DE2350807C3 - Röntgenröhre mit einer flüssigkeitsgekühlten Anode - Google Patents

Röntgenröhre mit einer flüssigkeitsgekühlten Anode

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    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
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    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/12Cooling non-rotary anodes
    • H01J35/13Active cooling, e.g. fluid flow, heat pipes

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Description

Die Erfindung betrifft eine Röntgenröhre gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruches. Solche Röntgenröhren sind u. a. aus der DE-PS 7 18 031 und der US-PS '28 86 723 bekannt
Bei der Röntgenröhre nach der US-PS 28 86 723 beispielsweise wird die Kühlfläche durch Wölbungen auf dei. einen Kühlstromkanal begrenzenden Wänden vergrößei t Dadurch ergibt sich eine größere Turbulenz des Kühlmittels, wodurch das Entstehen von Gasblasen verhindert werden soll.
Zumal bei Röntgenröhren mit einem verhältnismäßig kleinen Brennfleck, dies ist der Querschnitt des Elektronenbündels an der Stelle der Auftrefffläche, tritt verhältnismäßig schnell eine Beschädigung der Anodenauftreffplatte auf. Es hat sich gezeigt, daß diese Beschädigung vorwiegend in einer örtlichen Aufrauhung im Brennfleck und in seiner Nähe besteht. Neben einer Lebensdauerverkürzung der Röhre hat dies weiter zur Folge, daß die Strahlungsausbeute der Röhre ständig abnimmt
Weiterhin ist eine Röntgenröhre (F50/1) bekannt deren Anode auf der vom Elektronenstrahl abgewandten Seite eine durch ein strömendes Kühlmittel kühlbare Kühlfläche aufweist bei der für die Zufuhr des Kühlmittels in einer Stirnfläche einer Kühlbuchse eine Öffnung vorgesehen ist und bei der die Kühlbuchse in Richtung auf die Kühlfläche verschiebbar angeordnet ist. Die Kühlfläche ist dabei eben, und die Kühlbuchse wird mit Hilfe einer Feder gegen die Kühlfläche gedrückt wobei
ίο der Durchflußweg des Kühlmittels zwischen der Stirnfläche und der Kühlfläche durch auf der Stirnfläche der Kühlbuchse vorgesehene Abstandshalter bestimmt wird.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Röntgenröhre der
is eingangs genannten Art so auszubilden, daß an der Auftreffplatte auch bei hoher örtlicher Belastung in viel geringerem Ausmaß Beschädigungen auftreten. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Röntgenröhre nach dem Oberbegriff durch die im Kennzeichen des Hauptanspruches angegebenen Maßnahmen gelöst
Durch das Anbringen der flächenvergrößernden, pyramidenförmigen Struktur in der Anodenauftreffplatte ergibt sich eine Röntgenröhre mit einer größeren Strahlungsausibeute und einer längeren Lebensdauer. Hierzu trägt sowohl der bessere Wärmekontakt zwischen der Anodenauftreffplatte und dem Kühlmittel als auch die größere Kühlfläche, die größere Durchflußgeschwindigkeit des Kühlmittels an der Stelle der Kühlfläche als auch der kürzere Wärmeleckweg bei. Durch den verbesserten Wärmeaustausch bei der Kühlfläche kann die Anodenauftreffplatte dünner ausgeführt werden, wodurch sie sich noch weniger erwärmt. Da sich die Anodenauftreffplatte im Brennfleck weniger erwärmt, verursachen die dort auftretenden Temperaturgradienten eine geringere Aufrauhung der Oberfläche.
Da sich die Anodenauftreffplatte in einer Röntgenröhre nach Anspruch 1 auch an der Kühlflächenseite weniger erwärmt tritt dort weniger Korrosion auf. Eine möglicherweise doch auftretende Korrosion ist hier um so schädlicher, da sie die Kühlstruktur angreift Wenn dies aut tritt geht die bessere Kühlung nach einiger Zeit verloren, und die dünne Anodenauftreffplatte wird bald völlig unbrauchbar. Um dies zu verhindern, ist die Kühlseite der Anodenauftreffplatte mit einem korrosionsfesten Material versehen. Auch kann dazu in einem geschlossenen Kühlsystem eine Flüssigkeit mit einer verhältnismäßig geringen Korrosionswirkung auf das Material der Kühlfläche gebraucht werden.
Anhand der Zeichnung wird nachstehend eine Vorzugsausführung nach der Erfindung näher erläutert. Dabei zeigt
F i g. 1 eine Röntgenröhre,
Fig.2 die Anodenauftreffplatte der Röntgenröhre nach F ig. 1,
F i g. 3 den Anodenaufbau.
Die in F i g. 1 skizzierte Röntgenröhre enthält eine Hülle, die aus einem Glasteil 1 und einem Metallteil 2 besteht die durch einen Verbindungsring 3 vakuumdicht miteinander verbunden sind. Im Metallteil 2 befinden sich Fenster wie 4 und 5, die in die Tragringe 6 und 7 vakuumdicht eingelassen sind. Das Teil 2 enthält weiter eine Kappe 8, von der eine Anode mit einer Anodenauftreffplatte 10 ein Teil bildet. In der Anode 9 ist eine Kühlbuchse 11 mit einer Zuleitung 12 und einer Ableitung 13 montiert. In der Kühlbuchse 11 befindet sich eine Öffnung 34, um eine Kühlflüssigkeit senkrecht auf die Anodenauftreffplatte zu richten. Eine Verschlußplatte 38 ist mit einer in den Kühlraum hineinragenden
Führungsbuchse 39 versehen. Die Kühlbuchse 11 ist vorzugsweise unter Zwischenlegung eines oder mehrere kreisförmiger Ringe 15 um die Führungsbuchse 39 montiert.
Gegenüber der Anodenauftreffplatte IC befindet sich ein Kathodenkörper 16, in dem eine Elektronenquelle, hier durch eine Heizspirale 17 gebildet, montiert ist Die Glashülle 1 enthält ein Durchführungsstück 18 mit Durchführungen 19 für die Anschlüsse 20 von nicht gezeichneten Strom- oder Spannungsquellen.
Auf der Rückseite der Anodenauftreffplatte 10 ist eine Kühlstruktur 21 angeordnet, die in Fig.2 vergrößert dargestellt ist Neben der Anode 9, der Kühlbuchse 11 und der Heizwendel 17 ist in Fig. 2 ein Elektronenbünde: 22 und ein Röntgenbündel 23 angegeben. Die Kühlstruktur 21 besteht in dieser Vorzugsausführung aus gleichseitigen Pyramiden 25. Die Auftreffplatte einschließlich der Pyramiden ist z. B. 2 mm dick, und die Pyramiden sind 1 mm hoch. Eine Stirnfläche 26 der Kühlbuchse 11 liegt an den Spitzen der Erhöhungen an. Der Druck der Kühlflüssigkeit sorgt selbstregulierend ohne Federkraft dafür, daß dies während des Betriebes auch immer so bleibt Eine Kühlflüssigkeit die durch die Ausströmöffnung 34 hineingepreßt wird, wird auf diese Weise gezwungen, zwischen den Erhöhungen hindurchzufiießen. Hierdurch ist ein guter Wärmekontakt zwischen der Kühlflüssigkeit und der Auftreffplatte gewährleistet. Beim Gebrauch gleichseitiger Pyramiden in der Kühlstruktur wird die kühlende Oberfläche der Kühlfläche bei gleicher Querabmessung der Auftreffplatte etwa um den Faktor 2 vergrößert. Dies ergibt in erster Annäherung eine zweimal εο große Wärmeabgabe an die Kühlflüssigkeit. Da die Kühlflüssigkeit durch die mehr oder weniger im Zickzack laufenden Kanäle zwischen den Pyramiden gepreßt wird, werden dort etwaige Gasblasen rasch mitgeführt. Durch die größere Durchflußgeschwindigkeit zufolge der engen Durchflußöffnung wird die Kühlflüssigkeit weniger erwärmt und der Wärmeaustausch vergrößert. Die Struktur muß jedoch immer seitwärts gerichteten Durchfluß ermöglichen.
Wie bereits bemerkt, hat auch eine geringe Korrosion an der Kühlfläche bald ernsthafte Folgen. Einerseits muß das Kühlmittel durch enge und sich somit leicht verstopfende Kanäle fließen, andererseits können die Spitzen der Erhöhungen nach einiger Zeit durch Korrosion verschwinden, wodurch die Flüssigkeitsströmung sich auf eine dadurch entstandene freie Durchflußöffnung konzentrieren kann. In beiden Fällen ist die gute gleichmäßige Kühlung zunichte gemacht Um dies zu vermeiden, kann die Röntgenröhre mit einem an sich bekannten geschlossenen Kühlsystem ausgerüstet werden. In diesem System wird die aus der Anode aufgenommene Wärme in einem Wärmeaustauscher abgegeben. In einem derartigen System kann das Kühlmittel frei gewählt werden. Es kann dann z. B. auch mit einem Binärgemisch, wie Wasser mit Alkohol, gearbeitet werden, von denen eine Komponente beim Kühlprozeß einen wechselnden Phasenübergang erfährt
Die Korrosion der Kühlstruktur wird durch eine geeignete Materialwahl der Anodenauftreffplatte an der Stelle der Kühlfläche reduziert. Ein geeignetes Material dafür neben Kupfer ist Silber, wegen der guten Wärmeleitung und der großen Korrosionsbeständigkeit. Die Kühlstruktur kann z. B. durch Aufdampfen oder auf galvanischem Weg mit einer Silberschicht iiherzoeen werden.
Die Anodenauftreffpiatte, wie in F i g. 2 angegeben, besitzt vorzugsweise eine verhältnismäßig dünne Auftreffscheibe 30 und eine auch als Träger für die Auftreffscheibe wirksame Kühlscheibe 33. Die Kühlscheibe besteht darin z. B. aus Silber oder Kupfer, während die Auftreffscheibe durch eines der dafür bekannten Metalle, wie Kupfer, Molybdän, Wolfram, Kobalt und ähnliche gebildet wird.
Für eine weitere Vorzugsausführung· sind in F i g. 3 eine Kühlscheibe 33, eine Kühlbuchsenöffnung 34 und ein linienförmiger Brennfleck 35 in ihrer gegenseitigen Orientierung angegeben. Derartige Linienfokusröhren werden häufig für Diffraktionsuntersuchungen angewandt Der linienförmige Brennfleck oder Linienfokus ist dabei z. B. 0,4 mm breit und 8 mm lang. Die Kühlscheibe ist jetzt so montiert daß der Linienfokus einen Winkel von ungefähr 45° mit Geraden 36 bildet, längs denen die Pyramiden angeordnet sind. Die Kühlbuchsenöffnung 34 befindet sich dem Linienfokus direkt gegenüber, wodurch das Kühlmittel an der Kühlungsseite an den Linienfokus gespritzt wird. In einer Vorzugsausführung ist die Kühlscheibe mit Gebieten 37 versehen, in denen sich keine Kühlstruktur befindet Diese geschlossenen Gebiete liegen in der Längsrichtung des Linienfokus, aber befinden sich dort um mindestens einige Male der Breite außerhalb des Linienfokus. Durch die geschlossenen Gebiete 37 wird die Flußrichtung des Kühlmittels mehr quer zur Längsrichtung des Linienfokus gezwungen.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

