DE2202827A1 - Verfahren zur herstellung von gitterelektroden fuer elektrische entladungsgefaesse - Google Patents

Verfahren zur herstellung von gitterelektroden fuer elektrische entladungsgefaesse

Info

Publication number
DE2202827A1
DE2202827A1 DE19722202827 DE2202827A DE2202827A1 DE 2202827 A1 DE2202827 A1 DE 2202827A1 DE 19722202827 DE19722202827 DE 19722202827 DE 2202827 A DE2202827 A DE 2202827A DE 2202827 A1 DE2202827 A1 DE 2202827A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
intermetallic compound
intermediate layer
grid
noble metal
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19722202827
Other languages
English (en)
Other versions
DE2202827C3 (de
DE2202827B2 (de
Inventor
Robert Dr Bachmann
Charley Dipl Ing Buxbaum
Benno Zigerlig
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BBC Brown Boveri AG Switzerland
Original Assignee
Brown Boveri und Cie AG Germany
BBC Brown Boveri France SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brown Boveri und Cie AG Germany, BBC Brown Boveri France SA filed Critical Brown Boveri und Cie AG Germany
Publication of DE2202827A1 publication Critical patent/DE2202827A1/de
Publication of DE2202827B2 publication Critical patent/DE2202827B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2202827C3 publication Critical patent/DE2202827C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J19/00—Details of vacuum tubes of the types covered by group H01J21/00
    • H01J19/28—Non-electron-emitting electrodes; Screens
    • H01J19/30—Non-electron-emitting electrodes; Screens characterised by the material
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2893/00—Discharge tubes and lamps
    • H01J2893/0001—Electrodes and electrode systems suitable for discharge tubes or lamps
    • H01J2893/0012—Constructional arrangements
    • H01J2893/0019—Chemical composition and manufacture
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
    • Y10S428/923—Physical dimension
    • Y10S428/924—Composite
    • Y10S428/926—Thickness of individual layer specified
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
    • Y10S428/9335—Product by special process
    • Y10S428/934—Electrical process
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12014—All metal or with adjacent metals having metal particles
    • Y10T428/12028—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, etc.]
    • Y10T428/12063—Nonparticulate metal component
    • Y10T428/12069—Plural nonparticulate metal components
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771—Transition metal-base component
    • Y10T428/12806—Refractory [Group IVB, VB, or VIB] metal-base component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771—Transition metal-base component
    • Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
    • Y10T428/12875—Platinum group metal-base component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12986—Adjacent functionally defined components

