DE3640287A1 - Verfahren zur erzeugung eines gemeinsamen koordinatensystems bei mehrarmigen koordinatenmessgeraeten - Google Patents

Verfahren zur erzeugung eines gemeinsamen koordinatensystems bei mehrarmigen koordinatenmessgeraeten

Info

Publication number
DE3640287A1
DE3640287A1 DE19863640287 DE3640287A DE3640287A1 DE 3640287 A1 DE3640287 A1 DE 3640287A1 DE 19863640287 DE19863640287 DE 19863640287 DE 3640287 A DE3640287 A DE 3640287A DE 3640287 A1 DE3640287 A1 DE 3640287A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
coordinate
arms
points
common
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19863640287
Other languages
English (en)
Other versions
DE3640287C2 (de
Inventor
Karl-Hermann Dr Ing Breyer
Helmut Dipl Ing Mueller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DE19863640287 priority Critical patent/DE3640287A1/de
Publication of DE3640287A1 publication Critical patent/DE3640287A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3640287C2 publication Critical patent/DE3640287C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines

Description

Zur Vermessung von großvolumigen Werkstücken, wie z. B. Automobilkarosserien werden häufig Koordinatenmeßgeräte in Mehrständerausführung, d. h. aus mehreren Einzelgeräten aufgebaute Koordinatenmeßgeräte eingesetzt.
Derartige Koordinatenmeßgeräte sind z. B. in der Druckschrift 60 12 001 der Firma Carl Zeiss mit dem Titel "Vollautomatische Karosseriemessung mit Zeiss CNC-Mehrständer-Meßmaschinen" beschrieben.
Bei diesen Koordinatenmeßgeräten besteht das Problem, die den einzelnen Meßarmen zugeordneten und durch deren Führungen definierten Koordinatensysteme so aneinander anzupassen, daß ein für die Messung gemeinsames Koordinatensystem entsteht. Dies wurde bisher dadurch erreicht, daß die Führungen der Einzelgeräte mit der erforderlichen Genauigkeit im Bereich weniger Winkelsekunden zueinander justiert wurden. Für die auf diese Weise zueinander ausgerichteten Koordinatensysteme wurde dann ein gemeinsamer Nullpunkt geschaffen, indem von den Meßarmen ein im gemeinsamen Teil des Meßbereiches befindlicher Referenzpunkt durch Antastung ermittelt wurde. Dieser Referenzpunkt, der z. B. der Mittelpunkt eines Kugelnormals sein konnte, wurde zum Nullpunkt des gemeinsamen Koordinatensystems erklärt und im Rechner des Koordinatenmeßgerätes abgelegt.
Dem beschriebenen, bekannten Verfahren haftet der Mangel an, daß alle gegenseitigen Abweichungen der Führungen der Einzel­ geräte auch Abweichungen der ermittelten Meßwerte vom gemein­ samen Koordinatensystem zur Folge haben und demzufolge Meßfehler entstehen.
Zwar ist es bereits bekannt, die Führungsfehler von Koordinatenmeßgeräten in den einzelnen Achsen rechnerisch zu korrigieren. Die durch Fehljustierungen der Einzelgeräte zu­ einander entstandenen Abweichungen wurden dadurch jedoch nicht beseitigt. Zudem ist das genaue Ausrichten der Führungen der Einzelgeräte zueinander ein zeitraubender Vorgang.
Aus der DE-OS 32 08 412 und der DE-OS 32 17 967 sind mehrarmige Koordinatenmeßgeräte bekannt, deren Meßarme von einem einzigen Rechner gleichzeitig gesteuert werden. Auch bei diesen bekannten Meßsystemen hängt die Meßgenauigkeit davon ab, wie genau die Führungen der beiden Meßarme zueinander justiert sind.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Erzeugung eines gemeinsamen Koordinatensystems bei mehrarmigen Koordinatenmeßgeräten zu schaffen, das einen möglichst geringen Aufwand erfordert und es erlaubt, die Meßgenauigkeit der Maschine zu erhöhen.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß in dem jeweils zwei Meßarmen (11, 12) gemeinsamen Teil (13) des Meßbereiches des Koordinatenmeßgerätes mindestend drei Meßpunkte von den beiden Meßarmen angetastet werden und diesen Punkten in den Koordinatensystemen der beiden Meßarme die gleichen Koordinatenwerte zugeordnet werden.
Mit Hilfe der drei gemeinsamen von z. B. zwei Meßarmen gemessenen Punkte, denen dann vom Rechner des Koordinatenmeßgerätes die gleichen Koordinatenwerte zugeordnet werden, lassen sich die beiden Einzelkoordinatensysteme rechnerisch eindeutig mit­ einander koppeln. Die Koordinatensysteme von weiteren Meßarmen können dann sukzessive daran angeschlossen werden, indem der Vorgang für den überlappenden Teil des Meßbereiches zu diesem weiteren Meßarm in gleicher Weise wiederholt wird.
Zur Durchführung des Verfahrens kann beispielsweise ein mit drei räumlich exakt definierten Punkten, z. B. Kugelmittelpunkten versehener Prüfkörper im gemeinsamen d. h. überlappenden Teil des Meßbereiches zweier Meßarme angeordnet werden. Auf die exakte Zuordnung der drei Punkte zueinander kommt es nicht an, es ist lediglich sicherzustellen, daß die drei Meßpunkte, die von beiden Meßarmen angetastet werden müssen, auch von beiden Seiten zugänglich sind.
Es ist weiterhin möglich, einen Prüfkörper oder ein Prüfwerkstück wie z. B. ein an sich bekanntes Kugelnormal, das einen einzigen Meßpunkt definiert, an mindestens drei verschiedenen Stellen im gemeinsamen Teil des Meßbereiches zu positionieren und dort mit beiden Meßarmen anzutasten.
Eine weitere, besonders vorteilhafte Ausführungsform des Verfahrens besteht darin, daß jeweils einer der Meßarme selbst das Prüfwerkstück trägt und diese an drei verschiedenen Stellen positioniert, und diese Positionen von dem anderen Meßarm durch Antastung ermittelt werden. Dazu kann ein anstelle des Tasters am Tastkopf des einen Meßarmes eingewechselter Prüfkörper verwendet werden, der mit einer entsprechenden Aufnahme für den Tastkopf versehen ist. Der Wechselvorgang, mit dem der Taststift gegen den Prüfkörper ausgetauscht wird, ist hier ohne weiteres automatisierbar, wenn der Prüfkörper in einem Magazin für eine automatische Tasterwechseleinrichtung abgelegt ist, wie sie beispielsweise in der EP-A 1 01 28 464 beschrieben ist.
Weiterhin kann die ohnehin für den Meßvorgang vorgesehene Tastkugel am Tastkopf eines der beiden Meßarme selbst als Prüfkörper dienen und in drei verschiedenen Positionen von der Tastkugel des jeweils anderen Meßarmes angetastet werden. Es ist dann überhaupt kein Prüf- oder Referenzkörper nötig, um den Anschluß der Koordinatensysteme der beiden sich gegenseitig antastenden Meßarme sicherzustellen.
Bei der letztgenannten Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es zweckmäßig, einen der einander berührenden Taststifte während des gegenseitigen Antastens in seinem Tast­ kopf zu klemmen. Eine Klemmung des Taststiftes ist in vielen Tastköpfen für Koordinatenmeßgeräte in der Regel ohnehin bereits vorhanden und dort für andere Zwecke, z. B. für den sogenannten "Scanning-Betrieb" vorgesehen.
Wird mit dem erfindungsgemäßen Verfahren der Anschluß der Koordinatensysteme der verschiedenen Einzelgeräte rechnerisch hergestellt, dann ist eine exakte mechanische Ausrichtung der Führungen der Einzelgeräte zueinander mit der eingangs genannten Genauigkeit von wenigen Winkelsekunden nicht mehr erforderlich. Da dieses Verfahren sehr schnell z. B. auch zwischen zwei Meßvorgängen ausgeführt werden kann, werden auch Fehler eliminiert, die dadurch entstehen, daß sich die Führungen der Einzelgeräte zueinander bewegen, beispielsweise infolge wechselnden Belastungen durch das zu vermessende Werkstück.
Zum besseren Verständnis der Erfindung wird nachstehend ein Ausführungsbeispiel anhand der Fig. 1-6 der Zeichnungen erläutert.
Fig. 1 ist eine perspektivische Gesamtansicht eines Koordinatenmeßgerätes in Zweiständerbauweise.
Fig. 2-4 und Fig. 6 sind schematische Skizzen, in denen die Koordinatensysteme der beiden Einzelgeräte (1 und 2) in Fig. 1 in verschiedenen Stadien der gegen­ seitigen Ausrichtung zueinander dargestellt sind.
Fig. 5 ist eine Prinzipskizze zur Erläuterung des Ver­ fahrens zur Erzeugung eines gemeinsamen Koordinatensystems für die beiden Einzelgeräte (1 und 2).
Das in Fig. 1 dargestellte Meßgerät ist aus zwei Einzelgeräten (1 und 2) in Ständerbauweise aufgebaut. Die beiden Ständer lassen sich entlang der mit (3 und 4) bezeichneten Führungen parallel zueinander verschieben. Jeder Ständer trägt an seinem Querarm bzw. Meßarm (11, 12) einen Tastkopf (7 bzw. 8) mit mehreren Taststiften. Mit den Tastkugeln (9 und 10) kann das zu vermessende Werkstück, das ist die in der Figur dargestellte Automobilkarosserie (5), von beiden Seiten vermessen werden. Hierbei werden die Meßergebnisse, d. h. die von den Längenmeßsystemen an den Führungen der beiden Einzelgeräte (1 und 2) gelieferten Meßwerte von einem gemeinsamen Rechner verarbeitet. Wie eingangs bereits ausgeführt ist zur Erzielung einer hohen Meßgenauigkeit Voraussetzung, daß die Koordinatensysteme der beiden Einzelgeräte (1 und 2) innerhalb der geforderten Genauigkeit nicht voneinander abweichen.
