DE2535912A1 - Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen

Info

Publication number
DE2535912A1
DE2535912A1 DE19752535912 DE2535912A DE2535912A1 DE 2535912 A1 DE2535912 A1 DE 2535912A1 DE 19752535912 DE19752535912 DE 19752535912 DE 2535912 A DE2535912 A DE 2535912A DE 2535912 A1 DE2535912 A1 DE 2535912A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
workpiece
roughness
amplitude value
support member
organ
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19752535912
Other languages
English (en)
Other versions
DE2535912C3 (de
DE2535912B2 (de
Inventor
Heinrich Dipl Ing Mushardt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19752535912 priority Critical patent/DE2535912A1/de
Priority to IT26080/76A priority patent/IT1068041B/it
Priority to US05/712,829 priority patent/US4106333A/en
Priority to GB33227/76A priority patent/GB1540918A/en
Publication of DE2535912A1 publication Critical patent/DE2535912A1/de
Publication of DE2535912B2 publication Critical patent/DE2535912B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2535912C3 publication Critical patent/DE2535912C3/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/30Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/28Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/34Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen, insbesondere von durch ein Schleifwerkzeug bearbeiteten Oberflachen^ auf ihre Rauhigkeit, wobei die Oberfläche mittels eines nachgiebig gehaltenen Tastorgans unter linsenförmiger Relativbewegung zwischen Tastorgan und Oberfläche abgetastet wird.
Die Rauhigkeit ist ein wichtiges Qualitätsmerkmal geschliffener oder in anderer Weise feinbearbeiteter Werkstücke. Gelingt es, den Verlauf der Rauhigkeit als Funktion der Schleifzeit zu ermitteln, ergeben sich daraus zugleich wichtige Aufschlüsse über den Zustand der Schleifscheibe und die Änderungen dieses Zustandes, so daß auch das Standzeitende festgestellt werden kann. Es ist wünschenswert, die Rauhigkeit jeweils schnell und
-2-
70980770954
möglichst sogar während des Bearbeitungsvorganges, namentlich bei einer Schleifoperation, zu ermitteln, um dadurch den Ablauf des BearbeitungsVorganges und das Standzeitverhalten der Schleifscheibe überwachen zu können. Bestehende Meßverfahren lassen dies nicht zu. Bei bekannten Methoden erfolgt die Ermittlung der Rauhigkeit außerhalb der Bearbeitungsmaschine in einer gesonderten Einrichtung. Eine solche weist eine Tastspitze auf, die über die Oberfläche des Prüflings geführt wird und zugeordnete Elemente so beeinflußt, daß das Profil dieser Oberfläche auf einem Aufzeichnungsträger wiedergegeben wird. Bei solchen Einrichtungen wird angestrebt, daß das Tastorgan der Oberflächenkontur einwandfrei folgt, um eine möglichst exakte geometrische Beschreibung der Oberflächentopographie zu erhalten. Das sich dabei ergebende Diagramm muß anschließend ausgewertet werden.
Mit der Erfindung soll es nun möglich gemacht werden, in vorteilhafter Weise und ohne großen Zeitaufwand ein Kriterium für die Rauhigkeit von Werkstück-Oberflächen zu gewinnen, so daß sich jeweils schnell und insbesondere sogar während des Bearbeitungsvorganges der Zustand der Werkstückoberfläche hinsichtlich der Rauhigkeit beurteilen läßt und auch Rückschlüsse auf den Zustand eines Bearbeitungswerkzeuges, namentlich einer Schleifscheibe, gezogen werden können. Das Beurteilungskriterium soll nach Möglichkeit geeignet sein, für eine Beeinflussung eines Bearbeitungsvorganges selbst verwendet zu werden. Die Erfindung strebt ferner die
r·.
709807/0954 -3-
Schaffung einer zweckmäßigen und den Bedürfnissen der Praxis besonders gut gerecht werdenden Vorrichtung zur Prüfung der Rauhigkeit einer Oberfläche an. Weitere, mit der Gesamtaufgabe in Verbindung stehende Probleme, mit denen sich die Erfindung befaßt, ergeben sich aus der jeweiligen Erläuterung aufgezeigter Lösungen.
Die. Erfindung sieht vor, daß beim Abtastvorgang an dem Tastorgan oder an mit ihm in Verbindung stehenden Teilen auftretende mechanische Schwingungen aufgenommen werden, dabei ein der Größe der Amplituden dieser Schwingungen wenigstens annähernd entsprechender Wert ermittelt wird und daß dieser Amplitudenwert als Kriterium für die Rauhigkeit der Oberfläche verwendet wird.
Bei der Erfindung wurde erkannt, daß eine Korrelation zwischen den Amplituden von beim Abtastvorgang auftretenden Schwingungen und der Rauhigkeit der abgetasteten Oberfläche besteht. Der Informationsgehalt des ermittelten Amplitudenwertes genügt vollauf, um die Rauhigkeit einer Oberfläche in einer sehr großen Zahl von Bedarfsfällen ausreichend beurteilen zu können, so daß dann eine bildliche Wiedergabe des Oberflächenprofils und die zeitraubende Auswertung einer solchen nicht erforderlich ist. Bei alledem ist das Verfahren auch geeignet, unter Werkstattbedingungen und sogar unmittelbar an einer Bearbeitungsmaschine, besonders einer
709807/0954
Schleifmaschine, durchgeführt zu werden, so daß es nicht der besonderen Gegebenheiten eines Prüfraumes od.dgl. bedarf.
Eine Anzeige der Größe der Schwingungsamplituden ist grundsätzlich auf verschiedene Weise möglich. Die Erfindung sieht insbesondere vor, daß in Verbindung mit der Aufnahme der mechanischen Schwingungen ein den Amplitudenwert repräsentierendes elektrisches Signal erzeugt wird. Ein solches Signal ist sowohl für eine Anzeige als auch für eine Weiterverarbeitung gut geeignet.
Weiterhin sieht die Erfindung vor, daß wenigstens eine eine Bearbeitungsoperation beeinflussende Größe oder Einstellung in Abhängigkeit von der Größe der Schwingungsamplitude oder einem diese repräsentierenden Signal gesteuert oder geregelt wird.
Auf diese Weise kann insbesondere ein Schleifprozeß so gesteuert werden, daß die Werkstückrauhigkeit immer unterhalb eines vorgebbaren größten Wertes bleibt. Es läßt sich sowohl eine Qualitätsüberwachung bei den Werkstücken wie auch eine Überwachung der Schleifscheibenstandzeit erreichen. Aufgrund der jeweiligen Ergebnisse, die während einer Bearbeitung oder z.B. sofort im Anschluß an eine solche ermittelt werden, kann eine Sortierung der Werkstücke erfolgen. Weiterhin läßt sich beim Erreichen eines vorgegebenen Grenzwertes der Schwingungsamplitude ein Kommando zum Abrichten einer Schleifscheibe od.dgl. auslösen.
-5-
709807/0954
Die Rauhigkeit einer geschliffenen Oberfläche ist von der Zustellung und der Schneidenraumtopographie der Schleifscheibe abhängig. Wenn letztere sich infolge von Verschleiß verändert, kann ihr Einfluß auf die Rauhigkeit durch die Zustellung kompensiert werden. Auch dies läßt sich in Abhängigkeit von dem jeweils ermittelten Wert durchführen.
Bei einem mehrstufigen BearbeitungsVorgang sollen während des Schruppens das Werkstückaufmaß abgeschliffen und beim Schichten und Ausfunken die geforderte Werkstückrauhigkeit bei der gewünschten Maßgenauigkeit erzielt werden. Bei der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann durch das Abtasten der Werkstückoberfläche während des Schlichtens gemeldet werden, ob und wann die geforderte Rauhigkeit erreicht ist. Dementsprechend kann der Schlichtprozeß gesteuert werden. Mit weiterführender Datenverarbeitung läßt sich sogar eine Optimierregelung erzielen.
Eine vorteilhafte Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist ein beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand von einer Halterung getragenes Tastorgan auf und kennzeichnet sich dadurch, daß an die Halterung des Tastorgans ein an seinem Ausgang elektrische Signale lieferndes Aufnahmersystem für Schwingungen angekoppelt ist. Es kann sich dabei insbesondere um ein piezoelektrisches Aufnehmersystem oder auch um ein induktives oder kapazitives Aufnehmersystem handeln.
-6-709807/095*
Bei einer zweckmäßigen Ausführung der Vorrichtung ist ein Tragorgan an einem Ende mit einer Tastnadel od.dgl. versehen und am anderen Ende in einen Grundkörper elastisch eingebettet sowie über ein Verbindungsglied mit dem Aufnehmersystem gekoppelt.
Insbesondere läßt sich die Ausführung so treffen, daß ein Biegeplättchen aus piezo- keramischem Material im Grundkörper gehalten und im Bereich seines freien Teiles über einen Steg mit dem Tragorgan verbunden ist.
Das vom Aufnehmersystem gelieferte Signal wird zweckmäßig verstärkt und gleichgerichtet und kann, ggfs. über einen Filter, einem Organ zur Abnahme und/oder Anzeige der gelieferten Größe zugeführt werden.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung des Verfahrens und in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen der Vorrichtung sowie aus den beigefügten Ansprüchen. Es zeigen:
Fig. 1 eine grundsätzliche Darstellung einer Vorrichtung nach der Erfindung, teils im Schnitt,
Fig. 2 eine Ausführungsform der Vorrichtung, ebenfalls zum Teil im Schnitt, und
Fig. 3 ein Blockschaltbild der Signalverarbeitung.
-7-
70 9807/0954
Wie Fig. 1 erkennen läßt, ist ein Tragorgan 1, vorteilhaft ein leichtes Metallröhrchen od.dgl., an seinem hinteren Ende in einem Block 2 aus Gummi oder einem anderen elastischen Material eingebettet und dadurch nachgiebig gehalten. Der Gummiblock 2 greift mit einem Ansatz 2a in einen.festen Grundkörper/ein und ist dadurch an dem letzteren befestigt. Der Grundkörper kann z.B. ein aus Leichtmetall oder Kunststoff hergestelltes Teil mit geeigneter äußerer Form sein. Am vorderen Ende des stab- oder rohrförmigen Tragorgans 1 ist eine Tastnadel 4 angebracht.
Oberhalb des Tragorgans 1 befindet sich ein Biegeplättchen 5 aus piezo- keramischem Material, das mit einem Ende im Grundkörper 3 gehalten ist und zwei Kontakte 6a, 6b mit von diesen abgehenden Leitungen 7a, 7b aufweist. Außerdem ist am Biegeplättchen 5 in der Nähe seines freien Endes ein Steg 8 aus steifem Material befestigt, dessen unteres Ende einen gabelartigen Kopf 8a bildet, der an dem Tragorgan 1 angreift. Dieses stegförmige Verbindungsglied kann Schwingungen des Tragorgans 1 auf das Biegeplättchen 5 übertragen. Es handelt sich hierbei also um ein Aufnehmersystem für mechanische Schwingungen, das an seinem Ausgang (Leitungen 7a, 7b) elektrische Signale liefert, die eine relativ hohe Frequenz haben können. Es lassen sich aber auch anders ausgebildete Aufnehmersysteme verwenden, namentlich ein solches nach Art eines Phono-Tonkopfes. .
-8-709807/0954
Die gelieferten Signale werden zweckmäßig, wie Fig. 3 zeigt, in einem Verstärker 21 verstärkt, dann einem Gleichrichter 22 zugeleitet und, ggfs. unter Zwischenschaltung eines Filters 23, an einem geeigneten Gerät 24, beispielsweise einem Zeigerinstrument, durch Ziffernröhren od.dgl. angezeigt. In Fig. 3 ist strichpunktiert eine unmittelbare Verbindung zwischen dem Gleichrichter 22 und dem Anzeigegerät 24 angedeutet.
Die gleitend im Sinne des Pfeiles Fl über die in Fig. 1 durch die strichpunktierte Linie 9 angedeutete Oberfläche eines Prüflings geführte Tastnadel 4 kann in gewissem Maße der Kontur des Prüflings folgen, wird in jedem Fall aber zu Eigenschwingungen angeregt, deren Amplitudengröße ein Kriterium für die Beurteilung der Rauhigkeit der abgetasteten Oberfläche ist. Bei gleicher Grundcharakteristik der Oberfläche und gleicher Richtung der Tastbewegung relativ zu den auf dem Prüfling vorhandenen Bearbeitungsriefen ist somit bei einer beliebigen Anzahl von gleichen oder unterschiedlichen Werkstücken eine schnelle und den Bedürfnissen der Praxis besonders gut gerechtwerdende Beurteilung der Rauhigkeit möglich gemacht worden.
Bei der in Fig. 2 dargestellten Ausführung der Vorrichtung sind die im Prinzip mit Fig. 1 übereinstimmenden Teile mit denselben Bezugsziffern versehen, so daß insoweit auf die vorausgegangene Erläuterung verwiesen werden kann. Der Grund- körper^ 3 ist mit dem Tragorgan 1 und dem Aufnehmersystem 5
-9-709807/0954
in einem dichten Gehäuse 11 untergebracht, das nur an seiner Unterseite eine Durchtrittsöffnung 12 für die Tastnadel M-aufweist. Beiderseits der Durchtrittsöffnung 12 sitzen am Gehäuse 11 bzw. einer unteren Deckplatte lla desselben zwei Kufen 13, die sich beim Einsatz der Vorrichtung auf die Oberfläche 19 des Prüflings, z.B. eines zylindrischen Werkstückes W, auflegen. Das elastisch gehaltene Tragorgan 1 und das Aufηehmersystem 5 sind derart in das Gehäuse 11 eingebaut und darin justiert, daß bei Auflage der Kufen 13 auf der Oberfläche 19 die bis dahin etwas über die Kufen nach unten vorstehende Tastnadel 4 um einen solchen Betrag nach oben zurückweicht, daß eine gewünschte Tastkraft der Tastnadel M- mit Bezug auf die Oberfläche 19 erreicht wird. Dies läßt sich u.a. durch Wahl eines geeigneten elastischen Körpers 2 (vgl. Fig. 1) und dessen Anbringung erreichen.
Der vom Gehäuse 11 mit den in ihm untergebrachten Teilen gebildete, insgesamt mit dem Buchstaben M bezeichnete Meßkopf kann mit den Kufen 13 z.B. durch die Kraft einer hier nicht dargestellten, in der Halterung des Meßkopfes vorgesehenen Feder oder durch Eigengewicht an die Werkstück-Oberfläche 19 angelegt sein. Es ist aber auch möglich, auf die Kufen 13 zu verzichten, wenn die Auflagekraft der Tastnadel M-durch eine definierte Zustellung bezüglich der Werkstück-Oberfläche 19 auf die letztere in vorgegebener Weise eingestellt wird.
-10-
709807/0954
Die Tastbewegung beim PrüfVorgang kann entweder vom Werkstück W, z.B. durch Drehung desselben im Sinne des Pfeiles F2 um einen ausreichenden, ggfs. in seiner Größe vorgebbaren Betrag, oder von der Vorrichtung ausgeführt werden.
Bei dem Beispiel nach Fig. 2 befindet sich am Meßkopf M ein rohrförmiger Ansatz IM-, durch den die Leitungen 7a, 7b hindurchgeführt sind und der von einem Arm 15 gehalten ist. Dieser Arm 15 kann in nicht besonders wiedergegebener Weise einstellbar bzw. verstellbar an einem Stativ oder der Führung eines Ständers angebracht sein, so daß sich der Meßkopf M in der jeweils gewünschten Weise auf das zu prüfende Werkstück aufsetzen und auch relativ zu diesem verschieben läßt, etwa bei den in Fig. 2 gezeigten Gegebenheiten in Achsrichtung des Werkstückes W, um dieses an verschiedenen Stellen prüfen zu können. Sowohl für das Aufsetzen als auch für eine Verstelibewegung können entsprechende Vorrichtungen und ggfs. auch motorische Antriebe vorgesehen sein. Ungeachtet der Ausbildung im einzelnen läßt sich die Vorrichtung so ausführen, daß die Tastkraft an der Tastnadel und die Abtastgeschwindigkeit jeweils konstant sind. Es ist aber auch möglich, unterschiedliche Bedingungen durch Eichung zu berücksichtigen.
Der Meßkopf M läßt sich ohne weiteres so ausbilden, daß empfindliche Teile desselben vor Beschädigungen und Verschmutzungen geschützt sind. Bei Einsatz unter nassen Bedingungen kann die Tastnadel insbesondere durch eine Manschet-
rll-
709807/0954
te od.dgl. hindurch aus dem Gehäuse 11 herausgeführt sein, so daß letzteres völlig abgeschlossen ist. Bei Verwendung feuchtigkeits- oder ölempfindIieher Aufnehmersysteme kann auch eine Membran, die z.B. das Tragorgan und/öder das Verbindungsglied zum Aufnehmersystem umgibt, Schutz bieten. Es kann weiterhin auch zweckmäßig sein, Luft durch das Gehäuse des Meßkopfes zu leiten oder eine Luftdüse vor der Tastnadel anzuordnen, um dadurch eine schützende Wirkung zu erzielen und einen unerwünschten Eintritt von Schmutzteilchen oder Flüssigkeit in den Meßkopf zu verhindern.
In Fig. 3, deren Elemente zum Teil weiter oben schon erläutert wurden, ist mit der Ziffer 25 ein parallel zum Ausgang für das Anzeigegerät 24 liegender Ausgang für ein Amplitudenwertsignal bezeichnet, um anzudeuten, daß dieses Signal noch weiter ausgenutzt werden kann. So läßt sich dasselbe einer Steuer- oder Regeleinrichtung 26 zuführen, um z.B. in Abhängigkeit vom.Oberschreiten eines an dieser Einrichtung einstellbaren Grenzwerts eine Abrichtvorrichtung 27 einer Schleifmaschine einzuschalten oder um eine Zustelleinrichtung 28 einer Schleifmaschine in vorgebbarer Weise zu beeinflussen..
Alle in der vorstehenden Beschreibung erwähnten bzw. in der Zeichnung dargestellten Merkmale sollen, sofern der bekannte Stand der Technik es zuläßt, für sich allein oder auch in Kombinationen als unter die Erfindung fallend angesehen werdea.
Patentansprüche 709807/0954

Claims (16)

  1. Patentansprüche
    'Verfahren zum Prüfen von Werkstück-Oberflächen, insbesondere von durch ein Schleifwerkzeug bearbeiteten Oberflächen, auf ihre Rauhigkeit, wobei die Oberfläche mittels eines nachgiebig geha-ltenen Tastorgans unter linienförmiger Relativbewegung zwischen Tastorgan und Oberfläche abgetastet wird, dadurch gekennzeichnet, daß beim Abtastvorgang an dem Tastorgan oder an mit ihm in Verbindung stehenden Teilen auftretende mechanische Schwingungen aufgenommen werden, dabei ein der Größe der Amplituden dieser Schwingungen wenigstens annähernd entsprechender Wert ermittelt wird und dieser Amplitudenwert als Kriterium für die Rauhigkeit der Oberfläche verwendet wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in Verbindung mit der Aufnahme der mechanischen Schwingungen ein den Amplitudenwert repräsentierendes elektrisches Signal erzeugt wird.
  3. 3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingungsaufnahme und die Amplitudenwertermittlung während der Bearbeitung des zu prüfenden Werkstückes durchgeführt wird.
    -2-
    709807/0954
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine eine Bearbeitungsoperation des Werkstückes beeinflussende Größe oder Einstellung in Abhängigkeit von der Größe des Amplitudenwertes oder einem diesen repräsentierenden Signal gesteuert oder geregelt wird.
  5. 5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4·, mit einem beweglich gegen einen nachgiebigen Widerstand von einer Halterung getragenen Tastorgan, dadurch gekennzeichnet, daß das Tastorgan (U) oder dessen Träger (1) mit einem an seinem Ausgang elektrische Signale lieferndenAufnehmersystem (5) für Schwingungen in Verbindung steht.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein piezoelektrisches Aufnehmersystem (5).
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein induktives Aufnehmersystem.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch ein kapazitives Aufnehmersystem.
    -3-
    709807/0954
  9. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Tragorgan (1) an einem Ende mit einer Tastnadel (■+) od.dgl. versehen und am anderen Ende in einem Grundkörper (3) elastisch gehalten ist und über ein Verbindungsglied (8) mit dem Aufnehmersystem (5) gekoppelt ist.
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch ein Biegeplättchen (5) aus piezo-keramischem Material, das im Grundkörper (3) gehalten und im Bereich seines freien Teiles über einen Steg (8) mit dem Tragorgan (1) verbunden ist.
  11. 11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Tragorgan (1) ein leichtes Röhrchen ist.
  12. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß sie in an sich bekannter Weise auf die Oberfläche (9, 19) des Werkstückes (W) aufsetzbare Kufen (13) aufweist, zwischen denen sich das Tastorgan (·+) befindet.
  13. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufnehmersystem (5) über einen Verstärker (21) mit einem Gleichrichter (22) verbunden ist und ein Organ (24; 25) zur Abnahme und/oder Anzeige der gelieferten Größe vorgesehen ist.
    709807/0954
  14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Gleichrichter (22) und dem Organ (24; 25) zur Abnahme und/oder Anzeige der gelieferten Größe ein Filter (23) vorgesehen ist.
  15. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (1) für das Tastorgan (4) und das Aufnehmersystem (5) einen von einem Gehäuse (11) umschlossenen Meßkopf (M) bilden.
  16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf (M) mit Abdichtungen versehen ist.
    709807/0954
    Leerseite
DE19752535912 1975-08-12 1975-08-12 Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen Granted DE2535912A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752535912 DE2535912A1 (de) 1975-08-12 1975-08-12 Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen
IT26080/76A IT1068041B (it) 1975-08-12 1976-08-05 Procedimento e dispositivo per il controllo della scabrosira di superfici
US05/712,829 US4106333A (en) 1975-08-12 1976-08-09 Method of and apparatus for examining the roughness of surfaces
GB33227/76A GB1540918A (en) 1975-08-12 1976-08-10 Method of and apparatus for examining the roughness of surfaces

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752535912 DE2535912A1 (de) 1975-08-12 1975-08-12 Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2535912A1 true DE2535912A1 (de) 1977-02-17
DE2535912B2 DE2535912B2 (de) 1979-04-19
DE2535912C3 DE2535912C3 (de) 1979-12-13

Family

ID=5953810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19752535912 Granted DE2535912A1 (de) 1975-08-12 1975-08-12 Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4106333A (de)
DE (1) DE2535912A1 (de)
GB (1) GB1540918A (de)
IT (1) IT1068041B (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2640894A1 (de) * 1976-09-10 1978-03-16 Feinpruef Feinmess Und Pruefge Vorschubgeraet fuer die oberflaechenmessung nach dem tastschnitt-verfahren
WO1987004235A1 (fr) * 1986-01-13 1987-07-16 Antoine Antoine Dispositif de controle de l'etat de surface de materiaux
DE8709466U1 (de) * 1987-06-30 1987-11-19 Ruth Domma Maschinenvertrieb, 7070 Schwaebisch Gmuend, De
EP0497610A2 (de) * 1991-02-01 1992-08-05 General Electric Company Feststellung der Behandlungsqualität einer Oberfläche durch Analyse von Linienspuren auf der Substratoberfläche
US5383354A (en) * 1993-12-27 1995-01-24 Motorola, Inc. Process for measuring surface topography using atomic force microscopy
DE4437033A1 (de) * 1994-10-17 1996-04-18 Mahr Gmbh Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren
DE10315218B4 (de) * 2003-04-01 2010-12-30 Nagel Maschinen- Und Werkzeugfabrik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Feinbearbeitung einer Oberfläche eines Werkstücks
EP3228974A1 (de) * 2016-04-06 2017-10-11 Klingelnberg AG Rauheitsmesstaster, vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verwendung

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4200986A (en) * 1978-09-21 1980-05-06 Ait Corporation Digital indicator
IT1106714B (it) * 1978-12-21 1985-11-18 Finike Italiana Marposs Apparecchio per il rilevamento di caratteristiche geometriche di pezzi meccanici
US4290303A (en) * 1979-07-03 1981-09-22 Westinghouse Electric Corp. Apparatus for measuring surface scratches on a tube
DE3003370A1 (de) * 1980-01-31 1982-01-07 Elan-Schaltelemente Kurt Maecker Gmbh, 4040 Neuss Feinmesstaster, insbesondere als wegaufnehmer fuer laengenmessgeraete
DE3039130C2 (de) * 1980-07-31 1982-12-09 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, 8023 Zürich Einrichtung zum selbsttätigen Nachstellen und Abrichten einer Schleifscheibe
US4476489A (en) * 1982-05-20 1984-10-09 Inspection Technology, Inc. Microfinish measurement apparatus and technique
US4574625A (en) * 1983-04-12 1986-03-11 Federal Products Corporation Surface finish, displacement and contour scanner
CH661980A5 (de) * 1983-12-21 1987-08-31 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag Taster fuer ein zahnflankenprofilmessgeraet zur ermittlung der zahnflankenoberflaechenrauheit.
