DE1764681A1 - Drehanode fuer Roentgenroehren - Google Patents
Drehanode fuer RoentgenroehrenInfo
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
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- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
- H01J35/108—Substrates for and bonding of emissive target, e.g. composite structures
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Description
» ?ϊ?!;ΐ Augsburg, den 25. Juni I968
5159/14 Bu/Em
Patentanmeldung ■
Firma Metallwerk Plansee AG, Reutte/Tirol, Österreich
"Drehanode für Röntgenröhren"
Drehanoden für Röntgenröhren wurden bisher zumeist aus Wolfram hergestellt, weil dieses Me-,tall
wegen seiner hohen Dichte und seiner hohen
Ordnungszahl im Periodischen System eine gute Auebeute
an Röntgenstrahlen gewährleistet. Außerdem kann Wolfram wegen seines hohen Schmelzpunktes
thermisch sehr hoch belastet werden. Um die vorteilhaften Eigenschaften des Wolframs auszunutzen,
genügt es jedoch, lediglich die Teile der Drehanode*!
aus Wolfram herzustellen, die den auftreffenden Elektronen
ausgesetzt sind. Man war deshalb bemüht, für die Basiskörper von Drehanoden Stoffe zu finden, die i
geeigneter als Wolfram sind. Bewährt hat sich hiefür _
vor allem Molybdän. Es wurde aber auch bereits vor» geschlagen, die Basiskörper von Drehanoden aus Graphit
herzustellen· Von Graphit versprach man sich deshalb
ein sehr günstiges Verhalten, weil die spezifische Wärme des Graphits erheblich höher ist als die von ■
Wolfram oder Molybdän* Graphit müßte deshalb hervorragend geeignet «ein, kurzzeitige Spitzenbelastungen
der Drehanoden aufzunehmen· Zn der Praxis konnten «ich
auf Graphit aufgeb&ut« Drehanoden bisher nicht durch-
1 O98AQ/0469 bad ORIGINAL -.>
* -
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setzen. Es besteht die Gefahr, daß die auf dem χ— Grundkörper aufgebrachten Wolframschichten bald
CO rissig werden und sich teilweise ablösen. Verur- <£>
sacht werden diese Erscheinungen durch Reaktionen t~~ zwischen der Wolframschickt und dem Graphitgrundkörper,
die zur Ausbildung von spröden Zwischenschichten führen, sowie durch das unterschiedliche
Ausdehnungsverhalten dieser Teile.
Die Erfindung betrifft eine Röntgendrehanode
mit einem Basiskörper aus Graphit, die diese Nach-
* teile nicht aufweist. Die Erfindung besteht darin,
daß der Graphitgrundkörper zumindest an den Auftreffstellen für die Elektronen mit einem Überzug
aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung bedeckt ist.
Drehanoden mit einem Grundkörper aus Molybdän, auf dem ein Überzug aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung
aufgebaut ist, sind an sich bereite bekannt. Sie zeichnen sich durch einen geringen Dosisverlust
: bei längerem Beirieb aus. Die besonderen Vorzüge,
die die Aufbringung von Wolfram-Rhenium-Legierungen
; an den Auftreffstellen für die Elektronen mit sich ι bringt, kommen aber erst richtig zur Geltung, wenn
; als Grundkörper Graphit verwendet wird. In dieser Weise aufgebaute Röntgendrehanoden zeichnen sich
durch eine besonders hohe Leistungsfähigkeit und lange Lebensdauer aus. Die hohe.Wärmekapazität des
Graphite bewahrt die Wolf ra»-Rhenium-Überzüge auch
bei sehr hohen Belastungen vor einer thermischen Überbeanspruchung. Die Gefahr einer Ablösung der aus
WoIfram-HhöniuM bestehend·» Deckschicht ist wegen
: 109840/0A6 9 " 3 "
BAD ORIGINAL
5159/1* Gr/JSm - j - -•-
ihrer guten Dukilität nicht gegeben. Im Gegensatz zu reinem Wolfram reagieren Wolfram-Rhenium-Legie-
(j=> rungen erheblich weniger mit Graphit. Eine Reaktion (Jj zwischen dem Graphitgrundkörper und dem aufgebrachten
r— Wolfram-Rhenium-Uberzug kann aber grundsätzlich unter- '
bunden werden, indem eine aus Rhenium bestehende Zwischenschicht vorgesehen wird.
