DE2334444A1 - Verfahren zur herstellung von kondensatoren - Google Patents

Verfahren zur herstellung von kondensatoren

Info

Publication number
DE2334444A1
DE2334444A1 DE19732334444 DE2334444A DE2334444A1 DE 2334444 A1 DE2334444 A1 DE 2334444A1 DE 19732334444 DE19732334444 DE 19732334444 DE 2334444 A DE2334444 A DE 2334444A DE 2334444 A1 DE2334444 A1 DE 2334444A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pdo
palladium
oxygen
strip
ink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19732334444
Other languages
English (en)
Other versions
DE2334444B2 (de
DE2334444C3 (de
Inventor
Hanold Iii Reinhardt Frederick
Iii Reinhardt Carl Fred Hanold
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Union Carbide Corp
Original Assignee
Union Carbide Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Union Carbide Corp filed Critical Union Carbide Corp
Publication of DE2334444A1 publication Critical patent/DE2334444A1/de
Publication of DE2334444B2 publication Critical patent/DE2334444B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2334444C3 publication Critical patent/DE2334444C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/005Electrodes
    • H01G4/008Selection of materials
    • H01G4/0085Fried electrodes
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/43Electric condenser making
    • Y10T29/435Solid dielectric type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

von Ko idem ~ Loren aus vielschichtigem kernniisclieiii Mai.crial» Insbesondere btti'ifft die vorliecende Erf:l:iiung ein neues Verfahr en, u« die Elektrodennroriter auf violoc"; richtiger!
keionischen Ilordensatoren aufzubringen.
»Vegen ihrer £fut-en V/i^runkeit im Hinblick au:C das oi;.?.Renor„iser,.■·- Volunio?i -aid «e^n döi" Möglichkeit, vielsch:;chlige EoiiOßHsatcreii automatisch einzubauen, wer do η dioye bei elektronischei; Auerüstungen soriemnäßig verv/^ndöt. Ken^i^nsatoren diesv^r Art und ein übliches Verfahre-* zu ihrer Herstellung 'sind in der US-PS 3 (312 963 beschrieben» ßa3 übliche Verfahren zur Herstellvmg von Kondensatoren ηυ& vielscliichtigcm keramischem Material besteht darin, die Muster für die gedruckten Elektroden auf einen) Streifen von ungebranntem keramischen Material abzublenden, woboi nach bekannten Verfahren ein elektrodenbildmides
verwendet wird, d.h. eine Tiute, die air. Bestandteile fein verteiltes Edelmetall enthält* Das mit den Elektrodensystem
30988A/1173
BAD ORIGiNAL
versehene ungebrannte keramische Material wird zu einem vielschichtigen Kondensator zusammengesetzt f wie dies etwa in der US-PS 3 612 963 beschrieben istj anschließend wird der zusammengesetzte Kondensator auf hohe Temperatur on erhitzt, um das ungebrannte keramische Material zu sintern.Da diese Herstellung von vielschichtigen keramischen Kondensatoren, die Anwendung Iioher Temperaturen erforderlich« macht, ist es wichtig, daß das eloktrodenbilde Material, beispielsweise die Tinte, diese hohen Tciiiperuiuvea aushält j ohne daß die endgültigen e'äriktrisch-iii Eigenschaften des hergestellten Kondensators nachteilig beeinflußt werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindern;" ist ein Verfahre« zur Herstellung vielschichtiger keramischer Kondensatoren. wobei ein eloktrodenbildendos RVterial νίτν.-ende.", v'iid.. des dem hergestellten Kondensator ausgezeichnete elektrische Eigenschaften verleiht.
,Weitere Aufgaben der vorliegenden Erfindung ergeben sich aiuder folgenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen. In den Zeichnungen zeigt
Fig. 1 einen nicht zusammengebauten Stapel von ungebrannten keramischen Streifen mit den entsprechend angeordneten Elektrodenmusterη;
309884/1173
' BAD
Fig. 2 eine vielschichtige Kondensatoranordnung,
die beim Zusammenbau der keramischen Streifen nach Fig. 1 erhalten v/urden; und
Fig. 3 einen vielschichtigen keramischen Kondensator, dor durch Brennen der Anordnung nach Fig. 2 erhalten wurde.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung vielschichtiger keramischer Kondensatoren besteht aus den folgenden Stuien:
1. Herstellung eines Streifens aus ungebranntem keramischen Material;'
2. Aufdrucken einer Vielzahl von Elektrodensystem auf den ungebrannten kerryiischon Streifen, v/coei eine Tinte verwendet wird, die im v.-osentlichen aus einen organischen Träger besteht, der feinverteil tee Paladiumoxyd enthält;
3. Aufeinanderstapeln der keramischen, mit aufgedruckten Elektrodenmustern versehenen Streifen zu einer vielschichtigen Kondensatoranordnung; und
4. Brennen der Kondensatoranordnung, um das ungebrannte keri-iiiische Trägermaterial zu sintern.
