DE1906522B2

DE1906522B2 - Verfahren zur herstellung eines gesinterten aluminiumnitrid yttriumoxid gegenstands

Info

Publication number: DE1906522B2
Application number: DE19691906522
Authority: DE
Inventors: Katsutoshi Kawasaki; Inoue Hiroshi Kawaguchi; Komeya (Japan)
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1968-02-10
Filing date: 1969-02-10
Publication date: 1972-01-13
Also published as: DE1906522A1

Description

V.iiclisiiini des Ytiriumoxids eingeschränkt wird unter Verbesserung seiner 111 ic Iu en ι pein ι nie i gc η st: h ii It l· η. wobei ein Sinterkörper entsteht, der eine derail hohe Pichle und mechanische I cslij-keil aufweist, wie sie nut dem bisher bekannten Aluminiumnitrid nicht er-71 el bar war.

/um Vergleich wurden ein gesinterter Körper, der nur aus Yttriumoxid bestand, und eine Sintermasse, (lie aus 2(1 Gew ichtsleilen Aluminiumnitrid und NO (iewichtsteilen Yiiriumoxid bestand, hergestellt. Beim Irhil/eii dieser Proben auf IHOO C in einer Argon-■tlmosphärc wurde bestätigt, dal.idas Kristallwachstum in der Siiitermasse auf etwa ein /eliiuel desjenigen verringert wurde, das in dem mir aus Yttriumoxid he-Mehenden gesinterten Körper beobachtet wurde. Di--Mengenanteile am Yttriumoxid und Aluminiumnitrid liängen mit der Dichte und der mechanischen Festigkeit des erhaltenen Sinterkörpers in der Weise zusammen, daß diese Eigenschaften proportional zum Wachsenden Gehalt an Yttriumoxid verbessert werden. Wenn jedoch das Yttriumoxid in übermäßig großen Mengen zugegeben wird, führt die bei erhöhten Tcmperuturen und innerhalb langer Zeiträume durchgeführte Sinterung leicht zur Bildung einer festen Lösung, so daß es erforderlich ist, so geringe Msngen an Yttriumoxid wie möglich zu verwenden, um einen kompakten Sinterkörper ohne Verschlechterung der Eigenschaften des Aluminiumnitrids herzustellen. Da Yttriumoxid teuer ist, ist es um so wirtschaftlicher, je geringer die Menge an Yttriumoxid ist. Wenn beispielsweise Yttriumoxid in einer Menge von mehr als 40 Gewichtsprozent, bezogen auf die gesamten Ausgangslnaterialien, eingearbeitet wird, dann wird in erster Linie eine Umsetzung des Yttriumoxids mit Aluminiumnitrid in fester Lösung erfolgen, wodurch die Eigenschaften von Aluminiumnitrid in unerwünschtem Maße verschlechtert werden. Wenn auf der anderen Seite dor Gehalt an Yltr^;".mo\icl unterhalb 0,3 Gewichtspro/-nt fällt, wird nicht der volle Effekt erzielt.

Angesichts dieser Tatsachen kann das Ziel, einen kompakten und mechanisch festen Sinterkörper herzustellen, dadurch erreicht werden, daß man so kleine Mengen wie möglich an Yttri'imoxid verwendet, wobei man vorher Aluminiummetallpulver in eine Mischung aus Alm.liniumnitrid- und Yttiiiimoxidpulvern einarbeitet, die Mischung in Form zusammengepreßter Pulver prcßvcrformt und die Masse zi Umsetzung der Aluminiumpulver mit N₂ in einer Stickstoff- oder Ammoniakatmosphäre auf eine Temperatur von etwa M)O C erhitzt und die Sinterung bei einer Temperatur \on 1500 bis 2200 C durchführt. Die bevorzugte Tcmperatu" zur Umsetzung mit N₂ der Aluminiumpulver iiegt bei etwa 600 C*. Bei diesen Temperaturen reagiert ^vllriurnoxid nicht mit Aluminiummctall, und nach der ^-Umsetzung besteht die Mas^c aus Aluminiumnitrid in Mischung mit Yttriumoxid. VVciui in diesem i alle Aluminiumpulver in großen Mengen vorliegen, erfolgt die Umsetzung des Metalls mit N., in Form einer exothermen Reaktion.