Anhand der Zeichnung wird ein Ausführungsbeispiel
der Erfindung noch näher erläutert; es zeigen:
Fig. 1 eine zur Hälfte aufgeschnittene Seitenansicht
* der Drehanode,
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Drehanode gemäß Fig.1. -
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Drehanode gemäß Fig.1. -
In den Fig. 1 und 2 ist eine Röntgendrehanode gemäß
der Erfindung dargestellt. Der scheibenförmig ausgebildete
Grundkörper 1 aus Graphit ist erheblich dik-
■ ■■■■'.' ■ ]
ker als bei den bekannten Drehanoden mit einem Grund- ■
körper aus Wolfram oder Molybdän. Trotzdem ist das Gewicht der Drehanode wegen des kleinen spezifischen Ge- ;
wichtes von Graphit nur'Verhältnismäßig gering.Auf dem
Graphitgrundkörρer 1 ist auf der,den auftreffenden j
Elektroden ausgesetzten Seite zunächst eine dünne . ; "
Zwischenschicht 2 aus Rhenium aufgebracht und darüber j
'■'.■■ . i
eine Deckschicht 3, die aus einer Wolframlegierung mit j
1094 Rhenium besteht. Das Auftragen dieser Schichten
kann, durch an sich bekannte Verfahren, wie Aufsprit- [
"° zen, elektrolytische Abscheidung, „thermische Zer- i
to . I
™ . setzung von metallischen Verbindungen usw. vorgenommen j
^ werden· Ein verhältnismäßig einfaches Verfahren besteht
*- in der Abscheidung aus gasförmigen Verbindungen· Ge-
eignet hierzu sind !'Fluoride und andere Halogenide
der abzuscheidenden Metalle. Im vorliegenden Falle kann so vorgegangen werden, daß zunächst durch
5159/1^ Bu/Em - 4 - 25. Juni I968
thermische Zersetzung eines Gemisches . von Wasserstoff und Rhenium-Hexafluorid die
~? Rheniumschicht und anschließend aus einem Ge-(q,
misch, das zusätzlich Wolfram-Hexafluorid ent-
,__ hält, die Wolfram-Rhenium-Legierungsschicht abgeschieden
werden .^as Aufbringen der beiden Schichten
kann in einem einzigen Arbeitsprozeß vorgenommen werden, weil lediglich die Zusammensetzung der Gas»
gemische bei der Abscheidung geändert werden muß. Als Zwischenschicht genügen schon Schichten mit
einer Stärke von wenigen Mikronen. Als Wolfram-
(■
Rhenium-Deckschichten haben sich Schichten bewährt, die eine Stärke von mindestens 0,1 mm aufweisen.
Der Rheniumgehalt der Deckschichten kann im Bereich von 1 - 35 #t vorzugsweise von 5-25 %f liegen.
- Patentansprüche -
1 0 9 8 A 0 / 0 A θ 9 ßAn
BAD
Claims (2)
- 51-59/H Bu/Em - . 5 . 25. Juni 1968/l·jRöntgendrehanode mit einem Basiskörper aus Graphit, dadurch gekennz eich η et , daß der GraphitkörperWzumindeet an den Auftreffstellen für die Elektronen mit einem Überzugf3)aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung bedeckt ist·
- 2. Röntgendrehanode nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η ζ e i c h η e t , daß die Wolfram-Rhenium-Legierung 1 - 35 %t vorzugsweise 5 - 25 %, Rhenium ,enthält,3« Röntgendrehanode nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch g e k e η η ζ e ich net , daß zwischen dem Grundkörper(i)und dem aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung bestehenden Überzüge ine ZvrischenschichtC^aus unlegiertem Rhenium angeordnet ist.k. Verfahren zur Herstellung von Röntgendrehanöden nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeich net , daß die Wolfram-Rhenium-Legierungsschicht (3) aus der Gasphase, z.B. aus Hexafluoride!!, abgeschie- jden wird.5« Verfahren zur Herstellung von Röntgendrehanoden nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rhenium-Zwisehenschicht(%md die Wolfram-Rhenium-Legierungsschichi{33in einem einzigen Arbeitsprozeß hergestellt werden.10 9 8 4 0/0469 bad ORiGlNAl.(ρLeerseite
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