DE2351162B2 - Verfahren zur herabsetzung der porositaet von formteilen aus reaktionsgesintertem siliziumnitrid - Google Patents
Verfahren zur herabsetzung der porositaet von formteilen aus reaktionsgesintertem siliziumnitridInfo
- Publication number
- DE2351162B2 DE2351162B2 DE19732351162 DE2351162A DE2351162B2 DE 2351162 B2 DE2351162 B2 DE 2351162B2 DE 19732351162 DE19732351162 DE 19732351162 DE 2351162 A DE2351162 A DE 2351162A DE 2351162 B2 DE2351162 B2 DE 2351162B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- incandescent
- infiltrated
- porosity
- silicon nitride
- reaction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims description 11
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 11
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 claims description 7
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 claims description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 6
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- BMTAFVWTTFSTOG-UHFFFAOYSA-N Butylate Chemical compound CCSC(=O)N(CC(C)C)CC(C)C BMTAFVWTTFSTOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KMWBBMXGHHLDKL-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[Si] Chemical class [AlH3].[Si] KMWBBMXGHHLDKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N titanium ethoxide Chemical compound [Ti+4].CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-] JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- -1 methyl titanate Chemical compound 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005595 acetylacetonate group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000009739 binding Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- XDKQUSKHRIUJEO-UHFFFAOYSA-N magnesium;ethanolate Chemical compound [Mg+2].CC[O-].CC[O-] XDKQUSKHRIUJEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 150000004702 methyl esters Chemical class 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N nickel(II) oxide Inorganic materials [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004584 weight gain Effects 0.000 description 1
- 235000019786 weight gain Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/46—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with organic materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/46—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with organic materials
- C04B41/49—Compounds having one or more carbon-to-metal or carbon-to-silicon linkages ; Organo-clay compounds; Organo-silicates, i.e. ortho- or polysilicic acid esters ; Organo-phosphorus compounds; Organo-inorganic complexes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/82—Coating or impregnation with organic materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/82—Coating or impregnation with organic materials
- C04B41/84—Compounds having one or more carbon-to-metal of carbon-to-silicon linkages
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herabsetzung der Porosität von Formteilen aus
reaktionsgesintertem Siliziumnitrid durch Imprägnieren unter gleichzeitiger Verbesserung ihrer Festigkeit auch
bei höheren Temperaturen.
Außer dem Reaktionssinterverfahren ist bei der Herstellung von Formkörpern aus Siliziumnitrid auch
das sogenannte Heißpreßverfahren bekannt. Das Heißpreßverfahren wird mit Hilfe eines geeigneten
Heißpreßhilfsmittels durchgeführt und führt zu porenfreien, hochfesten und sehr harten, jedoch nur schwer
bearbeitbaren Formkörpern.
Bei der Reaktionssintertechnik gibt es praktisch uneingeschränkte Möglichkeiten der Formgebung,
insbesondere für den vorgebrannten Zustand der Siliziumnitridkörper, wobei Bearbeitungen auf der
Drehbank oder Fräsbank oder in ähnlicher Weise möglich sind. Allerdings lassen sich durch Reaktionssintern
keine praktisch porenfreien Siliziumnitridkörner herstellen, vielmehr weisen diese immer noch eine
Porosität zwischen 10 und etwa 35% auf. Sie sind also wesentlich weniger fest und auch gasdurchlässiger als
nach dem Heißpreßverfahren hergestellte Körper. Allerdings lassen sich solche nach dem Heißpreßverfahren
hergestellten Körper nicht überall anwenden, sei es aus technischen oder wirtschaftlichen Gründen. Dies gilt
insbesondere für den Anlagen- oder Apparatebau, im Maschinenbau und in der Motoren- und Turbinenfabrik.
Aufgabe der Erfindung ist es somit, ein Verfahren vorzuschlagen, das nach dem Prinzip des Reaktionssinterverfahrens
arbeitet, mit dem es aber möglich ist, die Porosität der Formkörper wesentlich herabzusetzen.
Das erfindungsgemäße Verfahren kennzeichnet sich dadurch, daß die fertignitrierten Formkörper mit
Lösungen der Acetylacetonate der Metalle Eisen, Kobalt und Nickel
oder mit Alkoholaten und Estern von Polykieselsäuren, Silizium-Aluminium-Ester, Tetramethylorthosilikat, Tetraäthoxysilan
u. dgl.
oder mit Alkoholaten und Estern der Metalle Magnesium, Titan, Zirkonium und Vanadium in Form von
beispielsweise Vanadyl-n-propylat, Vanadyl-n-butylat,
Magnesium-Äthylat, Magnesiumbutylat, Zirkoniumpropylat, Zirkoniumbutylat, Methyltitanat und Äthyltitanat
sowie deren Lösungen
infiltriert, getrocknet und einem Glühbrand unterwor
fen werden.
Überraschenderweise hat sich gezeigt, daß nach diesem Verfahren nicht nur die Porosität der Teile und
damit ihre Gasdurchlässigkeit wesentlich herabgesetzt wird, sondern gleichzeitig auch die Möglichkeit
geschaffen ist, die Fertigkeit solcher Formkörper bei Zimmertemperaturen, aber auch bei höheren Temperaturen
wesentlich zu steigern.