DE3590145T1 (de) * 1984-04-10 1986-04-24 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo Oberflächenrauheit-Meßgerät
EP0186741B1 (de) * 1984-12-10 1988-09-21 Maschinenfabrik Rieter Ag Vorrichtung zum Reinigen von Tastzylindern
US4619708A (en) * 1984-12-19 1986-10-28 Eastman Kodak Company Flexible sheet cleaning apparatus and method
US4776212A (en) * 1987-06-19 1988-10-11 Federal Products Corporation Pocket surface roughness gage
JP2582278B2 (ja) * 1988-02-20 1997-02-19 バンドー化学株式会社 クリ−ニングブレ−ドの稜線検査装置
US4811594A (en) * 1988-04-25 1989-03-14 Battelle Memorial Institute Topography sensor
US5266801A (en) * 1989-06-05 1993-11-30 Digital Instruments, Inc. Jumping probe microscope
US5253516A (en) * 1990-05-23 1993-10-19 Digital Instruments, Inc. Atomic force microscope for small samples having dual-mode operating capability
US5092163A (en) * 1990-06-27 1992-03-03 Young Russell D Precision small scale force sensor
DE4031107A1 (de) * 1990-10-02 1992-04-09 Agfa Gevaert Ag Verfahren zur herstellung von seitenrichtigen kopien von transparenten bildvorlagen
DE4035084A1 (de) * 1990-11-05 1992-05-07 Jenoptik Jena Gmbh Anordnung zum messen linearer abmessungen auf einer strukturierten oberflaeche eines messobjektes
JPH05196458A (ja) * 1991-01-04 1993-08-06 Univ Leland Stanford Jr 原子力顕微鏡用ピエゾ抵抗性片持ばり構造体
DE69208979T2 (de) * 1991-07-15 1996-07-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd Freitragender Ausleger für Atomkraftmikroskop und Verfahren zu dessen Herstellung
US5412980A (en) * 1992-08-07 1995-05-09 Digital Instruments, Inc. Tapping atomic force microscope
USRE36488E (en) * 1992-08-07 2000-01-11 Veeco Instruments Inc. Tapping atomic force microscope with phase or frequency detection
CA2112792A1 (en) * 1993-01-29 1994-07-30 Donald F. Rogowski Paper surface roughness analyzer
ATE274103T1 (de) 1998-01-20 2004-09-15 Metso Paper Inc Verfahren ung vorrichtung zur konditionierung einer walze, insbesondere von einer walze in einer papierherstellungs- oder veredelungsvorrichtung
FR2810111B1 (fr) * 2000-06-09 2004-04-02 Univ Haute Alsace Dispositif pour evaluer l'etat de surface d'un materiau et procede de mise en oeuvre dudit dispositif
DE102005035786B3 (de) * 2005-07-27 2007-01-04 Carl Mahr Holding Gmbh Rauheitstaster
DE102006002616A1 (de) * 2006-01-18 2007-07-26 Sirona Dental Systems Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von dentalen Oberflächenstrukturen
CN101929835B (zh) * 2009-06-22 2013-03-20 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 工件内孔表面粗糙度测量装置
JP2012026736A (ja) * 2010-07-20 2012-02-09 Mitsutoyo Corp 表面粗さ試験機のスキッド洗浄方法
CN112197681B (zh) * 2020-09-29 2022-07-05 石家庄市东华特种型材厂 一种汽车零件用检测装置及系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2240278A (en) * 1936-09-09 1941-04-29 Physicists Res Company Instrument for recording or measuring surface irregularities
US2405133A (en) * 1942-10-07 1946-08-06 Brush Dev Co Method and means for measuring surface roughness
US2460726A (en) * 1943-01-11 1949-02-01 Brush Dev Co Surface roughness measuring device
GB568800A (en) * 1943-05-13 1945-04-20 Kapella Ltd Improvements in or relating to apparatus for measuring or indicating the roughnessesor undulations of a surface
US2991331A (en) * 1956-02-28 1961-07-04 Astatic Corp Static electricity eliminator and conditioner for phonograph record discs

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2640894A1 (de) * 1976-09-10 1978-03-16 Feinpruef Feinmess Und Pruefge Vorschubgeraet fuer die oberflaechenmessung nach dem tastschnitt-verfahren
WO1987004235A1 (fr) * 1986-01-13 1987-07-16 Antoine Antoine Dispositif de controle de l'etat de surface de materiaux
FR2592956A1 (fr) * 1986-01-13 1987-07-17 Antoine Antoine Dispositif de controle de l'etat de surface de materiaux.