Demgemäß macht die für diese N₂-Umsctzung anfänglich zugefiihrte Wärme in Verbindung mit der auf Grund der exothermen Reaktion freigesetzten zusätzlichen Wärme die Aluminiummetallpulver weich oder viskos genug, so daß sie sich leicht agglomerieren und die N₂-UmSCtZUiIg de:- Aluminiums hemmen oder eine Sintermassc mit ungleichmäßiger Zusammensetzung bilden. Der Anteil an Aluminiumpulver!! beträgt deshalb vorzugsweise maximal 50%, bezogen auf die gesamten Ausgaiigsiuiilenalien. AndeiL-rseils genügt ein Aluminiumgehall innerhalb Ul Gewichtsprozent nicht, um die Sintermasse im wesentlichen kompakt zu machen, so daß es erforderlich ist, Aluminiumpulver bis zu einer Menge von minimal 10 Gewichtsprozent zuzugeben. Bezüglich der Sinlerungstemperatnr sei daraur hingewiesen, daß die Sinterung von Aluminiumnitrid und Yttriumüxitl behindert wird, wenn sie weniger als 1500 C beträgt, wobei kein vollständig

to kompakter und mechanisch fester Sinterkörper erhalten wird. Wenn andererseits die Sinterungstemperalur 2200 C übersteigt, wird das Aluminiumnitrid teilweise sublimiert und zersetzt, was zu einem inhomogenen Sinterprodukl führt.

Der erliiiJungsgemülk· Sinterkörper kann außer Aluminiumnitrid und Yttriumoxid geeignete Mengen Berylliumoxid zur Verbesserung des Wärmeübergangs oder geeignete Mengen an Meiallsiliziden, Metallcarhiden. Metallboriden oder Metallnitriden (mit Ausnähme der Nitride von Bor, Aluminium und Beryllium) enthalten, um die Sintermassi elektrisch leitfähig zu machen.

Ein bei der Preßverformung einer Mischung aus den obengenannten Pulvern verwendeten Bindemittel kann aus organischen Verbindungen, wie z. B. Stearinsäure, Paraffin, Polyvinylalkohol oder Polyäthylenglycoi, oder aus Anorganika, wie z. B. Phosphorsäure, bestehen.

Die vorliegende Erfindung wird durch die folgenden Beispiele näher erläutert, ohne jedoch darauf beschränkt zu sein. In den folgenden Beispielen sind alle Teile auf das Gewicht bezogen.

Beispiel 1

Es wurden Proben hergestellt durch Mischen von Aluminiumnitridpulvern mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 25 Mikron mit 0 Gewichtsprozent, 20 Gewichtsprozent. 40 Gewichtsprozent, 60 Gewichtsprozent bzw. 80 Gewichtsprozent Yttriumoxidpulver mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0.8 Mikron in einer Kugelmühle. Diese Proben wurden als Ansgangsmaterialicn verwendet. Zu jedor Probe wurden 5 Gewichtsprozent Stearinsäure als Bindemittel zu-

.15 gegeben. Die Masse wurde unter Anwendung, eines Drucks von 5 t/cm² zu einem Stab mit einem Durchmesser von 8 mm und einer Länge von 20 mm kalt verformt. Dann wurden in einer Stickstoffatmosphäre einige der geformten Proben bei einer Tempciatur von 1700 C gesintert, wobei die Temperatur mit einer Geschwindigkeit von 40 C pro Minute auf diesen Wert erhöht wurde, und die anderen Proben wurden bei einer Temperatur von 18()0 C gesintert, wobei die Temperatur mit der gleichen Geschwindigkeit erreicht wurde. Man ließ alle Proben 2 Stunden lang bei diesen Sintcrungstempcraturen stehen und ließ sie dann auf natürliche Wiisc abkühlen, wobei man Aluminiumniiiid-YUrmmoxid-Sintormasscn erhielt. Fs wurde die relative Dichte der so hergestellten Sinterkörper bestimmt, wobei die Beziehung zwischen den Mengcnantcilen an Aluminiumnitrid und Yttriumoxid und der relativen Dichte der Sinterkörper in der F i g. 1 angegeben ist.