Patentansprüche:
1. Röntgenröhre, deren Anode (9) auf der vom Elektronenstrahl (22) abgewandten Seite eine mit einer die Oberfläche vergrößernden Struktur (25) versehenen Kühlfläche (21) aufweist, die mittels eines durch eine Öffnung (14) in einer Stirnfläche (26) einer Kühlbuchse (11) senkrecht auf die Anodenauftreffplatte (10) zuströmenden Kühlmittels kühlbar ist und der Abstand der Kühlbuchse (11) von der Kühlfläche (21) einstellbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die flächenvergrößernde Struktur durch ein regelmäßiges Muster von sich aneinander anschließenden Pyramiden (25) gebildet wird und daß die Kühlbuchse (11) und ihre Führung (39) derart ausgebildet sind, daß die Stirnfläche (26) der Küblbuchse (11) während des Kühlmiueldurchlaufes allein durch den Druck des Kühlmittelstroms gegen die Kühlfläche gedrückt wird, derart daß sich der Durchflußweg des Kühlmittels zwischen der Stirnfläche (26) und der Kühlfläche (21) zumindest überwiegend auf die durch die Struktur bedingten Aussparungen beschränkt
2. Röntgenröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Anode einer Auftreffscheibe (30) eine Dicke von ungefähr ΙΟΟμπι aufweist und von einer mit der flächenvergrößernden Struktur versehene, aus Silber hergestellte Kühlscheibe (33) getragen wird.
3. Röntgenröhre nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronenstrahl (22) einen linienförmigen Brennfleck (35) bildet, daß eine langgestreckte Ausströmöffnung (34) für das Kühlmittel so angeordnet ist, daß das Kühlmittel auf den vom Brennfleck erhitzten Bereich der Anode auftrifft und daß die Erhöhungen (25) der Kühlstruktur längs zwei die Längsrichtung des Brennfleckes unter einem Winkel von 45° schneidenden Geraden angeordnet sind (Fig. 3).
4. Röntgenröhre nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlstruktur so ausgebildet ist, daß der Durchflußweg des Kühlmittels in der Längsrichtung des Brennfleckes (36) abgeschlossen ist.
DE2350807A 1972-10-28 1973-10-10 Röntgenröhre mit einer flüssigkeitsgekühlten Anode Expired DE2350807C3 (de)

