DE2026805A1 - Aufzeichnungsträger und Verfahren zur Datenaufzeichnung mittels eines Laserstrahles - Google Patents

Aufzeichnungsträger und Verfahren zur Datenaufzeichnung mittels eines Laserstrahles

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DE2026805A1
DE2026805A1 DE19702026805 DE2026805A DE2026805A1 DE 2026805 A1 DE2026805 A1 DE 2026805A1 DE 19702026805 DE19702026805 DE 19702026805 DE 2026805 A DE2026805 A DE 2026805A DE 2026805 A1 DE2026805 A1 DE 2026805A1
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Description

Patentanwälte " O O / Π r*
Dipl.-Ing. Richard Mütler-Börner Z 3 4 ö 5
Dipl.-Ing. Hans-Heinrich Wey
München 22
Widenmayerstraße 49 O fi O C Q fi C
Precision Instrument Company, Palo Alto, California, U.S.A.
Aufzeichnungsträger und Verfahren zur Datenaufzeichnung
mittels eines Laserstrahles
Die Erfindung bezieht sich auf einen Aufzeichnungsträger zur permanenten Datenaufzeichnung durch selektives Abtragen einer Schicht eines energieabsorbierenden .Materials mittels eines Laserstrahles.
Die Erfindung besieht, sich weiter auf ein Verfahren zur Datenaufzeichnung mittels eines Laserstrahles»
Bei- solchen Aufzeichnungsträgern ist in allgemeinen " ' λ ' eine Schicht eines energieabsorbiereiiaea Materials atßf einem transparentec Trlger bzw. Substrat angebracht. Bia optischer Aufzeichnungskopf fokussiert während des SluS-=·- zeichnung'svor'ganges den iRööaliertein; Lasersiiraul ■ &nS eiög ■ ■ energieabsorbierend^ Material e wahed axe Größe dec asSfeseff0-Bereiche« durch die Diffraktion begzeimt ist? eier Äusfs kopf und der Aufzeichnungsträger wesami dabei relativ ander bewegt* Derartige Au £?'.dchnun$s sy sterne isiaäl saBa dm USA PatentechrifteE M?r„ i 314 07S und 3 Mi 07S schrieben * Ein Nachteil d-rc '-.-si dineen Sjfstemea
M£iM£lSMSMIISI
Q 0 8 β S 0 ·'' 1 I 7 t ■ ~ ' ' ' ■'"" ' .BAD ORIGINAL
Aufzeichnungsträger ist die leichte Verletzbarkeit der informationstragenden Speichersehicht durch Abnutzung oder Abschleifen während der Handhabung. Wegen der extrem hohen Informationsdichte, mit der die Informationen in die Informationsapeicherschicht eingeprägt sind, kann aber ein Abrieb oder ein anderer zerstörender Angriff auf das energieabsorbierende Material nicht zugelassen werden, hndh ist @s fit vorteilhaft, als energieabsorbierendes Material ein Metall zu verwenden, das in der Atmosphäre ch©misch@ Veränderungen erfährt, was gleichfalls zur Verschlechterung Jar Eigenschaften der energieabsorbierend©!! Sdhiehfc beiträgt Sin anderer Nachteil, der sich bisher bei "der -solcher Aufzeichnungsträger in Lase - ,-systemen hoher AEfgelchaangsdiehte ergeban hate ins der notwendigejeweis© ©ng@n Haefebarsehgiffe gt-idsselrKaa dien -aptlsehea Aufaeldantaiagskopf nnä amis
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mit ä®is !Seife ®in© Sdki©ht eu MIdGSa17 ä±Q
Qi? 5äauc -Sa© Selbsts&fc wahsQiaa üqq
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BAD ORIGINAL
zeichnung zu schaffen, der gegenüber Abnutzung in hohem Maße widerstandsfähig ist und solcherart eine Freizügigkeit bei der Handhabung erlaubt. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen Aufzeichnungsträger für Laserstrahlaufzeichnung und ein entsprechendes Aufzeichnungsverfahren zu schaffen, bei dem ein Absetzen von Material der energieabsorbierenden Schicht, das im Zuge des Aufzeichnungsvorganges abgetragen oder verdampft wurde, auf der Linse des optischen Aufzeichnungskopf es vermieden wird.
Bei dem im Rahmen der Erfindung zu schaffenden Aufzeichnungsträger soll auch das energieabsorbierende Material von den'Einflüssen der Atmosphäre geschützt sein, sodaß auch nicht-inerte Substanzen als energieabsorbierendes Material verwendet werden können.
Nach Möglichkeit soll bei dem im Rahmen der Erfindung zu schaffenden Aufzeichnungsträger im Bedarfsfall auch ein Hitzeschutz für das Träger- oder Substratmaterial vorgesehen sein, um eine Hitzezersetzung des Träger- bzw. Substratmaterials während des AufZeichnens hintanzuhalten.
Der erfindungsgemäße Aufzeichnungsträger eingangs erwähnter Art, der die vorerwähnten Zielsetzungen realisiert, ist dadurch gekennzeichnet, daß der Aufzeichnungsträger eine gleichförmige Schicht eines optische Energie absorbierenden Materials aufweist, die auf beiden Seiten mit einem überzug aus einem schützenden Material, der die absorbierende Schicht von der Atmosphäre abschließt, versehen ist, wobei der überzug zumindest auf einer Seite hinsichtlich der Betriebswellen-
länge ■0098 50/187 6
länge des Lasers, mit dem in Verbindung der Aufzeichnungsträger verwendet werden soll, transparent ist.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers ist vorgesehen, daß zwischen das Substrat und die Schicht aus energieabsorbierendem Material eine Wärmereflektierende Schicht eingefügt ist, um die zerstörende Wirkung einer Wärmedissipation im Substrat auszuschalten.
Der erfindungsgemäße Aufzeichnungsträger kann auch mehrschichtig ausgebildet sein, wobei z.B. ein flacher Träger auf beiden Seiten gleichmäßig mit einer Schicht aus energieabsorbierendem Material versehen ist. Eine transparente Schutzschicht ist dann über jeder der energieabsorbierenden Schichten gebildet. Es ist dann möglich, auf jeder der Seiten des Trägers durch Abtragen der betreffenden Schicht aus energieabsorbierendem Material mittels eines Laserstrahles Daten aufzuzeichnen. Bei einer anderen Ausführungsform eines erfindungsgemäßen mehrschichtigen Aufzeichnungsträgers wird der beim Aufzeichnen vorzunehmende Abtragungsvorgang mittels eines Laserstrahles durch ein transparentes Substrat hindurch, das sich auf einer Seite des Aufzeichnungsträgers befindet, ausgeführt, wobei eine von zwei im Abstand voneinander angeordneten energieabsorbierenden Schichten je nach der Einstellung des Fokussierungspunktes des Laserstrahles abgetragen wird. .