In Fig. 2 sind die beiden Koordinatensysteme A 1 und A 2 der beiden Einzelgeräte so dargestellt, wie sie sich nach Aufstellung der Maschine ohne zusätzliche Maßnahmen ergeben. Aufgrund der übertrieben dargestellten Abweichungen in den Führungen der Einzelgeräte sind beide Koordinatensysteme in sich schiefwinklig, verbogen und besitzen Maßstabsfehler in allen drei Achsen. Korrigiert man diese einmal ermittelten Abweichungen mit Hilfe an sich bekannter Verfahren, wie sie z. B. in der EP-A 1 00 82 441 beschrieben sind, indem man für jedes der beiden Einzelgeräte die translatorischen und rotatorischen Führungsfehler ermittelt und bei der Meßwertbildung berücksichtigt, so erhält man die beiden in Fig. 3 dargestellten, rechtwinkligen und geradlinigen Koordinatensysteme (B 1) und (B 2 ), die aber noch zueinander versetzt und verkippt sind.
Mit dem eingangs genannten, aus der Firmenschrift 60 12 001 bekannten Verfahren, werden die beiden Koordinatensysteme (B 1) und (B 2) rechnerisch gegeneinander verschoben und an dem in Fig. 4 mit R bezeichneten Punkt in Übereinstimmung gebracht, indem von beiden Tastkugeln (9 und 10) ein gemeinsamer Referenzkörper angetastet wird. Aus Fig. 4 ist außerdem ersichtlich, daß mit dieser Maßnahme jedoch kein vollständiger Anschluß der Koordinatensysteme (B 1) und (B 2) aneinander erreicht wird, denn die beiden Koordinatensysteme können immer noch bezüglich dreier Achsen gegeneinander verkippt bzw. verdreht sein. Bisher wurde durch möglichst genaues Justieren der Führungen zueinander dafür gesorgt, daß die resultierenden Meßfehler innerhalb der für die Maschine angegebenen Grenzen bleiben. Man ging also davon aus, daß die Führungen der Einzelgeräte (1 und 2) mit ausreichender Genauigkeit zueinander parallel sind und die in Fig. 4 mit α, β und γ bezeichneten Kippwinkel vernachlässigt werden können.
Gemäß der Erfindung wird nun wie anhand von Fig. 5 darge­ stellt, die Tastkugel (10) am Tastkopf (8) des Meßarmes (12) des einen Einzelgerätes (2) im gemeinsamen Teil (13) der einander überlappenden Meßbereiche der Einzelgeräte an den mit (P 1, P 2 und P 3) bezeichneten Stellen positioniert. Die von den Achsen des Gerätes (2) gelieferten Koordinatenmeßwerte in diesen Positionen, die der Mittelpunkt der Tastkugel (10) ein­ nimmt, werden im gemeinsamen Rechner des Koordinatenmeßgerätes abgelegt.
Gleichzeitig tastet der am Meßarm (11) des anderen Einzelgerätes (1) befestigte Tastkopf (7) mit seiner Tastkugel (9) die Tastkugel (10) des anderen Einzelgerätes in den drei Positionen (P 1, P 2 und P 3 ) nacheinander so oft an, wie er es zur Bestimmung des jeweiligen Mittelpunktes der Tastkugel (10) erforderlich ist. Die von den Achsen des zweiten Einzelgerätes (1) gelieferten Meßwerte werden ebenfalls im Steuerrechner des Koordinatenmeßgerätes abgelegt. Der Rechner des Koordinatenmeßgerätes ordnet nun den entsprechenden Punkten der beiden Datensätze jeweils die gleichen Koordinaten zu. Auf diese Weise werden die beiden Koordinatensysteme der Einzelgeräte (1 und 2) an den drei Punkten (P 1 bis P 3) aneinander angeschlossen. Das Resultat zeigt Fig. 6. Durch den Anschluß entsteht im Rechner ein gemeinsames Koordinatensystem aus den jetzt auch winkelmäßig zueinander ausgerichteten Koordinatensystemen (B 1 und B 2) der Einzelgeräte (1 und 2).
Während sich die beiden Taststifte der Meßarme (11 und 12) im "Hand-Shaking" Verfahren gegenseitig antasten, wird der Taststift in einem der beiden Tastköpfe (8) in allen drei Meßachsen geklemmt, um die Eindeutigkeit beim Antastvorgang sicherzustellen.
Bei der Durchführung des soeben geschilderten Verfahrens ist darauf zu achten, daß die Punkten (P 1, P 2 und P 3) nicht auf einer Linie liegen, sondern ein Dreieck bilden, dessen Fläche möglichst groß ist, damit der Anschluß der Koordinatensysteme bezüglich Kippungen um alle drei möglichen Achsen sichergestellt sind.
Es ist klar, daß das wie beschrieben im Rechner gebildete gemeinsame Koordinatensystem der beiden Einzelgeräte (1 und 2) durch Transformation an ein anderes externes Koordinatensystem, wie z. B. das Werkstückkoordinatensystem gekoppelt werden kann. Außerdem können weitere Meßarme in das Koordinatensystem eingebunden werden, indem das beschriebene Verfahren nochmals, für den mit dem weiteren Meßarm überlappenden Teil des Meßbereiches durchgeführt wird.