In der F i g. 1 ist auf der Ordinate die relative Dichte und auf der Abszisse sind die Mengenanteile in Gewichtsprozent an Aluminiumnitrid und Yttriumoxid angegeben. Die Kurve A bezieht sich auf die Sinterung bei einer Temperatur von 1800°C und die Kurve B auf

5 6

die Sinterung bei einer Temperatur von 1.700" C. Der wobei die Temperatur stufenweise, wie in der folgendei hier verwendete Ausdruck »relative Dichte« bedeutet Tabelle I angegeben, anstieg,
einen Relativwert, der aus dem Verhältnis der tatsächlichen Schüttdichte eines gesinterten Körpers zu dessen

theoretischer Dichte bestimmt wurde, wobei man 5 Tabelle 1

davon ausging, daß die Sintermasse aus einer einfachen Mischung von Aluminiumnitrid (wirkliche Dichte

3.25 g/cm³) mit Yttriumoxid (wirkliche Dichte 48 g/ Temperaturbereich

cm³) besteht.

Geschwindigkeit

des Temperatur;) n»liei;<

( C Std I

Die F i g. 2 zeigt die Beziehung zwischen der Ver- ίο

formungsbeständigkcit der nach diesem Beispiel her- Raumtemperatur bis 300 50

gestellten Sinterkörper und den Mengenanteilen der 300 bis 400 25

jeweiligen Komponenten. In dieser Figur ist auf der 400 bis 550 j 50

Ordinate die Verformungsbeständigkeit. die mit zwei 550 bis 700 25

in einem Abstand von 10 mm voneinander angebrach- 15 700 bis 1700 50

ten Auflagepunktcn bestimmt wurde, und auf der Abszisse sind die Mengenanteile in Gewichtsprozent

an Aluminiumnitrid und Yttriumoxid angegeben. Die Der geformte Stab wurde 4 Stunden lang bei einei

Kurve Λ bedeutet die Sinterung bei einer Temperatur Temperatur von 1700 C gesintert und dann abkühlei

von 1X00 C und die Kurve B die Sinterung bei einer 20 gelassen. Der durch Anwendung dieses F.rhit/ungv

Temperatur von 1700 C. Verfahrens hergestellte gesinterte Körper war eiin

Wie aus den F i g. 1 und 2 klar hervorgeht, waren Masse aus Aluminiumnitrid und Yttriumoxid. in dei

die Dichte und die Verformungsbeständigkeit eines erstercs die größere Komponente darstellte, in der du

mit zunehmende Mengen von bis zu 80% Yttriumoxid relative Dichte 96.3% und die Yerformungsbcständig

hergestellten Sinterkörpers entsprechend erhöht. Eine 25 keit 40.2 kg/cm² betrug.

Verwendung von mehr als 80% Yttriumoxid führte Es wur'.^J:,i mehrere Stäbe aus Alumiiiiumnitrid-

jedoch dazu, daß nur die Verformungsbeständigkeit Yttriumoxyd- und Aluminiummetallpulver mit der

scharf abfiel. Bezüglich der Sintcrungstcmperatur geht gleichen Teilchengröße wie in dem oben beschriebener

daraus hervor, daß die höhere Temperatur von 1800 C Beispiel hergestellt, wobei die Mengenanteile dieser

zur Erhöhung sowohl der Dichte als auch der Verfor- 30 Komponenten, der Verformungsdruck und die Sin-

mungsbcständigkcit der Sintermasse wirksamer ist als terungstemperatur variiert wurden. Die Dichte und die

die Temperatur von 1700 C. mechanische Festigkeit (Verformungsbeständigkeit

der gesinterten Körper sind zusammen mit denjeniger

des Beispiels 1 in der folgenden Tabelle Il angegeben

B c i s ρ i e 1 2 ₃₅ in allen Beispielen 2 bis 19 wurde der geformte Körper

von dem Bindemittel befreit, indem die Temperatur

Es wurden 60 Teile Aluminiumnitrid mit 40 Teilen mit einer Geschwindigkeit von 50 C Std. auf bis zn

Yttriumoxid. die beide der gleichen Art waren wie im 400 C erhöht wurde, dieser 3 Stunden lang bei einer

Beispiel 1. vermischt. Die Mischung wurde auf die Temperatur von etwa 600 C zur N.,-Umsetzung des

gleiche Weise wie im Beispiel 1 zu verschiedenen Ge- 40 Aluminiummetalls gehalten wurde. Danach wurde die

genständen kalt verformt. Diese geformten Proben Temperatur mit einer Geschwindigkeit von 100'C pro

wurden 2 Stunden lang in einer Stickstoffatmosphäre Stunde auf die obengenannte Sinterungstcmpcratui

bei den verschiedenen Temperaturen von 1900. 2000 erhöht, und der geformte Körper wurde 3 Stunden

und 2200 C gesintert. Bei Zunahme der Sinteriings- lang bei dieser Temperatur gehalten und anschließend

temperatur stieg die Dichte des gesinterten Körpers. 45 auf natürliche Weise abkühlen gelassen.

Bei einer Sinterungstemperatur bei beispielsweise In der folgenden Tabelle wird die mechanische Festig-

2200"C zeigte der erhaltene gesinterte Körper eine keit durch den Verformungsbeständigkeitswert uis-

relativc Dichte von 95% des theoretischen Werts. gedrückt, der mit zwei in einem Abstand von 10 mm

Wenn die Sintcrungsatmospliäre aus einem inerten voneinander angebrachten Auflagepunkien bestimm;

< ias. wie /. B. Arson, an Stelle des obengenannten 5° wurde.

Stickstoffs bestand, wurden encnfalls die gleichen Er- Wie aus der folgenden Tabelle II hervorgeht, hatten

L'ebnisse erhalten. die gesinterten Körper der Beispiele 16 und IS. die ledic

lieh durch Mischen von Aluminiumnitrid und Yttrium-

Beispiel ^ ^0XR' ^onnc Einarbeitung von gepulvertem Aluminiiim-

55 metall und anschließende Sinterung hergestellt wurden.

Zu einer Miniums aus 76 Teilen Aluminiumnitrid. eine niedrigere Sinterdichte und mechanische Festickcit

5 Feilen Yttriumoxid und ]9 Teilen Aluminiummetall. als diejenigen der Beispiele 2. 6. i0. 11 und 14. Anderer-

uobei jedes in Form eines Pulvers mit einer Teilchen- seits halten die gesinterten Körper der Beispiele 15

größe von 0.044 mm (325 mesh) vorlag, wurden und 17. die ebenfalls lediglich durch Mischen von ae-

S Teile Stearinsäure als Bindemittel zugegeben und an- 60 pulvertem Aluminiumnitrid und Aluminiummetal!

schließend sorgfältig gemischt. Die Masse wurde unter ohne Zugabe von Yttriumoxid hergestellt wurden, eine

Anwendlingeines Drucks von 10 t cm- zu einem Stab geringere Sinterdichte und mechanische Festigkeit als

von S mm Durchmesser und 20 mm Länge preß- diejenigen der anderen Beispiele, in denen der cesin-

verformt. Der geformte Körper wurde in einen aus tertc Körper aus den drei Komponenten bestand.

Kohle hergestellten Muffelofen gebracht, der mit Alu- 65 Wie bereits oben angegeben, liefert die vorliegende

miniumnitridpulvern beschickt war. Die Sinterung Erfindung mit wirtschaftlichem Vorteil einen AIu-

vvurdc in Stickstoffströmen durchgeführt, die mit einer miniumnitrid-Yttriiimoxid-Sinterkörper. der haupi-

Gcschwindigkeit von 800 1 Std. eingeleitet wurden. sächlich aus Aluminiumnitrid besteht, dessen Sinter-

dichte und mechanische Festigkeit durch Variieren der Mengenanteile an Yttriumonid und Aluminiummetall gegenüber demjenigen von Aluminiumnitrid frei einreguliert werden kann, wodurch ermöglicht wird, daß die Dichte und die mechanische Festigkeit jederzeit dem beabsichtigten /weck entsprechen.

Fin ermdungsgemäß so heigestellter gesinterter Körper besitzt sowohl die Eigenschaften von AIu-

miniumnitricl als auch von Yttriumoxid. insbesondere eine gute Wärme- und Korrosionsbeständigkeit, so dal? er besonders geeignet ist zur Verwendung als Material für Gegenstände, die mit geschmolzenem Metall ir Berührung kommen, wie z. B. für Gefäße zum Schmelzen von Metallen, zur Vakuumablagerung oder fiii Anwendungen, in denen eine Korrosionsbeständigkeil erforderlich ist.

	Al N	Mengen niteile	Al	Tabelle Il	Knc-	Sinter-	Mechaniscl
	76	an Rohm; teri:ilien	19	Vcrformiings-	Sintcruncs- teinperaUir	dichte	I estickeit
Beispiel	76	Y₂O₁	19	druck	(O	I¹ n)	(kg mm')
	76		19	(t cnr)	1700	96.3	40.2
1	79.2		19.8	10	17(10	91.0	32.8
	77.6	5,	19.4	5	1800	99.1	43.1
3	76	1	19	5	1700	80.1	16.0
4	72	3	18	3	1700	82.5	17.4
5	64	5	16	3	1700	88.0	25.8
6	56	10	14	3	1700	92.7	34.5
7	85	20	10	3	1700	96.5	38.2
8	55	30	40	3	1700	98.1	39.4
9	76	5	19	3	1700	86.4	21.7
10	76	5	19	3	1700	95.7	35.8
11	76	5	19	3	1800	98.2	4U2
12	80	5	20	3	2200	99.8	45.0
13	95	5	—	3	(700	«7.4	25.1
14	80		20	3	1700	81.2	17.0
15	95	5	.__	5	1700	■'3.1	13.7
16	76	--	19	5	1700	78.1	14.2
17		5	3	1700	68.9	10.1
18		3	1400	75.8	12.2
19		3

Hierzu I Blatt Zeichnungen

109 583/:

Claims

l'alcnianspnichc:

1. Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Aluminiumnitrid - Yuriumo.xid - Gegenstands, d ad ti ich g e k e η η ζ e i c h net, daß man eine Mischung aus Aluminiumnitrid- und Yllriumoxid-Pulvern bei normaler Temperatur preßverformt und die so geformte Masse in einer Atmosphäre von Stickstoff oder einem inerten Gas bei Temperaturen in dem Bereich von 1500 bis 2200 C sintert.

2. Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Aluminiumnitrid - Yltriumoxid - Gegenstands, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Mischung aus Aluminiumnitrid. Yttriumoxid und Aluminiummetall, die alle in der gepulverten Form vorliegen, hei Normaltemperatur preßverformi, die so geformte Masse in einer Stickstoff- oder Ammoniakatmosphäre auf oine zur Umsetzung der AIuminiummelallpuUcr mit Stickstoff ausreichende Temperatur erhitzt und danach diese Masse in dieser Atmosphäre oder in einem inerten Gas bei Temperaturen im Bereich von 1500 bis 2200 C sintert.

3. Verfahren gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Pulvermischung 0,3 bis 40 Gewichtsprozent pulverförmiges Yttriumoxid und 10 bis 50 Gewichtsprozent pulverförmiges Aluminiummetall. jeweils bezogen auf die gesamten Ausgangsmaterialien, enthäu.

4. Verfahren gemäß Ansnruch ? oder 3. dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur zur Umsetzung mit Stickstoff höchstens e Aa 600 C beuäct.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Aluminiumnitrid-Yttriumoxid-Gcfenstands mit hoher Dichte, ausgezeichneter mechanischer Festigkeit und ausgezeichneten Hochtempefat ureigen se haften.

Aluminiumnitrid wird in großem Ausmaß in elektrischen Isoliermaterialieii. dielektrischen Materialien, tiefäßen zum Schmelzen \on Metallen. Schmelzticgeln yur Yaktiumahlagcrung usw. verwendet. Wo Aluminiumnitrid verwendet wird, insbesondere in einem Gefäß 'um Schmelzen von Metallen oder zur Vakuumiihlagerung. muß es so kompakt (dicht) und fest wie inös.'hch und praktisch frei von l.uftblascnporcn sein.

Aluminiumnitrid bildet jedoch bei Normaltemperalur keine llüssige !'hase, sondern kann bei alleiniger Verwendung nur mit langsamer Geschwindigkeit gesintert werden, und tier erhaltene Gegenstand besitz· dadurch im allgemeinen eine geringere Sinlerdichte und mechanische Festigkeit als solche aus gewöhnlichen gesinterten Oxiden. Um den Ah iiiniuninitrid-Gegcnstand kompakter zu machen, gibt es ein bekanntes Verfahren, das darin besteht, das Alumiiiii mnilrid beispielsweise mit der Waniiprcßmethode /u sintern. Wenn jedoch ein gesinterter Gegenstand mit einer komplizierten Form, wie z. B. ein Behälter, hergestellt weiden soll, führ! diese Methode unvermeidlich zu einem außerordentlich beschwerlichen Herstellungsverfahren und ist infolgedessen für die Massenprodiil tion ungeeignet.

Die vdrlieuendc Erfindung trägt .',en obengenannten Umstünden, bezüglich der Herstellung, eines gesinterten Gegenstandes, der hauptsächlich aus Aluminiumnitrid besteht und dennoch eine große Sinterdichte und mechanische Festigkeit aufweist, Rechnung.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Aluminiumnilrid-Yllriumoxid-< iegenstands. das dadurch gekennzeichnet ist, daß man eine Mischung aus Aluminiumnitrid- und Yitriumoxidpulvern bei normaler Temperatur preüverformt

ία und die so geformte Masse in einer Atmosphäre von Stickstoff oder einem inerten Gas bei Temperaturen in dem Bereich von 1500 bis 2200 C sintert. Weiterhin betrifft die Frlindung ein Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Aluminiuninitrid-Yttriumoxid-Gegens.ands, das dadurch gekennzeichnet ist, daß man eine Mischung aus Aluminiumnitrid. Yltriumoxid und Aluniiniummetall, die alle in der gepuKerten Form vorliegen, bei Normaltemperatur preßverfornn, die so geformte Masse in einer Stickstoff- oder Ammoniakatmosphäre auf eine zur Umsetzung der Aluminiummetallpulver mit Stickstoff ausreichende Temperatur erhitzt und danach diese Masse in dieser Atmosphäre oder in einem inerten Gas bei Temperaturen im Bereich von 1500 bis 2200 C sintert. Die bevorzugte Temperatur zur Umsetzung der Aluminiumpulver mit Stickstoff liegt bei etwa 600 C.

Die britische Patentschrift 949 471 enthält eine Vielzahl von Vorschlägen in bezug auf die mit Aluminiumnitrid zu verwendenden Verbindungen, ohne einen Flinweis darauf zu geben, daß speziell mit Yttriumoxid die vorteilhaften Sinterkörper gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt werden können. Ferner erfolgt gemäß dieser Patentschrift die Preßverformung stets t?ei hoher Temperatur.

Die vorliegende Erfindung wird durch die nachfolgende detaillierte Beschreibung in Verbindung mit den Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen haben folgende Bedeutung:

F i g. 1 ist ein Kurvendiagramm, das die Beziehung zwischen den Mcngenanteiien der Komponenten eines erlind u ngsgemäßen Alumini umnit rid- Yttriumoxid-Si nterkötpers und der erhaltenen Dichte dieses Körpers darstellt, und

F' i g. 2 ist ein Kurvemliagramm. das die Beziehung zwischen den Mengenanteilen der Komponenten eines erfind u ngsgemäßen Aluminiumnitrid-Y;triumo.xid-Sinterkorpcrs und der erhaltenen Verformimgsbeständigkci' (dellective strength) dieses Körpers zeigt.

Yttriumoxid hat einen Schmelzpunkt von 2410 C unc! ist ein clcktiisclwr Isolator. Fs hat einen kleineren thermischen Ausdehnungskoeffizienten als andere Oxide, wie z. B. Aluminiumoxid oder /irkondioxid. und derart gute Sinterung->eigeiisehafleii. daß es bei 1 stimmiger Sinterung hei einer Temperatur von IdOO t

V> eine Dichte \on bis zu ')7"„ des theoretischen Wert' erreicht. Fin geformter Korper, der nur ,ins Yttrium· oxid besteht, hatte jedoch die Nachteile, daß er be thermischer Behandlung eine außerordentlich ^roß« Kristallwachstumsgeschwindigkeit aufwies, so daß be

6" langer Verwendung hei erhöhten Temperaturen eil Sinterprodukt daraus trotz des obengenannten hohoi Schmelzpunktes von Yttriumoxid eine enorm höh KristailwachsUimsgcschwindigkcit und eine dcutlie¹ geringere mechanische Festigkeit aufwies.

fi.i Fs wurde nun gefunden, daß dann, wenn das dies unerwünschten Eigenschaften aufweisende Yttriun oxid zusammen mit Aluminiumnitrid gesintert wire das obenerwähnte unerwünschte schnelle Kristal