DE4221989A1 - Vorrichtung zur interferometrischen Messung der relativen Lage der beiden Meßpinolen eines Zwei-Ständer-Koordinatenmeßgerätes - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interferometrischen Messung der relativen Lage der beiden Meßpinolen eines Zwei- Ständer-Koordinatenmeßgerätes nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, wie sie beispielsweise aus dem Artikel "Meßverfahren zur Prüfung der Genauigkeit von Industrierobotern", VDI/VDE-GMA Be­ richt Nr. 14 S. 56 Bild 2 als bekannt hervorgeht.

Aufgrund der unterschiedlichen geometrischen Abweichungen der Schlitten-, Ständer- und Pinolenführungen und ihrer Maßstäbe können die Meßwerte des selben Ortspunktes im Überlappungsbe­ reich der beiden Pinolen eines Zwei-Ständer-Koordinatenmeßgerä­ tes voneinander abweichen, wobei die Meßwertabweichungen über­ dies noch ortspunktabhängig und nicht konstant zu sein brauchen und auch nicht auf eine unterschiedliche Nullpunktlage der bei­ den Koordinatensysteme zurückführbar zu sein brauchen. Um da­ raus resultierende Verzerrungen bei dem zu vermessenden Gegen­ stand zu vermeiden, müssen die Meßwerte der beiden Pinolen zu­ mindest in ihrem Überlappungsbereich bekannt sein. Da die Ab­ weichung in der Regel ortspunktabhängig ist, muß sie im ganzen Überlappungsbereich gemessen werden. Um die gegenseitige Ver­ messung der Pinolen durchzuführen, verwendet man bisher einen an der einen Pinole befestigte offene Hohlwürfelecke, die durch die mit Meßtastern versehene, anderen Pinole seiner Lage nach gemessen werden kann, wie dies auch zur Untersuchung der Posi­ tionsreproduzierbarkeit von Industrierobotern angewandt wird und aus dem zitierten Artikel hervorgeht.

Mit einer solchen Einrichtung ist es, wenn auch nicht ganz ein­ fach, möglich die Reproduzierbarkeit der Position an einem oder an wenigen Ortspunkten zu ermitteln. Um aber eine gute Vermes­ sung zwischen den Meßpunkten der zwei Pinolen zu erhalten, muß die Anzahl der Meßpunkte möglichst groß sein. Die Messung an einer großen Anzahl von Stellen im Überlappungsbereich ist aber mit der vorliegenden Anordnung zeitaufwendig, hängt von der Oberflächenqualität und Ausrichtung der Würfelecke ab und ist daher nicht praktikabel.

Aufgabe der Erfindung ist es, die gattungsgemäß zugrundegelegte Meßvorrichtung dahingehend zu verbessern, daß ein Messen nicht nur parametrisiert, d. h. in Abhängigkeit der während der Mes­ sung unveränderten Stellung einer der beiden Meßpinolen durch­ geführt werden kann, sondern bei dem ein während des Verfahrens der beiden Meßpinolen kontinuierliches Vermessen der relativen Lage erfolgen kann.

Diese Aufgabe wird bei Zugrundelegung der gattungsgemäßen Meß­ vorrichtung erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale von Anspruch 1 gelöst. Durch die Verwendung einer dreiachsigen interferometrischen Anordnung kann der Abstand zwischen den beiden Pinolen in den drei Achsenrichtungen kontinuierlich ge­ messen werden, solange keiner der Interferenzstrahlen unterbro­ chen wird. Es ist also möglich, das Vermessen der beiden Pino­ len durch simultanes Verfahren zu erreichen. Bei rechnergesteu­ erten Ausführungen von Zwei-Ständer-Koordinatenmeßgeräten kann ein solches Vermessen automatisch erfolgen. Desweiteren ist bei der erfindungsgemäßen kompakten Bauweise eine laserinterferome­ trische Anordnung leichter und hat somit weniger Einfluß auf das statische und dynamische Verhalten der Meßpinolen. So ist es möglich, die Baumaße der optischen Meßtasteinrichtung ohne Referenzreflektoren und Laserlichtquelle auf ein Volumen der Größe von Streichholzschachtel-Format zu beschränken. Bei ge­ eigneter Verarbeitungsgeschwindigkeit der Steuerungselektronik kann auch das Schwingungsverhalten der Pinolen analysiert wer­ den, weil die Schwingungen als periodische Änderungen des Ab­ standes zwischen den Pinolen erfaßt werden.

Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteran­ sprüchen entnommen werden; im übrigen ist die Erfindung an hand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele nach­ folgend noch erläutert; dabei zeigen

Fig. 1 ein Zwei-Ständer-Koordinatenmeßgerät,

Fig. 2 eine erste Ausführungsform einer kompakten drei-ach­ sigen Interferometeranordnung mit Tripelreflektoren sowohl als Referenz- als auch Meßreflektoren,

Fig. 3 den Strahlengang eines der Interferometer der Ausfüh­ rungsform aus Fig. 2,

Fig. 4 eine zweite Ausführungsform einer kompakten drei-ach­ sigen Interferometeranordnung unter Verwendung von Planspiegeln als Meßreflektoren,

Fig. 5 den Strahlengang eines der Interferometer der Ausfüh­ rungsform aus Fig. 4 und

Fig. 6 den Strahlengang eines der Interferometer einer von Fig. 4 abgeleiteten Ausführungsform.

Alle hier vorgestellten kompakten dreiachsigen Laserinterfero­ meteranordnungen haben mehrere Gemeinsamkeiten. So kann das La­ serlicht entweder in abgerückt angeordneten Lasern erzeugt und über Lichtleitfasern den Polarisationsstrahlteilern zugeführt werden oder man erzeugt das Laserlicht in unmittelbar an der Interferometeranordnung angebrachten Lasern, vorzugsweise Halb­ leiterlasern. Obwohl es auch möglich ist, das Homodynverfahren zur interferometrischen relativen Abstandsmessung einzusetzen, wird in allen Ausführungsbeispielen von der Verwendung des He­ terodynverfahrens ausgegangen, da dieses Verfahren den Vorteil bietet, daß nur ein Meßdetektor für jede Meßrichtung benötigt wird. Eine Anordnung von Halbleiterlasern zur Verwendung bei interferometrischen Messungen nach dem Heterodynverfahren ist zum Beispiel aus der DE-PS 36 16 392 bekannt und kann in ein­ facher Weise auf die erfindungsgemäßen Interferenzanordnungen übertragen werden. Im weiteren Text ist daher, wenn von einem Laserlichtstrahl gesprochen wird, immer eine Überlagerung von Laserlicht zweier benachbarten Frequenzen mit festen Frequenz­ unterschied von beispielsweise 2 MHz bis 600 MHz gemeint.

Fig. 1 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Zwei-Stän­ der-Koordinatenmeßgerätes. An beiden Längsseiten des Meßtisches 100 ist jeweils ein parallel zu der Längsachse des Meßtisches verschiebbarer Schlitten 101, 101′ angeordnet. Auf jedem Schlit­ ten 101, 101′ ist jeweils ein in Vertikalrichtung stehender Ständer 102, 102′ angebracht, der jeweils eine vertikal an ihm verschiebbare Pinolenführung 105, 105′ trägt. In der Pinolenfüh­ rung 105, 105′ sind die Pinolen 103, 103′ in Horizontalrichtung verschiebbar; sie ragen mit dem freien Ende über den Meßtisch und zwar in ausgefahrenem Zustand etwas über die Mitte des Meß­ tisches. An dem freien Ende der Pinolen 103, 103′ ist in einer Halterung 106, 106′ jeweils ein Taster 104 bzw. 104′ auswechsel­ bar gehalten. Der Überlappungsbereich 110 ist der Volumenbe­ reich, dessen Ortspunkte von beiden Meßtastern erreichbar sind.

