DE2236941B2 - Lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial - Google Patents
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Description
15 43 721 und der DE-OS 20 47 816 beschrieben.
Als alkalilösliche Phenolharze kommen in bekannter Weise im wesentlichen die Phenol-Formaldehyd-Novolake
in Betracht, deren Verwendung in Positiv-Kopierschichten ebenfalls in den genannten Druckschriften *.
beschrieben ist
Der Träger des erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterials soll so beschaffen sein, daß er sich nach der
trockenen Übertragung der Schicht auf die endgültige, zu bearbeitende Unterlage leicht und ohne Beschädigung
der Schicht von dieser abziehen läßt. Er kann transparent oder undurchsichtig sein. Geeignete
Trägermaterialien sind z.B. in der DE-AS 15 22515 beschrieben. Für die erfindungsgemäßen Materialien
werden Kunststoffolien insbesondere Polyester- oder η Polyolefinfolien verwendet, deren Oberfläche gegebenenfalls
eine Vorbehandlung erfahren kann.
Das vorzugsweise zum Schutz der lichtempfindlichen Schicht verwendete Deckblatt kann ebenfalls eine
Kunststoffolie sein, wie es in der genannten Auslege- >o
schrift näher beschrieben ist. Sie soll eine geringere Haftung an der Kopierschicht haben als die Trägerfolie.
Als Acrylharze, die wesentlicher Bestandteil der lichtempfindlichen Schicht sind, kommen Homo- und
Mischpolymerisate von Derivaten der Acryl- und 2Ί
Methacrylsäure in Betracht, insbesondere von deren Estern. Die Alkoholkomponente des Esters wird
vorzugsweise von niederen aliphatischen Alkoholen mit etwa 1 bis 6 Kohlenstoffatomen gebildet. Besonders gut
lassen sich Schichten übertragen und verarbeiten, die in
außer dem Acrylharz noch einen Polyvinyläther enthalten. Zusätzlich zu dem Polyvinyläther oder an
dessen Stelle können der Schicht weiterhin Mischpolymerisate mit Einheiten zugesetzt werden, die saure
Gruppen enthalten, insbesondere Carboxylgruppen. r>
Bevorzugte Vertreter hierfür sind Mischpolymerisate von Alkylestern der Acryl- oder Methacrylsäure mit den
freien Säuren oder Mischpolymerisats von Vinylacetat mit ungesättigten Carbonsäuren, z. B. Crotonsäure.
Die erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterialien sind dadurch ausgezeichnet, daß ihre lichtempfindlichen
Schichten nicht die sonst von Positivlack-Schichten bekannte Sprödigkeit besitzen, sondern geschmeidig
sind. Trotzdem können sie sauber und sicher Wäßrig-alkalisch entwickelt und mit den lür Negativ-Trockenre- v>
sists üblichen Walzen-Laminiergeräten in Schichtdicken von etwa 4—60μπι übertragen werden. Durch die
Kombination der Zusatzharze mit den üblichen Bestandteilen der Positiv-Kopierschicht, Naphthochinondiazid
und Phenolharz, wird weder ein Haftvermittler zum Empfänger noch eine Trenn- oder Zwischenschicht
zum Träger gebraucht. Die Schicht wird vorzugsweise nicht durch die Trägerfolie hindurch,
sondern nach deren Abziehen, vorzugsweise nach einem kurzen zusätzlichen Nachtrocknen, belichtet, ohne daß
die Vorlage nach dem Belichten mit kaltem UV-Licht z, B. mit einer Metall-Halogen-Lampe, an der Schicht
hängenbleibt. Durch mehrmaliges Laminieren übereinander werden Schichtdicken bis 60 μΐη und mehr
erreicht. Zur Erreichung größerer Schichtdicken ist dies Verfahren, z. B. 30 μπι aus 2 χ 15 μηη, außerdem sicherer
und weniger staubanfällig als die Verwendung von Trockenresist der Enddicke, z. B. 30 μηι. Mit nur 2 Typen
z. B. 7,5 und 20 μΐη können leicht zahlreiche Schichtdikken
durch Aufeinander-Laminieren erzeugt werden.
Ein weiterer Vorteil der Kopierschichten der erfindungsgemäßen Materialien ist, daß sie auch auf der
Träeerfolie sauber und sicher entwickelt und dann als fertiges Bild auf den Empfangsträger laminiert werden
können. Auf diese Weise ist es möglich, mit verschieden angefärbten Schichten z. B. auch einen Farbsatz auf
Druckpapier zu laminieren und so einen Andruckersatz zu erhaiten. Mit dem erfindungsgemäßen Material und
Verfahren ist es auch möglich, belichtete, aber nicht entwickelte Positiv-Trockenresistschichten übereinander
zu laminieren und dann diesen Mehrschichten-Resist bildmäßig zu einem Relief mit verschieden tiefen
Stufen zu entwickeln. Durch unterschiedliche Färbung der einzelnen Schichten kann diese Möglichkeit, die mit
Negativschichten im allgemeinen nicht durchführbar ist, sichtbar demonstriert werden. Da nach dem Belichten
bereits das Bild zu sehen ist, kann passergenau laminiert werden.
Sowohl die Polyvinylalkyläther als auch die Methacrylate, bevorzugt Acrylate, geben der Schicht
haftklebende und weichmachende Eigenschaften und ermöglichen die einwandfreie Übertragung vom Träger
auf das Empfangsmaterial. Ohne die Acrylate sind die F.ntwicklungseigenschaften, insbesondere die Entwicklerresistenzen
unbefriedigend. Völlig ohne Polyvinylalkyläther ist dagegen die Entwicklung langsamer und
kann im allgemeinen nicht ohne mechanische Unterstützung durchgeführt werden. Bis zu einem gewissen Maße
können die Polyvinyläther durch die genannten sauren Mischpolymerisate, insbesondere saure Acrylat-Mischpolymerisate,
ersetzt werden. Außerdem kann der Zusatz von Polyvinylpyrrolidon-Harzen vorteilhaft sein.
Bezogen auf den Feststoff der Schicht mit einem Gehalt an Diazoverbindung von etwa 12—30% und an
Novolak von etwa 25—40% liegen die günstigsten Mengen der übrigen Harzzusätze bei etwa 5 — 30%
Acrylharz und 5—35% Polyvinylalkyläther. Die günstigsten Anteile an sauren Mischpolymerisaten betragen
etwa 5—15%. Die praktisch verwendeten Zusatzmengen hängen innerhalb dieser allgemeinen Bereiche stark
von der Natur der einzelnen Polymeren ab. Die Grenzen der Brauchbarkeit liegen z. B. bei den meisten
Schichtkombinationen für Polyvinylmethyläther bei ca. 0-20%,
Polyvinyläthyläther,
niedrigviskos bei ca. 0—30%
Polyvinyläthyläther,
hoch viskos bei ca. 0—10%
Polyvinylisobutyläther bei ca. 0—15%
Polyvinylisobutyläther,
höher viskos bei ca. 0—10%
Die folgenden Mengenbereiche bei bestimmten Acrylat-Harzen beziehen sich auf den Feststoffgehalt
der Handelsprodukte. Die besten Ergebnisse werden erzielt mit:
Polyäthylacrylat, niedrigviskos
Polyäthylacrylat, hochviskos
Polyäthylacrylat, hochviskos
bei ca. 5-30%
bei ca. 5—10%
bei ca. 5—10%
Ebenfalls, aber mit etwas geringerem Effekt brauchbarsind
Polybutylacrylat bei ca. 5-10%
Polybutylmethacrylat bei ca. 8 — 15%
Mischpolymerisat von Butylmeth-
Mischpolymerisat von Butylmeth-
acrylat und Methylmethacrylat bei ca. 5—8%
Herstellung und Verarbeitung des erfindungsgeniäßen
Materials erfolger, in der für Trockenresistmaterialien
üblichen Weise. Die Bestandteile der lichtempfindlichen Schicht werden in einem geeigneten Lösungsmittel
gelöst, und die Lösung wird auf die gegebenenfalls
vorbehandelte Trägerfolie aufgestrichen und getrocknet Dann wird die freiliegende Seite der Kopierschicht
gegebenenfalls mit der Deckfolie unter leichtem Druck kaschiert Das Material wird aufgerollt und in dieser
Form gelagert
Zur Verarbeitung wird ein geeignetes Stück des Schichtübertragungsmaterials abgeschnitten, von der
Deckfolie befreit und unter Druck und Erwärmen auf die zu behandelnde, meistens zu ätzende Unterlage
aufgebracht Das Abziehen der Deckfolic und Aufbringen auf die Unterlage kann mit einem handelsüblichen
Laminiergerät mit heizbaren Walzen erfolgen.
Belichten und Entwickeln werden dann wie oben beschrieben durchgeführt. Die mit dem Resistbild
versehene Oberfläche kann in üblicher Weise geätzt oder galvanisiert werden.
Das erfindungsgemäße Material wird insbesondere zur Herstellung von kopierten Schaltungen, integrierten
Schaltkreisen, Tief- oder Hochdruckplatten, zum Formteilätzen oder als Andruckersatz im Mehrfarbendruck
verwendet.
Die erfindungsgemäßen Materialien können auch zur Herstellung von Siebdruckschablonen verwendet werden.
Man erhält so erstmals ein negativ arbeitendes, vorbeschichtbares Siebdruckmaterial. Es ist möglich, die
Schicht auf den Schablonenträger zu laminieren und dann auf den Siebdruckrahmen zu spannen oder das
Schichtübertragungsmaterial auf das im Rah Tien aufgespannte
Gewebe aufzulegen und unter Druck und Wärme aufzupressen. In beiden Fällen haftet die
elastische Schicht ausreichend auf bzw. teilweise in der strukturierten Gewebeoberfläche. Dies Siebdruckrr.aterial
kann sowohl nach dem Abziehen der Trägerfolie als auch vorher durch diese hindurch belichtet werden.
Die folgenden Beispiele erläutern Herstellung und Verarbeitung bestimmter Ausführungsformen des erfindungsgemäßen
Materials. Alle Prozentangaben sind Gewichtsprozente und beziehen sich auf den Angaben
zur Zusammensetzung der Schichten auf Festsubstanz.
Eine 25 μΐη dicke, biaxial verstreckte und thermofixierte
Polyäthylenterephthalatfolie wird in eine wäßrige Lösung getaucht, die 10% Trichloressigsäure, 1%
Polyvinylalkohol und 0,1% Netzmittel enthält, und dann 2 Minuten bei 140°C getrocknet.
Auf die vorbehandelte Folie wird eine lichtempfindliche Schicht durch Aufstreichen und Trocknen einer
Lösung in Äihylenglykolmonoäthyläthe- aufgebracht. Die trockene Schicht ist ΙΟμίτι stark und hat die
folgende Zusammensetzung:
30% Kresol-Formaldehyd-Novolak,
22% Naphthochinone l,2)-diazid-(2)-4-sulfonsäure-4-[2-phenyl-propyl-(2)-]-phenylester,
8% Polyäthylacrylat, niedrigviskos,
8% Polybutylmethacrylat,
13% Polyvinylmethyläther,
13% PAlyvinyläthyläther, niedrigviskos,
6% Pigmentfarbstoff Imperongelb KG. (C. J. 11 680)
Auf <iie getrocknete Schicht wird eine 25 μίτι dicke
PolyäthMenfolie als Deck- bzw. Schutzfolie aufkaschiert, und das erhaltene .Schichtgebilde wird aufgerollt.
Ein .''lück des Materials wird unter einer positiven
Vorlagt durch die Trägerfolie hindurch 3 Minuten mit
einer ') KW Metall-Halogen-Lampe belichtet. Dann wird di<o Schutzfolie abgezogen und die Schicht durch
Tauchen und schwaches Oberwischen mit 15%iger wäßriger Trinatriumphosphatlösung in etwa 1 Minute
entwickelt, mit Wasser abgewaschen und getrocknet. Es wird ein gelbes seitenverkehrtes Bild der Vorlage
erhalten. Das entwickelte Bild wird durch Anpressen bei etwa 120— 1300C mittels eines handelsüblichen Walzen-Laminiergeräts
bei einer Durchfahrgeschwindigkeit von etwa 30 cm je Minute auf Druckpapier übertragen.
Anschließend wird die Trägerfolie abgezogen, und das
in gelbe seitenrichtige Bild haftet fest auf dem Papier.
Anschließend werden in gleicher Weise ein blaues und dann ein rotes Teilfarbenbild passergenau auf das
gelbe Teilfarbenbild übertragen. Es wird in gleicher Weise wie bei dem gelben Bild gearbeitet, nur wird
,<·, jeweils der gelbe Farbstoff in der Schicht durch die
halbe Gewichtsmenge Imperonblau KB (C. J. 74 160) bzw. zwei Drittel seiner Gewichtsmenge an Imperonrot
KB (C J. 12 485) ersetzt Die letzte Trägerfolie kann zum Schutz auf dem Dreifarbenbild verbleiben. Um ein
2(i tonwertechteres Ergebnis zu erhalten, können die
Schichtdicken und Pigmentkonzentrationen noch feiner abgestimmt und die Teilbilder nach dem Übertragen
ohne Vorlage nachbelichtet werden.
Auf den gleichen Träger wie in Beispiel 1 werden aus Methyläthylketon Schichten folgender Zusammensetzungaufgetragen:
30,8% Novolak, 7,7%Vinylacetat-Crotonsäure-Mischi(l
polymerisat
(Molekulargewicht etwa 100 000, Säurezsihl
bis etwa 35),
20,5% Estergemisch aus 2,3,4-Trihydroxy-
bis etwa 35),
20,5% Estergemisch aus 2,3,4-Trihydroxy-
benzophenon und Naphthochinone 1,2)-diazid-(2)-5-sulfonsäure,
15,4% Polyäthylen, niedrigviskos
25,6% Polyvinyläthyläther, niedrigviskos
25,6% Polyvinyläthyläther, niedrigviskos
Auf die getrockneten Schichten werden Deckfolien wie in Beispiel 1 aufgebracht. In verschiedenen
Versuchen werden mit Schichtgewichten von 8—40 g/m2 bezüglich Kopie und Übertragen auf
gereinigte Kupferplatten zur Herstellung von Kopierten Schallungen gute Ergebnisse erzielt. Dazu wird nach
dem Abziehen der Polyäthylen-Deckfolie die Schicht bei 120-130°C auf das Werkstück laminiert, die
Trägerfolie abgezogen, ca. 10 Minuten bei 1000C
nachgetrocknet, belichtet und mit 20%iger Trinatriumphosphatlösung in einer Schale oder in einem
Sprühgerät durch Spritzen mit 3 — 7 bar entwickelt. Die Schicht ist hervorragend geeignet als Resist für
Ätzprozesse, z. B. für das Wegätzen des freigelegten Kupfers mit Ferrichlorid-Lösung, und als Galvanoresist.
Bei der Kopie mit 40 μπι dicker Schicht können die
freigelegten Bildteile geradwandig mit Metall, z. B. Kupfer oder Blei/Zinn-Legieriing, galvanisch verstärkt
werden.
Zur Herstellung durchkontaktierter Schaltungen ist
dieser Positiv-Trockenresist ebenfalls gut geeignet, da
bo beim Laminieren die Bohrlöcher überdeckt werden und
die unbeachtete freitragende Schicht die Entwicklung und auch Ätz- und Galvanoprozesse aushält.
IV") '
Auf eine entsprechend Beispiel 1 vorbehandelte 12 μ
dicke Polyesterfolie wird eine etwa 15 μιη dicke Schicht
folgender Zusammensetzung aufgebracht:
30,8% Novolak,
20,5% Diazoverbindung wie in Beispiel 2,
5.1% Polyäthylacrylat, niedrigviskos
5.1 % Polyäthylacrylat, hochviskos,
12,8% Polyvinylmethyläther,
25,6% Polyvinyläthyläther, niedrigviskos
Die Schicht kann auch angefärbt werden, z. B. mit 0,3% Kristallviolett. Durch ein-, zwei- oder dreimaliges
Laminieren dieser Schicht aufeinander nach Abziehen u>
der vorhergehenden Trägerfolie können Schichtdicken von 15 μιη und dem Mehrfachen von 15 μηι aus einem
einzigen Positiv Trockenresist aufgebaut werden. Die Belichtungszeit nimmt in erster Näherung proportional
zur Schichtdicke zu. Vor dem Belichten wird Vorzugs- :=.
weise kurz nachgetrocknet, damit die Vorlage nicht an der etwas haftklebenden Schicht hängenbleibt. Es wird
mit dem folgenden wäßrig-alkalischen Entwickler (pH ca. 11):
7.5 g Na3PO4 · 12H2O, '"'
3,5 g Natriummetasilikat,
2.0 g NaH2PO4 H2O,
1,0 g Natriumhexametaphosphat.
1,0 g wasserlösliche Methylcellulose,
985,0 g destilliertes Wasser
2.0 g NaH2PO4 H2O,
1,0 g Natriumhexametaphosphat.
1,0 g wasserlösliche Methylcellulose,
985,0 g destilliertes Wasser
entwickelt und je nach Schichtdicke und Werkstück geätzt oder galvanisiert.
Beispiel 4 j(,
Auf eine 25 μηι dicke Polypropylenfolie als Trägerfolie
wird aus Methyläthylketon eine 40 μίτΐ dicke Schicht
folgender Zusammensetzung aufgebracht:
30,8% Novolak,
7,7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
7,7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
Beispiel 2,
20,5% der in Beispiel 2 verwendeten
20,5% der in Beispiel 2 verwendeten
Diazoverbindung,
5.1% Polyäthylacrylat, niedrigviskos,
5.1 % Mischpolymerisat von Butylmethacrvlat und
5.1 % Mischpolymerisat von Butylmethacrvlat und
Methylmethacrylat).
5.1% Polyvin\!methy!äther,
25,6% Polyvinyiäthylä'ther. niedrigviskos
5.1% Polyvin\!methy!äther,
25,6% Polyvinyiäthylä'ther. niedrigviskos
Als Deckfolie wird 25 μιτι dickes Polyäthylen 4>
verwendet. Durch Abziehen dieser Deckfolie. Laminieren auf einen Kupfer-Isolierstoff-Träger. Abziehen der
Trägerfolie. Nachtrocknen, Belichten, Entwickeln mit 14%iger Trinatriumphosphat-Lösung und Ätzen wird
wie üblich eine Leiterplatte hergestellt. ■><>
Auf eine 50 μπι Dicke, wie in Beispiel 1 vorbehandelte
Polyesterfolie wird aus Äthylenglykolmonoäthyläther die folgende 8 μτη dicke Schicht aufgetragen:
30% Novolak.
7,7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
7,7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
Beispiel Z
20% der in Beispiel 2 verwendeten
20% der in Beispiel 2 verwendeten
Diazoverbindung,
10.2% Polyäthylacrylat niedrigviskos.
5.1% Polyvinylmethyläther.
25.6% Polyvinylether, niedrigviskos,
13% Kristallviolett
5.1% Polyvinylmethyläther.
25.6% Polyvinylether, niedrigviskos,
13% Kristallviolett
Dann wird, wie in Beispiel 1 beschrieben, eine
Deckfolie aufgebracht.
Nach dem Abziehen der Deckfolie wird diese gefärbte Resistschicht auf eine mit dünner Weißpigment-Schicht
versehene Polyesterfolie auflaminiert und entweder vor oder nach dem Abziehen der Trägerfolie
belichtet. Zur Erzeugung eines Bildes der Vorlage auf diesem Träger braucht die gleichmäßige glatte Schicht
dann nur noch wäßrig-alkalisch entwickelt und getrocknet zu werden. Belichten bzw. Belichten und Entwickeln
auf der Trägerfolie und Laminieren der belichteten bzw. schon entwickelten Schicht ist ebenfalls möglich.
Auf eine 25 μπι dicke Polypropylenfolie wird folgende
20 μ:τ! dicke haftklebende Positiv-Trockenresistschicht
aus Äthylenglykolmonoäthyläther aufgetragen:
41,7% Novolak,
16,7% Naphthochinon-(1,2)-diazid-(2)-5-sulfon-
säure-n-butylamid,
41,7% Polyvinyläthyläther, hochviskos
41,7% Polyvinyläthyläther, hochviskos
Diese Schicht kann durch Laminieren bzw. einfaches Aufpressen mit geringer Erwärmung auf zahlreiche
ebene Werkstoffe, z. B. Papier, Folie, Metall, Glas, Keramik und auch Holz übertragen und dann sauber
von der Trägerfolie getrennt werden. Nach dem Belichten unter einer groben Vorlage ohne Berührung,
z. B. in 1 mm Abstand, oder nach Überwischen und Antrocknen einer Polyvinylalkoholschicht durch Belichten
im Kontakt, wobei die dünne Polyvinylalkoholschicht ein Ankleben der Vorlage verhindert, kann das
Bild durch 2—3 Minuten Überwischen mit einer 16%igen Trinatriumphosphat-Lösung entwickelt, dann
abgespült und getrocknet werden. Die übertragenen bildmäßigen Schichtteile besitzen relativ starke haftklebende
Eigenschaften. Durch Einpudern mit beliebigen Pigmentfarbstoffen, Ruß, Leuchtpulver usw. können so
mit Hilfe der Trockenresistschicht Schriften und relativ grobe Zeichnungen, Figuren und Raster fixiert werden.
Auf 100 μιη dicke, wie in Beispiel 1 vorbehandelte
Polyesterfolien wird je eine ί2μηι dicke gelbe, blaue
und rote Positiv-Resistschicht folgender Zusammensetzung aus Äthylenglykolmonomethyläther aufgetragen:
30% Novolak,
7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
20% der in Beispiel 2 verwendeten Diazoverbindung.
15% Polyäthylacrylat, niedrigviskos,
25% Polyvinyläthyläther, niedrigviskos,
3% Farbstoff.
25% Polyvinyläthyläther, niedrigviskos,
3% Farbstoff.
60 Als Farbstoff für die gelbe Farbfolie wird Auramin D
(C I. 41 000), für die blaue Folie Victoriareinblau FGA (C I. Basic Blue 81) und für die rote Folie
Gradolechtrubin 2 BL (C I. Solvent Red 128) verwendet
Diese Farbfolien werden wie die von Beispiel 1 mit einer Deckfolie versehen und verarbeitet Es ist jedoch
auch möglich, die auf der Folie belichteten Schichten vor dem Entwickeln passergenau aufeinander zu laminieren
und dabei jeweils vor dem Laminieren die Deckfolie und danach die Trägerfolie abzuziehen. Abschließend
können dann alle Schichten übereinander gleichzeitig vorsichtig mit ca. 16% Trinatriumphosphat-Lösung
entwickelt werden.
Auf eine 25 μίτι dicke Polypropylen-Folie wird eine
15 μηι dicke Photoresist-Schicht folgender Zusammensetzung
aus Methyläthylketon-Lösung aufgetragen:
36,4% Novolak,
9,1 % Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
9,1 % Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
Beispiel 2,
24,2% der in Beispiel 2 verwendeten Diazo-
24,2% der in Beispiel 2 verwendeten Diazo-
verbindung,
12,1 % des unten angegebenen Mischpolymerisats,
18,2% Polyäthylacrylat, niedrigviskos.
18,2% Polyäthylacrylat, niedrigviskos.
Dann wird die in Beispiel 1 beschriebene Deckfolie aufgebracht, Das Mischpolymerisat wird durch Polymerisieren
von 82 Gewichmeilen Aihylacrylat mit 18 Gewichtsteilen Methacrylsäure in Methyläthylketon
in Gegenwart von Azodiisobutyronitril hergestellt und hat die Säurezahl 48,8.
Zur Herstellung von Leiterplatten wird nach dem Abziehen der Deckfolie dieser Resist bei ungefähr
135°C langsam mehrmals durch das Laminiergerät geschickt und so mit ausreichender Haftfestigkeit auf
eine dünne Kupferhaut aufgebracht. Dann wird die Trägerfolie abgezogen und die Schicht ohne Nachtrocknen
unter einer positiven Vorlage eines Schaltungsplanes belichtet. Nach dem Entwickeln mit 14°/oiger
Trinatriumphosphat-Lösung durch ca. 3 Minuten Anspritzen in einem Entwicklungsgerät und Ätzen mit
Ferrichlorid-Lösung wird eine Schaltungsplatte erhalten.
Ähnliche Ergebnisse wurden erhalten, wenn statt der Polypropylenfolie 50 μπι dicke Polyäthylenfolie, 22 μπι
dicke, weichgemachte Cellulosehydratfolie oder 30 μπι
dicke Celluloseacetatfolie verwendet wurde. In diesen Fällen wurden nach der Beschichtung der Folien mit der
Sensibilisierungslösung etwas langsamer und bei tieferer Temperatur getrocknet, um die Abmessungen der
Folien nicht zu verändern. Das Abziehen der Trägerfolie erforderte etwas mehr Sorgfalt als bei Polypropylen-
oder Polyesterfolien, um ein Mitreißen der Schicht sicher zu vermeiden.
Auf eine 36 μπι dicke, wie in Beispiel 1 beschriebene
vorbehandelte Polyesterfolie wird eine 20 μπι dicke Schicht aus Methyläthylketon als Lösungsmittel aufgetragen,
die folgende Zusammensetzung hat:
35% Novolak,
8,8% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
8,8% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
Beispiel 2,
23% der im Beispiel 2 verwendeten Diazover-
23% der im Beispiel 2 verwendeten Diazover-
bindung.
11,8%
des in Beispiel 8 beschriebenen Mischpolymerisats,
17,b% Polyäthylacrylat, niedrigviskos
17,b% Polyäthylacrylat, niedrigviskos
3% Polyvlnylisobutyläther, höherviskos
0,8% Kristallviolett.
Auf die getrocknete Schicht wird eine Deckfolie wie in Beispiel 1 aufkaschiert.
Diese Schicht wird bei 135°C von beiden Seiten auf einen doppelseitig mit einer Kupferhaut versehenen
Isolierstoffträger aufgebracht und dann von beiden Trägerfolien befreit nachgetrocknet, beidseitig belichtet,
an den nach der Belichtung erkennbaren Stellen gebohrt und dann mit dem in Beispiel 3 beschriebenen
Entwickler entwickelt. Zur Herstellung durchkontaklierier
Leiterplatten kann anschließend durch stromloses Verkupfern der Lochwandungen, galvanisches
Verstärken und Ätzen nach einem der bekannten Verfahren weiter gearbeitet werden.
Beispiel 10
Auf eine 25 μΐη dicke Polypropylenfolie wird aus
Äthylenglykolmonoäthyläther eine 20 μηι dicke Schicht
folgender Zusammensetzung aufgetragen:
30,8% Novolak,
7,7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
7,7% Vinylacetat-Mischpolymerisat wie in
Beispiel 2,
20,5% der in Beispiel 2 verwendeten Diazover-
20,5% der in Beispiel 2 verwendeten Diazover-
bindung,
Polyäthylacrylat, niedrigviskos,
Polyvinyläthyläther, niedrigviskos,
Kristallviolett.
50 15,4%
25,0%
0,6%
Diese Schicht wird auf ein ausgeschnittenes Stück 120-er Polyester-Siebdruckgewebe bei ca. 12O0C in
einem Laminator aufgebracht, wobei etwa ein Drittel der Schicht in das Gewebe eindringt. Anschließend wird
das vorsensibilisierte Gewebe in einem Spanngerät auf einen Siebdruckrahmen übertragen und befestigt. Nach
etwa 4 Minuten Belichtung mit einer 5 KW Metall-Halogen-Lampe
unter einer negativen Vorlage durch die Trägerfolie hindurch wird diese abgezogen, die Schicht
mit dem in Beispiel 3 angegebenen Entwickler überwischt und die Entwicklung durch Abspritzen mit
Wasser und Trocknen abgeschlossen. Diese Siebdruckschablone ist hervorragend geeignet zum Drucken mit
wäßrigen Farben (Textildruck) und Lösungsmittelfarben auf Basis von unpolaren Lösungsmitteln wie Benzin.
Das Aufbringen der Schicht auf das Gewebe kann auch in der Weise durchgeführt werden, daß man die
Oberfläche der Schicht oder das Gewebe oder beides mit Äthylenglykolmonoäthyläther benetzt und dann
unter leichtem Druck kaschiert und trocknet.
Claims (9)
1. Lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial, das einen aus einer Kunststoffolie bestehenden temporären
Schichtträger und eine lichtempfindliche ■ Schicht, die einen Ester oder ein Amid einer
o-Naphthochinodiazidsulfonsäure und ein Phenolformaldehydharz enthält, aufweist, dadurch gekennzeichnet,
daß die lichtempfindliche Schicht außer dem Phenolformaldehydharz zusatz- in
lieh mindestens ein Acrylharz enthält und unmittelbar auf dem temporären Schichtträger liegt
2. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Acrylharz ein
Polyacryl- oder -methacrylsäureester ist. ι >
3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche
Schicht zusätzlich mindestens einen Polyvinyläther enthält.
4. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, 2n dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche
Schicht zusätzlich ein Mischpolymerisat mit sauren Gruppen enthält.
5. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche .'■·.
Schicht !2—30Gew.-% Naphthochinondiazidverbindung, 25—40Gew.-% Phenolformaldehydharz,
5_30 Gew.-% Polyacryl- oder -methacrylsäureester und 5—35 Gew.-% Polyvinyläther enthält.
6. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4, '·»
dadurch gekennzeichnet, daß das in der lichtempfindlichen Schicht enthaltene Mischpolymerisat mit
sauren Gruppen ein Polymerisat von Alkylacrylat oder -methacrylat mit Acryl- oder Methacrylsäure
ist. ι -
7. Aufzeichnungmaterial nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das in der lichtempfindlichen
Schicht enthaltene Mischpolymerisat mit sauren Gruppen ein Polymerisat von Vinylacetat
und einer ungesättigten Carbonsäure ist. ·<»
8. Verfahren zum Übertragen einer lichtempfindlichen Schicht auf einen permanenten Schichtträger,
bei dem man ein lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial, das einen aus einer Kunststoffolie bestehenden
temporären Schichtträger und die lichtempfindliche Schicht, die einen Ester oder ein Amid einer
o-Naphthochinondiazidsulfonsäure und ein Phenolformaldehydharz enthält, aufweist, mit der trockenen
lichtempfindlichen Schicht unter Druck und Erwärmen unmittelbar auf die Oberfläche des 5«
permanenten Schichtträgers aufbringt, dadurch gekennzeichnet, daß man ein lichtempfindliches
Aufzeichnungsmaterial verwendet, dessen lichtempfindliche Schicht außer dem Phenolformaldehydharz
zusätzlich mindestens ein Acrylharz enthält und unmittelbar auf dem temporären Schichtträger liegt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß man ein lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial
verwendet, dessen lichtempfindliche Schicht auf der dem temporären Schichtträger ω
abgewandten Seite eine Deckfolie trägt, die eine geringere Haftung gegenüber der lichtempfindlichen
Schicht aufweist als der temporäre Schichtträger, und daß man die Deckfolie vor dem Aufbringen
der Schicht auf den permanenten Schichtträger abzieht.
Die Erfindung betrifft ein lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial,
das insbesondere für die Übertragung von Photoresistschichten in trockenem Zustand
bestimmt iit
Derartige Schichtübertragungsmaterialien sind z. B.
aus der DE-AS 15 22 515 bekanntgeworden. Die dort beschriebenen lichtempfindlichen Kopierschichten sind
lichtvernetzbar oder photopolymerisierbar, arbeiten also negativ, und eignen sich aufgrund ihres normalen
Gehalts an thermoplastischen polymeren Substanzen besonders gut für eine trockene Übertragung der
Kopierschicht unter Druck und Erwärmen auf den endgültigen Träger.
Für viele Zwecke wäre es erwünscht, auch positiv arbeitende Kopierschichten in gleicher Weise übertragen
zu können. Materialien und Schichtübertragungsverfahren, die positive Übertragungsbilder liefern, sind
ebenfalls bekannt Diese Materialien und Verfahren haben jedoch bestimmte Nachteile.
Bei einem bekannten Verfahren werden z. B. positive Übertragungsbilder bzw. -masken iTiittels einer negativ
arbeitenden Schicht hergestellt, indem die Schicht bildmäßig gehärtet wird und Träger- und Deckfolie
derart getrennt werden, daß an der einen die gehärteten, an der anderen die ungehärteten Schichtteile haften, die
dann jeweils auf eine andere Unterlage übertragen werden können.
In der DE-OS 20 28 903 wird ein positiv arbeitendes Schichtübertragungsmaterial beschrieben, das aus Polymeren
mit seitenständigen Hydroxygruppen besteht, die zum Teil mit o-Chinodiazidgruppen substituiert sind.
Die reproduzierbare Herstellung derartiger hochmolekularer lichtempfindlicher Substanzen ist schwierig und
umständlich.
In der DE-OS 20 46 115 ist ein ähnliches Material
beschrieben, das jedoch niedermolekulare Chinondiazide enthält. Dieses Material enthält zusätzlich Zwischenschichten
und gegebenenfalls Haftschichten, um ein einwandfreies Aufbringen der Photoresistschicht auf die
zu bearbeitende Unterlage und eine einwandfreie Abtrennung des Zwischenträger zu ermöglichen.
Ein ähnliches Material wird in der DE-OS 21 06 574 beschrieben.
Alle diese Positivmaterialien sind komplizierter aufgebaut als für den gleichen Zweck geeignete
Negativmaterialien und bzw. oder erfordern zusätzliche Behandlungsschritte.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein einfach aufgebautes Schichtübertragungsmaterial für trockene Übertragung,
insbesondere von Photoresistschichten, vorzuschlagen, das positiv arbeitet und die bekannten Vorteile der
Positivschichten mit guter Übertragbarkeit und Haftung auf der endgültigen Unterlage verbindet.
Die Erfindung geht aus von einem lichtempfindlichen Aufzeichnungsmaterial, das einen aus einer Kunststofffolie
bestehenden temporären Schichtträger und eine lichtempfindliche Schicht, die einen Ester oder ein Amid
einer o-Naphthochinondiazidsulfonsäure und ein Phenolformaldehydharz
enthält, aufweist.
Das erfindungsgemäße Material ist dadurch gekennzeichnet, daß die lichtempfindliche Schicht außer dem
Phenolformaldehydharz zusätzlich mindestens ein Acrylharz enthält und unmittelbar auf dem temporären
Schichtträger liegt.
o-Naphthochinondiazidsulfonsäureester und -amide
sind als Bestandteile positiv arbeitender Kopierschichten bekannt und z. B. in den DE-PS 8 54 890, 8 65 109,
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