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform de® Erfindungsgegenstandes 1st vorgesehen, daß die energieabsorbierende
Informationsspeicherschicht
009850/1876
Informationsspeicherschicht des Aufzeichnungsträgers eine Metallschicht ist, die durch Kathodenzerstäubung auf einem transparenten Träger bzw. Substrat gebildet ist. Die transparente Schutzschicht kann dabei vorteilhaft auch durch Kathodenzerstäubung über der Metallschicht angebracht werden, aber es ist auch möglich, eine solche Schicht adhäsiv festzuhalten.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß eine gleichförmige Schicht eines optische Energie absorbierenden Materials in überzugsschichten eines schützenden Materials eingeschlossen wird, welcher Überzug auf mindestens einer Seite der erwähnten Schicht für Strahlung einer Wellenlänge, die der Betriebswellenlänge des verwendeten Lasers entspricht, transparent ist, daß die Schicht aus dem optische Energie absorbierenden Material durch Laserstrahlung* die durch den transparenten Überzug geführt wird„ selektiv abgetragen wird, wobei das energieabsorbierend© Material . zwischen den öberzugsschlchten vor een jeweiligen Zentren der . f Abtragung seitlich nach außen verdrängt wird, und wobei die Laserstrahlenergie, die AufzeichnungsfrequeriS and 6Am hn£- zeichnungsgeechwindlgkeit im Sinne einer möglichst geringen Energiedissipatiojn in as& Schutzschichten gewählt werdene
Die Erfindung wire nachstehend an Ease* öer weiter erläutert. In äex geichniag sifcd irerscfeieeene tührungnfoxmmn erfindnafsfeinlier AufzeiehnungetrSger tisch-Im Schnitt dargeafcalit«, Pig. I zeigt eine erste führungfsform eine· erfiivJaafageiilBes liiifzeletearifstragersff
00 8 8 50/18 76 orig.nal inspected
Fig. 2 eine sweite Ausführungsform,, bei der eine wärmereflektierende Schicht vorgesehen ist, und Fig„ 3 eine Aus führungsform,, bei der zwei energieabsorbierende Schichten vorgesehen sind? die Figo 4 bis β zeigen verschieden® Stufen bei der Herstellung eines erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers und die Fig«, 7 und 8 zeigen im Querschnitt zwei Aufzeichnungsträger,, die mit zwei energieabsorbieraaden Informationsspeicherschichten versahen sindo
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Aufzeichnungsträger ist ein flexibles^ transparentes Substrat 11 vorgesehen^ das aus einem Plastikmaterial, wie ©s S0B0 uater der Bezeichnung
besteht MYIAR oder CEIAMÄR erhältlich isV. Di© Dick© dieses Substrates bsWo Trägers 11 ist ©atspr©eh©nd d@r gewünschten .erforderlichen meehaaisehen Festigkeit- f@wlhlt «sad kann zwischein etwa 4 nmä 25 Hnnd©^t©l Millisastgr li©g©no Äuf Substrat 11 ist (lisa© düna© Schicht @ia@s @H©Efi@absorbi©r©nd Materials e di© ^0B0 ams ©ln©ii Mstalle, irl© Ehodiuii^ b©st©h©a kaa?iP aageteaeSitο Di® fetallsehicht 12 lit aaf «äi@ eise SiibsfeEatGS 12. fleiefefdrulg aufgebracht ff u©b©£ äae, selfect ScBc änsdh B©äampfanf B KathodaagerstSabttaf ©dor oiia© QmLGiEQ ¥aköeasEiiQolQ^isehlafst©ehHik vorgsaosiadH, wird«, Biirsh
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Q0S8S0/1S7S
ORIGINAL INSPECTED
soll, kann auch durch Vakuumbehandlung gereinigt werden. Es ist ein Vorteil des Kathodenzerstäubungsprozesses, der im Vakuum vorgenommen wird, daß die Oberfläche des Substrates, wie jede Oberfläche, worauf eine Abscheidung vorgenommen werden soll, durch den Ionenaufprall während des Beschichtungsvorganges gereinigt wird.
