DE1911908C3 - Einrichtung zum meßbaren Verschieben eines Objektes - Google Patents

Einrichtung zum meßbaren Verschieben eines Objektes

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Description

a) der meßbar verschiebliche Objektträger (1) weist rechtwinklig zueinander stehende Führungsleisten (8 und 9) auf,
b) die Führungsleisten (8 und 9) sind in unabhängig voneinander beweglichen Geradführungen (4 und 6) gelagert,
c) die Geradführungen (4 und 6) sind mit den Meßteilungen (10 und 11) fest verbunden, so daß die Meßteilungen (10 und 11) in der ihnen zugeordneten Meßrichtung unabhängig vonein-. ander verschiebbar sind,
d) die Geradführung (4) für die X-Koordinate ist an einem K-Schlitten(21)und
e) die Geradführung (6) für die V-Koordinate an einem X-Schlitten (20) angeordnet,
f) die vorgenannten Schlitten (20, 21) sind in Hilfsführungen (5 und 7) ebenfalls voneinander getrennt gelagert.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächen- und Kraftschwerpunkte der Geradführungen (4 und 6) exakt in den zueinander senkrechten Achsen (X und Y) der Meßsysteme (10/12 und 11/13) liegen.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Objektträger (1) zur Führung in der Arbeitsebene über Lager (2) auf einer Grundplatte (3) abstützt.
4. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Geradführungen (4 und 6) in rechtem Winkel zueinander stehende planparallele ebene Leisten (8 und 9) des Objektträgers (1) gabelförmig umschließen.
5. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Geradführungen (4 oder 6) für die X-Achse oder Y-Achse eine solche Länge quer zur Achsrichtung aufweist, daß auch die Winkellage des Objektträgers (1) relativ zur Z-Achse festgelegt ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die die Winkellage des Objektträgers (1) zur Z-Achse definierende Geradführung (6) etwa doppelt so lang ist wie die andere Geradführung (4).
7. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Geradführungen (4 und 6) für den Objektträger (1) und ggf. auch die Hilfsführungen (5 und 7) aerostatische Präzisionslager sind, und daß sich außerdem der Objektträger (1) über aerostatische Stützlager auf der Grundplatte (3) abstützt.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger (1) Vorsprünge am Lager (2) aufweist, in denen die aerostatischen Stützlager eingebracht sind.
9. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb (14/18 und 15/19) für den meßbar verschiebbaren Objektträger (1) jeweils am Schlitten (20 bzw. 21) der Hilfsführungen (5 und 7) angreift
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum meßbaren Verschieben eines auf einem Objektträger angeordneten Objektes in zwei senkrecht zueinander stehenden
ίο Koordinatenachsen ,Y und Ymittels Führungssystemen und diesen zugeordneten Meßsystemen, die derart angeordnet sind, daß der Arbeitspunkt am Objekt stets im Schnittpunkt der Meßachsen liegt
Bei bekannten Einrichtungen dieser Art ist eines der Führungssysteme für die X-Achse und Y-Achse gleichzeitig Träger des anderen Führungssystems, auf dem das Objekt angebracht ist, das mittels den Führungssystemen zugeordneten Meßsystemen meßbar einstellbar ist.
Einrichtungen dieser Art eignen sich nicht für hochgenaue Arbeiten, weil bei diesen Meßfehler 1. Ordnung auftreten können.
Weiterhin sind Meßapparate bekannt, bei denen der Arbeitspunkt stets im Schnittpunkt der Meßachsen liegt.
Bei diesen Meßapparaten ist der Objektträger gleitend auf einer Grundplatte angeordnet und durch ein Lenkersystem geführt Durch die Verwendung von Lenkern wird der Objektträger zwar immer parallel zu sich selLst geführt, jedoch sind die Führungssysteme in beiden Koordinatenachsen nicht voneinander unabhängig-
Aus der US-PS 33 30 964 ist es bekannt, die Meßteilungen direkt auf dem Objektträger anzubringen, wobei Führungsrollen für die Geradführung des Objektträgers vorgesehen sind. Dabei müssen jedoch Meßteilungen verwendet werden, die senkrecht zur jeweiligen Meßrichtung eine Ausdehnung aufweisen, die dem Meßbereich der anderen Meßrichtung entspricht. Die Herstellung solcher Meßteilungen ist sehr aufwendig.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßeinrichtung zu schaffen, die nicht die Nachteile der bekannten Meßapparate aufweist, sondern die das Komparatorprinzip nach Abbe einhält, über vollständig unabhängige Führungen zum meßbaren Verschieben eines Objektträgers verfügt und die den Meßvorgang vereinfacht.
Diese Aufgabe wird bei einer Einrichtung der eingangs genannten Art durch die Merkmale des Hauptanspruches gelöst.
Durch diese Maßnahmen, wird mit konstruktiv einfachen Mitteln eine hochgenauee Messung ermöglicht.
In der Zeichnung ist schematisch ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung dargestellt.
Die erfindungsgemäße Einrichtung dient zur exakten Bewegung eines Objektes, z. B. einer Maske od. dgl, in zwei zueinander senkrechten Achsen X und V, die in einer horizontalen Ebene liegen. Das Objekt, das in der Zeichnung nicht dargestellt ist, wird zweckmäßig über eine Dreipunktauflage auf den Objektträger 1, der z. B. ein Meßtisch sein kann, aufgesetzt. Zur Führung des Objektträgers 1 sind zwei gleichrangige Geradführungen 4 und 6 vorgesehen, die streng voneinander getrennt angeordnet sind. Durch diese besondere Anordnung der Geradführungen 4 und 6 für den Objektträger 1 wird erreicht, daß der Arbeitspunkt am Objekt stets im Schnittpunkt der Achsen Xuna Kliegt
Die Geradführungen 4 und 6 für den Objektträger 1 sind in Hilfsführungen 5 und 7 meßbar verschiebbar, die voneinander getrennt an einer ebenen Grundplatte 3 befestigt sind. Die Führung des Objektträgers 1 in der Meßebene erfolgt im Ausführungsbeispiel durch vier in Vorsprüngen der Lager 2 eingebrachte aerostatische Stützlager bekannter Art, die auf der- Grundplatte 3 laufen.
Eine exakte Führung des Objektträgers 1 in den Koordinaten X und Y wird durch bekannte aerostatisehe Präzisionslager bewirkt, die in den Geradführungen 4 und 6 vorgesehen sind. Bei einer möglichen Ausführungsform sind am Objektträger 1 zwei planparallele ebene Führungsleisten 8 und 9 aufgesetzt, die im rechten Winkel zueinander justiert sind. Diese beiden Führungsleisten 8 und 9, die mit dem Objektträger 1 fest verbunden sind, werden in den Luftkissen der gabelförmigen Geradführungen 4 und 6 geführt. Im Ausführungsbeispiel ist die Geradführung 6 in Richtung quer zur X-Achse etwa doppelt so lang wie die Geradführung 4 in Richtung quer zur K-Achse. Durch diese lange Geradführung 6 wird auch die Winkellage des Objektträgers 1 relativ zur Z-Achse festgelegt
Die Hilfsführungen 5 und 7 bzw. deren Schlitten 20,21 sind auch Träger der Meßteilungen 10 und 11, die fest am Schlitten angebracht sind und von Abtasteinrichtungen 12 und 13, z. B. einer fotoelektrischen Gitterabtasteinrichtung bekannter Art, abgetastet werden. Die Abtasteinrichtungen 12 und 13, deren Gitterabtastplatte sich zweckmäßig über aerostatische Lager auf der Teilungsebene der Meßteilung 10 und 11 abstützt, sind in Trägerkörpern 16 und 17 eingebracht, die auf der Grundplatte 3 befestigt sind.
Die von den Abtasteinrichtungen 12 und 13 abgegebenen elektrischen Signale können in bekannter Weise eine elektronische Richtungsdiskriminator-Zählschaltung steuern.
Die Schlitten 20, 21 der Hilfsführungen 5 und 7, die auch aerostatisch gelagert sein können, sind zum Antrieb und zum Messen des Objektträgers 1 in den Achsen X und Y vorgesehen. Der Antrieb der Schlitten 20, 21 der Hilfsführungen 5 und 7 erfolgt über Gewindespindeln 14 und 15. die mit Antriebsmotoren 18 und 19 gekuppelt sind.
Im Ausführungsbeispiel ist in nicht gezeigter Weise auf einer Brücke über dem Objektträger 1 ein Beobachtungsorgan für das Objekt, z. B. ein Mikroskop, vorgesehen. Diese Brücke ist zweckmäßig mit den Trägerkörpern 16 und 17 für die Abtasteinrichtungen 12 und 13 fest verbunden. Die das Beobachtungs- oder Bearbeitungsorgan tragende Brücke ist zum leichten Einlegen des Objektes hochklappbar.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:
1. Einrichtung zum meßbaren Verschieben eines auf einem Objektträger angeordneten Objektes in zwei senkrecht zueinander stehenden Koordinatenachsen X und Y mittels Führungssystemen und diesen zugeordneten Meßsystemen, die derart angeordnet sind, daß der Arbeitspunkt am Objekt stets im Schnittpunkt der Meßachsen liegt, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
DE1911908A 1969-03-08 1969-03-08 Einrichtung zum meßbaren Verschieben eines Objektes Expired DE1911908C3 (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0317787A1 (de) 1987-11-25 1989-05-31 Esec Sa Einrichtung zur Durchführung der Zustellbewegung eines Arbeitsorgans zu einer Arbeitsstation
DE19742081A1 (de) * 1997-09-24 1999-03-25 Schaeffler Waelzlager Ohg Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4166323A (en) * 1973-09-14 1979-09-04 Maag Gear-Wheel & Machine Co. Ltd. Gear tester for profile and lead testing
US3918167A (en) * 1974-03-01 1975-11-11 Gerber Scientific Instr Co Apparatus for sensing relative movement of a work table and tool
CH622094A5 (de) * 1977-12-23 1981-03-13 Kern & Co Ag
JPS59129633A (ja) * 1983-01-08 1984-07-26 Canon Inc ステージ装置
US4561846A (en) * 1983-09-02 1985-12-31 Denar Corporation Dental pantograph
GB8411400D0 (en) * 1984-05-03 1984-06-06 Ca Minister Nat Defence Alignment apparatus
JP2006030086A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Mitsutoyo Corp 長さ測定装置の弾性固定具及び固定方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3001081A (en) * 1957-08-19 1961-09-19 North American Aviation Inc Photoelectric gage
US3024396A (en) * 1957-11-27 1962-03-06 Peckjian Arnold John Automatic control of machine tools
US3137942A (en) * 1959-05-14 1964-06-23 Wiedemann Machine Company Coordinated inspection device
US3495519A (en) * 1967-02-01 1970-02-17 Microform Data Systems Xy table

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0317787A1 (de) 1987-11-25 1989-05-31 Esec Sa Einrichtung zur Durchführung der Zustellbewegung eines Arbeitsorgans zu einer Arbeitsstation
EP0317787B2 (de) † 1987-11-25 1997-05-07 Esec Sa Einrichtung zur Durchführung der Zustellbewegung eines Arbeitsorgans zu einer Arbeitsstation
DE19742081A1 (de) * 1997-09-24 1999-03-25 Schaeffler Waelzlager Ohg Linearlager mit einer Einrichtung zum Messen

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DE1911908A1 (de) 1970-09-24
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