DE2240655C3 - Verfahren zur Herstellung von Verdampfern aus gesintertem, feuerfestem Material - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Verdampfern aus gesintertem, feuerfestem Material

Info

Publication number
DE2240655C3
DE2240655C3 DE19722240655 DE2240655A DE2240655C3 DE 2240655 C3 DE2240655 C3 DE 2240655C3 DE 19722240655 DE19722240655 DE 19722240655 DE 2240655 A DE2240655 A DE 2240655A DE 2240655 C3 DE2240655 C3 DE 2240655C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
nitride
aluminum
weight
mixture
boron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19722240655
Other languages
English (en)
Other versions
DE2240655A1 (de
DE2240655B2 (de
Inventor
Jürgen Dipl.-Chem. Dr. 6271 Wallrabenstein; Reinmuth Klaus Dr. 8961 Durach Schulz
Original Assignee
Elektroschmelzwerk Kempt en GmbH, 8000 München
Filing date
Publication date
Application filed by Elektroschmelzwerk Kempt en GmbH, 8000 München filed Critical Elektroschmelzwerk Kempt en GmbH, 8000 München
Priority to DE19722240655 priority Critical patent/DE2240655C3/de
Priority to ES417413A priority patent/ES417413A1/es
Priority to IT52015/73A priority patent/IT990474B/it
Priority to NL7311317A priority patent/NL7311317A/xx
Priority to AT720673A priority patent/AT344587B/de
Priority to SE7311271A priority patent/SE382445B/xx
Priority to CH1189873A priority patent/CH578487A5/xx
Priority to BE134665A priority patent/BE803708A/xx
Priority to FR7329967A priority patent/FR2196301B1/fr
Priority to JP9285773A priority patent/JPS548214B2/ja
Priority to US389995A priority patent/US3915900A/en
Priority to GB3932073A priority patent/GB1434136A/en
Priority to CA179,142A priority patent/CA992106A/en
Publication of DE2240655A1 publication Critical patent/DE2240655A1/de
Publication of DE2240655B2 publication Critical patent/DE2240655B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2240655C3 publication Critical patent/DE2240655C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Description