Die zur Infiltration benutzten Flüssigkeiten besitzen je nach Art Trocknungs- bzw. Glührückstände zwischen
15 und 50% in Form von z. B. SiO2, ZrO2, TiO2, AI2O3,
Mullit, NiO, Fe2O3 u. a. m. Diese Rückstände bilden sich
nach dem Trocknungs- und Glühprozeß in den Poren des infiltrierten reaktionsgesinterten Siliziumnitrids.
Je nach Art des Rückstandes können während des Glühprozesses verbindende Reaktionen mit dem
Si3N4-Gefüge eintreten.
Die Rückstände verschließen die Poren des Siliziumnitridgegenstandes
und vermindern so seine Gaspermeabilität. Gleichzeitig tritt mit der Verringerung des
Porenanteiles eine Festigkeitssteigerung ein.
Unter Silizium-Aiuminium-Ester werden im Handel erhältliche Substanzen der chemischen Formel
(C2H5O)3 SiOAl (OC4H9J2
mit einem Festgehalt von 6 — 7% Si, 8 — 9% Al und einer
Dichte von 0,95 -1,05 g/cm3 verstanden.
Vorzugsweise erfolgt die Infiltration der reaktionsgesinterten Siliziumnitridkörper unter Vakuum.
Die Trocknung der infiltrierten Formteile wird zweckmäßig bei Temperaturen unter oder wenigstens
nicht wesentlich oberhalb der Zersetzungstemperatur der Imprägnierflüssigkeiten vorgenommen.
Im Rahmen der Erfindung kann es zweckmäßig sein, den Infiltrationsvorgang nach der vollständigen Trocknung
der Formkörper einmal oder mehrfach zu wiederholen.
Der Glühbrand wird vorteilhaft in Vakuum durchgeführt. Er kann aber auch in sauerstofffreier Schutzgasatmosphäre
erfolgen, und es kann mitunter zweckmäßig sein, den Glühbrand sogar an Luft durchzuführen.
Abhängig von der Imprägnierflüssigkeit erfolgt der Glühbrand bei Temperaturen zwischen 450 und 14500C.
Es kann im Rahmen der Erfindung vorteilhaft sein, nach einem ersten Glühbrand die Infiltration und
Glühbrände an dem verdichtenden Formkörper einmal oder mehrfach zu wiederholen.
1. Beispiel
Aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid mit einer Porosität von 27% wurden Biegeprüfkörper hergestellt
und bei Zimmertemperatur unter Vakuum mit Zirkoniumbutylat infiltriert. Zirkoniumbutylat ist eine gelbbraune
Flüssigkeit, welche bei 20°C eine Viskosität von etwa 23 cP aufweist.
Die mfiltrierten Biegeprüfkörper wurden getrocknet und dann bei 1410° C gebrannt.
Vergleichsversuche zeigten, daß die Festigkeit des einmal infiltrierten Biegeprüfkörpers um 8,5% höher lag
als diejenige eines unbehandelten Biegeprüfkörpers.
Bei weiter durchgeführten Versuchen konnte festgestellt werden, daß eine zweite und dritte weitere
Infiltration die Festigkeit nochmals um jeweils 8,0 bzw. 7,3% steigerte.
2. Beispiel
Biegeprüfkörper aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid mit einer Porosität von 28% wurden bei
Zimmertemperatur unter Vakuum mit Methylpolysilikat infiltriert, welches der Methylester verschiedener
Poly-Kieselsäuren ist. Es ist eine farblose Flüssigkeit, die
bei 20°C eine Viskosität von etwa 7 cP aufweist. Der Gehalt an SiO2 beträgt ca. 50%. Die Prüfkörper wurden
nach der Infiltration getrocknet und anschließend in Stickstoff atmosphäre bei 1050° C geglüht. Die Körper
zeigten nach dem Glühbrand eine Gewichtszunahme um 5,5%. In ähnlichem Maße nahm ihre Porosität ab.
Bei Vergleichen der Kaltbiegefestigkeit konnte eine Steigerung um ca. 9% beachtet werden.
Claims (5)
1. Verfahren zur Herabsetzung der Porosität von
Formteilen aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid durch Imprägnieren unter gleichzeitiger Verbesserung
ihrer Festigkeit auch bei höheren Temperaturen, dadurch gekennzeichnet, daß die fertignitrierten Formkörper mit Lösungen der
Acetylacetonale der Metalle Eisen, Kobalt und Nickel
oder mit Alkoholaten und Estern von Polykieselsäuren, Silizium-Aluminium-Ester, Tetramethylorthosilikat,
Tetraäthoxysilan u. dgl.