In Fig. 2 ist eine erste Ausführungsform einer kompakten drei­ achsigen Interferometeranordnung in perspektivischer Darstel­ lung dargestellt, bei der sowohl Meß- als auch Referenzreflek­ toren als Tripelreflektoren ausgebildet sind. In der Lasericht­ quelle 20 wird ein Quellenstrahl 23 erzeugt, der mittig in eine linear angeordnete Eingangsoptik eingeleitet wird. Diese Ein­ gangsoptik besteht aus zwei hintereinander angeordneten Inten­ sitätsstrahlteilern 10, 11 und einem Umlenkspiegel 19. Der In­ tensitätsstrahlteiler 10 teilt von dem Quellstrahl 23 einen er­ sten Primärstrahl 25 ab, der 1/3 der Intensität des ursprüngli­ chen Quellstrahles 23 besitzt. Der Quellstrahl 23 wird unmit­ telbar danach in dem zweiten Intensitätsstrahlteiler 11 in zwei Primärstrahlen 26, 27 gleicher Intensität aufgeteilt. Der Umlenk­ spiegel 19 spiegelt den einen Primärstrahl um 90° um. Da außer­ dem die optischen Achsen (Normalen-Richtungen) der Intensitäts­ strahlteiler 10, 11 und des Umlenkspiegels parallel zueinander sind, werden drei zueinander parallele Primärstrahlen 25, 26, 27 erzeugt. Im folgenden wird die aus diesen drei Strahlen de­ finierte Ebene als Horizontale bezeichnet; die Senkrechte dazu sei die Vertikale. Unmittelbar auf die Austrittsflächen aus den Intensitätsstrahlteilern 10, 11 bzw. den Umlenkspiegel 19 fol­ gend sind die Polarisationsstrahlteiler 12, 13, 14 angeordnet. Die Polarisationsstrahlteiler 12, 13, 14 dienen der Aufteilung der Primärstrahlen 25, 26 bzw. 27 in jeweils einen Meßstrahl 30, 31 bzw. 32 und einen orthogonal dazu verlaufenden Referenz­ strahl 40, 41 bzw. 42. Dabei sind die optischen Achsen (Norma­ len-Richtung) der beiden Polarisationsstrahlteiler 12, 13 pa­ rallel zueinander angeordnet und so ausgerichtet, daß einer der beiden Strahlenteile 30, 41 in Richtung des Primärstrahles 25 bzw. 26 verläuft und der andere Strahlenteil 31, 40 in der Ver­ tikale nach oben gerichtet ist. Dabei dient jeweils einer der beiden parallelen Strahlen als Meßstrahl 30, 31 und der andere als Referenzstrahl 40, 41. An der der Eintrittsseite der Primär­ strahlen 25, 26, 27 gegenüberliegenden Seite ist eine sich über alle drei Polarisationsstrahlteiler 12, 13, 14 erstreckende Lamb­ da-Viertel-Platte 15 angeordnet. Auch an der Oberseite der Po­ larisationsstrahlteiler 12, 13 ist eine Lambda-Viertel-Platte 16 angeordnet. Der Polarisationsstrahlteiler 14 ist so angeordnet, daß sowohl der Referenzstrahl 42 als auch der Meßstrahl 32 in der horizontalen Ebene liegen. Die Lambda-Viertel-Platte 17 ist an der dem Polarisationsstrahlteiler 13 gegenüberliegenden Sei­ te des Polarisationsstrahlteilers 14 angeordnet. Die als Tri­ pelreflektoren 34, 35, 36 ausgebildeten Referenzreflektoren sind unmittelbar auf den Lambda-Viertel-Platten angeordnet. Die ebenfalls als Tripelreflektoren 37, 38, 39 ausgebildeten Meßre­ flektoren sind an der Innenseite des als Hohlwürfelecke ausge­ bildeten Körpers 51, bei geeigneter Stellung der Meßpinolen 103, 103′, den Austrittsstellen der Meßstrahlen aus der Meßtast­ einrichtung 50 gegenüberliegend, angeordnet. Damit die von den Meß- bzw. Referenzreflektoren zurückgeworfenen Strahlenpaare in den Meßdetektoren 60, 61, 62 eine ausreichende Überlappung besit­ zen und keine Signalunterbrechung auftritt, sollte bei der Ver­ wendung von Tripelreflektoren 37, 38, 39 als Meßreflektoren und bei einem Strahldurchmesser von 5 mm der Versatz der Meßtast­ einrichtung 50 zum Körper 60 in jede Richtung unterhalb 1 mm liegen. Die Meßdetektoren 60, 61 sind an der Unterseite ihrer zugehörigen Polarisationsstrahlteiler 12 bzw. 13 angeordnet. Der die Interferenz zwischen Meßstrahl 32 und Referenzstrahl 42 messende Detektor 62 hingegen ist an dem Polarisationsstrahl­ teiler 12 befestigt, und zwar an der dem benachbarten Polarisa­ tionsstrahlteiler 13 gegenüberliegenden Seite. Das aus der Überlagerung von Meß- (32) und Referenzstrahl 42 gebildete Sig­ nal durchquert also die Polarisationsstrahlteiler 12, 13, bevor es in den Meßdetektor 62 gelangt. Dies geschieht ohne Signalbe­ einflussung, da die Durchquerung senkrecht zu der optischen Achse der Polarisationsstrahlteiler 12, 13 erfolgt. Das Baumaß der Polarisations- und Intensitätsstrahlteiler kann auf ein Maß von jeweils 10_*10_*10 mm beschränkt werden. In der in dieser Fi­ gur verwendeten Anordnung sind die Strahleintritte und Austrit­ te aus den Strahlteilern 10 bis 14 stets zentrisch zu den ent­ sprechenden Flächen, so daß auch die Anordnung der Referenzre­ flektoren und Meßdetektoren immer zentrisch erfolgt.

In der Fig. 3 ist der Strahlengang eines der Interferometer aus Fig. 2 dargestellt. In dem Intensitätsstrahlteiler wird von dem Quellenstrahl 23 der Primärstrahl 25 abgetrennt. In dem Polarisationsstrahlteiler 12 wird der Primärstrahl 25 in Meß­ strahl 30 und Referenzstrahl 40 aufgeteilt. Die Strahlen 30, 40 durchqueren jeweils eine Lambda-Viertel-Platte 15 bzw. 17, wo­ durch ihre Linearpolarisation in eine Zirkularpolarisation um­ gewandelt wird. Der Referenzstrahl 40 wird von dem Tripelre­ flektor 34 zurückgelenkt und durchquert ein zweites Mal die Lambda-Viertel-Platte 17. Die Polarisation wird dadurch von Zirkular in Linear gewechselt, die Richtung der Linearpolarisa­ tion ist aber senkrecht zu der Polarisationsrichtung nach der Auftrennung von Referenz- (40) und Meßstrahl 30. Der Meßstrahl wird von dem als Tripelreflektor 37 ausgebildeten Meßreflektor zurückgelenkt. Auch hier findet durch das zweimalige Durchtre­ ten der Lambda-Viertel-Platte 15 eine Drehung der Richtung der Linearpolarisation um 90° statt. Durch die Drehung der Polari­ sationsrichtung der Strahlen ist ihr Verhalten in dem Polarisa­ tionsstrahlteiler 12 genau umgekehrt als beim ersten Durchque­ ren. Der zurücklaufende Referenzstrahl 40 durchquert den Strahlteiler 12 ungehindert wogegen der zurücklaufende Meß­ strahl 30 abgelenkt wird. Dadurch treten der Referenz- (40) und der Meßstrahlen 30 an der vierten, bisher vom Strahlengang un­ berührten Seite des Polarisationsteilerwürfels aus und gelangen in den Meßdetektor 60.

In der Fig. 4 wird eine zweite mögliche Ausführungsform der dreiachsigen Interferometeranordnung dargestellt. Sie unter­ scheidet sich von der ersten, in den Fig. 2 und 3 erläuterten Ausführungsform dadurch, daß als Meßreflektoren Planspiegel 47, 48, 49 verwendet werden und den dadurch erforderlichen Anpassun­ gen. Diese zweite Ausführungsform hat den Vorteil, daß auch größere, nur von den Maßen der Meßreflektoren, und somit der Hohlwürfelecke, begrenzte relative Bewegungen zwischen den Pi­ nolen 103, 103′ erfaßt werden können. Ein weiterer Vorteil die­ ser Anordnung besteht in einer Erhöhung der Auflösung, da die Meßstrecke zweimal durchquert wird. In der Fig. 4 wurde es der Deutlichkeitkeit halber unterlassen, die Strahlengänge einzu­ zeichnen. Der Strahlenverlaufist in Fig. 5 für einen der In­ terferometer dieser Anordnung dargestellt und läßt sich ohne Schwierigkeiten analog auch auf die anderen Interferometer übertragen. Die zweite Ausführungsform stimmt hinsichtlich der Eingangsoptik und den Polarisationsstrahlteilern 12, 13, 14 mit der Ausführung nach Fig. 2 überein. Lediglich die Einleitung des Quellstrahls in die Eingangsoptik erfolgt außermittig, so daß der ganze Strahlverlauf entsprechend parallelversetzt außer­ mittig erfolgt. Die Referenzreflektoren sind weiterhin als Tri­ pelreflektoren 34, 35, 36 ausgebildet. An der Unterseite, das ist die unterhalb der Primärstrahlenebene liegende Seite, der Pola­ risationsstrahlteiler 12, 13 sind zusätzliche Tripelreflektoren 44, 45 angeordnet. Ein dritter zusätzlicher Tripelreflektor 46 ist an der Vorderseite des Polarisationsstrahlteilers 12 ange­ ordnet. Dabei erstreckt sich aber die Strahleintrittsfläche der Tripelreflektoren 34, 35, 36, 44, 45 und 46 über die ganze Seiten­ fläche der Polarisationsteiler. Es ist aber keine Lambda-Vier­ tel-Platte mehr zwischen Polarisationsstrahlteiler 12, 13 bzw. 14 und Tripelreflektor 34, 35, 36 des Referenzstrahlenganges an­ geordnet. Die Meßdetektoren 60, 61, 62 sind an der Eintrittsflä­ che des Primärstrahles des jeweiligen Polarisationsstrahltei­ lers 12, 13 bzw. 14, punktsymmetrisch zum Versatz des Primär­ strahles gegenüber dem Eintrittsflächenzentrum angebracht.

Die Fig. 5 zeigt den Strahlenverlauf in einem der Interferome­ ter der Anordnung aus der Fig. 4. Von dem Quellenstrahl 23 wird in dem Intensitätsstrahlteiler 10 der Primärstrahl 25 abge­ trennt. Der Primärstrahl 25 tritt mit dem Versatz a aus dem Zentrum der Eintrittsfläche versetzt in den Polarisations­ strahlteiler 12 ein. Dort wird der Primärstrahl 25 in den Meß­ strahl 30 und den Referenzstrahl 40 aufgeteilt. Der Referenz­ strahl 40 wird symmetrisch mit seinem Versatz a gegenüber dem Zentrum der Seitenfläche von dem Tripelreflektor 34 in den Po­ larisationsstrahlteiler 12 zurückgelenkt. Da er keine Änderung seiner Polarisation erfährt, ist sein Strahlverhalten gegenüber dem Polarisationsstrahlteiler gleich dem bei seinem ersten Durchtritt. In dem gezeigten Beispiel wird der Referenzstrahl um 90° abgelenkt. Diese Ablenkung erfolgt also auch bei dem zweiten Durchtritt durch den Polarisationsstrahlteiler 12. Der Referenzstrahl kommt an der Seite des Eintritts des Primär­ strahles, allerdings punktsymmetrisch in Bezug auf das Zentrum, aus dem Polarisationsstrahlteiler wieder heraus und fällt in den Meßdetektor 60. Der Meßstrahl 30, der so polarisiert ist, daß er durch den Polarisationsstrahlteiler 12 bei der Strahl­ teilung keine Ablenkung erfährt, tritt an der der Eintrittssei­ te des Primärstrahles 25 gegenüberliegenden Seite aus dem Pola­ risationsstrahlteiler 12 aus. Er durchquert eine Lambda-Vier­ tel-Platte 15 und anschließend ein erstes mal die Meßstrecke. Er trifft auf den an dem Hohlwürfelecke 51 befestigten Plan­ spiegel 47, durchtritt beim Rücklauf erneut die Lambda-Viertel- Platte 15. Da nun die Polarisationsrichtung um 90° gedreht wur­ de, erfährt der Meßstrahl 30 eine Ablenkung um 90° und fällt, in den Tripelreflektor 44. Dort wird er - entgegengesetzt des­ axiert - zurückgelenkt, erneut in dem Polarisationsstrahlteiler 12 um 90° abgelenkt, durchtritt ein drittes mal die Lambda-Vier­ tel-Platte 15, trifft erneut auf den Planspiegel 47, wird re­ flektiert und durchquert ein viertes mal die Lambda-Viertel- Platte 15. Da seine Polarisationsrichtung nun wieder mit der ursprünglichen Polarisationsrichtung übereinstimmt, erfährt er eine Ablenkung mehr in dem Strahlteiler 12 und fällt, mit dem Referenzstrahl 40 interferierend, in den Meßdetektor 60.

In Fig. 6 ist eine dritte Variante der dreiachsigen Interfero­ meteranordnung dargestellt. Er unterscheidet sich von der in Fig. 4 und 5 gezeigten Anordnung lediglich in der Verwendung von einem Planspiegel 43 als Referenzreflektor. Dadurch muß zwischen Polarisationsstrahlteiler 12 und Referenzreflektor 43 ebenfalls eine Lambda-Viertel-Platte 16 angeordnet werden. Der Strahlengang des Meßstrahles 30 bleibt gegenüber der vorigen Anordnung gleich. Der Referenzstrahl 40 hingegen bekommt einen zum Meßstrahl analogen Strahlengang und durchquert auch zweimal den Polarisationsstrahlteiler 12 und einmal den Tripelreflektor 44, bevor er in den Meßdetektor 60 gelangt.

Claims (5)

1. Vorrichtung zur interferometrischen Messung der relativen Lage der beiden Meßpinolen (103, 103′) eines Zwei-Ständer-Koor­ dinatenmeßgerätes in dem Überlappungsbereich (110) des Meßvolu­ mens der Meßpinolen (103, 103′), wobei an der einen Meßpinole (103) eine Meßtasteinrichtung (50) und an der anderen Meßpinole (103′) ein definiert gestalteter, von der Meßtasteinrichtung erreichbarer Körper (51) befestigt ist, der in unterschiedli­ chen Positionen seiner Lage nach erfaßbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der definiert geformte Körper (51) und die Meßtasteinrich­ tung (50) gemeinsam als eine Dreifachanordnung von Laserinter­ ferometern in Miniaturbauweise ausgebildet sind, deren drei Meßachsen (30, 31, 32) parallel zu den Koordinatenachsen eines kartesischen Koordinatensystems ausgerichtet sind, wobei der definiert geformte Körper (51) als Träger für drei, den Achsen der Laserinterferometer zugeordneten Meßreflektoren (37, 38, 39 bzw. 47, 48, 49) ausgebildet ist und wobei die übrigen optischen und/oder elektrooptischen Teile der drei Laserinterferometer in der Meßtasteinrichtung (50) zusammengefaßt sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Anschluß an die Laserlichtquelle (20) ein aus mehreren Intensitäts- (10, 11) und Polarisationsstrahlteilern (12, 13, 14) sowie Reflektoren bestehender Block gebildet ist, der das Pri­ märlicht auf die drei Meßstrahlen (30, 31, 32) aufteilt und um­ lenkt, wobei in jedem Meßstrahl (30, 31, 32) eine Lambda-Viertel- Platte (15, 16, 17) angeordnet ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßreflektor als Tripelreflektor (37, 38, 39) ausgebildet ist, daß in dem Referenzstrahl (40, 41, 42) ebenfalls eine Lambda- Viertel-Platte (15, 16, 17) angeordnet ist und daß der jeweils gleichachsig zum zentralsymmetrischen Punkt des zugehörigen Tripelreflektors liegende Meßstrahl und der Referenzstrahl in den zentrisch an der noch freien Seite des Polarisationsstrahl­ teilers (12, 13, 14) liegenden Meßdetektor (60, 61, 62) eingespie­ gelt sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßreflektor als Planspiegel (47, 48, 49) ausgebildet ist, daß der Primärstrahl (25, 26, 27) außermittig zum Polarisa­ tionsstrahlteilerwürfel (12, 13, 14) und zur Mitte der noch be­ teiligten Tripelreflektoren (34, 35, 36) angeordnet ist, daß der am Polarisationsstrahlteiler (12, 13, 14) angebrachte Meßdetektor (60, 61, 62) auf der Seite des Primärstrahleinfalls, aber entge­ gengesetzt außermittig zum Primärstrahl (25, 26, 27) angeordnet ist und daß auf der noch freien Seite des Polarisationsstrahl­ teilerwürfels (12, 13, 14) ein weiterer Tripelreflektor (44, 45, 46) für den Meßstrahl (30, 31, 32) angeordnet ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß auch der Referenzreflektor als Planspiegel (43) ausgebildet ist und daß auch in dem Referenzstrahl (40) eine Lambda-Vier­ tel-Platte (15, 16, 17) angeordnet ist.