Bei der Vakuumaufdampfung von Metallen zur deutlich verbesserten Standzeit äußert, die als Quali-Kerstellung von Kondensatorpapieren und -folien, =o tätsmerkmal dient, wie aus den foFgenden Beispielen von Dekorations- und Tiefziehfolien werden Ver- ersichtlich. Darüber hinaus wurde nachgewiesen, daß dampferschiffchen benutzt, die im direkten Strom- aus Sinterpulvergemischen hergestellte Verdampferdurchgang erhitzt werden. Dabei wird das als Draht schiffchen, die neben dem elektrisch leitfähigen Mazugeführte Metall zum Schmelzen und Verdampfen terial (TiB2) nur Bornitrid ohne Aluminiumnitrid entgebracht. Die Zusammensetzung solcher Schiffchen as hielten, unabhängig von dem verwendeten Boroxidwird in der DT-PS 12 89 712 beschrieben, worin als zusatz, den gestellten Anforderungen nicht genügten, wesentliche Bestandteile nebrcn beispielsweise Titan- Beispiel 1
diborid als elektrisch leitfähigem, feuerfestem Material, Aluminiumnitrid, Bornitrid und gegebenenfalls Eine Mischung aus 60% Titanbond (TiB2), 15% Aluminiumborid und/oder Siliciumnitrid genannt 3° Bornitrid, 20% Aluminiumnitrid und 5% Boroxid werden. wurde trocken gemischt ur»d in einer Graphitform bei Gemäß der US-PS 35 82 611 werden ähnliche einem Druck von 150 kg/cm2 und einer Temperatur Sinterpulvergemische für die Herstellung von Ver- von 21000C gesintert. Aus dem Sinterkörper wurde dampferschiffchen verwendet, die als wesentliche ein Schiffchen der Abmessung 10 X 20 XJOO mm Bestandteile Titandiborid, Aluminiumnitrid, Bor- 35 geschnitten, mit dem in 20 Stunden bei stündlicher nitrid und zusätzlich bis zu 0,88%, bezogen auf das Unterbrechung 4,8 kg Aluminium verdampft werden Gesamtgewicht der Mischung, an Boroxid enthalten. konnten. Der spezifische elektrische Widerstand bei Dabei wurde jedoch der besondere Vorteil höherer Verdampfungstemperatur fiel dabsi von 3,7 auf Boroxidgehalte nicht erkannt. 2,0 mOhm-cm. Bei gleicher Abdampfrate konnten Aus den GB-PS 7 77 000 und 7 77 234 sind ferner 4° Verdampfer aus demselben Material, jedoch ohne bereits dichte feste Körper aus Bornitrid bekannt, die B2O3 gesintert, nur 5 Stunden betrieben werden, durch Heißpressen von Bornitrid, das von der Her- Be'sDiel 2 stellung her freie Borsäure enthält, deren Gehalt "
durch besondere Maßnahmen erniedrigt werden Bei den folgenden Versuchen wird unter Standzeit
kann, hergestellt worden sind. Als Werkstoff für Ver- 45 die- Zeit verstanden; nach der die Schiffchen der dampferschiffchen ist dieses Material indessen nicht Größe 10 X 20 X iOO mm bei einer Verdampfungsgeeignet, da auf Grund seines hohen elektrischen rate von 4,5 g Aluminium pro Minute in der Mitte Widerstandes ein Erhitzen durch direkten Strom- 2 mm tief oder seitlich korrodiert sind. Weiterhin ist durchgang unmöglich ist. Das trifft auch für die aus diese Standzeit erreicht, wenn die Schiffchen durch der GB-PS 7 42 324 bekannten feuerfesten Bornitrid- 5° Risse, Sprünge, Durchbiegung oder schlechte Benetkörper zu, die mit Aluminiumnitrid gebunden sind, zung nicht weiterverwendei werden können oder die aus Bornitrid mit signifikant niedrigem Boroxid- wenn der spezifische elektrische Widerstand über die gehalt und Aluminiummetall durch Einwirkung von Gesamtlänge der Schiffchen bei Verdampfungstempe-Ammoniak bei Temperaturen von 1300 bis 1400° C ratur, gemessen von anfänglich 4 bis 5 mOhm-cm, hergestellt worden sind. 55 um 40% abgefallen ist.
Es wurde nun ein Verfahren zur Herstellung von tür die Herstellung der Schäfchen wurden Puiver-
Verdampfem aus gesintertem feuerfestem Material gemische verwendet, die jeweils 50 Gewichtsteile durch Heißpressen einer Ausgangsmischung aus 10 Titandiborid enthielten. Die Daten sind in der folbis 90 Gewichtsteilen Titandiborid, 5 bis 30 Ge- genden Tabelle zusammengestellt, wichtsteilen Aluminiumnitrid, 10 bis 40 Gewichts- Sa Bei den Versuchen Nr. 1 bis 4 wurden die Borteilen Bornitrid und gegebenenfalls Aluminiumborid oxid- und Bornitridmengen variiert, während die und/oder Siliciumnitrid gefunden, das dadurch ge- Aluminiumnitridmengen konstant blieben. Die Heißkennzeichnet ist, daß der Ausgangsmischung 2 bis preßbedingungen bei den Versuchtn Nr. 1 bis 6 10% Boroxid, bezogen auf das Gesamtgewicht der waren dieselben wie im Beispiel 1. Mischung, zugesetzt werden. 65 Im Versuch Nr. 1 resultierten bei 0,6 6U Boroxid
Die so hergestellten Verdampfer enthalten kein im Pulvergemisch Verdampicrschincheü mit nut 3h lösliches Boroxid mehr und besitzen eine hervor- Standzeit. Bei 1,8 Gewichtsprozent Boroxid im Sinterragende Temperaturwechselbeständigkeit. Fernerhin pulvergemisch (Versuch Nr. 2) können die Schiffchen
sehen 10 h betrieben werden. Über 10 h Standzeit der Schiffchen wurden in den Versuchen Nr. 3 und 4 mit 3,9 und 6,3 Gewichtsprozent Boroxid im Sinterpulvergemisch erreicht. Im Versuch Nr. 3 wird gleichzeitig deutlich, daß die etwas geringere Sinterdichte das Standzeitergebnis nicht beeinflußt. Die Versuchskörper Nr. 5 und 6 wurden ohne Aluminiumnitrid in
der Pulvermischung gesintert. Mit 3°/o Boroxid in der Mischung läßt sich zwar eine hohe Dichte erreichen. Die Standzeit ist mit 5 h jedoch zu gering. Beim Versuch Nr. 6 mit nur 0,6°/» Boroxid in der Mischung konnte bei gegebenen Sinterbedingungen nur noch eine ganz geringe Dichte erreicht werden, und die Standzeit fiel extrem ab.
Versuch Nr.
Aluminiumnitrid
Gewichtsteile
Bornitrid
Gewichtsteile
Boroxid
Gewichtsteile
Dichte
»/oder Theorie
Standzeit Stunden
1 20 29,4 0,6 90,4
2 20 28,2 1,8 91,3
3 20 26,1 3,9 88,0
4 20 23,7 6,3 94,0
5 0 47,0 3,0 90,3
6 0 49,4 0,6 75
Die erfindungsgemäß mit Boroxidgehalt gesinterten Leistung voll belastet werden. Die Schiffchen aus den
Verdampfer enthalten nur noch Spuren von freiem Versuchen 2, 3 und 4 wurden lOmal in weniger als
B2O., und nehmen beim Liegen in Wasser keine meß- 60 s auf Verdampfungstemperatur von 1500° C er-
bäre Feuchtigkeit auf. Naß eingespannte Schiffchen hitzt, ohne daß dabei die Verdampferschiffchen be-
können nach dem Evakuieren sofort ohne Schaden 25 schädigt wurden,
mit der für die Aluminiumverdampfung notwendigen

Claims (1)

  1. nimmt der spezifische elektrische Widerstand solcher Patentanspruch: Schiffchen über einen längeren Zeitraum während der
    Verdampfung nur wenig ab.
    Verfahren zur Herstellung von Verdampfern Röntgenographisch konnte nachgewiesen werden,
    aus gesintertem feuerfestem Material durch Heiß- 5 daß beim Heißpressen in der Mischung Aluminiumpressen einer Ausgangsmischung aus 10 bis nitrid mit Boroxid unter mindestens; teilweise™ Aus-90 Gewichtsteilen Titandiborid, 5 bis 30 Ge- tausch von Stickstoff und Sauerstoff reagiert. Dabei wichtsteilen Aluminiumnitrid, 10 bis 40 Ge- entstehen, je nach Sinterbedingungen, neben Borwichtsteilen Bornitrid und gegebenenfalls Alu- nitrid und Aluminiumoxid weitere Mischoxide und imnhimborid und/oder Siliciumnitrid, dadurch io Oxinitridphasen. Während reines Aluminmmox«! gekennzeichnet, daß der Ausgangsmischung gegen flüssiges Aluminium im Hochvakuum bei 2 bis 10% Boroxid, bezogen auf das Gesamt- 1500° C nicht beständig ist, wird durch das bei dem gewicht der Mischung, zugesetzt werden. erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzte Reakiions-
    gemisch die Korrosionsbeständigkeit der Schiffchen 15 entscheidend verbessert. Diese Schiffchen können da-
    her beträchtlich langer betrieben werden als solche,
    die ohne den erfindungsgemäßen Boroxidzusatz gesintert worden sind, was sich insbesondere in einer
DE19722240655 1972-08-18 1972-08-18 Verfahren zur Herstellung von Verdampfern aus gesintertem, feuerfestem Material Expired DE2240655C3 (de)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19722240655 DE2240655C3 (de) 1972-08-18 Verfahren zur Herstellung von Verdampfern aus gesintertem, feuerfestem Material
ES417413A ES417413A1 (es) 1972-08-18 1973-07-31 Perfeccionamientos introducidos en evaporadores a base de material refractario sinterizado.
IT52015/73A IT990474B (it) 1972-08-18 1973-08-14 Dispositivo di evaporazione in materiale refrattario sinterizzato
NL7311317A NL7311317A (de) 1972-08-18 1973-08-16
CH1189873A CH578487A5 (de) 1972-08-18 1973-08-17
SE7311271A SE382445B (sv) 1972-08-18 1973-08-17 Forangare av sintrat, eldfast aluminiumnitrid-bornitridmaterial
AT720673A AT344587B (de) 1972-08-18 1973-08-17 Verfahren zur herstellung von verdampfern aus feuerfestem material sowie ausgangsmischung zu seiner durchfuehrung
BE134665A BE803708A (fr) 1972-08-18 1973-08-17 Vaporisateur en un materiau refractaire fritte
FR7329967A FR2196301B1 (de) 1972-08-18 1973-08-17
JP9285773A JPS548214B2 (de) 1972-08-18 1973-08-18
US389995A US3915900A (en) 1972-08-18 1973-08-20 Evaporator made from sintered refractory material
GB3932073A GB1434136A (en) 1972-08-18 1973-08-20 Sintered refractory material
CA179,142A CA992106A (en) 1972-08-18 1973-08-20 Evaporator made from sintered refractory material

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19722240655 DE2240655C3 (de) 1972-08-18 Verfahren zur Herstellung von Verdampfern aus gesintertem, feuerfestem Material

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2240655A1 DE2240655A1 (de) 1974-02-28
DE2240655B2 DE2240655B2 (de) 1975-12-11
DE2240655C3 true DE2240655C3 (de) 1977-04-14

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2463206C2 (de)
EP0004031B1 (de) Dichte polykristalline Formkörper aus alpha-Siliciumcarbid und Verfahren zu ihrer Herstellung durch drucklose Sinterung
DE60133143T2 (de) Mischungen aus Niob und Niobnitridpulver für Substrate für Elektrolytische Kondensatoren
WO2007110148A1 (de) Gesinterter werkstoff, sinterfähige pulvermischung, verfahren zur herstellung des werkstoffs und dessen verwendung
DE1243078B (de) Sinterkoerper, vorzugsweise zur Verwendung als Heizelement
DE2900440A1 (de) Fluessiges sinterhilfsmittel und verfahren zur herstellung keramischer sinterkoerper damit
DE2240655C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Verdampfern aus gesintertem, feuerfestem Material
DE2549298C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer gesinterten Silber-Cadmiumoxyd-Legierung
DE1906522B2 (de) Verfahren zur herstellung eines gesinterten aluminiumnitrid yttriumoxid gegenstands
DE1816818C3 (de) Verfahren zur Herstellung eines durchsichtigen Aluminiumoxydsinterprodukts
DE2240655B2 (de) Verfahren zur Herstellung von Verdampfern aus gesintertem, feuerfestem Material
DE1671128A1 (de) Verfahren zur Herstellung eines verdichteten Kompaktkoerpers aus Urannitrid
DE2705935A1 (de) Verfahren zur herstellung dichter hochfester und elektrisch leitfaehiger, beta"-aluminiumoxid enthaltender keramiken
DE2635167C2 (de) Verfahren zur Verminderung der Gasdurchlässigkeit von porösen Körpern aus reaktionsgesintertem Siliziumnitrid
DE2320883B2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektrode für elektrochemische Zwecke
EP0321975A1 (de) Polykristalline Sinterkörper auf Basis von Aluminiumnitrid und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE1906522C (de) Verfahren zur Herstellung eines ge sinterten Aluminiumnitrid Yttnumoxid Gegen stands
AT235193B (de) Nichtmetallischer Formkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
DE1471035C (de) Verfahren zur Herstellung eines feuerfesten Formkörpers
DE2132423C3 (de) Verfahren zur Herstellung von hitzebeständigen, elektrisch leitenden Formkörpern aus Boriden und Bornitrid
DE2212662B2 (de) Polykristalline Keramik hoher Dichte auf Thoriumdioxyd-Basis
AT230161B (de) Werkstoff für Einrichtungen zum Erhitzen und Verdampfen von Metall
AT225010B (de) Verfahren zur Herstellung von als Träger der aktiven Masse dienenden porösen Elektrodenkörpern für alkalische Akkumulatoren
DE2036832C3 (de) Verfahren zum Metallisieren von Oberflächen keramischer Körper
AT243718B (de) Verfahren zur Herstellung warmfester und oxydationsbeständiger Sinterkörper