EP0234965A1 (de) * 1986-01-13 1987-09-02 Antoine Antoine Vorrichtung zur Ermittlung der Oberflächenbeschaffenheit von Materialien
DE8709466U1 (de) * 1987-06-30 1987-11-19 Ruth Domma Maschinenvertrieb, 7070 Schwaebisch Gmuend, De
EP0497610A2 (de) * 1991-02-01 1992-08-05 General Electric Company Feststellung der Behandlungsqualität einer Oberfläche durch Analyse von Linienspuren auf der Substratoberfläche
EP0497610A3 (en) * 1991-02-01 1993-03-03 General Electric Company Quality assurance of surface treatments by analysis of substrate surface line traces
US5383354A (en) * 1993-12-27 1995-01-24 Motorola, Inc. Process for measuring surface topography using atomic force microscopy
DE4437033A1 (de) * 1994-10-17 1996-04-18 Mahr Gmbh Vorschubgerät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnitt-Verfahren
DE10315218B4 (de) * 2003-04-01 2010-12-30 Nagel Maschinen- Und Werkzeugfabrik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Feinbearbeitung einer Oberfläche eines Werkstücks
EP3228974A1 (de) * 2016-04-06 2017-10-11 Klingelnberg AG Rauheitsmesstaster, vorrichtung mit rauheitsmesstaster und entsprechende verwendung
US10539407B2 (en) 2016-04-06 2020-01-21 Klingelnberg Ag Roughness measurement sensor, an apparatus with a roughness measurement sensor and the respective use thereof

Also Published As

Publication number Publication date
IT1068041B (it) 1985-03-21
DE2535912C3 (de) 1979-12-13
US4106333A (en) 1978-08-15
DE2535912B2 (de) 1979-04-19
GB1540918A (en) 1979-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2535912A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen
DE19947001B4 (de) Instrument zur Messung der Oberflächenkontur
DE19616663B4 (de) Meßgerät
DE3901185A1 (de) Verfahren sowie vorrichtung zur beruehrungslosen messung der deformation und des verschleisses von schienen
DE3529320A1 (de) Tastvorrichtung fuer oberflaechen
DE1763224A1 (de) Verfahren zur Einhaltung der maximalen Metallentfernungsgeschwindigkeit unter Vermeidung von Werkzeugprellungen bei der Bearbeitung eines Werkstuecks durch eine Werkzeugmaschine und Prellungsmessvorrichtung zur Ausfuehrung des Verfahrens
DE102019207746A1 (de) Verfahren zum Ermitteln einer Zustandsinformation betreffend eine Bandschleifmaschine mittels eines maschinellen Lernsystems
DE4228333A1 (de) Zerspanungsvorrichtung
EP1083403A1 (de) Verfahren sowie Anordnung zum Ermitteln des Biegewinkels von Werkstücken
DE4139697C2 (de) Vorrichtung zur Prüfung und Vermessung von Matratzen, Polstern oder ähnlichen flächig-elastischen Gegenständen
DE19641720A1 (de) Tastkopf mit elektronischer Führung
DE4033725C2 (de)
DE3827752A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erfassung der oberflaeche von schleifscheiben
DE3615963A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum ueberwachen der mahlguthoehe in einer mahlanlage
DE4422691A1 (de) Hochdruck-Wasserschneidvorrichtung
DE2259091A1 (de) Verfahren und tastkopf zur konturenvermessung
DE102017221737B4 (de) Verfahren und System zum Auswerten eines durch eine Messvorrichtung erfassten vorbestimmten Oberflächenbereichs eines Prüfkörpers
EP0757788B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von strukturfehlern an laufenden textilen flächengebilden
DE2915229A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur rauhigkeitspruefung von oberflaechen
DE102015110178B4 (de) Messvorrichtung
DE3814697C2 (de)
DE10332713B3 (de) Strahlintensitätsmessvorrichtung für Oberflächenbehandlungseinrichtungen
DE1473399A1 (de) Verfahren zur Feststellung von Abweichungen vom Steigungswinkel einer geraden Linie
DE1602924A1 (de) Werkzeugmaschine mit relativ zu einem Werkzeugsupport umlaufendem Werkstueckspannfutter und mit Messeinrichtungen zur Messung des Abstandes zwischen Werkzeug und Werkstueckoberflaeche
DE2910143C2 (de) Tastgerät zur Ermittlung von Oberflächenfehlern, insbesondere an kunststoffbeschichteten Spanplatten u. dgl.

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee