DE2036832C3 - Verfahren zum Metallisieren von Oberflächen keramischer Körper - Google Patents

Verfahren zum Metallisieren von Oberflächen keramischer Körper

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DE2036832C3 DE19702036832 DE2036832A DE2036832C3 DE 2036832 C3 DE2036832 C3 DE 2036832C3 DE 19702036832 DE19702036832 DE 19702036832 DE 2036832 A DE2036832 A DE 2036832A DE 2036832 C3 DE2036832 C3 DE 2036832C3
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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Metallisieren von Oberflächen keramischer Körper.
Es ist bereits bekannt, zur Herstellung von sich in ihrer Leitfähigkeit vom keramischen Trägerwerkstück unterscheidenden Schichten eine wasserhaltige Metallsalz (wie z.B. 2Li2O3-3MoO3), ein Lithiumhalogenid (wie z. B. Lithiumfluorid) und gegebenenfalls ein Bindemittel (wie z. B. Tylose) enthaltende Lösung zu verwenden, wobei das Werkstück in diese Lösung getaucht, getrocknet und bei für Metallisierung üblicher Temperatur zunächst oxydierend und reduzierend gesintert wird (man vergleiche die GB-PS 10 34 615).
Nachdem sich durch die zunehmende Beherrschung der Metall-Keramik-Verbindungs-Technologie die Einsatzgebiete, insbesondere für Aluminium-Oxid-Keramiken, wesentlich erweitert haben, hat die Erfindung besondere Bedeutung auch für die Herstellung von Teilelementen, z. B. für Teilchenbeschleuniger. Hierzu ist jedoch erforderlich, daß der Oberflächenwiderstand keramischer Werkstoffe, der in der Größenordnung 1014 bis 101b Ohmquadrat liegt, um einige Zehnerpotenzen gezielt vermindert werden kann. Darüber hinaus ist es anstrebenswert, aufgrund der Größe der betreffenden Keramikteile, daß bei der Herstellung Vakuum- und Aufdampf-Apparaturen möglichst nicht benötigt werden. Darüber hinaus soll die leitende Schicht unabhängig von der Art der Keramik gegen Abrieb unbedingt beständig sein. Angestrebt werden soll aber auch, die thermische Behandlung für die Herstellung solcher Schichten gleichzeitig mit der Herstellung der Metall-Keramik-Verbindung, zumindest des notwendigen Sintervorgangs, erfolgen zu lassen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zu schaffen, das die genannten Bedingungen weitgehendst erfüllt. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zum Metallisieren von Oberflächen keramischer Körper, zur Herstellung einer Metall-Keramik-Verbindung, bei dem die Oberfläche der Keramik nach einem der üblichen Bedeckungsverfahren, insbesondere Tauchverfahren, mit einer echten Lösung eines Lithiumpolymolybdats der stöchiometnschen Zusammensetzung 2Li2O-3MoO3 als Metallisierungsmittel, dem bei Keramikkörpern aus Reinstkorund entsprechend einem Aluminiumoxidgehalt größer als 93% ein Zusatz von Lithium- oder Erdalkali-Halogenid, insbesondere Lithiumfluorid, zugesetzt ist überzogen, luftgetrocknet, an Luft geschmolzen, zur Einsinterung bei 1200 bis 15000C in einer schwach oxidierenden Atmosphäre erhitzt und beim Abkühlen ab 10000C in einer reduzierbaren Atmosphäre behandelt wird, unter Verwendung eines Bindemittels als Zusatz zur Metallisierungslösung, wobei zum Herstellen definierter Oberflächenwiderstände eine wäßrige Lösung verwendet wird, bei der in 100 ml deionisiertem Wasser 32 g Lithium-Polymolybdat (2LbO-3MoO3) und 80 mg Lithiumfluorid gelöst und mit 4 - 6 ml einer 10%igen wäßrigen Tyioseiösung versetzt sind.
Dabei wird von einer Metallisierungs-Lösung ausgegangen, die mit der Oberfläche der betreffenden Keramik durch thermische Behandlung derart reagiert, daß durch Festkörper-Reaktion, z. B. Spinelle und halbleitende Oxide entstehen, welche außerdem in Abhängigkeit von der Konzentration und vom Bindegehalt der Ausgangslösung mit mehr oder weniger metallischen Einschlüssen durchsetzt ist. Im Extremfall entsteht durch diese Einschlüsse eine metallisch leitende Oberfläche. Die Sinterbedingungen werden derart gewählt, daß sie mit den Bedingungen für die Herstellung einer Keramik-Metall-Verbindung übereinstimmen. Durch Zusatz von geringen Mengen von Lithium-Fluorid zu der Metallsalz-Lösung wird außerdem erreicht, daß die benetzenden Eigenschaften verbessert und die Festkörper-Reaktion mit der Keramik-Oberfläche beschleunigt oder überhaupt erst ermöglicht werden.
Die Erfindung hat den wesentlichen Vorteil, daß Vakuum- und Aufdampfapparaturen nicht benötigt werden, so daß auch bei relativ großen Keramikteilen der Oberflächenwiderstand um einige Zehnerpotenzen gezielt vermindert werden kann. Zudem ist die leitende Schicht unabhängig von der Keramikart gegen Abrieb beständig und die thermische Behandlung für die Herstellung dieser Schicht kann vorteilhaft gleichzeitig mit der Herstellung der Metall-Keramik-Verbindung erfolgen.
Ausführungsbeispiele:
1) Nach schwach oxidierender, mit anschließender reduzierender Glühung in einer Schutzgas-Atmosphäre werden bei Anwendung von Reinstaluminium-Oxid strukturanalytisch gittergestörtes Λ-ΑΙ2Ο3, Lithium-Aluminat und Molybdän-Anteile ermittelt. Der Oberflächenwiderstand beträgt dabei 1 - 3 · 1010 Ohmquadrat.
2) Bei sonst gleicher Lösung wird der Tyloselösung-Anteil jedoch auf 6 ml erhöht und nach dem Tauchen hierdurch eine Schichtdicke von ca. 15μ erhalten. Nach der Sinterung wird ein Oberflächenwiderstand von nur 110 Ohmquadrat erzielt, d.h. ein sehr niedriger Widerstand.
3) Die zu behandelnden Keramikteile werden in Tetraisopropyl-Orthotitanat getaucht und nach dem Lufttrocknen wie beschrieben gesintert. Strukturanalytisch wird hier neben der Bildung von Aluminium-Titanaten, Titan-Oxide entsprechend der Formel T1O2-X gefunden und Oberflächenwiderstände von 5 — 7 · 1010 Ohmquadrat erzielt.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Verfahren zum Metallisieren von Oberflächen keramischer Körper zur Herstellung einer Metall-Keramik-Verbindung, bei dem die Oberfläche der Keramik nach einem der üblichen Bedeckungsverfahren, insbesondere Tauchverfahren, mit einer echten Lösung eines Lithiumpolymolybdats der stöchiometrischen Zusammensetzung 2L'i2O-3MoO3 als Metallisierungsmittel, dem bei Keramikkörpern aus Reinstkorund entsprechend einem Aluminiumoxidgehalt größer als 98% ein Zusatz von Lithiumoder Erdalkali-Halogenid, insbesondere Liikiurnfluorid zugesetzt ist, überzogen, luftgetrocknet, an Luft geschmolzen, zur Einsinterung bei 1200 bis 15000C in einer schwach oxidierenden Atmosphäre erhitzt und beim Abkühlen ab 10000C in einer reduzierenden Atmosphäre behandelt wird, unter Verwendung eines Bindemittels als Zusatz zur Metallisierungslösung, dadurch gekennzeichnet, daß zum Herstellen definierter Oberflächenwiderstände eine wäßrige Lösung verwendet wird, bei der in 100 ml deionisiertem Wasser 32 g Lithium-Polymoldybdat (2Li?0-3MoOj) und 80mg Lithiumfluorid gelöst und mit 4-6 ml einer iüo/oigen wäßrigen Tyioseiösung versetzt sind.
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