309884/1 173
RAfI
Als ein Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wurde gefunden, daß bei der Verwendung wirksamer Anteile von Paladiumoxyd (Pdo),anstelle der bisher verwendeten Edelmetalle, bei dem oben beschriebenen Verfahren zur Herstellimg vielschichtiger keramischer Kondensatoren eine deutliche Verbesserung der Eigenschaften der hergestellte Kondensatoren erzielt wird, und daß darüber hinaus die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens verbessert wird»
Bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung wird ein Streifen aus übl.cherc ungebranntem keramischen Material, welches für die Herstellung von vielschichtigen Kondensatoren geeignet ist, nach einem üblichen Verfahren vorbereitet, d.he eine fein verteilte keramische Mischung wii*d zu Streifen gegossen, wob si die Mischung etwa aus Bariuni-Titanat , Calcium-Oxyd, Titan-Dioxyd, Zircon--Oxyd, Mischungen dieser Materialien mit Hars, JLcsungnmitial und Weichmacher besteht. Die gegossene Bahn wird getrocknet und kann dann in einzelne Streifen geschnitten werden, wie dies bei 10 in Figur 1 angedeutet ist, mit. einem Muster vor». Elektroden, wie das bei 15 angedeutet ist, wobei diese Muster auf allen Streifen aufgebracht werden, mit Ausnahme dos obersten und des untersten Streifen, nach .einea: üblichen Druckverfahren unter Vsrwenduif^^ön "Wienifen, Daneben können als die oberste und die unterste Schicht des Kondensators zusätzliche Abdeckstreifen verwendet v/erden, die keine Elektrodenmuster enthalten. Alternativ dazu kann ein Huster für die Elektroden auf die größere Bahn aufgebracht werden,
309884/1173
bevor diese in die gewünschten schmaleren Streifen geschnitten wird. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung besteht das die Elektrode bildende Material, d.h. die Tinte, die zum Aufdrucken der Eluktrodenmuster verwendet wird, hauptsächlich aus fein verteiltem Paladium-Oxyd in einem inerten flüssigen organischen Träger, von der Art,wie er üblicherweise bei Edelmetall enthaltenden Tinten verwendet wird, wie etwa Zellulose-Acetat-Butyrat, Zellulose-Acetat-Ester und andere Ester von höheren Alkoholen, Äthyl-Zeilulose-Lösungen, Terpene, Methacylat-Ester, und Lösungen von Acryl-Po? ymeren.
Das verwendete Paladium-Oxyd wird gewöhnlich hergestellt, indem handelsüblich erhältliches Paladium~Metallpulvor an Luft für ungefähr 1 bis 3 Stunden ruf Temeperaturen von ungefähr 600 bis ungefähr SOO0C erwärmt wird. Pulver mit Korngrößen von ungefähr 0,2 bis 2,25 Mikron mit· Gberflächenbereichern von 0,1 bis 16 m /g sind zur Durchführung der vorliegenden Erfindung geeignet. Nachdem das Paladium etwa 50% oder mehr, bevorzugt etwa 70%, seines stöeh£>i;ictrischen Gewichtszuwachses für die Bildung von Paladiura-Oxyd aufgenommen hat, dann ist dieses oxidierte Pulver für die Zwecke der vorliegenden Erfindung gut geeignet.
Das oxidierte Pulver wird anschließend mit dem organischen Träger vermischt, um eine Tinte zu bilden, die ungefähr 40 bis 60 Gewichtsprozent Paladium enthält, bevorzugt wird eine Tinte mit ungefähr 50 Gewichtsprozent Paladium. Die
- 6 309884/1173
Tinte wird anschließend unter Verv/endung von Blenden auf die Streifen aus ungebranntem keramischen Material aufgedruckt, wie oben beschrieben.
Nach dem Aufdrucken der Elektrodenmuster werden die Streifen aus keramischem Matei'ial, wie bei 10 in Fig. 1 angedeutet, wie dargestellt angeordnet und eine Kondensatoranordnung 20 (wie in Fig#· 2 gezeigt) gebildet.
Die Kondensatoranordnung wird anschließend gebrannt, um das ungebrannte keramische Material zu einer polykristallinen Masse zu sintern, und um das Paladium-Oxyd der Elektrodenmuster in metallisches Paladium umzuv/andsln, wobei der vielschichtige keramische Kondensator 3d nach Fig. 3 erhalten wird. Geeignete Brenntemperaturen liegen zwischen 1050 und 14000C, während geeignete Brennzeiten zwischen 0,5 und 3 -Stunden liegen,
Der auf diese V/eise hergestellte vielschichtige keramische Kondensator ist gekennzeichnet durch verbesserte elektrische Eigenschaften, einschließlich einer erhöhten Wirksamkeit in Bezug auf das Volumen und einem verbesserten Isolierungswider stand.
Gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt vielschichtige keramische Kondensatoren werden während des Brennes nicht delaminiert oder erleiden innere Risse, wie das oft bei
309884/1173
Tinten, die metallisches Paladiura enthalten, infolge der Oxidation des Metalles auftritt, wobei eine Volumenzunahme auftritt. Bei der Verwendung von Paladium-Oxyd enthaltende Tinten wird das Paladium-Oxyd bei Temperaturen oberhalb ungefähr 8000C 55U metallischem Pa
schädliche Wirkungen auftreten.
gefähr 800 C %w metallischem Paladium zersetzt,· ohne df*ß
Ej η wichtiger Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung liegt in der Voroxidation des Paladium-~E1 elktrodenmaterial, so daß die Ausdehnung der Elektrode in:olge der Oxydation in Situ vermieden wird. Es wird ganz klar angestrebt, daß das Ausmaß der ^oroxidatioii des für die TintenherstelXung verwendeten metallischen Paladiums ausreicht, so daß eine deutliche Zunahme im Ausmaß der Oxidat'on 3m Verlauf der Kondensntorhei'st^llungs-Operationen nicht Puftx'i'U- Wie bei^eitsoben dargelegt,ist eine vollständige Oxidation nicht erforderlieh. Das angestrebte Mindesteiveau für die Oxidation kann etwas variieren, mit den Austrockmmgs- und Brennbedingungen, die bei den Herstellungsverfahren für besondere Kondensatoren angev/andt werden. Darüber hinaus ist jedes beliebige Ausmaß an Voroxidation, mit der damit verbundenen Verminderung des Ausmaßes der Insitu-Öxidation und der entsprechenden Ausdehnung eine Verbesserung. Trotzdem werden die vollen Erfolge der vorliegenden Erfindung dann erreicht, wenn das Ausmaß der Voroxidation in einen solchen Bereich fällt, welcher dem Zusammensetsungsbereich Pdn r bis Pd- entspricht.
8 -
309884/1 1 73
Das folgende Beispiel dient zur v/eiteren Erläuterung der Erfindung ohne diese einzuschränken,
Beispiel 1
Ein fein verteiltes Pulver aus ungefähr 90 Möl%-Barium-Titana.t , Rest Qalsium-Circonat (Wismut frei, d.h, mit einem Wismutgehalt unter 0,1 Gewichtsprozent) mit Korngrößen, unter 2,0 Ai wui"de mit 10 Gewichtsprozent pla'stif i zier tem Polyvinyl-Alkohol vermischt, zu Streifen vei*gossen und getrocknet, um einen ungebrannten keramischen Streifen ?iit einer Schichtdicke von ungefähr 0,038 mm zu erhalten«
Unter Verwendung von Blenden v/urder ^uf diesen ungebrannten keramischen Streifen rechteckige Elcktrodenmuster (mit den Abmessungen 13 χ 7700 χ 0,0075 mm) aufgerücktt r/ie in Fig. % dargestellt, wobei als Blende eiM Sieb aus rostfreiem Stahl mit einer Maschenweite von 0,043 mm verwendet wurde. Zur
Herstellung der Tinte wurde Paladiumpulver (mit einer Korngröße von 2 bis 3 Mikron(Fischer Sub-Sieve-Standärt) und mit einem Oberflächenbereich von 2 bis 5 mVg) l'ür ungefähr 3 Stunden an Luft „auf 8000C erwärmt, um etwci 70%. der stöchoiaetrisehei Gewichtszunahme welche der Herstellung von Paladium-Oxyd entsprechen würde, 2;u erzielen;, das erhaltene pxidiex'te Pulver wurde mit einem organischen Träger vermischt, der ungefähr 50 Gewichtsprozent Äthylzellulose enthielt, welche in BüttelZellulose gelöst war, wobei auf 45% Träger 55% Pulver kamen. Dies führte zu einem Gehalt an metallischem Palaclium
309884/1173 - 9 -
von 50 Gewichtsprozent. Die Mischung wurde homogenisiert, indem sie durch eine Dreirollenmühle geführt, wurde.
Das bedruckte Band aus ungebranntem keramischen Material wurde in Streifen geschnitten und diese zu einer Kondensatoranordnung aufeinandergestapelt, wie das in Fig. 2 gezeigt ist. Die Kondensatoranordnung enthielt 12 gedruckte Elektroden, doh. 11 aktive dielektrische Schichten, und nach dem Brennen betrugen die horizontalen Abmessungen 11 χ 0,75 mm. Der Streifen aus. ungebranntem keramischemMatei'ial war so ausgelegt, daß er nach dem Brennen eine Dicke von 0,025 mm und eine Dielektrizitätskonstante von etwa 2000 aufwies.
Die aufei.'sndergestapelte Elektrodenanordnung wurde an Luft für eine Stunde bei 14000C gebrannt. *
Es wurde das gleiche Verfahren angewandt wie oben beschrieben, jedoch mit der Abweichung, daß die Tinte Paladium-Metallpulver ( 1 bis 3 Mikron, Oberflächenbereich 2 bis 3 m2/g) enthielt.
Vergleichende Untersuchungen an den unterschiedlichen Kondensatoren führten zu den folgenden Ergebnissen:
- 10 -
309884/1173
Kapazität bei Raumtemperatur (25°C) PdO - Kondensator 4,8%> Pd-Kondensator
Abweichung von der
Kapazitätskonstante .% Δ C bei - 55°C
% /AC bei
^j Isolier-Widerstandsco Konstante *IR
bei - 55°C χ
bei 125°C χ
bei 125WC
Verlust-Faktor (bei allen Temperaturen)
χ (50 V-Gleichstrom angelegt) χ (50 V-Gleichstrom angelegt) t»
10,2 %<
6,7 %<
69,0 %>
fl
- li -
Eine Reihe weiterer sehr sorgfältiger Untersuchungen zeigte, daß die gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellten Kondensatoren keine Delaminierungen infolge Oxidation aufwiesen, während Kondensatorenj die unter Verwendung von Paladiura-Meta11-Ti 103 hergestellt worden waren, Delaminierung in 60% oder mehr aller Fälle auftrat. ' ·
309884/117

Claims (5)

Patentansprüche ί 1./Verfahren zur Herstellung vielschichtiger keramischer Kondensatoren, gekennzeichnet durch die folgenden Verfahreusstufen:
1. Herstellung eines Streifens aus ungebranntem keramischem Material;
2«. Aufdrucken einer Vielzahl von Elektrodeuirmctor? auf den ungebrannten keramischen Streifen, wobei eine Tinte verwendet wird, die im wesentlichen aus einem organischen Träger besteht, der i'ejn-
verteiltes Paladlurnoxyd ui :häli-; robei die Zusammensetzung dt'3 Paladiumoxids der Formel 'PdO^ mit χ 0,5-xSijO entspricht. ?*
3. Aufeinanderstapeln der keramischen, mit aufgedruckten Elektrodenmustern versehenen Streifen zu einer vielschichtigen Kondensatorenanord.iung; und
4. Brenne der Kondensatoranordnung, um das ungebrannte keramische Trägermaterial zu sintern.
- 13
309884/1 173
BAD ORIGINAL
233UU
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das oxidierte Palad^um eine Zusammensetzung aufweist, die etwa der Formel PdOQ „ entspricht.
3* Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Brennen für ungefähr 0,5 bis 3 Stunden bei Temperaturen im Bereich von ungefähr 1050 bis 14000C erfolgt.
4* Verfahren zur Herstellung vielschichtiger keramischer Kondensatoren, gekennzeichnet durch die folgenden Stufen:
1. Einwirkung von Sauerstoff oder Luft auf feinverteiltes Paladium-Metallpulver bei erhöhten Temperaturen, so daß das Paladium zumindestens 50% des Sauerstoffe bindet, stöchometrisch erforderlich ist, um PdO herzustellen;
2· Vermischen dieses oxidierten Pulvers mit einem organischen flüssigen Träger zur Herstellung einer, elektrodenbildenden Tinte; und
3. Aufdrucken einer Vielzahl von Elektrodenmustern auf einen Streifen aus ungebranntem keramischem Material, wobei die in Verfahrensstufe 2 hergestellte Tinte verwendet wird.
- 14 309884/1173
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Sauerstoff oder Luft auf das Paladium-Metallpulver bei • erhöhten Temperaturen so lange einwirken, daß das Palodiura ungefähr 70% des Sauerstoffs bindet, der stöchometrisch zur Herstellung von PdO erforderlich ist.
309884/1173
DE19732334444 1972-07-12 1973-07-06 Verfahren zur Herstellung vielschichtiger keramischer Kondensatoren Expired DE2334444C3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US27103272 1972-07-12
US00271032A US3815187A (en) 1972-07-12 1972-07-12 Process for making ceramic capacitors