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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7610948A (nl) * 1976-10-04 1978-04-06 Philips Nv Roentgenbuis voor fijnstruktuuronderzoek.
US4238682A (en) * 1979-05-03 1980-12-09 Bell Telephone Laboratories, Incorporated High-power X-ray source
DE2934870A1 (de) * 1979-08-29 1981-03-19 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Roentgenroehre
US4455504A (en) * 1981-04-02 1984-06-19 Iversen Arthur H Liquid cooled anode x-ray tubes
US4405876A (en) * 1981-04-02 1983-09-20 Iversen Arthur H Liquid cooled anode x-ray tubes
US4572982A (en) * 1983-12-05 1986-02-25 General Electric Company Apparatus for reducing the effects of thermal stresses on breakdown voltage in high voltage vacuum devices
US4953191A (en) * 1989-07-24 1990-08-28 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High intensity x-ray source using liquid gallium target
DE9105292U1 (de) * 1991-04-30 1991-09-19 Hendrix, Jules, Dr., 2000 Hamburg Röntgenröhre
GB9318197D0 (en) * 1993-09-02 1993-10-20 Medical Res Council Improvements in or relating xo x-ray tubes
US5737387A (en) * 1994-03-11 1998-04-07 Arch Development Corporation Cooling for a rotating anode X-ray tube
US5680433A (en) * 1995-04-28 1997-10-21 Varian Associates, Inc. High output stationary X-ray target with flexible support structure
DE69821746T2 (de) * 1997-11-21 2005-01-20 Panalytical B.V. Röntgenröhre mit einem an die Brennpunktform angepassten Kühlprofil
DE19929655B4 (de) 1998-07-09 2012-02-16 Siemens Ag Röntgenstrahler
KR20010087942A (ko) * 2000-03-09 2001-09-26 김성헌 고정양극형 엑스선관 장치
CN101848624B (zh) * 2009-03-25 2013-07-03 富准精密工业(深圳)有限公司 液冷散热装置
JP5936895B2 (ja) * 2012-03-27 2016-06-22 株式会社リガク X線発生装置のターゲット及びその製造方法並びにx線発生装置
DE102014006063A1 (de) * 2014-04-25 2015-10-29 Microliquids GmbH Strahlerzeugungsvorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Flüssigkeitsstrahls
DE102017217181B3 (de) * 2017-09-27 2018-10-11 Siemens Healthcare Gmbh Stehanode für einen Röntgenstrahler und Röntgenstrahler

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE362763A (de) * 1928-07-16
US1994140A (en) * 1931-11-20 1935-03-12 Meeuen Harry Bernard Internal radiator for anodes
US2100742A (en) * 1934-09-01 1937-11-30 E J W Keagy Process and apparatus for beverage dispensing
DE718031C (de) * 1939-03-10 1942-02-28 Siemens Reiniger Werke Ag Roentgenroehrenanode mit Umlaufkuehlung fuer hohe Leistung
DE902061C (de) * 1940-02-28 1954-01-18 Aeg Kuehlvorrichtung fuer Hochleistungsroentgenroehren
FR1060761A (fr) * 1950-07-07 1954-04-06 Thomson Houston Comp Francaise Perfectionnement aux structures anodiques de tubes électroniques
US2790102A (en) * 1955-10-04 1957-04-23 Dunlee Corp X-ray tube anode
US2886723A (en) * 1956-09-04 1959-05-12 Machlett Lab Inc X-ray tubes

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5913742Y2 (ja) 1984-04-23
FR2204883B1 (de) 1978-11-17
GB1429066A (en) 1976-03-24
IT996888B (it) 1975-12-10
JPS4980985A (de) 1974-08-05
BE806601A (fr) 1974-04-26
US3914633A (en) 1975-10-21
DE2350807A1 (de) 1974-05-09
DE2350807B2 (de) 1978-11-02
CA993492A (en) 1976-07-20
JPS5446277U (de) 1979-03-30
NL7214642A (de) 1974-05-01
FR2204883A1 (de) 1974-05-24

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Date Code Title Description
8281 Inventor (new situation)

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