über der Metallschicht 12 ist eine Schutzschicht 13 aus transparentem Material angebracht, die dazu vorgesehen ist, die Metallschicht vor Abnutzung zu schützen. Das transparente Material, das die Schutzschicht 13 bildet, kann z.B. SiO2 sein, das auf die Metallschicht durch Kathodenzerstäubung oder einen anderen'VakuumabscheldungsprozeB aufgebracht wurde. Wenn dabei nur ein Schutz gegen Zerkratzen vorgesehen werden soll, kann die Dicke der SiO2-Schicht entsprechend einem Teil der Wellenlänge der Laserstrahlung, in Verbindung mit welcher der Aufzeichnungsträger benützt werden soll, gewählt werden, z.B. mit λ/4 oder λ/2, wobei λ die charakteristische Laserwellenlänge ist. Ist die Schutzschicht 13 hinreichend dick, hält sie auch Staub und Schmutz in Abstand von der Fokussierungsebene des Laserstrahles. Welter kann die Schutzschicht einen Antireflexionsbelag über der Metallschicht bilden, wenn die Schichtdicke einen Wert von η(λ/4) aufweist, wobei η eine ganze Zahl 1st. Eine Dicke von z.B. η(λ/4) Wellenlängen ergibt eine Antireflexionsschicht und hält gleichzeitig Staub und Schmutz von der Metallschicht, auf die der zur Abtragung derselben im Zuge des Aufzeichnungsvorganges vorgesehene Laserstrahl fokussiert ist, ab. Ein weiteres Beispiel eines transparenten
Materials 0098 50/187 6
Materials, das für die Schutzschicht verwendet werden kann, ist Al3O3. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Aufzeichnungsträger wird der mittels des Laserstrahles ausgeführte Abtragungsvorgang durch die transparente Schutzschicht 13 hindurch vorgenommen.
Bei dem in Fig. 2 dargestellten Aufzeichnungsträger ist eine wärmereflektierende Schicht 15 zwischen das transparente Substrat 16 und die Metallschicht 17 eingefügt. Die wärmereflektier-ende Schicht 15 besteht aus einem transparenten Material und hat eine Dicke von ungefähr A./4 oder A./2, wobei
it T.
A. die charakteristisch© Wellenlänge der vom Laserstrahl erzeugten Wärmestrahlung ist. Die «Sreereflektierende Schicht 15 besteht z.B. aus SiO2, das durch Kathodenzerstäubung auf das "Substrat 16 aufgebracht ist. Die Metallschicht 17 wird danach durch Kathodenzerstäubung auf die sio9°Sehieht 15 aufgebracht«, Das Substrat 16 besteht aus einem Plastikmaterial, wie z.B. aus einem unter der Bezeichnung MfIAR oder CEIANAR erhältlichen Material ^ wie vorstehend beschrieben wurde. Die Metallschicht besteht aus einem gleichförmigen Niederschlag eines Metalles, wie z.B. Aluminium, Platin oder Rhodium«, Eine Schutzschicht 18 Überzieht, wie vorstehend beschrieben,die Metallschicht 17; diese Schutzschicht besitzt eine Diele© von ηCA/4), wobei η eine ganze Zahl ist, und ist aus einem transparenten Material, wie Al2O, gebildet. Der AufseichnungsVorgang, im Zuge dessen mittels Laserstrahl Zonen der Metallschicht verdampft werden, erfolgt durch die transparente Schutzschicht 18 hindurch, wobei die HalfowellehwäimerefXektions·
schicht 0098 50/1876
schicht 15 das Substrat 16 schützt.
Eine wärmereflektierende Schicht 15, die aus geschmolzenem Quarz bzw. SiO, gebildet ist, ergibt auch eine verbesserte Haftung der Metallschicht auf dem Substrat. Im Hinblick auf die von der Schicht 15 aus geschmolzenem Quarz bzw. SiO, der einen Seite des Substrates 16 verliehene Struktur ist es vorteilhaft, auch auf der anderen Seite des Substrates 16 eine der Schicht 15 ähnliche Schicht vorzusehen, um dem Aufzeichnungsträger eine symmetrische Struktur zu verleihen.
Ein Aufzeichnungsträger, der dem in Fig. 1 dargestellten ähnlich ist, aber mit zwei der Aufzeichnung dienenden Schichten versehen ist, ist in Fig«, 3 dargestellt«. Bei dieser Aus» führungsforra sind Metailschichten 20 und 21 auf beiden Oberflächen eines transparenten Substrates 22 niedergeschlagen, z.B. durch Kathodenzerstäubung oder einen anderen VakuumniederschlagsprosseB. Danach sind Schutzschichten 23 und 24 auf den Metailschichten 20 bzw„ 21 iß vorstehend beschriebener " Weise, aufgebracht. Eine Datenaufzeichnung durch Abtragung der Metallschichteis 20 oäex 21 mittels eines Laserstrahles wird durch die betreffende transparent®'Schutzschicht 23 24 hindurch vorgenommen,■wobei äer Laserstrahl auf öle betref fende Metallschicht fokussiert wirie
Bei ■ j ector der ¥oi*sit.alie».cl bösetelebeaeit Msfüiteanf s~ formen ist die optische ^n&rgie&bsorbierende Schicht jeder Seite durch anders Schlöhfean ame transpare-atem· eingeschlossen. Weil ciis ^nsrgieabsorbieresiaQ Sticht
0 0 9 S b 0 /" 18 7 6 ' ' ' ' ■■'.
ORIGINAL INSPECTED
Atmosphäre abgeschlossen ist, können für diese Aufzeichnungsschicht auch nicht-inerte Substanzen verwendet werden,, So bleibt z.B. Aluminium, welches dazu neigt an der Atmosphäre chemische Veränderungen zu erfahren,, während unbegrenzt langer Zeiträume ohne Beeinträchtigung konserviert» Die transparenten Füllschichten "schützen auch vor einem Abreiben und ^©rkratssn während der Handhabung und halten Staub und andere Teilehen von der Pokussierungsebene des Laserstrahles fern» Äuier den vorerwähnten Metallen können auefa anders Materialien für die energiebasorbierende Schicht verwendet werden, wie dies in der OSA Patentschrift Mr0 3 314! 073 beschrieben Ist.
Hinsichtlich der Verwendung von Metallen als energie= absorbierendes Material kann auf dl® USA Patentselirift Hr0 3 474 457 hingewiesen werden, in d@r die wÖHseh@nsw@rt@n Parameter für das Metall nnä dl© energieabsorbierend© Sdhieht tligkiatiert sind.
Sntspr@Ä@ad eii@D©ra Äusföhr«mif@a ist ©s t-iöasch daß «Si© MetalIseiilelatsn hlareleliend düna siadlp v» b<s£ ö1=cii?a!sfce£jisfelseSi@a Wismqumn^ ä®m LaserstsalslG® 0 ait ©!©is ΐ-νΐΰ &JSS hufs©iefosra&igsfesräf©r bsnit^t wird „ ela©
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OBlGSNAL INSPECTED
Explosion im Aufzeichnungsträger, ohne daß auf das anliegende Substrat und die Schutzschicht eine merkliche zerstörende Wirkung ausgeübt wird. So ist die Abtragung eines kleinen Bereiches der Metallschicht analog zu einer Untergrundexplosion, wobei das abgetragene oder verdampfte Metall nach außen gedrängt wird und einen dichten Ring um das so entstandene Loch bildet. Deshalb muß die Metallschicht hinreichend dünn sein, um ein molekulares Verdrängen des Materials an den Umfang des abgetragenen Loches bzw. der abgetragenen kleinen " Zone ohne merkliche Volumsveränderung zu gestatten. Die Wirkung auf das anliegende Substrat und die Schutzschicht ist deshalb -vernachlässigbar. So wurden z.B. zufriedenstellende Eigenschaften bei einer 200 A* dicken Schicht aus Rhodium, was ungefähr einer optischen Dicke bei diesem Metall entspricht, gefunden. Weil kein Entweichen des verdampften Metalls oder anderen energieabsorbierenden Materials in die Atmosphäre in der Umgebung des optischen Aufzeichnungskopfes stattfindet» tritt auch auf der Linse des Aufzeichenkopfes keine Anhäufung ä von Niederschlägen auf, was bei bisher benutzten Aufzeichnungsträgern sehr störend war.
Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Aufzeichnuntsträgers ist es nicht erforderlich, daß das Substrat transparent ist, sondern dieses kann auch undurchsichtig sein. Die Laserenergie, die Aufzeichnungsgeschwindigkeit und die Aufzeichnungsfrequenz werden so eingestellt, daß eine Abtragung der energieabsorbierenden Informationsspeicherschicht erfolgt, ohne daß eine zerstörende
Energled i βsipation 009850/1876
Energiedissipation im Substrat auftritt» Hinsichtlich einer geeigneten Steuerung der Aufzeichnungsparameter kann auf die oberwähnte USA Patentschrift Nr. 3 474 457 hingewiesen werden» Bei einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers ist das Substrat mit einer Reflexionsschicht versehen, über der die energieabsorbierende Schicht, die mit einem Laserstrahl abgetragen wird, gebildet ist. Weil die zur Informationsspeicherung vorgesehene energieabsorbierende Schicht vorzugsweise eine gewisse Durchlässigkeit aufweist, wird Laserstrahlung durch die energieabsorbierende Schicht rückreflektiert, wodurch die Geschwindigkeit und der Wirkungs-=
sei grad der Abtragung oder Verdampfung erhöht wird» Es/in diesem Zusammenhang erwähnt, daß die Bezeichnungen "transparent", "undurchsichtig" und "Durchlässigkeit1" hier im Zusammenhang mit der Arbeitswellenlänge der Laserlichtque11© verstanden ■ werden müssen, mit der zusammen der Aufzeichnungsträger verwendet werden soll.
Die Fig. 4 bis β illustrieren einzelne Stufen der Herstellung einer anderen Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers. In Fig. 4 ist eine Metallschicht 30 dar» gestellt, die auf einem transparenten Substrat 31 durch Kathodenzerstäubung oder einen ähnlichen Vakuumahscheidungsvorgang niedergeschlagen wurde. Wie in Fig. 5 dargestellt ist, ist über die Metallschicht 30 mittels eines adhäsiven Bindemittels 33 eine Schutzschicht 32 aus transparentem Material auflaminiert. Der so gebildete Aufzeichnungsträger wird danach, wie in Fig. 6 dargestellt ist, umgekehrt, sodaE die durch .
Abtragung
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Abtragung der Metallschicht 30 erfolgende Datenaufzeichnung durch das Substrat 31 anstatt durch die transparente Schutzschicht 32 hindurch erfolgt. Ein Auflaminieren der Schutzschicht auf die Metallschicht durch eine Adhäsivbindung kann sehr leicht einfach und schnell ausgeführt werden, wobei nach wie vor ein Aufzeichnen durch Abtragen der Metallschicht 30 der gleichförmigen Zwischenfläche zwischen dem Metall und dem Substrat, die durch Kathodenzerstäubung erhalten ist, möglich ist. Es kann auch die Metallschicht 30 durch Kathodenzerstäubung auf die Schutzschicht 32 aufgebracht werden, welche dann mit ihrer die Metallschicht tragenden Seite mit dem Substrat oder Träger 31 durch Adhäsivbindung laminiert wird.
Aufzeichnungsträger, die dem in den Fig. 4 bis 6 dargestellten ähnlich sind,- aber mit zwei Aufzeichnungsschichten versehen sind„ .sind in äen Fig. 7 und 8 dargestellt. Bei der . Ausführungsform nach Fig. 7 sind energieabsorbierende Schichten 40 und 41 vorgesehen,, die direkt auf transparente Schutzschichten 42 bzw. 43 durch,- einen Vakuumabscheidungsvorgang, wie z.B. Kathodenzerstäubungfaufgebracht sind«.
Die metal!überzogsaea transparenten-Schichten sind danach adhäsiv auf beide Seiten eines transparenten Substrates 44 durch Adhäsivbindungäschichten 45 und 46 auflaminiert. Die Datenauf Zeichnung in.den energieabsorbierend^ Schichten 4Q und 41 wird durch die transparenten Schichten 42 bzw«, 43 Mndurch ausgeführt, wobei «Isr Laserstrahl so fokussiert wi^eU daß er auf die glelcnffeüiga Zwischenfläche zwischen der . Metallschicht und der tt-:m:3^ü£&nt@n■ Schutzschichtp die z.3o
durch ■ 00985 0/187S AeiriNAL
BAD ORIGINAL
durch Kathodenzerstäubung gebildet ist, zur Wirkung kommt.
Ein Aufzeichnungsträger mit zwei Aufzeichnungsschichten,
auf welchen die Datenaufzeichnung durch von der gleichen Seite her einfallende Strahlung vorgenommen wird, ist in Pigo 8 dargestellt. Bei dieser Ausführungsform sind energieabsorbierend© Schichten 50 und 51 auf Substrate 52 bzw. 53, s„Bo" durch Kathodenzerstäubung, aufgebracht. Di© freie Saite ä©s Substrates 52 wurde danach durch Ädhäsivbiadung mittels eines aähäslven Bindemittels 54 mit der Metallschicht 51 verbanden0 Ein© Schutzschicht aus einem transparent©» Material ist über die Metallschicht 50 mittels eines Ädhäsivbinders 5β auflaminiert0 Um eine Datenaufzeichnung auf der Informations@p©ishers<shieht 51 auszuführen, wird die Fokussieriangseben© d<as Laserstrahles •so eingestellt, daß si© mit der Infomatiöassp@ieh©rsefeieht 51 zusammenfällt. In gleicher Weise wird swr Bat©aa«fs©Iehmiag auf sie? enerefleabsorbiereadeia Schicht 50 di© FokussiQETaafi= ebene dies Laserstrahles s© eiafidstalltp dai si® Mit das· S©hl©ht 50 scsamienfällto
Bei äem ia Figo 7 dargostellt©» Äwfgdi kaisö ^ed& üqss tEaiaspairdiitQa SdaiehtQia 42^ 43 ©iaei* flaiBtlloiaterial 0 S0B0 aia®M Material uiQ qb Bsseicliinangen ΙΊϊϊΑΙ ©das eilÄlÄl b@kasuat IsSt1, bostehesio B©i tasi* Im Fig β 8 dangest© 11 tGia ÄufgoiQhawaiistis'MgQE' kasasü
sa §etii©lht©fii 52 asadl 53 aiss üqm §lQl©hQa eiaeii ^satoi? d@a BQSQiishaianiiQia Klfiy^l ©ä©s CiäMEIIil bekasÄRfcen- flaitikraatesialj) fQbilddt SdIm0 Dl© I 55
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aus geschmolzenem Glas bzw. SiO..
Bei allen den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen kann das energieabsorbierende Material, das für die Informationsspeicherschicht benutzt wird, ein Metall, wie
z.B. Aluminium, Rhodium oder Platin, sein oder auch ein
anderes Metall, das die gewünschten Eigenschaften, wie sie z.B. in der USA Patentschrift Nr. 3 474 457 diskutiert sind, aufweist. So besitzt eine Rhodiumschicht mit einer Dicke
von ungefähr 200 8 oder eine Aluminiumschicht mit einer
Dicke von ungefähr 164 S zufriedenstellende Eigenschaften; Abweichungen von den genannten Schichtdicken sind möglich, ohne daß sich hieraus funktioneile Beschränkungen oder Nachteile wie bei den bisherigen Aufzeichnungsträgern ergeben.
Die erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger können in einer Vielfalt flacher Formen ausgebildet sein; so z.B. in Form von Bändern oder Scheiben oder in Form von Streifen, die dazu vorgesehen sind, um die Außenfläche einer, den Aufzeichnungsträger tragenden Trommel geschlungen zu werden.
Patentansprüche 009850/1876

Claims (13)

  1. Patentansprüche s
    ί Ii Aufzeichnungsträger zur permanenten Datenaufzeichnung durch selektives Abtragen einer Schicht eines energieabsorbierenden Materials mittels eines Laserstrahles,, dadurch gekennzeichnet, daß- der Aufzeichnungsträger eine gleichförmige Schicht eines optische Energie absorbierenden Materials aufweist, die auf beiden Seiten mit einem Überzug aus einem schützenden Material, der die absorbierende Schicht von der Atmosphäre abschließt, versehen ist, wobei der überzug zu-= mindest auf einer Seite hinsichtlich der BetriebswellenlSnge des Lasers, mit dem in Verbindung der Aufzeichnungsträger verwendet werden soll, transparent ist«,
  2. 2. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er ein flaches Substrat aufweist,, das auf einer Seite mit der Schicht aus energieabsorbierendem Material bedeckt ist, die ihrerseits von einer Schutzschicht aus transparentem Material bedeckt ist, wobei die Schutzschicht «ad das Substrat die Schicht aus energieabsorbieread©m Material auf je einer Seite abschließen.
  3. 3. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekenazeichnet, daß zwischen das Substrat und die Schicht aus energieabsorbierendem Material eine Schicht a«s wärmereflektierendem Material eingefügt ist»
  4. 4. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 3, dadurch getensazeichnet, daß die wärmereflektierende Schicht eine Dick© auf-.
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    weist, die der halben charakteristischen Betriebswellenlänge des Lasers, mit dem in Verbindung der Aufzeichnungsträger verwendet werden soll, aufweist.
  5. 5. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine im wesentlichen der wärmereflektierenden Schicht gleiche Schicht auf der anderen Seite des Substrates angeordnet ist, um eine Struktursymmetrie des Gebildes zu erhalten.
  6. 6. Aufzeichnungsträger nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus energieabsorbierendem Material eine Metallschicht ist.
  7. 7. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht eine durch Kathodenzerstäubung aufgebrachte Schicht ist.
  8. 8. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Metallschicht eine Schutzschicht durch Adhäsivbindung angebracht ist. |
  9. 9. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei transparente Substrate, deren jedes auf einer Seite mit einer Metallschicht versehen ist, vorgesehen sind und daß ein dazwischen-liegender Träger vorgesehen ist, der mit der jeweils auf dem ersten und dem zweiten Substrat befindlichen Metallschicht verbunden ist.
  10. 10. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 9, dadurch gekenn-
    -en
    zeichnet, daß die Metallschicht/durah Kathodenzerstäubung aufgebrachte Met-all schichten sJrH =·;κΙ .λϊ c. iU^ :ι .-/^i^^li^n*
    BAD ORIGINAL
    liegenden Träger durch Klebung verbunden sind,»
  11. 11. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei transparente Träger vorgesehen sind,, deren jeder auf einer Seite mit einer durch Kathodenzerstäubung aufgebrachten Metallschicht versehen ist, und daß die die Metallschicht tragende Seite des einen Trägers mit der unbestäubten Seite des anderen Trägers verklebt "ist.
  12. fe 12. Aufzeichnungsträger nach-Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die .außenliegende Metallschicht mit einer transparenten Schutzschicht überzogen ist.
  13. 13. Verfahren zur Datenaufzeichnung mittels.eines Laserstrahles, dadurch gekennzeichnet, daß eine gleichförmige Schicht eines optische Energie absorbierenden Materials in Uberzugsschichten eines schützenden Materials eingeschlossen wird, welcher Oberzug auf mindestens einer Seite der erwähn-" ten Schicht für Strahlung einer Wellenlänge, die der Betriebs- ^ wellenlänge des verwendeten Lasers entspricht, transparent ist, daß die Schicht aus dem optische"Energie absorbierenden Material durch Laserstrahlung, die durch den transparenten überzug geführt wird, selektiv abgetragen wird, wobei das energieabsorbierende Material zwischen den Überzugsschichten von den jeweiligen Zentren der Abtragung seitlich nach außen verdrängt wird, und wobei die Laserstrahlenergie, die Aufzeichnungsfrequenz und die Aufzeichnungsgeschwindigkeit im Sinne einer möglichst geringen Energiedlssipation in den Schutsschichten gewählt werden.
    0 0 H B 5 0 / 1 B 7 B
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