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2334444A1 true DE2334444A1 (de) 1974-01-24
DE2334444B2 DE2334444B2 (de) 1977-01-27
DE2334444C3 DE2334444C3 (de) 1977-09-08

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009034082A3 (de) * 2007-09-10 2009-04-30 Epcos Ag Verfahren zur herstellung eines vielschichtbauelements

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009034082A3 (de) * 2007-09-10 2009-04-30 Epcos Ag Verfahren zur herstellung eines vielschichtbauelements
US8214984B2 (en) 2007-09-10 2012-07-10 Epcos Ag Method for producing a multilayer component

Also Published As

Publication number Publication date
DE2334444B2 (de) 1977-01-27
FR2192363A1 (de) 1974-02-08
CA988177A (en) 1976-04-27
JPS50100566A (de) 1975-08-09
GB1419706A (de) 1975-12-31
NL7309670A (de) 1974-01-15
US3815187A (en) 1974-06-11
JPS56936B2 (de) 1981-01-10
NL157141B (nl) 1978-06-15
FR2192363B1 (de) 1976-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2264943C3 (de) Mehrlagiger Schaltungsaufbau und Verfahren zur Herstellung desselben
DE2631054C2 (de) Verfahren zur Herstellung monolithischer Kondensatoren mit einer Dielektrizitätskonstanten von mindestens 1000 und einem dielektrischen Verlustfaktor von nicht über 5%
DE3738343A1 (de) Schaltkreissubstrat
DE10051388A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer keramischen Grünfolie und Verfahren zur Herstellung eines keramischen elektronischen Bauteils in Multilayer-Technik
DE1291674B (de) Edelmetallpaste zur Herstellung von keramischen Mehrfachkondensatoren
DE3115556A1 (de) Elektrisch leitendes pulver enthaltende paste zur ausbildung eines leitenden, festen fuellstoffes in einem hohlraum eines keramischen substrates
DE2420438A1 (de) Kondensator und seine herstellung
DE19622690A1 (de) Monolithischer Keramikkondensator und Verfahren zur Herstellung desselben
DE10307804A1 (de) Leitfähige Paste und laminiertes keramisches elektronisches Bauteil
DE69125121T2 (de) Keramisches Substrat für elektronische Schaltung und Verfahren zu dessen Herstellung
DE1293519B (de) Verfahren zur Herstellung von dielektrischen oder halbleitenden Oxidschichten
DE68912365T2 (de) Mehrschichtkondensator.
DE2657338A1 (de) Kondensator mit einer elektrode, die nickel enthaelt
DE3119937C2 (de) Verfahren zur Herstellung von Vielschichtkondensatoren aus Halbleiter-Keramikmaterial
DE2445087A1 (de) Fuer die herstellung eines kondensators geeigneter keramikkoerper und verfahren zu seiner herstellung
DE4317719C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines laminatartigen elektronischen Bauelements
DE2445086C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines für die Herstellung eines Kondensators geeigneten Keramikkörpers
DE10039649A1 (de) Monolithische keramische Elektronikkomponente und Verfahren zum Herstellen einer monolithischen keramischen Elektronikkomponente
DE4431167C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines gesinterten keramischen Elektronikbauteils
DE2655567C2 (de) Einstückiger Schichtkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2462008C3 (de) Mehrschichtige Schaltkreisstruktur und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2334444C3 (de) Verfahren zur Herstellung vielschichtiger keramischer Kondensatoren
DE2323921C3 (de) Gesinterter, einheitlicher keramischer Körper und Verfahren zur Herstellung desselben
DE2434888C3 (de) Edelmetallpulver für Leitermuster in Mehrschichtenkondensatoren
DE2218170C3 (de) Monolithischer Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
8339 Ceased/non-payment of the annual fee