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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
und insbesondere eine Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
zum Messen der Oberflächenrauigkeit und
der Konturform eines dreidimensionalen Werkstücks entlang zwei Achsenrichtungen,
ohne das Werkstück
zu bewegen.
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Eine
Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
misst die Oberflächenrauigkeit
oder Konturform eines Werkstücks,
indem ein mit einem Taster ausgerüsteter Messfühler entlang
der Oberfläche des
Werkstücks
bewegt wird und das Ausmaß der Verschiebungen
des Tasters in ein elektrisches Signal umgewandelt wird, das in
einen Computer oder dergleichen zur Bearbeitung eingelesen wird.
1 zeigt
die grundsätzliche
Konfiguration einer Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
nach dem Stand der Technik, die auch in der
EP-A-1463185 beschrieben
ist.
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Die
Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung 1 ist
mit einer Sonde (Messfühler) 6 zum Messen
der Oberflächenrauigkeit
des auf einem Tisch 2 platzierten Werkstücks ausgerüstet und
der Messfühler 6 ist
an einem Halter 5 vorgesehen, der an einer Antriebseinheit 4 befestigt
ist.
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Der
Messfühler 6 hat
an seiner Spitze einen Taster 7 und das Ausmaß der Verschiebung
des Tasters 7 wird durch einen in den Messfühler 6 eingebauten
Differenzial-Messwertwandler
(nicht gezeigt) in eine Spannung umgewandelt. Dieser Spannungswert
wird durch einen A/D-Wandler
in ein digitales Signal umgewandelt, das in ein Datenverarbeitungsgerät, wie zum
Beispiel einen Computer (nicht dargestellt), eingegeben wird. Auf
diese Weise werden Messdaten, die die Oberflächenrauigkeit des Werkstücks zeigen,
von dem Datenverarbeitungsgerät
erfasst.
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Wie 1 zeigt,
ist die Antriebseinheit 4 an einer Säule 3 angesetzt, die
vertikal auf dem Tisch 2 montiert ist, und unter Verwendung
eines Motors, der gemäß Anweisungen
von dem Datenverarbeitungsgerät
angesteuert wird, kann die Antriebseinheit 4 den Halter 5 in
Rechts-/Links-Richtung
(X-Richtung) bewegen, die eine vorbestimmte Richtung parallel zur
Tischoberfläche
ist, auf der das Werkstück
angeordnet ist; ferner kann die Antriebseinheit 4 selbst entlang
der Säule 3 in
Auf-/Ab-Richtung
(Z-Richtung) senkrecht zu der Tischoberfläche entsprechend der Höhe des Werkstücks bewegt
werden.
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Bei
der Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung 1 nach
dem Stand der Technik ist die Richtung, in der die Antriebseinheit 4 den
Messfühler 6 entlang
der Messoberfläche
des Werkstücks
bewegen kann, auf die in der Figur gezeigte X-Richtung beschränkt. Der
Grund dafür
liegt darin, dass verschiedene Normen (beispielsweise JIS-Norm und ISO-Norm),
die die Rauigkeitsmessung definieren, nur die auf einer geraden
Linie gemessene Rauigkeit spezifizieren.
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Entsprechend
wurde in solchen (Sonder-)Fällen,
bei denen die Oberflächenrauigkeit/Konturform
in der X-Y-Ebene bewertet wurde, die Messung so durchgeführt, dass
an dem Tisch eine Y-Achsen-Antriebseinheit zur Bewegung des Werkstücks in die
andere Richtung (Y-Richtung) als die X-Richtung auf der Tischoberfläche montiert
wurde, um den Messfühler 6 relativ
zu dem Werkstück
entlang den beiden Richtungen in der Ebene (X- und Y-Richtung) parallel
zu der Tischoberfläche
zu bewegen.
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Herkömmlicherweise
wurde eine derartige dreidimensionale Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
beispielsweise ausschließlich
zur Bewertung des Glanzes einer lackierten Oberfläche oder
der Oberflächeneigenschaft
einer Folie oder zur Messung der Flachheit einer mit Flüssigkristall
beschichteten Oberfläche
verwendet, und ein wichtiges Problem war, eine Messvorrichtung zu
schaffen, die einen großen
Messbereich und eine hohe Vielseitigkeit hat.
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Der
Bedarf zur Messung von Werkstücken wie
vorstehend beschrieben unter Verwendung der Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
hat jedoch immer mehr abgenommen und an Stelle dessen hat der Bedarf
zur Messung der Formen von kleinen Hochpräzisionsteilen für Anwendungen
auf dem Gebiet der Mikromaschinen zugenommen. Diese Anwendungen
erfordern eine Präzision
im Submikronbereich oder höher
sowie die Präzisionssicherung
in drei Dimensionen.
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Die
Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
nach dem Stand der Technik, bei der die Bewegung des Messfühlers 6 relativ
zu dem Werkstück entlang
einer Richtung (Y-Richtung)
auf der Messoberfläche
durch Verwendung einer Antriebseinheit zum Antreiben des Werkstücks erreicht
wurde, hatte jedoch die folgenden Probleme.
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Wenn
die Antriebseinheit für
das Werkstück in
der Y-Achse wie vorstehend beschrieben verwendet wird, besteht eine
Einschränkung
hinsichtlich ihrer Fähigkeit
zur Bewältigung
von Gewicht und es ist nicht möglich,
ein Werkstück
zu messen, dessen Gewicht die Gewichtskapazität übersteigt, womit der Bereich
von Werkstücken
beschränkt
ist, die durch die Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung gemessen
werden können.
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Ein
weiteres Problem liegt darin, dass sich ein Massenschwerpunkt auf
die Verwindung des beweglichen Tisches und des Antriebs der Einheit
auswirkt, wobei das Ausmaß der
Verschiebung sich in Abhängigkeit
vom Massenschwerpunkt und der Montageposition des Werkstücks verändert, was
unerwünschte
Auswirkungen auf die Messgenauigkeit verursacht.
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Um
ferner die erforderliche Gewichtskapazität sicherzustellen, müssen ein
Mechanismus und eine Leistungsquelle für die Antriebseinheit für das Werkstück in der
Y-Achse verwendet werden, die diesem Zweck in ausreichender Weise
gerecht werden, was zu dem Problem führt, dass nicht nur die Größe, sondern
auch die Kosten der Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
zunehmen.
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Wenn
ferner die Antriebseinheit für
das Werkstück
in der Y-Achse wie vorstehend beschrieben an dem Tisch montiert
wird, ist es aufgrund von Effekten wie beispielsweise Temperaturveränderungen
und Vibrationen schwierig, die Antriebseinheit für das Werkstück in der
Y-Achse exakt im rechten Winkel zu der Antriebseinheit 4 einzubauen,
da die Säule zwischen
der Antriebseinheit für
das Werkstück
in der Y-Achse und der Antriebseinheit 4 liegt.
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Die
EP-A-0317967 beschreibt
eine Oberflächenkonturmessvorrichtung,
die eine Sonde hat, die um eine orthogonale Achse gedreht werden
kann.
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Die
US-A-4765181 beschreibt
ein anderes Instrument zur Messung der Oberflächenstruktur, das einen Messfühler aufweist,
der einen Schlitten mit einem Taster umfasst.
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Die
DE 3823993 zeigt ein Koordinatenmessgerät auf, das
eine Sonde mit einem Taster hat, der relativ zu der Sonde in drei
Dimensionen beweglich ist.
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Gemäß vorliegender
Erfindung enthält
eine Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
eine Sonde, die mit einer Oberfläche
eines Werkstücks
in Kontakt gebracht wird, sowie eine Antriebseinheit, welche die
Sonde dergestalt hält,
dass sie in einer vorbestimmten Richtung linear beweglich ist, und
die eine Oberflächenform
des Werkstücks
entlang der Bewegungsrichtung der Antriebseinheit misst, wobei ein
Verbindungselement, das in der Lage ist, die Sonde in einer vorbestimmten
Richtung relativ zu der Antriebseinheit linear zu bewegen, zwischen
der Sonde und der Antriebseinheit vorgesehen ist, und dadurch gekennzeichnet,
dass das Verbindungselement eine erste Befestigung, die mit einer
an der Antriebseinheit vorgesehenen Befestigung auf der Seite der
Antriebseinheit in Eingriff bringbar ist, und eine zweite Befestigung
enthält,
die mit einem Halter in Eingriff bringbar ist, der die Sonde hält, und
dadurch, dass das Verbindungselement zwischen der Sonde und der
Antriebseinheit durch die erste und zweite Befestigung einfach nachgerüstet werden
kann.
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Die
vorliegende Erfindung schafft eine Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung,
die die Sonde relativ zum Werkstück
innerhalb der orthogonalen X-Y-Ebene
unter Verwendung einer relativ kostengünstigen Konstruktion bewegen
kann.
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Die
Vorrichtung kann auch die Oberflächenform
des Werkstücks
innerhalb der orthogonalen X-Z-Ebene oder entlang einer geneigten
Oberfläche unter
Verwendung einer relativ kostengünstigen
Konstruktion messen.
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Das
Verbindungselement kann zwischen der Antriebseinheit und der Sonde
in der Weise eingesetzt werden, dass die Sonde in einer Richtung
bewegt wird, die von der Richtung verschieden ist, in der die Antriebseinheit
die Sonde bewegt, oder alternativ kann es zwischen der Antriebseinheit
und der Sonde dergestalt eingesetzt werden, dass die Sonde in der
Richtung bewegt wird, in der die Antriebseinheit die Sonde bewegt.
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Diese
und weitere Aufgaben und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden
aus der folgenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen
unter Bezugnahme auf die beigefügten
Zeichnungen besser verständlich,
in denen:
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1 eine
Darstellung ist, die die grundsätzliche
Konfiguration einer Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
nach dem Stand der Technik zeigt;
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2 eine
Darstellung ist, die die grundsätzliche
Konfiguration einer Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
gemäß einer
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt;
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3A und 3B vergrößerte perspektivische
Ansichten eines in 2 gezeigten Verbindungselements
sind;
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3C eine
Darstellung ist, die einen Betriebszustand zeigt, in dem das Verbindungselement eingesetzt
ist und eine Antriebseinheit mit einem Messfühler verbindet; und
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4 eine
Darstellung zur Erläuterung
ist, wie eine Sägezahnfläche unter
Verwendung der in 2 gezeigten Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung
gemessen wird.
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Bevorzugte
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf
die beiliegenden Zeichnungen im Detail beschrieben.
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2 ist
eine Darstellung, die die grundsätzliche
Konfiguration einer Oberflächenrauigkeits- /Konturmessvorrichtung
gemäß einer
Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung zeigt. Die grundsätzliche Konfiguration der Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung 1 ist ähnlich der
in 1 gezeigten Konfiguration; daher sind die funktionellen
Teile, die denjenigen in 1 ähnlich sind, durch die gleichen Bezugszeichen
bezeichnet und die Beschreibung dieser Teile wird hier nicht wiederholt.
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Wie
dargestellt ist in der Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung 1 der
Halter 5 zum Halten des Messfühlers 6 mit der Antriebseinheit 4 durch ein
Verbindungselement 8 verbunden.
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In
dem Beispiel in 2 ist das Verbindungselement 8 in
der Lage, den Messfühler 6 entlang
der Y-Richtung im rechten Winkel zu der X-Richtung zu bewegen, die
eine vorgegebene Richtung in der X-Y-Ebene parallel zu der Tischoberfläche ist
und in der der Messfühler 6 durch
die Antriebseinheit 4 bewegt wird. Eine vergrößerte Ansicht
dieses Verbindungselements 8 ist in 3A gezeigt.
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Wie 3A zeigt,
enthält
das Verbindungselement 8: einen Hauptkörper 81; eine erste
Befestigung 82, die an einer Seite an dem Hauptkörper 81 befestigt
ist und an der anderen Seite mit einer Befestigung 41 auf
der Seite der Antriebseinheit (siehe 3C) in
Eingriff gehalten ist, wodurch der Hauptkörper 81 relativ zu
der Antriebseinheit 4 befestigt gehalten wird; ein bewegliches
Stück 83,
das relativ zu dem Hauptkörper 81 in
Y-Richtung beweglich ist; einen Motor 84 zum Antreiben
des beweglichen Stücks 83;
und eine zweite Befestigung 85, die an einer Seite an dem
beweglichen Stück 83 befestigt
ist und an der anderen Seite mit dem Halter 5 in Eingriff
kommt, um ihn fixiert zu halten. Der Motor 84 wird durch
Anweisungen von dem Datenverarbeitungsgerät (nicht dargestellt) angesteuert.
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Das
bewegliche Stück 83 ist
an dem Hauptkörper 81 so
angebracht, dass es entlang einer vorgegebenen Oberfläche 81A des
Hauptkörpers 81 in Y-Richtung
verschiebbar ist. 3B zeigt einen Zustand, in dem
das bewegliche Stück 83 entlang
der vorgegebenen Oberfläche 81A des
Hauptkörpers 81 verschoben
ist.
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3C ist
eine Darstellung, die einen Betriebszustand zeigt, in dem das Verbindungselement 8 zwischen
der Antriebseinheit 3 und dem Halter 5 zum Halten
des Messfühlers 6 eingesetzt
ist. Wie dargestellt, ist die erste Befestigung 82 des
Verbindungselements 8 in Eingriff mit der Befestigung 41 auf
der Seite der Antriebseinheit gehalten, die von der Antriebseinheit 4 in
X-Richtung angetrieben wird. Andererseits ist der Halter 5 zum
Halten des Messfühlers 6 in
Eingriff mit der zweiten Befestigung 85 gehalten, die an
dem beweglichen Stück 83 befestigt ist,
das relativ zu dem Hauptkörper 81 in
Y-Richtung beweglich ist.
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Mit
dem vorstehend beschriebenen Aufbau kann der Messfühler 6 durch
die Antriebseinheit 4 und das Verbindungselement 8 in
X- und Y-Richtung angetrieben werden.
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Das
Verbindungselement 8 kann ohne weiteres an jeder vorhandenen
Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung 1 nachgerüstet werden,
die nicht mit einem Antriebsmechanismus in Y-Richtung ausgerüstet ist,
indem die erste Befestigung 82 und die zweite Befestigung 85 verwendet werden,
die jeweils so ausgelegt sind, dass sie mit der Befestigung 41 auf
der Seite der Antriebseinheit und dem Halter 5 in Eingriff
gebracht werden können, der
ursprünglich
an der vorhandenen Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung 1 vorgesehen
ist.
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Wenn
ferner der Befestigungswinkel der ersten Befestigung 82 zu
einer Oberfläche 81B (XY-Ebene)
des Hauptkörpers 81 um
90° geändert wird,
kann das Verbindungselement 8 mit der Befestigung 41 auf
der Seite der Antriebseinheit in Eingriff gebracht werden, so dass
der Messfühler 6 durch das
Verbindungselement 8 in X-Richtung angetrieben wird. Als
Resultat ist die Richtung, in der der Messfühler 6 durch das Verbindungselement 8 angetrieben
wird, gleich der Richtung, in der die Befestigung 41 auf
der Seite der Antriebseinheit von der Antriebseinheit 4 angetrieben
wird, und somit kann der Antriebsbereich des Messfühlers 6 in
der X-Richtung erweitert werden.
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Wenn
ferner die erste Befestigung 82 an der XZ-Ebene des Hauptkörpers 81 montiert
wird (das heißt
an der Seite, die der Seite, an der der Motor 84 montiert
ist, entgegengesetzt ist), kann das Verbindungselement 8 mit
der Befestigung 41 auf der Seite der Antriebseinheit in
Eingriff gebracht werden, so dass der Messfühler 6 von dem Verbindungselement 8 in
Z-Richtung angetrieben wird.
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Dies
ermöglicht
es, die Oberflächenform
des Werkstücks
in der orthogonalen X-Z-Ebene zu messen.
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Auf
diese Weise kann das Verbindungselement 8 an der Befestigung 41 auf
der Seite der Antriebseinheit oder dem Halter 5 angesetzt
werden, so dass der Messfühler 6 von
dem Verbindungselement 8 in der Richtung angetrieben wird,
in der das Verbindungselement 8 von der Antriebseinheit 4 angetrieben
wird, oder in eine der beiden zu dieser orthogonalen Richtungen;
wenn ferner der Winkel, in dem die erste Befestigung 82 an
der Befestigungsoberfläche des
Hauptkörpers 81 angesetzt
ist, von dem Winkel verschieden gewählt wird (nicht parallel dazu),
in dem er an der Befestigungsoberfläche der Befestigung 41 auf
der Seite der Antriebseinheit angesetzt ist, wird es möglich, das
Verbindungselement 8 in der Weise zu montieren, dass der
Messfühler 6 durch das
Verbindungselement 8 in einer in Bezug auf die X-Richtung gekippten
(im Winkel stehenden) Richtung angetrieben wird.
