものにおいて
もまた生じるかもしれない。
この発明の目的は、振動を減衰させ、外部振動の影響
をできるだけ減じることが可能な高精度装置を提供する
ことである。
この発明の１つの局面においては、物体の上で動作を
実行するための高精度装置であって、ベースと、支持体
と、動作を行なうための部材と、部材と物体とを相対的
に移動させるための手段と、複数個のベース絶縁取り付
け台とを備える。ベース物体を支持する。支持体はベー
スによって保持される。動作を行なうための部材は支持
体によって保持される。上記移動させるための手段は、
規定された動作ゾーン内で部材が動作を行なうことがで
きるように部材と物体とを相対的に移動させる。複数個
のベース絶縁取り付け台はベースを支持する。ベース絶
縁取り付け台の各々は、第１の方向での剛性と、第１の
方向と直交する第２の方向での剛性とを有する。第１の
方向での剛性が第２の方向での剛性よりも高い。第１の
方向が動作ゾーン内に集中するようにベース絶縁取り付
け台がベースに連結されている。装置の重心は動作ゾー
ンより下に位置する。
この発明によれば、物体の上での測定動作のような動
作をある部材が行なうときに、部材に与えられる外部振
動の影響が減じられる。すなわち、この発明において
は、ベース絶縁取り付け台の各々は２つの方向での異な
る剛性、第１の方向での剛性と、第１の方向と直交する
第２の方向での剛性とを有する。第１の方向での剛性が
第２の方向での剛性よりも高くなっている。第１の方向
が動作ゾーン内に集中するように、ベース絶縁取り付け
台はベースに連結されている。そのため、床からベース
絶縁取り付け台の各々に外部からの振動が伝達されたと
しても、高い剛性を持った第１の方向が集中する動作ゾ
ーン内の１点の周りで微小な振動が生じるだけである。
装置に伝達されたいかなる外部の振動も実質的に動作ゾ
ーン内の中心に集められる。その集められた振動は、ほ
んの僅かな回転振動を結果として生じる傾向がある。そ
の結果、表面センサ等の部材に与えられる振動の影響は
ほとんど無視され得る。
また、本発明の装置においては、装置の重心が動作ゾ
ーンより下に位置する。これにより、上述のように表面
センサ等の部材に与えられる振動の影響がさらに抑制さ
れ得る。
この発明の別の局面では、変換器のような振動に敏感
な部材を指示するための装置を提供し、そこでは部材に
与える振動の影響が少なくとも低いかまたは好ましくは
最小である方向の振動によって振動エネルギがまず第１
に放散されるように減衰手段が配置される。
この発明は添付の図面を参照して具体例によってさら
に説明される。
添付の図面を参照すると、測定装置は床（第１図には
示されていない）上の装置を指示する絶縁取り付け台６
がそのそれぞれに設けられている４つの脚部４（第１図
では３つしか示されていない）を有する大きい主要フレ
ームまたはシャーシ２を含む。ベース８は４つのさらに
別の絶縁取り付け台10によって主要フレーム２上に装設
され、そして測定されるべきワークピース（図示されて
いない）を支持するためのモータ駆動のターンテーブル
12と垂直の柱14とを保持する。モータ駆動のキャリッジ
16は柱14上で矢印Ａによって示されるように垂直に可動
である。矢印Ｂによって示されるように水平の動きのた
めにキャリッジ16上に装設されるモータ駆動のアーム18
はワークピースがターンテーブル12に装設されるとその
表面と係合しそのため丸さ、真直ぐさまたは表面の粗さ
といったワークピースの種々の特性を測定するスタイラ
ス22を有する変換器20を保持する。キャリッジ16の縦の
動きおよびアーム18の水平の動きを達成することによっ
て、スタイラス22の先端は第２図で例示される四角の動
作ゾーン21内のどこにでも動かされ得る。動作ゾーン21
は実質的に垂直方向に延在するターンテーブル12の放射
平面に置かれる。ナックル継手23は第１図で示される水
平の位置からスタイラス22が垂直になっている位置に、
アーム18に関して変換器20およびスタイラス22が動かさ
れることを許容する。ナックル継手23はスタイラスが水
平の位置にあるかまたは垂直の位置にあるかに関係なく
スタイラス22の先端は実質的に平面21に残るようにす
る。
これまで説明された装置の動作では、その表面が設定
されるべきワークピースはターンテーブル12上に置か
れ、次にターンテーブル12、キャリッジ16およびアーム
18は好ましくはコンピュータシステム（図示されていな
い）の制御のもとで動かされ、そのためワークピースの
表面はスタイラス22によって横断されそれによって変換
器20は表面の特性を表わす信号を出力する。
説明中の装置は最高の精密標準に製造され、かつ測定
されるべきパラメータにおける最小の振動も検出するよ
うに意図され、特にミクロンまたはそれより少ないオー
ダの測定をするように意図される。したがって、変換器
20またはスタイラス22によって経験される振動が非常に
少なくともその測定を無効にするかもしれない。絶縁取
り付け台６および10は変換器20またはスタイラス22に対
して外部に配向する振動の伝動を実質的になくすために
設けられかつ配置される。これは２つの手段の組合わせ
によって図面で例示される実施例において達成される。
これらの手段の１つは、大きなフレーム２が絶縁取り付
け台６上で振動するときの固有振動数がベース８が絶縁
取り付け台10上で振動するときの固有振動数と異なるよ
うに配置することを含む。言い変えれば、取り付け台10
のその位置での固有振動数が取り付け台６での固有振動
数と異なるということである。好ましくは、取り付け台
６のその位置での固有振動数が取り付け台10の固有振動
数より低い、典型的には、取り付け台６のその位置での
固有振動数は９から11Hzの範囲にありそして取り付け台
10のその位置での固有振動数は15から20Hzの範囲にあり
好ましくはその比率の範囲は約1:1.5から1:2である。
手段の第２番目は、取り付け台10の部材において、ス
タイラス22の動作ゾーン21を通過するライン24に沿った
剛性が、ライン24を横切る方向での剛性よりも高いこと
を利用することを含む。好ましくは、これらの２つのこ
わさの比は5:1である。第１図および第２図に示される
ように、ライン24はすべて動作ゾーン21内の実質的にそ
の中心で置かれる、点Ｃを通過する。この配置では、床
から絶縁取り付け台10に伝動されるいかなる振動もスタ
イラス22の動作ゾーンでの１点のまわりのベース８のほ
んのわずかな回転振動を結果として生じる傾向があり、
そのためスタイラス22のこの振動の効果はほとんど無視
できる。スタイラス22は水平にかつ垂直に動かされても
よいので、それは振動が最小の効果を有する点に正確に
常に置かれることはなく、すなわち振動に対する装置の
感受性はその動作ゾーン21内のスタイラスの位置に従っ
た程度に変化するであろう。それにもかかわらず、説明
中の装置は現在入手可能な機械と比較して主要な改良点
を提供しかつ今までは振動の感受性のために測定装置を
動作させることが可能でなかった、生産ラインに隣接し
た位置で装置が動作してもよい。
さらに、ベース８に伝動されるかいかなる振動の効果
も最小にするために、ベース８、ターンテーブル12、柱
14、キャリッジ16、アーム18、変換器20およびスタイラ
ス22を含む構造の重心はできるだけ低い位置におかれる
べきである。例示される実施例はこの構造の重心がター
ンテーブル12の表面により２インチまたはそれより多い
インチ下のレベルになるように構成されてもよい。もち
ろん、装置の動作において、重心の実際の位置はキャリ
ッジ16および／またはアーム18が動くにつれて動く。さ
らに、ワークピースがターンテーブル上に置かれると、
ワークピースを含む構造の重心はワークピースの性質お
よびターンテーブル上の位置および配向に依存するであ
ろう。
絶縁取り付け台６および10の好ましい形状は添付の図
面の第３図ないし第５図を参照して説明される。
第３図に示されるように、取り付け台６は好ましくは
ネオプレンゴムの弾性パツド30を含み、これは床32上に
休止しかつスチール製のベル形状のハウジング36の内部
34に接着される。ハウジング36はボルト40によって脚部
４の一部を形成する水平プレート38の下側に固定され、
その下部の端部42は、パッド30が46で接着されるスチー
ル製のフランジ付カップ44の内部表面に係合する。ボル
ト40にはロックナット48が設けられ、装置を平らにする
ことがボルト40の調整によって達成されるようにボルト
40が配置され、その調整はパッド30がハウジング36の下
を突出する程度に行なわれる。
第４図に示されるように、各取り付け台10は方向24に
対して直角の支持表面を有する主要フレーム２のブラケ
ット50と、表面52に平行の支持表面56を有するベース８
のブラケット54との間に固定される。第４図および第５
図の両方に見られるように、取り付け台10は好ましくは
ネオプレンゴムの截頭円錐形の弾性パッド58を含み、こ
れは好ましくは５対１の比率で横方向の剛性よりも軸方
向の剛性のほうが大きく、その最も低い部分で狭い端部
と、ライン24と一致する軸とを有するように配置され
る。円形のスチールプレート60はパッド58の下部の端部
に接着され、そしてそこに溶接されるスタット62を有
し、それは調整を許容するためにスタッド62より大きい
直系であるブラケット50での開口部64を通過する。スタ
ッド62のナット63はプレート60をブラケット50の表面52
に固定する。プレート66はパッド58の上部の端部に接着
されそしてブラケット54の表面56へと開口部70を通過す
るスタッド68によって固定される。
図面に例示される絶縁取り付け台６および10は英国の
サーリーのウォルトン オン テイムズのハーシャムの
セメンテーション（マフィライト）リミテッド（Cement
ation（Muffelite）Limited）から得られてもよい。
第６図に例示される変形された実施例では、取り付け
台10はライン24が先の実施例での１つの点でよりむしろ
２つの点C1およびC2で実質的に交差するように配置され
る。点C1およびC2は水平ライン27上で間隔があけられて
おり、このラインはスタイラス22の四角の動作ゾーン21
を実質的に２等分し、C1およびC2は四角の動作ゾーン21
の中心Ｃの両側に実質的に等間隔をあけられている。こ
のようにして、スタイラス22がライン27上に置かれる
と、スタイラス22がライン27から離れて動かされるにつ
れて達成される絶縁の度合が減少するように、振動に対
する最良の絶縁が与えられる。
第２図ではすべての４つのライン24が実質的に動作ゾ
ーン21の中心のまわりで１個の点Ｃで交差しそして第６
図ではライン24が２つの点C1およびC2で実質的に交差す
るが、ラインのどれもがお互いに交差しなくても配置は
可能である。こうして、各ライン24は他方のライン24の
各々と異なる点で動作ゾーン21を通過してもよい。さら
に、ライン24がその中心近くでゾーン21を通過するべき
ことが好ましいが、これは本質的なことではなく、しか
しスタイラス22の動作ゾーン21の全体を通しての振動の
影響を最小にするために好ましい。
種々の他の変形が可能である。たとえば、図面に例示
される実施例では変換器は１つの方向のみに水平に動く
ために装設されているが、変換器が双方向に水平に可動
である構造にこの発明を応用することも可能であろう。
この場合、変換器の動作ゾーンは平面面積よりもむしろ
立体体積でありかつ取り付け台10はライン24が動作のこ
の立体体積を通過するように配置されるであろう。さら
に、この発明は、ワークピースがロータリーテーブルよ
りも据付テーブル上に支持され、ワークピースが静止し
て保持されている間、変換器が変換器の動きによっての
みワークピースの表面を交差する機器にも応用され得
る。
取り付け台の好ましい形は図面で例示されているが、
様々な他の形状が採用されてもよいが例示されているも
のが特に有利である。
この発明は特に測定装置に応用可能でありかつそのよ
うなもので例示されてきたが、スタイラス／変換器以外
の部材が物体の表面上またはそれに関連して動作を行な
うために設けられる装置にもまた応用されてもよい。そ
のような他の装置の一具体例は工作機械である。工作機
械に応用されるときライン24はといし車のような加工部
材が動作可能であるゾーンを通過するであろう。
好ましい実施例の取り付け台58は截頭円錐形でかつよ
り広い部分の最も上で装設されるが、この型の取り付け
台を他方を上にして用いることも可能であろう。取り付
け台58以外の取り付け台の形状が採用され得る。たとえ
ば、例示の実施例では４つの取り付け台58が設けられて
いるが、この発明の範囲内においては、横方向でよりも
１つの方向で高い剛性を有するいかなる形の絶縁部材が
採用されてもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の実施例を組込む測定装置の概略の透
視図である。 第２図は第１図の実施例をさらに例示する図である。 第３図は第１図の線II−IIIでの断面図である。 第４図は第１図の線IV−IVでの断面図である。 第５図は第４図に示される矢印Ｖから見た図である。 第６図は第１図の実施例に対する変形を示す第２図に類
似した図である。 図において、２はシャーシ、６は絶縁取り付け台、８は
ベース、10は絶縁取り付け台、12はターンテーブル、14
は垂直の柱、16はモータ駆動キャリッジ、18はモータ駆
動アーム、20は変換器、21は動作ゾーン、22はスタイラ
ス、23はナックル継手、30は弾性パッド、32は床、36は
ハウジング、38は水平プレート、40はボルト、44はフラ
ンジ付カップ、48はロックナット、50はブラケット、52
は支持表面、54はブラケット、56は支持表面、58は弾性
パッド、60は円形スチールプレート、62はスタッド、64
は開口部、66はプレート、68はスタッド、70は開口部で
ある。
フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭58−22594（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−97479（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−131739（ＪＰ，Ｕ)

Claims (36)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】所定の位置に置かれた物体を対象として動
    作を実行するための高精度装置であって、 物体を支持するためのベース（８）と、 前記ベースによって保持される支持体（18）と、 前記支持体（18）によって保持され、かつ前記動作を行
    なうための部材（22）と、 前記ベースの主表面に垂直な方向に位置しかつ前記ベー
    スの上に規定された動作ゾーン（21）内で前記部材（2
    2）が前記動作を行なうことができるように前記部材（2
    2）と前記物体とを相対的に移動させるための手段（12,
    16,18）と、 前記ベース（８）を支持する複数個のベース絶縁取り付
    け台（10）とを備え、 前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）は、第１の方向
    （24）での剛性と、前記第１の方向（24）と直交する第
    ２の方向での剛性とを有し、前記第１の方向（24）での
    剛性が前記第２の方向での剛性よりも高くなっており、 前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）はシャーシ
    （２）の上で前記ベース（８）を支持し、前記第１の方
    向（24）に直交するように延在している前記シャーシ
    （２）の表面（52,56）と前記ベース（８）の間で固定
    されており、さらに、 前記シャーシ（２）を支持する別の振動絶縁手段（６）
    を備え、 前記別の振動絶縁手段（６）のその位置での固有振動数
    が前記ベース絶縁取り付け台（10）の固有振動数とは異
    なっており、 前記ベース絶縁取り付け台の各々からその各々の前記第
    １の方向に延びる直線（24）が互いに交差する点が前記
    動作ゾーン（21）内に存在するように前記ベース絶縁取
    り付け台（10）が前記ベース（８）に連結されており、 当該装置の重心が前記動作ゾーン（21）より下に位置す
    ることを特徴とする、高精度装置。
  2. 【請求項２】前記ベース（８）は、前記物体を支持する
    ためのターンテーブル（12）を備えることを特徴とす
    る、特許請求の範囲第１項に記載の装置。
  3. 【請求項３】前記支持体（18）が垂直および水平方向に
    可動であることを特徴とする、特許請求の範囲第１項ま
    たは第２項に記載の装置。
  4. 【請求項４】前記動作ゾーン（21）が実質的に平面であ
    ることを特徴とする、特許請求の範囲第１項から第３項
    までのいずれかに記載の装置。
  5. 【請求項５】前記動作ゾーンが立体体積であることを特
    徴とする、特許請求の範囲第１項から第３項までのいず
    れかに記載の装置。
  6. 【請求項６】前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）が
    円形の横断面を有し、前記第１の方向に延びる直線（2
    4）はその軸方向であることを特徴とする、特許請求の
    範囲第１項から第５項までのいずれかに記載の装置。
  7. 【請求項７】前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）が
    円錐台であることを特徴とする、特許請求の範囲第６項
    に記載の装置。
  8. 【請求項８】前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）が
    天然または合成ゴムの実質的に中実のパッドを含むこと
    を特徴とする、特許請求の範囲第１項から第７項までの
    いずれかに記載の装置。
  9. 【請求項９】それぞれの異なる前記ベース絶縁取り付け
    台（10）と関連する前記第１の方向に延びる直線（24）
    が実質的に前記動作ゾーン（21）内の１つの点（Ｃ）で
    実質的に交差することを特徴とする、特許請求の範囲第
    １項から第８項までのいずれかに記載の装置。
  10. 【請求項１０】前記１つの点（Ｃ）が前記ゾーン（21）
    の実質的に中心にあることを特徴とする、特許請求の範
    囲第９項に記載の装置。
  11. 【請求項１１】第１のグループの前記ベース絶縁取り付
    け台（10）と関連した前記第１の方向に延びる直線（2
    4）が第１の点（C1）で互いに交差しかつ第２のグルー
    プの前記ベース絶縁取り付け台（10）と関連した前記第
    １の方向に延びる直線（24）が第２の点（C2）で互いに
    実質的に交差し、各点（C1,C2）は実質的に前記動作ゾ
    ーン（21）の中にあることを特徴とする、特許請求の範
    囲第１項から第８項までのいずれかに記載の装置。
  12. 【請求項１２】前記第１および第２の点（C1,C2）は前
    記動作ゾーン（21）の中心（Ｃ）の両側に実質的に等間
    隔を保っていることを特徴とする、特許請求の範囲第11
    項に記載の装置。
  13. 【請求項１３】前記第１および第２の点（C1,C2）が前
    記動作ゾーン（21）を実質的に二等分する水平線（27）
    上に位置していることを特徴とする、特許請求の範囲第
    11項または第12項に記載の装置。
  14. 【請求項１４】その重心が前記ベース（８）の下にある
    ことを特徴とする、特許請求の範囲第１項から第13項ま
    でのいずれかに記載の装置。
  15. 【請求項１５】前記別の振動絶縁手段（６）が複数個の
    別々の絶縁取り付け台（６）を含むことを特徴とする、
    特許請求の範囲第１項から第14項までのいずれかに記載
    の装置。
  16. 【請求項１６】前記別の振動絶縁手段の絶縁取り付け台
    の各々（６）が天然または合成ゴムの実質的に中実のパ
    ッドを含むことを特徴とする、特許請求の範囲第15に記
    載の装置。
  17. 【請求項１７】前記別の振動絶縁手段の絶縁取り付け台
    の各々（６）がレベル調整手段（40）を含むことを特徴
    とする、特許請求の範囲第15項または第16項に記載の装
    置。
  18. 【請求項１８】当該装置は、測定装置である、特許請求
    の範囲第１項から第17項までのいずれかに記載の装置。
  19. 【請求項１９】感知されるべき表面を有する物体を支持
    するためのベース（８）と、前記ベース（８）によって
    保持される支持体（18）と、 前記支持体（18）によって保持される表面センサ（22）
    と、 前記表面センサ（22）が物体の表面を感知するための、
    前記ベースの主表面に垂直な方向に位置しかつ前記ベー
    スの上に規定された動作ゾーン（21）内で動作すること
    ができるように前記物体と前記表面センサ（22）とを相
    対的に移動させるための手段（12,16,18）と、 前記ベース（８）を支持する複数個のベース絶縁取り付
    け台（10）とを備え、 前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）は、第１の方向
    （24）での剛性と、前記第１の方向（24）と直交する第
    ２の方向での剛性とを有し、前記第１の方向（24）での
    剛性が前記第２の方向での剛性よりも高くなっており、 前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）はシャーシ
    （２）の上で前記ベース（８）を支持し、前記第１の方
    向（24）に直交するように延在している前記シャーシ
    （２）の表面（52,56）と前記ベース（８）の間で固定
    されており、さらに、 前記シャーシ（２）を支持する別の振動絶縁手段（６）
    を備え、 前記別の振動絶縁手段（６）のその位置での固有振動数
    が前記ベースの絶縁取り付け台（10）の固有振動数とは
    異なっており、 前記ベース絶縁取り付け台の各々からその各々の前記第
    １の方向に延びる直線（24）が互いに交差する点が前記
    動作ゾーン（21）内に延在するように前記ベース絶縁取
    り付け台（10）が前記ベース（８）に連結されており、 当該装置の重心が前記動作ゾーン（21）より下に位置す
    ることを特徴とする、物体の表面を感知するための高精
    度装置。
  20. 【請求項２０】前記ベース（８）は、前記物体を支持す
    るためのターンテーブル（12を備えることを特徴とす
    る、特許請求の範囲第19項に記載の装置。
  21. 【請求項２１】前記支持体（18）が垂直および水平方向
    に可動であることを特徴とする、特許請求の範囲第19項
    または第20項に記載の装置。
  22. 【請求項２２】前記動作ゾーン（21）が実質的に平面で
    あることを特徴とする、特許請求の範囲第19項から第21
    項までのいずれかに記載の装置。
  23. 【請求項２３】前記動作ゾーンが立体体積であることを
    特徴とする、特許請求の範囲第19項から第21項までのい
    ずれかに記載の装置。
  24. 【請求項２４】前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）
    が円形の横断面を有し、前記第１の方向に延びる直線
    （24）はその軸方向であることを特徴とする、特許請求
    の範囲第19項から第23項までのいずれかに記載の装置。
  25. 【請求項２５】前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）
    が円錐台であることを特徴とする、特許請求の範囲第24
    項に記載の装置。
  26. 【請求項２６】前記ベース絶縁取り付け台の各々（10）
    が天然または合成ゴムの実質的に中実のパッドを含むこ
    とを特徴とする、特許請求の範囲第19項から第25項まで
    のいずれかに記載の装置。
  27. 【請求項２７】それぞれの異なる前記ベース絶縁取り付
    け台（10）と関連する前記第１の方向に延びる直線（2
    4）が実質的に前記動作ゾーン（21）内の１つの点
    （Ｃ）で実質的に交差することを特徴とする、特許請求
    の範囲第19項から第26項までのいずれかに記載の装置。
  28. 【請求項２８】前記１つの点（Ｃ）が前記ゾーン（21）
    の実質的に中心にあることを特徴とする、特許請求の範
    囲第27項に記載の装置。
  29. 【請求項２９】第１のグループの前記ベース絶縁取り付
    け台（10）と関連した前記第１の方向に延びる直線（2
    4）が第１の点（C1）で互いに交差しかつ第２のグルー
    プの前記ベース絶縁取り付け台（10）と関連した前記第
    １の方向に延びる直線（24）が第２の点（C2）で互いに
    実質的に交差し、各点（C1,C2）は実質的に前記動作ゾ
    ーン（21）の中にあることを特徴とする、特許請求の範
    囲第19項から第26項までのいずれかに記載の装置。
  30. 【請求項３０】前記第１および第２の点（C1,C2）は前
    記動作ゾーン（21）の中心（Ｃ）の両側に実質的に等間
    隔を保っていることを特徴とする、特許請求の範囲第29
    項に記載の装置。
  31. 【請求項３１】前記第１および第２の点（C1,C2）が前
    記動作ゾーン（21）を実質的に二等分する水平線（27）
    上に位置していることを特徴とする、特許請求の範囲第
    29項または第30項に記載の装置。
  32. 【請求項３２】その重心が前記ベース（８）の下にある
    ことを特徴とする、特許請求の範囲第19項から第31項ま
    でのいずれかに記載の装置。
  33. 【請求項３３】前記別の振動絶縁手段（６）が複数個の
    別々の絶縁取り付け台（６）を含むことを特徴とする、
    特許請求の範囲第19項から第32項までのいずれかに記載
    の装置。
  34. 【請求項３４】前記別の振動絶縁手段の絶縁取り付け台
    の各々（６）が天然または合成ゴムの実質的に中実のパ
    ッドを含むことを特徴とする、特許請求の範囲第33に記
    載の装置。
  35. 【請求項３５】前記別の振動絶縁手段の絶縁取り付け台
    の各々（６）がレベル調整手段（40）を含むことを特徴
    とする、特許請求の範囲第33項または第34項に記載の装
    置。
  36. 【請求項３６】当該装置は、測定装置である、特許請求
    の範囲第19項から第35項までのいずれかに記載の装置。
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