Landscapes

  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Solid Thermionic Cathode (AREA)
  • Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Aktiengesellschaft Brown, Boveri 8c Cie., Baden
Verfahren zur Herstellung von Gitterelektroden für elektrische Entladungsgefässe
Gegenstand vorliegender Erfindung ist ein Veifehren zur Herstellung von Gitterelektroden für elektrische Entladungsgefässe, wobei auf die das Gitter bildenden Drähte eine Zwischenschicht aufgebracht wird, die aus einer hochschmelzenden intermetallischen Verbindung besteht, und welche Zwischenschicht danach mit einer Edelmetallschicht überzogen wird, sowie eine nach dem Verfahren hergestellte Gitterelektrode.
309827/0973
Es ist bekannt, Gitterelektroden zur Verkleinerung der thermischen Emission mit einem Edelmetall der VIII. Gruppe des periodischen Systems, vorzugsweise Platin, zu überziehen. Um die Diffusion des Platins in den Gitterdraht (Grundmetall) zu verkleinern und die Abstrahlfähigkeit zu erhöhen, wurde vorgeschlagen, zwischen dem Grundmetall und dem Ueberzug eine Zwischenschicht anzuordnen. Als zur Herstellung der Zwischenschicht geeignete Materialien wurden Karbide, Boride oder Suizide hochschmelzender Metalle vorgeschlagen.
Diese bekannten Verfahren, besitzen den Nachteil, dass die Beschichtung mit dem Grundmetall oder bei mehreren Beschichtungskomponenten auch unter sich mehr oder wenige: rasch Reaktionen eingehen, deren Reaktionsprodukte durch die Aufdampfprodukte der Th-W-Kathode aktivierbar sind. Alle Verfahren, die Karbide als Zwischenschicht verwenden haben noch den zusätzlichen Nachteil, dass sich mit dem Grundmetall im Laufe der Zeit Karbide bilden, die zur Versprödung des Gitters führen.
309827/0973
Zveck der vorliegenden Erfindung ist die Schaffung einer Gitterelektrode, bei der sich die thermische Emission auch bei wesentlich gesteigerter Belastung nicht erhöht und die zugleich eine geringe und reproduzierbare Sekundäremission bei gesteigerter Hochspannungsfestigkeit besitzt.
Erfindungsgemäss wird dieser Zweck dadurch erreicht, dass die intermetallische Verbindung für die Zwischenschicht aus einem hochschmelzenden Metall, wie Zirkon oder Titan, und einem Metall der VIII. Gruppe des periodischen Systems besteht.
Die nach dem Verfahren hergestellte Ee^ktrode ist dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung aus einem hochschmelzenden Metall und einem Edelmetall der VIII. Gruppe des periodischen Systems gebildet ist.
Mit Vorteil wird die intermetallische Verbindung als Pulver auf den Elektrodenkern aufgetragen und danach gesintert. Durch die Wahl der Pulverkörnung kann-die Oberflächenrauhigkeit genau festgelegt und damit die Sekundäremission der Elektrode gezielt beeinflusst werden.
309827/0973
Ausführungsbeispi el
Stöchiometrische Mengen von Zirkonium und Platin werden im Vakuum zusammengeschmolzen, wobei sich die intermetallische Verbindung ZrPt- bildet. Die erstarrten Probei dieser intermetallischen Verbindung werden in einem Mörser gebrochen und anschliessend in einer mit einem harten Material wie Wolframkarbid ausgekleideten Mühle bis zur Erreichung der gewünschten Korngrösse, vorzugsweise 3/u gemahlen.
Das geformte Gitter einer herkömmlichen Senderöhre, bestehend aus Molybdän- oder Wolframdrähten, wird zur Entfernung der Oxyde etc. bei 1000 bis 1100° C in Wasserstoff geglüht. Darauf wird das Gitter kataphoretisch mit ZrPt-, dessen Herstellung in Form eines Pulvers vorhergehend beschrieben wurde, vorzugsweise in einer Schichtdicke von 5-lo ju überzogen. Danach wird das Gitter mit der aufgebrachten Zwischenschicht unter Vakuum oder Schutzgas während 2o Minuten bei 15OO-16OO°C geglüht, wobei die aufgebrachte Zwischenschicht unter Beibehaltung der Rauhigkeit geeintert wird. Danach wird das mit der gesinterten Zwischenschicht versehene Gitter elektroly-
309827/0973
tisch mit einer 3 ;u dicken Platinschicht überzogen und dann zur Entgasung nochmals bei einer Temperatur von 15OO-16ÖO°C unter Vakuum geglüht. Nach erfolgter Entgasung ist das Gitter einbaufertig.
Die derart hergestellten Gitter zeigen eine wesentlich gesteigerte Haftfestigkeit zwischen der Zwischenschicht und dem Grundmetall einerseits und dem Platinüberzug anderseits die als Folge eine gesteigerte Hochspannungsfestigkeit bewirkt. Diese hohe Haftfestigkeit erhöht zudem die mechanischen Eigenschaften des Gitters, so dass sehr feine Gitter, wie z.B. Maschengitter hergestellt werden können.
Durch die Wahl der Körnung des auf das Gitter aufgetragenen ZrPt»-Pulvers kann die Rauhigkeit der Gitteroberfläche und als Folge davon die Sekundäremission reproduzierbar verändert werden.
Weiter werden bei diesen Gittern höhere spezifische Abstrahlungswerte gemessen und eine höhere thermische Belastbarkeit festgestellt was eine höhere elektrische Belastung gestattet.
309827/0973
Je nach der gewählten Rauhigkeit der Gi oroberfläche Iiessen sich bei 15250K spezifische Abstrahlungswerte von 2o W/cm bis 29 W/cm erzielen. Dies entspricht 65% bis 95% der Abstrahlung eines schwarzen Körpers.
Bei der gleichen Temperatur beträgt die spezifische Primäremission ca. 1 /uA/cm . Dies entspricht etwa den Betriebsverhältnissen in elektrischen Entladungsgefässen. Diese Primäremission erhöht sichijt auch nach langzeitiger thermisches Ueberlastung auf 18OO°K nicht.
309827/0973

Claims (11)

Patentansprüche
1. Verfahren zur Herstellung von Gitterelektroden für elektrische Entladungsgefässe, wobei auf die das Gitter bildenden Drähte eine Zwischenschicht aufgebracht wird, die aus einer hochschmelzenden, intermetallischen Verbindung besteht, und welche Zwischenschicht danach mit einer Edelmetallschicht überzogen wird, dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung für die Zwischenschicht aus einem hochschmelzenden Metall und einem Metall der VIII. Gruppe des periodischen Systems besteht.
2. Nach dem Verfahren gemäss Anspruch 1 hergestellte, aus Drähten gebildete Gitterelektrode bestehend aus einem Grundmetall mit einer Zwischenschicht aus einer intermetallischen Verbindung die mit einer Edelmetallschicht überzogen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung aus einem hochschmelzenden Metall und einem Edelmetall der VIII. Gruppe des periodischen Systems besteht.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das hochschmelzende Metall Zirkon ist.
309827/0973
- 8 - 178/71
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung ZrPt« ist.
.5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Edelmetallschicht aus Platin besteht.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung in Pulverform auf die Gitterelektrode aufgetragen und danach gesintert wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die pulverförmige intermetallische Verbindung elektrophoretisch auf den Elektrodenkern aufgetragen wird, bis die Zwischenschichtdicke 5-10 μ beträgt, und dass danach die Gitterelektrode zur Sinterung der Zwischenschicht in inerter Atmosphäre oder Vakuum auf 1500-1600 ° C während ca. 20 Minuten erhitzt wird.
8. Verfahren nach Ansprüchen 5 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bildung der Edelmetallschicht das Platin elektrolytisch aufgetragen und die Gitterelektrode danach bei 1500-1600 ° C im Vakuum geglüht wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichtdicke 3 yu beträgt.
309827/0973
- 9 - 178/71
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das hochschmelzende Metall Titan ist.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dc.durch gekennzeichnet, dass die intermetallische Verbindung eine Titan-Platin-Verbindung ist.
Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie.
ORIGINAL INSPECTED
30 9 827/0973
DE2202827A 1971-12-29 1972-01-21 Gitterelektrode für elektrische Entladungsgefäße und Verfahren zu ihrer Herstellung Expired DE2202827C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1903771A CH539945A (de) 1971-12-29 1971-12-29 Verfahren zur Herstellung von Gitterelektroden für elektrische Entladungsgefässe

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2202827A1 true DE2202827A1 (de) 1973-07-05
DE2202827B2 DE2202827B2 (de) 1979-11-08
DE2202827C3 DE2202827C3 (de) 1984-05-30

Family

ID=4436922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2202827A Expired DE2202827C3 (de) 1971-12-29 1972-01-21 Gitterelektrode für elektrische Entladungsgefäße und Verfahren zu ihrer Herstellung

Country Status (8)

Country Link
US (1) US3816079A (de)
JP (1) JPS5812694B2 (de)
CH (1) CH539945A (de)
DE (1) DE2202827C3 (de)
FR (1) FR2166052B1 (de)
GB (1) GB1362351A (de)
IT (1) IT972899B (de)
NL (1) NL176320C (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2454693A1 (fr) * 1979-04-20 1980-11-14 Bbc Brown Boveri & Cie Enceinte de decharge electrique
RU2604836C1 (ru) * 2015-06-30 2016-12-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Способ и устройство определения температурных характеристик антиэмиссионных материалов

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4137370A (en) * 1977-08-16 1979-01-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Titanium and titanium alloys ion plated with noble metals and their alloys
GB2103135B (en) * 1980-10-27 1985-08-14 Owens Corning Fiberglass Corp Articles for contacting molten glass
GB2117795A (en) * 1982-04-06 1983-10-19 Standard Telephones Cables Ltd Fabricating capacitors; forming ceramic films

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1111301B (de) * 1958-11-28 1961-07-20 Tesla Np Gitter fuer Elektronenroehren mit einem Gitterdraht, dessen Oberflaeche einen UEberzug aus einer Edelmetall-Legierung aufweist
US3164740A (en) * 1960-04-29 1965-01-05 Rca Corp Electron tube grids and method of making the same
GB1177302A (en) * 1967-07-21 1970-01-07 Siemens Ag Improvements in or relating to Grid Electrodes
DE1614398B2 (de) * 1967-01-04 1971-10-21 Siemens AG, 1000 Berlin u 8000 München Gitterdraht fuer elektronenroehren

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2516841A (en) * 1946-01-16 1950-08-01 Standard Telephones Cables Ltd Grid for electron discharge devices
NL69250C (de) * 1946-03-05
US2788460A (en) * 1951-05-23 1957-04-09 Itt Electrodes for electron discharge devices and methods of making same
US2826541A (en) * 1954-06-15 1958-03-11 Vitro Corp Of America Method of making ceramic-clad metal structures

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1111301B (de) * 1958-11-28 1961-07-20 Tesla Np Gitter fuer Elektronenroehren mit einem Gitterdraht, dessen Oberflaeche einen UEberzug aus einer Edelmetall-Legierung aufweist
US3164740A (en) * 1960-04-29 1965-01-05 Rca Corp Electron tube grids and method of making the same
DE1614398B2 (de) * 1967-01-04 1971-10-21 Siemens AG, 1000 Berlin u 8000 München Gitterdraht fuer elektronenroehren
GB1177302A (en) * 1967-07-21 1970-01-07 Siemens Ag Improvements in or relating to Grid Electrodes

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2454693A1 (fr) * 1979-04-20 1980-11-14 Bbc Brown Boveri & Cie Enceinte de decharge electrique
RU2604836C1 (ru) * 2015-06-30 2016-12-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" Способ и устройство определения температурных характеристик антиэмиссионных материалов

Also Published As

Publication number Publication date
JPS4874968A (de) 1973-10-09
CH539945A (de) 1973-07-31
NL176320C (nl) 1985-03-18
FR2166052B1 (de) 1976-08-27
DE2202827C3 (de) 1984-05-30
FR2166052A1 (de) 1973-08-10
US3816079A (en) 1974-06-11
IT972899B (it) 1974-05-31
JPS5812694B2 (ja) 1983-03-09
GB1362351A (en) 1974-08-07
NL176320B (nl) 1984-10-16
NL7217592A (de) 1973-07-03
DE2202827B2 (de) 1979-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1764681A1 (de) Drehanode fuer Roentgenroehren
DE1234858B (de) Gluehkathode fuer elektrische Entladungsroehren
EP0143222B1 (de) Glühkathode mit hohem Emissionsvermögen für eine Elektronenröhre und Verfahren zu deren Herstellung
DE2202827A1 (de) Verfahren zur herstellung von gitterelektroden fuer elektrische entladungsgefaesse
DE3335602A1 (de) Gasentladungsableiter und herstellungsverfahren
DE1169593B (de) Kathode hoher Elektronenemission
DE2947313C2 (de) Elektronenröhrenkathode
EP0907960A2 (de) Kalte elektrode für gasentladungen
US1883898A (en) Thermionic cathode
AT2017U1 (de) Verwendung einer molybdän-/wolfram-legierung in bauteilen für glasschmelzen
DE1270698B (de) Elektrische Entladungsroehre mit einem nicht-verdampfenden Gasbinder und Verfahren zur Herstellung dieser Gasbinderschicht
DE1800945B2 (de) Verfahren und elektrodenausgangsmaterial fuer die herstellung einer thorium filmkathode fuer elektrische entladungsgefaesse
DE860525C (de) Bimetall-Kontakt
DE2511539A1 (de) Vorrichtung zur thermochemischen behandlung durch ionenbeschuss hoher intensitaet
AT351645B (de) Erschuetterungs- und stosssichere kathode und verfahren zu ihrer herstellung
DE1005651B (de) Verfahren zur Herstellung thermionischer Kathoden fuer elektrische Entladungsgefaesse
DE1614730C3 (de) Schutzrohrankerkontakt
DE1421047B2 (de)
DE2028076C3 (de) Verfahren zur Kontaktierung von Siliziumkarbid-Halbleiterkörpern
DE869719C (de) Verfahren zum UEberziehen von Metalloberflaechen mit Zirkonschichten
DE1266510B (de) Halbleitervorrichtung mit einem Halbleiterkoerper mit mindestens einem Kontakt und Verfahren zum Herstellen
DE1800945C (de) Verfahren und Elektrodenausgangsma tenal fur die Herstellung einer Thorium Filmkathode fur elektrische Entladungs gefäße
DE627176C (de) Indirekt geheizte Kathode
DE2122950A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Antikathode für eine Röntgenröhre
AT229368B (de) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Kontaktes an einer oxydüberzogenen Halbleiterscheibe

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8225 Change of the main classification

Ipc: H01J 19/38

8281 Inventor (new situation)

Free format text: BACHMANN, ROBERT, DR., STARETSCHWIL, CH BUXBAUM, CHARLEY, DIPL.-ING., BADEN, CH ZIGERLIG, BENNO, NUSSBAUMEN, CH

C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: BBC BROWN BOVERI AG, BADEN, AARGAU, CH

8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: DERZEIT KEIN VERTRETER BESTELLT