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Ferner
kann ein Winkeleinstellmechanismus, wie zum Beispiel ein Universalkopf,
an der Befestigung 41 auf der Seite der Antriebseinheit
oder der ersten Befestigung 82 vorgesehen sein, um den
Relativwinkel zwischen der Richtung, in der der Messfühler 6 von
dem Verbindungselement 8 angetrieben wird, und der Richtung,
in der das Verbindungselement 8 von der Antriebseinheit 4 angetrieben
wird, einzustellen.
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Wenn
es möglich
wird, den Messfühler 6 durch
das Verbindungselement 8 wie vorstehend beschrieben in
einer in einem gewünschten
Winkel gekippten Richtung anzutreiben, wird der folgende Effekt
erreicht.
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Wenn
die Oberflächenrauigkeit
eines Werkstücks,
wie beispielsweise eine Bearbeitungsriefe an einem Schneidwerkzeug,
gemessen wird, entspricht es der allgemeinen Regel, die Messung
durchzuführen,
in dem die Sonde im rechten Winkel zur Bearbeitungsrichtung des
Werkstücks
bewegt wird. Wenn die Sonde in einer derartigen Messrichtung beispielsweise
unter Verwendung eines herkömmlichen XY-Achsen-Bewegungsmechanismus
bewegt wird, bewegt sich die Sonde in Abhängigkeit von der XY-Auflösung des
XY-Achsen-Bewegungsmechanismus in sprunghafter Weise, was zu Messfehlern führt. Mit
dem Verbindungselement 8 gemäß vorliegender Erfindung wird
es jedoch möglich,
da die Bewegungsrichtung des Verbindungselements 8 in Übereinstimmung
mit der Bearbeitungsrichtung nach Wunsch eingestellt werden kann,
derartige Messfehler zu vermeiden, indem die Messung beispielsweise so
durchgeführt
wird, dass die Bewegungsrichtung des Verbindungselements 8 so
eingestellt wird, dass sie der Bearbeitungsriefe an dem Schneidwerkzeug entspricht.
Ferner wird es auch möglich,
die Messoberfläche
effizient zu messen, wenn sie in beliebiger Richtung gekippt ist.
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Bei
der Messung einer Sägezahnfläche wie der
in 4 gezeigten wird das Verbindungselement 8 so
angesetzt, dass der Messfühler 6 von
dem Verbindungselement 8 in einer zweiten Achsenrichtung entlang
der Sägezahnfläche innerhalb
der XZ-Ebene angetrieben wird.
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Wie
in der Figur gezeigt, bewegt dann, wenn ein Zahnflächenabschnitt
A gemessen wird, das Verbindungselement 8 den Messfühler 6 aus
der Position E in die Position F, während das Verbindungselement 8 von
der Antriebseinheit 4 an der Position C festgehalten wird.
Wenn die Messung des Zahnflächenabschnitts
A vollendet ist, bewegt die Antriebseinheit 4 das Verbindungselement 8 in
die Position D, während
andererseits das Verbindungselement 8 den Messfühler 6 zurück in die
Position E' bewegt und
dann den Messfühler 6 aus
der Position E' in
die Position F' bewegt,
um einen Zahnflächenabschnitt
B in der gleichen Weise wie bei der Messung des Zahnflächenabschnitts
A zu messen. Durch Wiederholung dieses Betriebsablaufs kann eine
Sägezahnfläche mit
hoher Auflösung
und in kontinuierlicher Weise gemessen werden.
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Wie
vorstehend beschrieben kann, wenn das Verbindungselement gemäß vorliegender
Erfindung angebracht ist, die Oberflächenrauigkeits-/Konturmessvorrichtung 1 problemlos
die Oberflächenrauigkeit/Konturform
des Werkstücks
entlang der XY-Ebene parallel zur Tischoberfläche messen.
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Wenn
beispielsweise ein zylindrisch geformtes Werkstück auf der Seite auf den Tisch 2 gelegt wird
und die Koordinaten und die Höhe
jedes Punktes auf der zylindrischen Oberfläche des zylindrisch geformten
Werkstücks
gemessen werden, indem der Messfühler
in X- und Y-Richtung über die
zylindrische Oberfläche
des zylindrisch geformten Werkstücks bewegt
wird, können
ferner die Koordinaten und die Höhe
des Scheitelpunkts der zylindrischen Oberfläche an jeder Position in Verlaufsrichtung
des zylindrisch geformten Werkstücks
ohne weiteres bestimmt werden.
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Ferner
wird es durch Auswählen
von zwei Scheitelpunkten der zylindrischen Oberfläche des
zylindrisch geformten Werkstücks,
das in beliebiger Richtung gelegt ist, und durch Erhalten der Lagerichtungen
der Scheitelpunkte der zylindrischen Oberfläche im Voraus möglich, die
Parallelität
zwischen den Seiten des zylindrisch geformten Werkstücks zu messen.
Um in diesem Fall die Messung zu erleichtern, indem die Verlaufsrichtungen
des zylindrisch geformten Werkstücks
in X- und Y-Richtung ausgerichtet werden, kann das auf dem Tisch 2 auf
die Seite zu legende zylindrisch geformte Werkstück auf einem rotierenden Tisch
platziert werden, um das Werkstück
um die Z-Achse zu drehen, und die Messung kann in diesem Zustand
durchgeführt
werden.
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Wenn
die Antriebseinheit und der Messfühler durch Verwendung des Verbindungselements
gemäß vorliegender
Erfindung wie vorstehend beschrieben miteinander verbunden werden,
kann der Messfühler relativ
zum Werkstück
innerhalb der Messebene bewegt werden, ohne das Werkstück zu bewegen.
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Dies
ermöglicht
es, die Oberflächenform
des Werkstücks
innerhalb der Messebene zu messen, ohne durch die maximale Gewichtskapazität der Werkstück-Antriebseinheit,
wie etwa eines beweglichen Werkstücktisches, beschränkt zu sein.
Da ferner die durch das Verbindungselement anzutreibende Sonde ein
relativ leichtes Bauelement ist, kann ein kleiner Mechanismus, der
zu hoher Präzision
fähig ist,
einfach und mit geringen Kosten erreicht werden.
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Ferner
wirken sich weder der Massenschwerpunkt noch die Montageposition
des Werkstücks
auf die Messgenauigkeit aus.
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Indem
das Verbindungselement so montiert wird, dass es die Sonde in einer
Richtung antreibt, die von der Richtung verschieden ist, in der
die Antriebseinheit die Sonde bewegt, kann die Messung nicht nur
in der orthogonalen XY-Ebene und der orthogonalen XZ-Ebene durchgeführt werden,
sondern auch entlang verschiedener geneigter Oberflächen außerhalb
dieser orthogonalen Ebenen. Hier bezieht sich die X-Richtung auf
eine vorbestimmte Richtung parallel zur Montageoberfläche, auf
der das Werkstück
montiert ist, das heißt
die Richtung, in der die Sonde von der Antriebseinheit angetrieben
wird, und die Y-Richtung bezieht sich auf eine andere Richtung parallel
zu der Montageoberfläche,
jedoch von der X-Richtung verschieden, während die Z-Richtung sich auf
die zu der Montageoberfläche
senkrechte Richtung bezieht.
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Ferner
kann durch die Montage des Verbindungselements in der Weise, dass
es die Sonde in der Richtung antreibt, in der die Antriebseinheit
die Sonde bewegt, der Messbereich in der Richtung (X-Richtung) erweitert
werden, in der die Antriebseinheit die Sonde bewegt.
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Die
Erfindung ermöglicht
es ferner, eine Sägezahnfläche in kontinuierlicher
Weise und mit hoher Auflösung
zu messen.
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Die
vorliegende Erfindung kann in weitem Umfang an Messvorrichtungen
angewandt werden, die die Oberflächenform
eines Werkstücks
messen, indem eine Sonde, wie zum Beispiel ein Taster, entlang der
Oberfläche
des Werkstücks
bewegt wird.