oder mit Alkoholaten und Estern der Metalle Magnesium, Titan, Zirkonium und Vanadium in
Form von beispielsweise Vanadyl-n-propylat, Vanadyl-n-butylat,
Magnesium-Äthylat, Magnesium-Metfiyiat, Zirkoniumpropyfat, ZirkoniumbutyJat, Methyltitanat
und Äthyltitanat sowie deren Lösungen infiltriert, getrocknet und einem Glühbrand unterworfen
werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trocknung der infiltrierten
Formteile bei Temperaturen unter oder wenigstens nicht wesentlich oberhalb der Zersetzungstemperatur
der Imprägnierflüssigkeiten vorgenommen wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Infiltrationsvorgang nach
der vollständigen Trocknung der Formkörper einmal oder mehrfach wiederholt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die infiltrierten und getrockneten
Körper einem Glühbrand von 4500C bis 145O0C je
nach der verwendeten Imprägnierflüssigkeit unterworfen werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß nach einem ersten
Glühbrand die Infiltrationen und Glühbrände einmal oder mehrfach wiederholt werden.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19732351162 DE2351162C3 (de) | 1973-10-11 | 1973-10-11 | Verfahren zur Herabsetzung der Porosität von Formteilen aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19732351162 DE2351162C3 (de) | 1973-10-11 | 1973-10-11 | Verfahren zur Herabsetzung der Porosität von Formteilen aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2351162A1 DE2351162A1 (de) | 1975-04-30 |
| DE2351162B2 true DE2351162B2 (de) | 1977-09-08 |
| DE2351162C3 DE2351162C3 (de) | 1978-05-11 |
Family
ID=5895184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19732351162 Expired DE2351162C3 (de) | 1973-10-11 | 1973-10-11 | Verfahren zur Herabsetzung der Porosität von Formteilen aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2351162C3 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2856593A1 (de) * | 1978-01-09 | 1979-07-19 | Carborundum Co | Sinterfaehiges pulver und verfahren zur herstellung von sinterkoerpern daraus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3717670A1 (de) * | 1986-11-21 | 1988-06-01 | Hoechst Ceram Tec Ag | Verfahren zum abdichten keramischer waermetauscher |
-
1973
- 1973-10-11 DE DE19732351162 patent/DE2351162C3/de not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2856593A1 (de) * | 1978-01-09 | 1979-07-19 | Carborundum Co | Sinterfaehiges pulver und verfahren zur herstellung von sinterkoerpern daraus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2351162A1 (de) | 1975-04-30 |
| DE2351162C3 (de) | 1978-05-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2855859C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Siliciumnitrid-Gegenstands | |
| DE1758845C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Prazisions gießformen fur reaktionsfähige Metalle | |
| DE3205877C2 (de) | ||
| DE2855785A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines gesinterten siliciumnitrid-gegenstands | |
| DE2316348C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von Formkörpern aus Siliciumnitrid durch Heißpressen | |
| DE102018204927A1 (de) | Vertahren zum Herstellen eines Siliciumcarbid-Sinterkörpers | |
| DE2933373C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Gegenstandes aus Siliziumnitrid durch isostatisches Pressen, wobei der vorgeformte Körper in einer Hülle aus Glas eingeschlossen ist | |
| DE69800379T2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Cordierit-Keramik mit Honigwabenstruktur | |
| DE1646455A1 (de) | Verfahren zum Herstellen eines durch Verkohlen und Silizieren in einen Siliziumkarbid-Koerper umzuwandelnden Formlings | |
| EP0133874B1 (de) | Verfahren zum heissisostatischen Pressen von Formteilen aus Keramik | |
| DE1646700B1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Formkoerpern aus Siliziumnitrid oder dessen Gemischen mit Siliziumcarbid | |
| DE2812986C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Körpers aus Siliciumnitrid | |
| DE2351162C3 (de) | Verfahren zur Herabsetzung der Porosität von Formteilen aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid | |
| DE2349277A1 (de) | Verfahren zur herstellung dichter formkoerper aus siliziumnitrid | |
| DE3403917C1 (de) | Verfahren zum Verdichten poroeser keramischer Bauteile fuer das heissisostatische Pressen | |
| DE3610528A1 (de) | Verfahren zum superplastischen formen von keramikmaterial | |
| DE1244037B (de) | Verfahren zur Verringerung der Durchlaessigkeit von Kohlenstoffsteinen | |
| DE3337025C2 (de) | ||
| DE2356921C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitrid-Körpern durch Reaktionssintern von Siliciumpulver in Stickstoffatmosphäre und anschließendes Drucksintern | |
| DE3015885A1 (de) | Verfahren zum binden von radioaktiven abfaellen | |
| DE2458682C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers aus Siliziumnitrid | |
| DE19505912C1 (de) | Verfahren zur Herstellung von keramischen, metallischen oder keramometallischen Formkörpern sowie Schichten | |
| DE564257T1 (de) | Keramik mit geringer Wärmeleitfähigkeit und Verfahren zu seiner Herstellung. | |
| DE2412637C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Siliziumnitrid-Formkörpers hoher Festigkeit | |
| DE69411132T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von keramischen Werkstoffen durch impregnieren eines poreusen keramischen Trägers mit einem Vorläufer |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: FELDMUEHLE AG, 4000 DUESSELDORF, DE |
|
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |