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Gegenstand eines eigenen älteren Vorschlages ist ein lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial mit einem Träger, einer lichtempfindlichen Schicht, die ein o-Naphthochinondiazid und ein alkalilösliches Phenolharz enthält und gegebenenfalls einem abziehbaren Deckblatt auf der andern Seite der lichtempfindlichen Schicht, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtempfindliche Schicht einen Ester oder ein Amid einer 0- Naphtho- chinondiazidsulfonsäure sowie ferner mindestens ein Acrylharz enthält.
Ein solches lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial ist insbesondere für die Übertragung von Photoresistschichten in trockenem Zustand geeignet.
Derartige Schichtübertragungsmaterialien sind z. B. aus der deutschen Auslegeschrift 1522515 bekanntgeworden. Die dort beschriebenen Kopierschichten sind lichtvernetzbar oder photopolymerisierbar, arbeiten also negativ und eignen sich auf Grund ihres normalen Gehaltes an thermoplastischen polymeren Substanzen besonders gut für eine trockene Übertragung der Kopierschicht unter Druck und Erwärmen auf den endgültigen Träger.
Für viele Zwecke wäre es erwünscht, auch positiv arbeitende Kopierschichten in gleicherweise übertragen zu können. Materialien und Schichtübertragungsverfahren, die positive Übertragungsbilder liefern, sind ebenfalls bekannt. Diese Materialien und Verfahren haben jedoch bestimmte Nachteile.
Bei einem bekannten Verfahren werden z. B. positive Übertragungsbilder bzw. -masken mittels einer negativ arbeitenden Schichthergestellt, indem die Schicht bildmässig gehärtet wird und Träger-und Deckfolie derart getrennt werden, dass an der einen die gehärteten, an der andern die ungehärteten Schichtteile haften, die dann jeweils auf eine andere Unterlage übertragen werden können.
In der deutschen Offenlegunsschrift 2028903 wird ein positiv arbeitendes Schichtübertragungsmaterial beschrieben, das aus Polymeren mit seitenständigen Hydroxygruppen besteht, die zum Teil mit o-Chinon- diazidgruppen substituiert sind. Die reproduzierbare Herstellung derartiger hochmolekularer lichtempfind- licher Substanzen ist schwierig und umständlich.
In der deutschen Offenlegungsschrift 2046115 ist ein ähnliches Material beschrieben, das jedoch nieder- molekulare Chinondiazide enthält. Dieses Material enthält zusätzlich Zwischenschichten und gegebenenfalls
Haftschichten, um ein einwandfreies Aufbringen der Photoresistschicht auf die zu bearbeitende Unterlage und eine einwandfreie Abtrennung des Zwischenträgers zu ermöglichen.
Ein ähnliches Material wird in der deutschen Offenlegungsschrift 2106574 beschrieben.
Alle diese Positivmaterialien sind komplizierter aufgebaut als für den gleichen Zweckgeeignete Negativ- materialien und bzw. oder erfordern zusätzliche Behandlungsschritte.
Aufgabe der Erfindung war es, ein Verfahren zur Übertragung einer trockenen lichtempfindlichen Schicht, die einen Ester oder ein Amid einer o-Naphthochinondiazidsulfonsäure, ein alkalilösliches Phenolharz und ein Acrylharz enthält, bei dem man die Schicht auf einen temporären Träger aus einer Kunststoffolie auf- trägt, gegebenenfalls auf der andern Seite mit einem abziehbaren Deckblatt abdeckt und die trockene Schicht unter Druck und Erwärmen, gegebenenfalls nach Abziehen des Deckblatts, auf einen endgültigen Träger überträgt, anzugeben, bei dem positiv gearbeitet wird und die bekannten Vorteile der Positivschichtenmitguter Übertragbarkeit und Haftung auf der endgültigen Unterlage verbunden werden.
Erfindungsgemäss wird daher so verfahren, dass man als temporären Träger eine Polyesterfolie verwendet und dass man die Oberfläche dieser Folie vor dem Auftragen der lichtempfindlichen Schicht mit einer wässerigen Lösung, die eine gesättigte Halogenfettsäure, ein Netzmittel und ein wasserlösliches Polymerisat enthält, das mit der Halogenfettsäure verträglich ist, behandelt und dann durch Erwärmen trocknet. o-Naphthochinondiazidsulfonsäureester und-amide sind als Bestandteile positiv arbeitender Kopierschichten bekannt und z. B. in den deutschen Patentschriften Nr. 854890, Nr. 865109, Nr. 900172, Nr. 907738, Nr. 938233 und Nr. 1195166, der deutschen Auslegeschrift 1543721 und der deutschen Offenlegungsschrift 2047816 beschrieben.
Als alkalilösliche Phenolharze kommen in bekannter Weise im wesentlichen die Phenol-FormaldehydNovolake in Betracht, deren Verwendung in Positiv-Kopierschichten ebenfalls in den genannten Druckschriften beschrieben ist.
Die Trägerfolie für das erfindungsgemässe Schichtübertragungsverfahren muss so beschaffen sein, dass sie sich nach der trockenen Übertragung der Schicht auf die endgültige, zu bearbeitende Unterlage leicht und ohne Beschädigung der Schicht von dieser abziehen lässt.
Die als Träger verwendeten Polyesterfolien werden auf ihrer Oberfläche, auf die die lichtempfindliche Schicht aufgebracht werden soll, mit einer Lösung vorbehandelt, die für ihre die Haftung erhöhende Wirkung bekannt ist. Es wurde nun gefunden, dass diese Behandlung in überraschender Weise gegenüber den erfindungsgemäss verwendeten positiv arbeitenden lichtempfindlichen Schichten die Haftung vermindert, so dass eine leichte und sichere Abtrennung der Trägerfolie nach dem Aufbringen der Schicht auf die endgültige Unterlage ermöglicht wird. Wenn eine unbehandelte Polyesterfolie verwendet wird, ist ein Abziehen der Folie von der lichtempfindlichen Schicht in den meisten Fällen nicht ohne Beschädigung derselben möglich.
Die hier angewendete Vorbehandlung ist zur Verbesserung der Haftung von Schichten auf Polyesterfolien
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bekannt und z. B. in der USA-Patentschrift Nr. 3, 720, 539 beschrieben.
Als Halogenfettsäuren werden insbesondere halogenierte Alkansäuren mit 2 bis 4 Kohlenstoffatomen, vorzugsweise chlorierte Essigsäuren, verwendet. Es können auch z. B. 2,2, 3-Trichlorpropionsäure oder
Trifluoressigsäure verwendet werden. Die bei weitem bevorzugte Säure ist Trichloressigsäure. Die Kon- zentration der Säure in der Behandlungslösung liegt im allgemeinen zwischen 5 und 20 Gew.-%, vorzugs- weise zwischen 5 und 10 Gew.-%. Das Gewichtsverhältnis von Polymerisat zu Halogenfettsäure liegt im all- gemeinen zwischen 1 : 1 und 1 : 20.
Als mit der Halogenfettsäure in wässeriger Lösung verträgliche Polymerisate sind Substanzen zu ver- stehen, die mit der Säure keine Ausfällungen ergeben. Beispiele für geeignete Polymerisate sind Polyvinyl- alkohol bzw. teilverseifte Polyvinylacetate, Celluloseäther wie Hydroxyäthylcellulose oder Carboxymethyl- cellulose und Polyacrylamid. Die Polymerisate können auch durch Zusatz von Vernetzungsmitteln zu der wässerigen Lösung nach dem Aufbringen gehärtet und damit wasserunlöslich gemacht werden.
Als Netzmittel können insbesondere übliche anionische oder nichtionische Netzmittel verwendet werden, anionische Netzmittel werden bevorzugt.
Das vorzugsweise zum Schutz der lichtempfindlichen Schicht verwendete Deckblatt kann ebenfalls eine
Kunststoffolie sein, wie es in der deutschen Auslegeschrift 1522515 näher beschrieben ist. Sie soll eine ge- ringereHaftung an der Kopierschicht haben als die Trägerfolie. Geeignete Folien sind z. B. solche aus Poly- olefinen, insbesondere Polyäthylen.
Als Acrylharze, die wesentlicher Bestandteil der lichtempfindlichen Schicht sind, kommen Homo- und Mischpolymerisate von Derivaten der Acryl- undMethacrylsäure in Betracht, insbesondere von deren Estern.
Die Alkoholkomponente des Esters wird vorzugsweise von niederen aliphatischen Alkoholen mit etwa 1 bis
6 Kohlenstoffatomen gebildet. Besonders gut lassen sich Schichten übertragen und verarbeiten, die ausser dem Acrylharz noch einen Polyvinyläther oder ein Polyglykol, insbesondere ein Polyäthylenglykol, das ein Molekulargewicht von etwa 800 bis 10000 hat, enthalten. Zusätzlich zu dem Polyvinyläther oder an dessen Stelle können der Schicht weiterhin Mischpolymerisate mit Einheiten zugesetzt werden, die saure Gruppen enthalten, insbesondere Carboxylgruppen. Bevorzugte Vertreter hiefür sind Mischpolymerisate von Alkylestern der Acryl- oder Methacrylsäure mit den freien Säuren oder Mischpolymerisate von Vinylacetat mit ungesättigten Carbonsäuren, z. B. Crotonsäure.
Die erfindungsgemäss übertragbaren Schichten sind dadurch ausgezeichnet, dass sie nicht die sonst von Positivlack-Schichten bekannte Sprödigkeit besitzen, sondern geschmeidig sind. Trotzdem können sie sauber und sicher wässerig-alkalisch entwickelt und mit denfürNegativ-Trockenresists üblichen Walzen-Laminier- geräten in Schichtdicken von etwa 4 bis 60 jn übertragen werden. Durch die Kombination der Zusatzharze mit den üblichen Bestandteilen der Positiv-Kopierschicht, Naphthochinondiazid und Phenolharz, wird weder ein Haftvermittler zum Empfänger noch eine Trenn- oder Zwischenschicht zum Träger gebraucht.
Die Schicht wird vorzugsweise nicht durch die Trägerfolie hindurch, sondern nach deren Abziehen, vorzugsweise nach einem kurzen zusätzlichen Nachtrocknen, belichtet, ohne dass die Vorlage nach dem Belichten mit kaltem UV-Licht, z. B. mit einer Metall-Halogen-Lampe, an der Schicht hängenbleibt. Durch mehrmaliges Laminieren übereinander werden Schichtdicken bis 60 Jl und mehr erreicht. Zur Erreichung grösserer Schichtdicken ist dies Verfahren, z. B. 30 Jl aus 2 x 15 ; u, ausserdem sicherer und weniger staubanfällig als die Verwendungvon Trockenresists der Enddicke z. B. 30 li. Mit nur zwei Typen z. B. 7,5 und 20 können leicht zahlreiche Schichtdicken durch Aufeinander-Laminieren erzeugt werden.
Ein weiterer Vorteil der Kopierschichten der erfindungsgemäss übertragbaren Materialien ist, dass sie auch auf der Trägerfolie sauber und sicher entwickelt und dann als fertiges Bild auf den Empfangsträger laminiert werden können. Auf diese Weise ist es möglich, mit verschieden angefärbten Schichten z. B. auch einen Farbsatz auf Druckpapier zu laminieren und so einen Andruckersatz zu erhalten. Mit dem erfindungsgemässenMaterial und Verfahren ist es auch möglich, belichtete, aber nicht entwickelte Positiv-Trockenresistschichtenübereinander zulaminieren und dann diesen Mehrschichten-Resist bildmässig zu einem Relief mit verschieden tiefen Stufen zu entwickeln.
Durch unterschiedliche Färbung der einzelnen Schichten kann diese Möglichkeit, die mit Negativschichten im allgemeinen nicht durchführbar ist, sichtbar demonstriert werden.
Da nach dem Belichten bereits das Bild zu sehen ist, kann passergenau laminiert werden.
Sowohl die Polyvinylalkyläther und Polyglykole als auch die Methacrylate, bevorzugte Acrylate, geben der Schicht haftklebende und weichmachende Eigenschaften und ermöglichen die einwandfreie Übertragung vom Träger auf das Empfangsmaterial. Ohne die Acrylate sind die Entwicklungseigenschaften, insbesondere die Entwicklerresistenzen unbefriedigend. Völlig ohne Polyvinylalkyläther oder Polyglykole ist dagegen die Entwicklung langsamer und kann im allgemeinen nicht ohne mechanische Unterstützung durchgeführt werden.
Bis zu einem gewissen Masse können die Polyvinyläther durch die genannten sauren Mischpolymerisate, insbesondere saure Acrylat-Mischpolymerisate, ersetzt werden. Ausserdem kann der Zusatz von Polyvinylpyrrolidon-Harzen vorteilhaft sein.
Bezogen auf den Feststoff der Schicht mit einem Gehalt an Diazoverbindung von etwa 12 bis 30% und an
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Novolak von etwa 25 bis 40% liegen die günstigstenMengen derübrigen Harzzusätze bei etwa 5 bis 30% Acrylharz und 5 bis 35% Polyvinylalkyläther oder Polyglykol. Die günstigsten Anteile an sauren Mischpolymerisaten betragen etwa 5 bis 15%. Die praktisch verwendeten Zusatzmengen hängen innerhalb dieser allgemeinen Bereiche stark von der Natur der einzelnen Polymeren ab. Die Grenzen der Brauchbarkeit liegen z. B. bei den meisten Schichtkombinationen für Polyvinylmethyläther (z. B. Lutonal M 40) bei zirka 0 bis 20%, Polyvinyl- äthyläther, niedrigviskos (z. B. Lutonal A 25) bei zirka 0 bis 30%, Polyvinyläthyläther, hochviskos (z. B.
Lutonal A 50) bei zirka 0 bis 10%, Polyvinylisobutyläther (z. B. Lutonal J 30) bei zirka 0 bis 15%, Polyvinylisobutyläther, höher viskos (z. B. Lutanol J 60) bei zirka 0 bis 10%, Polyäthylenglykol (Molgewicht etwa 2000) bei zirka 0 bis 20%.
Die folgenden Mengenbereiche bei bestimmten Acrylat-Harzen beziehen sich auf den Feststoffgehalt der Handelsprodukte. Die besten Ergebnisse werden erzielt mit :
Polyäthylacrylat, niedrigviskos (z. B. Plexisol B 574) bei zirka 5 bis 30%, Polyäthylenacrylat, hochviskos (z. B. Plexisol B 372) bei zirka 5 bis 10%. Ebenfalls, aber mit etwas geringerem Effekt brauchbar sindPoly- butylacrylat (z. B. Plexisol D 592) bei zirka 5 bis 10%, Polybutylmethacrylat (z. B. Plexisol P 550) bei zirka
8 bis 15%, Mischpolymerisat von Butylmethacrylat und Methylmethacrylat (z. B. Plexisol PM 709) bei zirka
5 bis 8%.
Herstellung und Verarbeitung des erfindungsgemässen Materials erfolgen in der für Trockenresistmate- rialien üblichen Weise. Die Bestandteile der lichtempfindlichen Schicht werden in einem geeigneten Lösungs- mittel gelöst, und die Lösung wird auf die gegebenenfalls vorbehandelte Trägerfolie aufgestrichen und ge- trocknet. Dann wird die freiliegende Seite der Kopierschicht gegebenenfalls mit der Deckfolie unter leichtem
Druck kaschiert. Das Material wird aufgerollt und in dieser Form gelagert.
Zur Verarbeitung wird ein geeignetes Stück des Schichtübertragungsmaterials abgeschnitten, von der
Deckfolie befreit und unter Druck und Erwärmen auf die zu behandelnde, meistens zu ätzende Unterlage aufgebracht. Das Abziehen der Deckfolie und Aufbringen auf die Unterlage kann mit einem handelsüblichen Laminiergerät mit heizbaren Walzen oder einem Heizschuh erfolgen.
Belichten und Entwickeln werden dann wie oben beschrieben durchgeführt. Die mit dem Resistbild ver- sehene Oberfläche kann in üblicher Weise geätzt oder galvanisiert werden.
Das erfindungsgemäss übertragbare Material wird insbesondere zur Herstellung von kopierten Schaltungen nach dem bekannten subtraktiven oder additiven Verfahren durch Ätzen und/oder Galvanisieren, zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen, Tief- oder Hochdruckplatten, zum Formteilätzen oder als Andruckersatz im Mehrfarbandruck verwendet.
Die erfindungsgemäss übertragbaren Materialien können auch zur Herstellung von Siebdruckschablonen verwendet werden. Man erhält so erstmals ein negativ arbeitendes, vorbeschichtbares Siebdruckmaterial.
Es ist möglich die Schicht auf den Schablonenträger zu laminieren und dann auf den Siebdruckrahmen zu spannen oder das Schichtübertragungsmaterial auf das im Rahmen aufgespannte Gewebe aufzulegen und unter Druck und Wärme aufzupressen. In beiden Fällen haftet die elastische Schicht ausreichend auf bzw. teilweise in der strukturierten Gewebeoberfläche. Dieses Siebdruckmaterial kann sowohl nach dem Abziehen der Trägerfolie als auch vorher durch diese hindurch belichtet werden.
Die folgenden Beispiele erläutern Herstellung und Verarbeitung bestimmter Ausführungsform des erfindungsgemäss übertragbaren Materials. Alle Prozentangaben sind Gewichtsprozente und beziehen sich bei den Angaben zur Zusammensetzung der Schichten auf Festsubstanz.
Beispiel l : Eine 25 ju dicke, biaxial verstreckte und thermofixierte Polyäthylenterephthalatfolie wird in eine wässerige Lösung getaucht, die 10% Trichloressigsäure, 1% Polyvinylalkohol und 0, 1% Netzmittel enthält, und dann 2 min bei 1400C getrocknet.
Auf die vorbehandelte Folie wird eine lichtempfindliche Schicht durch Aufstreichen und Trocknen einer Lösung in Athylenglykolmonoäthyläther aufgebracht. Die trockene Schicht ist 10 a stark und hat die folgende Zusammensetzung :
EMI3.1
<tb>
<tb> 30% <SEP> Kresol-Formaldehyd-Novolak
<tb> 22% <SEP> Naphthochinon- <SEP> (l, <SEP> 2) <SEP> -diazid- <SEP> (2) <SEP> -4-sulfonsäure- <SEP>
<tb> - <SEP> (p-cumylphenyl)-ester <SEP>
<tb> 8% <SEP> Polyäthylacrylat, <SEP> niedrigviskos <SEP> (Plexisol <SEP> B <SEP> 574,
<tb> Röhro <SEP> & <SEP> Haas)
<tb> 8% <SEP> Polybutylmethacrylat <SEP> (Plexisol <SEP> P <SEP> 550)
<tb> 13% <SEP> Polyvinylmethyläther <SEP> (Lutonal <SEP> M <SEP> 40, <SEP> BASF)
<tb> 13% <SEP> Polyvinyläthyläther, <SEP> niedrigviskos <SEP> (Lutonal <SEP> A <SEP> 25)
<tb> 6% <SEP> Pigmentfarbstoff <SEP> Imperongelb <SEP> KG
<tb>
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Auf die getrocknete Schicht wird eine 25 J. t dicke Polyäthylenfolie als Deck- bzw. Schutzfolie aufkaschiert, und das erhaltene Schichtgebilde wird aufgerollt.
Ein Stück des Materials wird unter einer positiven Vorlage durch die Trägerfoliehindurch 3 min mit einer 5 kW Metall-Halogen-Lampe belichtet. Dann wird die Schutzfolie abgezogen und die Schicht durch Tauchen und schwaches Überwischen mit 15%iger wässeriger Trinatriumphosphatlösung in etwa 1 min entwickelt, mit Wasser abgewaschen und getrocknet. Es wird ein gelbes seitenverkehrtes Bild der Vorlage erhalten. Das entwickelte Bild wird durch Anpressen bei etwa 120 bis 1300C mittels eines handelsüblichen Walzen-Laminiergerätes bei einer Durchfahrgeschwindigkeit von etwa 30 cm/min auf Druckpapier übertragen. Anschliessend wird die Trägerfolie abgezogen, und das gelbe seitenrichtige Bild haftet fest auf dem Papier.
Anschliessend werden in gleicherweise ein blaues und dann ein rotes Teilfarbenbild passergenau auf das gelbe Teilfarbenbild übertragen. Es wird in gleicher Weise wie bei dem gelben Bild gearbeitet, nurwird jeweils der gelbe Farbstoff in der Schicht durch die halbe Gewichtsmenge Jmperonblau KB bzw. zwei Drittel seiner Gewichtsmenge an Imperonrot KB ersetzt. Die letzte Trägerfolie kann zum Schutz auf demDreifarbenbild verbleiben. Um ein tonwertechteres Ergebnis zu erhalten, können die Schichtdicken und Pigmentkonzentrationen noch feiner abgestimmt und die Teilbilder nach dem Übertragen ohne Vorlagenachbelichtetwer- den.
Beispiel 2: Auf den gleichen Träger wie in Beispiel 1 werden aus Methyläthylketon Schichten folgender Zusammensetzung aufgetragen :
EMI4.1
<tb>
<tb> 30,8% <SEP> Novolak
<tb> 7,7% <SEP> Vinylacetat-Crotonsäure-Mischpolymerisat
<tb> (Molekulargewicht <SEP> etwa <SEP> 100000, <SEP> Säurezahl <SEP> bis <SEP> etwa <SEP> 35)
<tb> 20,5% <SEP> Estergemisch <SEP> aus <SEP> 2,3, <SEP> 4-Trihydroxy-benzophenon <SEP> und
<tb> Naphthochinon- <SEP> (1, <SEP> 2)-diazid- <SEP> (2)-5-sulfonsäure <SEP>
<tb> 15, <SEP> 4% <SEP> Plexisol <SEP> B <SEP> 574 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb> 25,6% <SEP> Lutonal <SEP> A <SEP> 25 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb>
Auf die getrockneten Schichten werden Deckfolien wie in Beispiel 1 aufgebracht.
In verschiedenen Versuchen werden mit Schichtgewichten von 8 bis 40 g/m2 bezüglich Kopie und Übertragen auf gereinigte Kupferplatten zur Herstellung von kopierten Schaltungen gute Ergebnisse erzielt. Dazu wird nach dem Abziehen der Polyäthylen-Deckfolie die Schicht bei 120 bis 1300C auf das Werkstück laminiert, die Trägerfolie abgezogen, zirka 10 min bei 1000C nachgetrocknet, belichtet und mit 20%iger Trinatriumphosphatlösung in einer Schale oder in einem Sprühgerät durch Spritzen mit 2 bis 6 atü entwickelt. Die Schicht ist hervorragend geeignet als Resist für Ätzprozesse, z. B. für das Wegätzen des freigelegten Kupfers mit Ferrichlorid-Lösung, und als Galvanoresist.
Bei der Kopie mit 40 J1 dicker Schicht können die freigelegten Bildteile geradwandigmit Metall, z. B. Kupfer oder Blei/Zinn-Legierung, galvanisch verstärkt und die Metallschicht dann noch galvanisch vernickelt und vergoldet werden. Dann kann mit Lösungsmitteln, z. B. Aceton, oder durch Nachbelichten ohne Vorlage und Behandeln mit dem Entwickler der Resist entschichtet und das freigelegte Basiskupfer weggeätzt werden. Beim galvanischen Verkupfern kann verwendet werden das saure "Feinkorn-Kupferplastic- bad MS"oder das alkalische Kupferpyrophosphat-Bad, zum Vernickeln das Nickelbad "Norroa", alle von Fa. Schlötter, Geislingen/Steige, und zum Vergolden das Goldbad"Antronex N"der Fa. Blasberg, Solingen.
Zur Herstellung durchkontaktierter Schaltungen ist dieser Positiv-Trockenresist ebenfalls gut geeignet, da beim Laminieren die Bohrlöcher überdeckt werden und die unbelichtete freitragende Schicht die Entwicklung und auch satz-fund Galvanoprozesse aushält.
Beispiel 3: Auf eine entsprechend Beispiel 1 vorbehandelte 12 J1 dicke Polyesterfolie wird eine etwa 15 J1 dicke Schicht folgender Zusammensetzung aufgebracht :
EMI4.2
<tb>
<tb> 30, <SEP> 8% <SEP> Novolak
<tb> 20, <SEP> 5% <SEP> Diazoverbindung <SEP> wie <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2
<tb> 5, <SEP> 1% <SEP> Plexisol <SEP> B <SEP> 574 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb> 5, <SEP> 1% <SEP> Polyäthylacrylat, <SEP> hochviskos <SEP> (Plexisol <SEP> 372) <SEP>
<tb> 12, <SEP> 8% <SEP> Polyvinylmethyläther <SEP>
<tb> 25, <SEP> 6% <SEP> Lutonal <SEP> A <SEP> 25 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb>
Die Schicht kann auch angefärbt werden, z. B. mit 0, 3% Kristallviolett.
Durch ein-, zwei- oder dreimaliges Laminieren dieser Schicht auf einander nach Abziehen der vorhergehenden Trägerfolie können Schichtdicken von 15 u und dem Mehrfachen von 15 jU aus dem Positiv-Trockenresist aufgebaut werden. Die Belch-
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tungszeit nimmt in erster Näherung proportional zur Schichtdicke zu. Vor dem Belichten wird vorzugsweise kurz nachgetrocknet, damit die Vorlage nicht an der etwas haftklebenden Schicht hängenbleibt.
Es wird mit dem folgenden wässerig-alkalischen Entwickler (PH zirka 11):
EMI5.1
<tb>
<tb> 7, <SEP> 5g <SEP> NagPO <SEP> . <SEP> 12H <SEP> O
<tb> 3,5 <SEP> g <SEP> Natriummetasilikat
<tb> 2, <SEP> 0 <SEP> g <SEP> NaH2 <SEP> PO. <SEP> H <SEP> O
<tb> 1, <SEP> 0 <SEP> g <SEP> Natriumhexametaphosphat
<tb> 1, <SEP> 0 <SEP> g <SEP> wasserlösliche <SEP> Methylcellulose
<tb> 985,0 <SEP> g <SEP> destilliertes <SEP> Wasser
<tb>
entwickelt und je nach Schichtdicke und Werkstück geätzt oder galvanisiert.
Beispiel 4: Auf eine 50 p. dicke, wie in Beispiel 1 vorbehandelte Polyesterfolie wird aus Äthylenglykolmonoäthyläther die folgende 8 jU dicke Schicht aufgetragen :
EMI5.2
<tb>
<tb> 30 <SEP> % <SEP> Novolak
<tb> 7,7% <SEP> Vinylacetat-Mischpolymerisat <SEP> wie <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2
<tb> 20 <SEP> % <SEP> der <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2 <SEP> verwendeten <SEP> Diazoverbindung
<tb> 10, <SEP> 2% <SEP> Plexisol <SEP> B <SEP> 574 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb> 5,1% <SEP> Polyvinylmethyläther
<tb> 26, <SEP> 6% <SEP> Lutonal <SEP> A <SEP> 25 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb> 1, <SEP> 3% <SEP> Kristallviolett
<tb>
Dann wird, wie in Beispiel 1 beschrieben, eine Deckfolie aufgebracht.
Nach dem Abziehen der Deckfolie wird diese gefärbte Resistschicht auf eine mit dünner Weisspigment- Schicht versehene Polyesterfolie auflaminiert und entweder vor oder nach dem Abziehen der Trägerfolie belichtet. Zur Erzeugung eines Bildes der Vorlage auf diesem Träger braucht die gleichmässige glatte Schicht dannnurnochwässerig-alkalischentwickelt undgetrocknet zu werden. Belichten bzw. Belichten und Entwickeln auf der Trägerfolie und Laminieren der belichteten bzw. schon entwickelten Schicht ist ebenfalls möglich.
Beispiel 5 : Auf 100 u dicke, wie in Beispiel 1 vorbehandelte Polyesterfolien wird je eine 12 Jl dicke gelbe, blaue und rote Positiv-Resistschicht folgender Zusammensetzung aus Äthylenglykolmonomethyläther aufgetragen :
EMI5.3
<tb>
<tb> 30% <SEP> Novolak
<tb> 7% <SEP> Vinylacetat-Mischpolymerisat <SEP> wie <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2
<tb> 20% <SEP> der <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2 <SEP> verwendeten <SEP> Diazoverbindung
<tb> 15% <SEP> Plexisol <SEP> B <SEP> 574 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb> 25% <SEP> Lutonal <SEP> A <SEP> 25 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb> 3% <SEP> Farbstoff
<tb>
EMI5.4
EMI5.5
<tb>
<tb> is <SEP> piel <SEP> 6 <SEP> :
35 <SEP> % <SEP> Novolak
<tb> 8, <SEP> 8% <SEP> Vinylacetat-Mischpolymerisat <SEP> wie <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2
<tb> 23 <SEP> % <SEP> der <SEP> im <SEP> Beispiel <SEP> 2 <SEP> verwendeten <SEP> Diazoverbindung
<tb> 11, <SEP> 8% <SEP> des <SEP> unten <SEP> angegebenen <SEP> Mischpolymerisats
<tb> 17, <SEP> 6% <SEP> Plexisol <SEP> B <SEP> 574 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb> 3 <SEP> % <SEP> Polyvinylisobutyläther, <SEP> höherviskos <SEP> (Lutonal <SEP> I <SEP> 60) <SEP>
<tb> 0,8% <SEP> Kristallviolett
<tb>
Auf die getrocknete Schicht wird eine Deckfolie wie in Beispiel 1 aufkaschiert.
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Das Mischpolymerisat wird durch Polymerisieren von 2 Gew.-Teilen Athylacrylat mit 18 Gew.-Teilen Methacrylsäure in Methyläthylketon in Gegenwart von Azodiisobutyronitril hergestellt und hat die Säurezahl 48, 8.
Diese Schicht wird bei 135 C von beiden Seiten auf einen doppelseitig mit einer Kupferhaut versehenen Isolierstoffträger aufgebracht und dann von beiden Trägerfolien befreit, nachgetrocknet, beidseitig belichtet, an den nach der Belichtung erkennbaren Stellen gebohrt und dann mit dem in Beispiel 3 beschriebenen Entwickler entwickelt. Zur Herstellung durchkontaktierter Leiterplatten kann anschliessend durch stromloses Verkupfern der Lochwandungen, galvanisches Verstärken und Ätzen nach einem der bekannten Verfahren weiter gearbeitet werden.
Beispiel 7 : Auf eine 25 ju dicke Folie aus biaxial verstrecktem und thermofixiertem Polyäthylen- terephthalat wurde die folgende Lösung aufgebracht :
EMI6.1
<tb>
<tb> 100 <SEP> g <SEP> Trichloressigsäure
<tb> 797 <SEP> g <SEP> Wasser
<tb> 3 <SEP> g <SEP> handelsübliches <SEP> Reinigungsmittel, <SEP> dessen <SEP> aktive
<tb> Bestandteile <SEP> aus <SEP> Fettalkoholsulfaten, <SEP> Alkylarylsulfonaten <SEP> und <SEP> Alkylphenolpolyglykoläther
<tb> bestehen
<tb> 100 <SEP> g <SEP> 10%ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> von <SEP> Polyvinylalkohol
<tb> (1, <SEP> 5 <SEP> Vol.
<SEP> -% <SEP> Restacetylgruppen, <SEP> Viskosität
<tb> 20 <SEP> cP <SEP> nach <SEP> DIN <SEP> 53015, <SEP> gemessen <SEP> in <SEP> 4%iger
<tb> wässeriger <SEP> Lösung <SEP> bei <SEP> 200C)
<tb>
EMI6.2
sammensetzung aufgebracht :
EMI6.3
<tb>
<tb> 30, <SEP> 8% <SEP> Novolak <SEP>
<tb> 7, <SEP> 7% <SEP> Vinylacetat-Crotonsäure-Mischpolymerisat
<tb> wie <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2
<tb> 20, <SEP> 5% <SEP> Naphthochinon- <SEP> (l, <SEP> 2) <SEP> -diazid- <SEP> (2) <SEP> -5-sulfonsäure- <SEP>
<tb> -n-butylamid
<tb> 15, <SEP> 4% <SEP> Plexisol <SEP> B <SEP> 574 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> l) <SEP>
<tb> 25, <SEP> 6% <SEP> Lutonal <SEP> A <SEP> 25 <SEP> (vgl. <SEP> Beispiel <SEP> 1)
<tb>
Auf die getrocknete Schicht, die ein Gewicht von etwa 15 g/m ? hatte, wurde eine Deckfolie wie in Beispiel 1 aufgebracht.
Bei der Verarbeitung wie in Beispiel 2 wurden ähnlich gute Ergebnisse erhalten.
Beispiel 8 : Auf eine 25 je- dicke Polyesterfolie wie in Beispiel 7 wurde die folgende Lösung aufgebracht :
EMI6.4
<tb>
<tb> 100 <SEP> g <SEP> Trichloressigsäure
<tb> 770 <SEP> g <SEP> Wasser
<tb> 30 <SEP> g <SEP> 10% <SEP> ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> von <SEP> Alkylbenzolsulfonat
<tb> 100 <SEP> g <SEP> 10%iger <SEP> Polyvinylalkohol <SEP> wie <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 7
<tb>
Die Folie wurde auf etwa 130 C erwärmt. Die Schichtdicke betrug 0,5 jU.
Auf die vorbehandelte Folie wurde aus einer Lösung in Methyläthylketon eine Schicht der folgenden Zusammensetzung aufgebracht :
EMI6.5
<tb>
<tb> 40,2% <SEP> Novolak
<tb> 11,7% <SEP> der <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 1 <SEP> angegebenen <SEP> Diazoverbindung
<tb> 10, <SEP> 0% <SEP> Vinylacetat-Crotonsäure-Mischpolymerisat
<tb> wie <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 2
<tb>
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EMI7.1
<tb>
<tb> 3, <SEP> 5% <SEP> Mischpolymerisat <SEP> aus <SEP> n-Hexylmethacrylat-Methyl-
<tb> - <SEP> methacrylat- <SEP> Methacrylsäure <SEP> (Gewichtsverhältnis <SEP>
<tb> 5 <SEP> :1:2;
<SEP> Säureazahl <SEP> 158)
<tb> 16, <SEP> 1% <SEP> Polyäthylacrylat, <SEP> niedrigviskos <SEP> (Plexisol <SEP> B <SEP> 574,
<tb> Röhm <SEP> & <SEP> Haas)
<tb> 16, <SEP> 8% <SEP> Polyäthylenglykol <SEP> (Molgewicht <SEP> um <SEP> 2000)
<tb> 1, <SEP> 7% <SEP> Naphthochinon-(1,2)-diazid-(2)-4-sulfonsäurechlorid
<tb> 0,2% <SEP> Kristallviolett
<tb>
EMI7.2
guter Photoresist erhalten.
Beispiel9 :EinePolyäthylenterephthalatfoliewurdemitderfolgendenLösungbehandeltundbei130 C getrocknet :
EMI7.3
<tb>
<tb> 100 <SEP> g <SEP> Trichloressigsäure
<tb> 670 <SEP> g <SEP> Wasser
<tb> 30 <SEP> g <SEP> Laurylpolyglykoläther-sulfonsaures <SEP> Natrium,
<tb> 10%ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung
<tb> 200 <SEP> g <SEP> 5% <SEP> ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> von <SEP> Polyacrylamid <SEP> mit
<tb> einem <SEP> Molekulargewicht <SEP> von <SEP> etwa <SEP> 200000 <SEP> und
<tb> geringen <SEP> Mengen <SEP> freier <SEP> Säuregruppen
<tb>
Die vorbehandelte Folie wurde mit der in Beispiel 2 beschriebenen lichtempfindlichen Schicht überzogen und wie dort beschrieben verarbeitet. Es wurde ein Ätzresist mit guter Ätzfestigkeit erhalten.
Ähnliche Ergebnisse wurden erhalten, wenn die Polyesterfolie statt mit der oben beschriebenen Lösung mit der folgenden Lösung vorbehandelt wurde :
EMI7.4
<tb>
<tb> 100 <SEP> g <SEP> Trichloressigsäure
<tb> 750 <SEP> g <SEP> Wasser
<tb> 50 <SEP> g <SEP> des <SEP> oben <SEP> angegebenen <SEP> Netzmittels
<tb> 100 <SEP> g <SEP> 5% <SEP> ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> von <SEP> Carboxymethylcellulose, <SEP> die <SEP> als <SEP> 2% <SEP> ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> bei
<tb> 20 C <SEP> eine <SEP> Viskosität <SEP> von <SEP> 30 <SEP> cP <SEP> hat
<tb>
B e i s p i e l 10:
Eine Polyäthyylenterephthalatfolie wurde mit der folgenden Lösung behandelt und bei l300C getrocknet :
EMI7.5
<tb>
<tb> 100 <SEP> g <SEP> Trichloressigsäure
<tb> 750 <SEP> g <SEP> Wasser
<tb> 50 <SEP> g <SEP> des <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 9 <SEP> angegebenen <SEP> Netzmittels
<tb> 100 <SEP> g <SEP> 5% <SEP> ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> von <SEP> Hydroxyäthylcellulose <SEP> mit <SEP> dem <SEP> Molekulargewicht <SEP> 40000
<tb>
Auf die vorbehandelte Folie wurde eine lichtempfindliche Schicht aufgebracht, wie sie in Beispiel 8 beschrieben ist, nur wurde das Polyglykol mit dem Molekulargewicht 2000 durch die gleiche Menge Polyäthylenglykol mit dem Molekulargewicht 1000 ersetzt.
Das Material liess sich zu ausgezeichneten Ätz- und Galvanoresists verarbeiten.
Ähnliche Ergebnisse wurden erhalten, wenn die Vorbehandlung der Folie mit der folgenden Lösung durchgeführt wurde :
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<tb>
<tb> 100 <SEP> g <SEP> Trichloressigsäure
<tb> 570 <SEP> g <SEP> Wasser
<tb>
<Desc/Clms Page number 8>
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<tb>
<tb> 30 <SEP> g <SEP> des <SEP> in <SEP> Beispiel <SEP> 8 <SEP> verwendeten <SEP> Netzmittels
<tb> 200 <SEP> g <SEP> 5%ige <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> von <SEP> Polyvinylalkohol <SEP> mit
<tb> einem <SEP> Hydrolysegrad <SEP> von <SEP> 88 <SEP> Mol-% <SEP> und <SEP> einer
<tb> Viskosität <SEP> von <SEP> 18 <SEP> cP <SEP> nach <SEP> DIN <SEP> 53015, <SEP> gemessen
<tb> in <SEP> 4%iger <SEP> wässeriger <SEP> Lösung <SEP> bei <SEP> 200C
<tb> 100 <SEP> g <SEP> 1% <SEP> igue <SEP> wässerige <SEP> Lösung <SEP> von <SEP> Dimethylolharnstoff
<tb>
Die Folie wurde hier auf etwa 1600C erwärmt.
PATENTANSPRÜCHE :
1. Verfahren zur Übertragung einer trockenen lichtempfindlichen Schicht, die einen Ester oder ein Amid einer o-Naphthochinondiazidsulfonsäure, ein alkalilösliches Phenolharz und ein Acrylharz enthält, bei dem man die Schicht auf einen temporären Träger aus einer Kunststoffolie aufträgt, gegebenenfalls auf der andern Seite mit einem abziehbaren Deckblatt abdeckt und die trockene Schicht unter Druck und Erwärmen, gegebenenfalls nach Abziehen des Deckblattes, auf einen endgültigen Träger überträgt, dadurch gekenn- zeichnet, dass man als temporären Träger eine Polyesterfolie verwendet und dass man die Oberfläche dieser Folie vor dem Auftragen der lichtempfindlichen Schicht mit einer wässerigen Lösung, die eine gesättigte Halogenfettsäure, ein Netzmittel und ein wasserlösliches Polymerisat enthält,
das mit der Halogen-
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eine Halogenfettsäure mit 2 bis 4 C-Atomen enthält.