Claims (6)

1. Verfahren zur Erzeugung eines gemeinsamen Koordinatensystems bei mehrarmigen Koordinatenmeßgeräten, dadurch ge­ kennzeichnet, daß in dem jeweils zwei Meßarmen (11, 12) gemeinsamen Teil (13) des Meßbereiches des Koordinatenmeßge­ rätes mindestens drei Meßpunkte (P 1, P 2, P 3) von den beiden Meßarmen angetastet werden und diesen Punkten in den Koordinatensystemen der beiden Meßarme die gleichen Koordinatenwerte zugeordnet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Meßpunkte auf einem Prüfkörper befestigt sind.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßpunkte durch ein einziges Prüfwerkstück realisiert sind, das an verschiedenen Stellen im gemeinsamen Teil des Meßbereiches positioniert wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Prüfwerkstück an einem der beiden Meßarme befestigt und mit Hilfe des Meßarmes positioniert wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem jeweils zwei Meßarmen (11, 12) gemeinsamen Teil (13) des Meßbereiches an mindestens drei Stellen (P 1, P 2, P 3) ein gegenseitiges Antasten der Tastelemente (Kugel 9, 10) der beiden Meßarme (11, 12) stattfindet.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Taststift mit dem Tastelement (10) des Tastkopfes (8) an einen der beiden Meßarme (12) während des gegenseitigen Antastens geklemmt ist.
DE19863640287 1986-11-25 1986-11-25 Verfahren zur erzeugung eines gemeinsamen koordinatensystems bei mehrarmigen koordinatenmessgeraeten Granted DE3640287A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863640287 DE3640287A1 (de) 1986-11-25 1986-11-25 Verfahren zur erzeugung eines gemeinsamen koordinatensystems bei mehrarmigen koordinatenmessgeraeten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863640287 DE3640287A1 (de) 1986-11-25 1986-11-25 Verfahren zur erzeugung eines gemeinsamen koordinatensystems bei mehrarmigen koordinatenmessgeraeten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3640287A1 true DE3640287A1 (de) 1988-06-01
DE3640287C2 DE3640287C2 (de) 1992-11-12

Family

ID=6314749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863640287 Granted DE3640287A1 (de) 1986-11-25 1986-11-25 Verfahren zur erzeugung eines gemeinsamen koordinatensystems bei mehrarmigen koordinatenmessgeraeten

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3640287A1 (de)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0362626A2 (de) * 1988-10-03 1990-04-11 Firma Carl Zeiss Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
DE4100686A1 (de) * 1990-01-12 1991-07-18 Ken Yanagisawa Antriebs- bzw. koordinatensteuersystem
EP0473895A1 (de) * 1990-09-05 1992-03-11 Dr.-Ing. Höfler Messgerätebau Gmbh Messeinrichtung für rotationssymmetrische Werkstücke
DE4221989A1 (de) * 1992-07-04 1994-01-05 Daimler Benz Ag Vorrichtung zur interferometrischen Messung der relativen Lage der beiden Meßpinolen eines Zwei-Ständer-Koordinatenmeßgerätes
DE4231040A1 (de) * 1992-09-17 1994-03-24 Zett Mess Technik Gmbh Höhenmeß- und Anreißgerät
US5341575A (en) * 1989-11-01 1994-08-30 Chisum Finis L Apparatus to gather, display, and/or print vehicle chassis measurement data for accurate repair of collision damaged vehicles
US6601434B2 (en) * 1999-12-02 2003-08-05 Thermwood Corporation System and method of calibrating a multi-toolhead machine
DE10245191A1 (de) * 2002-09-26 2004-04-08 Daimlerchrysler Ag Messvorrichtung und Verfahren zur Messqualitätssicherung der Messvorrichtung
GB2468643A (en) * 2009-03-16 2010-09-22 Rolls Royce Plc Method of monitoring the health of measurement machines
DE102010050544A1 (de) * 2010-11-09 2012-05-10 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Halterung zum Halten eines Sensors für ein Koordinatenmessgerät
DE102017100992A1 (de) 2017-01-19 2018-07-19 Carl Mahr Holding Gmbh Messvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Messvorrichtung
DE102018210953A1 (de) * 2018-07-04 2020-01-09 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Messsystem zum Vermessen eines Objekts mit an einem Koordinatenmessgerät angeordneten Positionsbestimmungselement sowie Verfahren

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111023975B (zh) * 2019-12-31 2021-09-03 内蒙古广纳信息科技有限公司 露天矿矿用自卸卡车的矿石方量检测装置及方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3208412A1 (de) * 1981-05-15 1982-12-09 D.E.A. Digital Electronic Automation S.p.A., 10024 Moncalieri, Torino Dimensionsmesssystem mit einer anzahl von betaetigungsarmen, gesteuert von einem computersystem

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3208412A1 (de) * 1981-05-15 1982-12-09 D.E.A. Digital Electronic Automation S.p.A., 10024 Moncalieri, Torino Dimensionsmesssystem mit einer anzahl von betaetigungsarmen, gesteuert von einem computersystem

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
VDI-Z.: 122 (1980), Nr. 13-Juli, Seite 535 bis 548 *

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0362626A3 (de) * 1988-10-03 1991-02-06 Firma Carl Zeiss Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
EP0362626A2 (de) * 1988-10-03 1990-04-11 Firma Carl Zeiss Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
US5341575A (en) * 1989-11-01 1994-08-30 Chisum Finis L Apparatus to gather, display, and/or print vehicle chassis measurement data for accurate repair of collision damaged vehicles
DE4100686C2 (de) * 1990-01-12 1999-02-25 Ken Yanagisawa Koordinatensteuersystem für Antriebe und Kombination von Koordinatensteuersystemen
DE4100686A1 (de) * 1990-01-12 1991-07-18 Ken Yanagisawa Antriebs- bzw. koordinatensteuersystem
EP0473895A1 (de) * 1990-09-05 1992-03-11 Dr.-Ing. Höfler Messgerätebau Gmbh Messeinrichtung für rotationssymmetrische Werkstücke
DE4221989A1 (de) * 1992-07-04 1994-01-05 Daimler Benz Ag Vorrichtung zur interferometrischen Messung der relativen Lage der beiden Meßpinolen eines Zwei-Ständer-Koordinatenmeßgerätes
DE4231040C2 (de) * 1992-09-17 2002-11-28 Zett Mess Technik Gmbh Höhenmess- und Anreißgerät
DE4231040A1 (de) * 1992-09-17 1994-03-24 Zett Mess Technik Gmbh Höhenmeß- und Anreißgerät
US6601434B2 (en) * 1999-12-02 2003-08-05 Thermwood Corporation System and method of calibrating a multi-toolhead machine
DE10245191A1 (de) * 2002-09-26 2004-04-08 Daimlerchrysler Ag Messvorrichtung und Verfahren zur Messqualitätssicherung der Messvorrichtung
DE10245191B4 (de) * 2002-09-26 2005-04-14 Daimlerchrysler Ag Messvorrichtung und Verfahren zur Messqualitätssicherung der Messvorrichtung
GB2468643A (en) * 2009-03-16 2010-09-22 Rolls Royce Plc Method of monitoring the health of measurement machines
GB2468643B (en) * 2009-03-16 2012-02-08 Rolls Royce Plc Method of monitoring the health of measurement machines
DE102010050544A1 (de) * 2010-11-09 2012-05-10 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Halterung zum Halten eines Sensors für ein Koordinatenmessgerät
DE102017100992A1 (de) 2017-01-19 2018-07-19 Carl Mahr Holding Gmbh Messvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Messvorrichtung
US10684127B2 (en) 2017-01-19 2020-06-16 Carl Mahr Holding Gmbh Zero positioning measuring device including improved probe units
DE102018210953A1 (de) * 2018-07-04 2020-01-09 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Messsystem zum Vermessen eines Objekts mit an einem Koordinatenmessgerät angeordneten Positionsbestimmungselement sowie Verfahren

Also Published As

Publication number Publication date
DE3640287C2 (de) 1992-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1932010C3 (de) Vorrichtung zum Prüfen von Werkstücken
DE3714862C2 (de)
DE2934347C2 (de) Verfahren und Prüfgerät zum Prüfen des Zahnflankenprofils von Zahnrädern großen Durchmessers
DE602005004092T2 (de) Gerät zum Messen der Oberflächenrauhigkeit oder der Kontur eines Objektes
DE3640287C2 (de)
EP0082441A2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung und Korrektur von Führungsfehlern
DE4420137A1 (de) Meßgerät zur Überprüfung der Abmessungen von zylindrischen Werkstücken
DE4110209A1 (de) Vorrichtung zur justierung einer cnc-gesteuerten schleifmaschine
EP3240994A1 (de) Erfassung von geometrischen abweichungen einer bewegungsführung bei einem koordinatenmessgerät oder einer werkzeugmaschine
EP0426095A2 (de) Koordinatenmessgerät
DE2718506C2 (de) Mehrkoordinaten-Meßmaschine
EP0789221B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur koordinatenmässigen Vermessung von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen
DE60128574T2 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines Messgerätes
EP0264717B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Messung von Verzahnungen mit Hilfe eines Koordinatenmessgerätes
DE10123496A1 (de) Verzahnungsmessmaschine
DE19629616C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum manuellen Einstellen, Messen, ggf. Prüfen von Werkzeugen für Bearbeitungsmaschinen
EP0613573B1 (de) Verfahren zur überprüfung der arbeitsgenauigkeit einer nc-maschine
EP0315575A1 (de) Verfahren und Messvorrichtung zur Durchmesserermittlung von Walzen
DE3909855A1 (de) Verfahren zur lagerbestimmung einer positionierbaren flaeche sowie lagegeber
DE10319711B4 (de) Verfahren zur hochgenauen dimensionalen Messung an Messobjekten
DE102020208567A1 (de) Kalibrieren eines Referenzkörpers für die Führungsfehlerermittlung einer Maschinenachse
DE2041385B2 (de) Einstellgeraet fuer das voreinstellen mindestens eines in einem werkzeugtraeger einer werkzeugmaschine angeordneten werkzeuges
DE4323992A1 (de) Verfahren zur Überprüfung der Arbeitsgenauigkeit einer NC-Maschine
DE4301486C1 (de) Vorrichtung zur automatischen Kompensation von Ungenauigkeiten an Schleifmaschinen
CH664012A5 (de) Verfahren und vorrichtung zum vermessen eines werkstueckes.

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH, 73447 OB