DE2921262A1 - Optischer aufzeichnungstraeger - Google Patents

Optischer aufzeichnungstraeger

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DE2921262A1
DE2921262A1 DE19792921262 DE2921262A DE2921262A1 DE 2921262 A1 DE2921262 A1 DE 2921262A1 DE 19792921262 DE19792921262 DE 19792921262 DE 2921262 A DE2921262 A DE 2921262A DE 2921262 A1 DE2921262 A1 DE 2921262A1
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substrate
layer
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William Joseph Burke
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Description

  • "Optischer Aufzeichnungsträger't
  • Die Erfindung betrifft einen optischen Aufzeichnungsträger mit einer Rhodiumschicht auf einem Substrat. Bei einem derartigen Aufzeichnungsträger wird die jeweilige Information durch örtliches Entfernen bzw. Abtragen einer abzulösenden Schicht registriert. Die Erfindung betrifft ferner einen solchen Aufzeichnungsträger, der für einen fokussierten Lichtstrahl vorgegebener Frequenz vorgesehen ist und aus einem Substrat, einer aus einem Material mit relativ zur thermischen Diffusionskonstanten des Substrats kleiner thermischen Diffusionskonstanten bestehenden Wärme sperrschicht und einer auf letzterer liegenden sowie aus einem gegenüber dem Licht der vorgegeben Frequenz empfindlichen Material bestehenden Lichtabsorptionsschicht zusammengesetzt ist, Schließlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen des Aufzeichnungsträgers.
  • Unter anderem in der Rechner-, Radio- und Fernseh-Industrie besteht ein zunehmender Bedarf an verbesserten Verfahren zum Aufnehmen und Speichern großer Mengen von digitalen und analogen Informationen. Es ist in diesem Zusammenhang bekannt, Informationen dadurch speichernd aufzunehmen, daß mit Hilfe eines Lasers eine Reihe kleiner Löcher in einen Metallfilm, z.B. aus Wismut oder Rhodium auf einem Substrat, durch örtliches Entfernen bzw. Abtragen oder Ablösen des Filmmaterials eingebracht werden.
  • Bei dem Verfahren wird ein fokussierter, modulierter Lichtstrahl, z.B. ein Laser-Strahl eines Argon- oder Helium/ Kadmium-Lasers, auf einen lichtabsorbierenden Aufzeichnungsträger gerichtet, der z.B. als Metallfilm auf einem Substrat ausgebildet sein kann. Der ausgerichtete Laserstrahl verdampft den Metallfilm oder löst diesen ab, so daß eine Reihe von kleinen Löchern entsteht, innerhalb derer das Substrat freigelegt ist, wobei die Löcher der Modulation des Lichtstrahls entsprechen. Die Schichtdicke des Metallfilms wird sowohl auf eine maximale Lichtabsorption als auch derart ausgewählt, daß nicht absorbiertes Licht eher reflektiert als durch das Aufzeichnungsmedium durchgelassen wird. Zum Auslesen bzw, Abspielen der Aufzeichnung wird ein schwächerer, unmodulierter Lichtstrahl benutzt, um aus der Differenz zwischen der Reflektivität der freigelegten Substratbereiche und des verbleibenen Metallfilms die eingespeicherte Information zu rekonstruieren bzw. wiederzugewinnen. Alternativ kann auch die Lichtdurchlässigkeit des freigelegten Substrats dazu ausgenutzt werden, die vorher aufgezeichnete Information wiederzugeben.
  • Die Empfindlichkeit eines Aufnahmemediums ist ein Maß dafür, wieviel Lichtenergie erforderlich ist, um ein Signalelement bzw. einen Stromschritt zu bilden. Es hat sich oft herausgestellt, daß eine Lichtabsorptionsschicht mit niedrigem Schmelzpunkt bzw. niedriger Verdampfungstemperatur einen empfindlichen Aufzeichnungsträger ergibt. Ein anderer Parameter bei der Bewertung eines Aufzeichnungsträgers ist das Signal-Rauschverhältnis des Lese-Signals. Ein höheres Signal-Rauschverhältnis entspricht einer besseren und störungsfreieren Signalqualität.
  • Wismut ist ein weiches Material mit niedrigem Schmelzpunkt.
  • Bei Anwendung als Aufzeichnungsträger eingangs genannter Art, ist Wismut empfindlicher als das höher schmelzende Rhodiumç Allerdings ist das Signal-Rauschverhältnis des Wismuts beim Lesen gering. Das rührt daher, daß sich in Wismut Filmüberzügen beim Schmelzen ausgezackte, unregelmäßig geformte Löcher bilden, wodurch das Signal-Rauschverhältnis herabgesetzt wird. Ein Vorteil des Rhodiums besteht darin, daß in ihm beim Schmelzen gleichmäßigere runde Löcher entstehen, aber wegen des hohen Schmelzpunkts ist die Empfindlichkeit dieses Materials gering. Es ist ferner darauf hinzuweisen, daß Wismut-Filme insofern unstabil sind, als sie ein Oxid bilden, welches eine geringere Empfindlichkeit und schlechtere optische Eigenschaften als das nichtoxidierte Metall besitzt. Es wäre daher ein Metallfilm erwünscht, der die Fähigkeit und Zähigkeit des Rhodiums zum Bilden gleichförmiger Löcher beim Schmelzen mit der Empfindlichkeit des Wismuts vereinigt.
  • Zum Aufzeichnen der Informationen werden in der Regel im sichtbaren Wellenlängenbereich emittierende Laser, z.B. Helium/ Kadmium- oder Argongas-Laser, benutzt. Als Alternative wäre ein Festkörper-Lasersystem, z.B. ein Galliumarsenid-Laser, natürlich billiger sowie kompakter und in einem erheblich weiteren Bereich kommerziell anzuwenden, Vorteilhaft wären daher Materialien, die zum Aufzeichnen mit Hilfe eines im Wellenlängenbereich von 800 Nanometern emittierenden Galliumarsenid-Festkörper-Lasers geeignet sind, Im vorstehenden Sinne empfindliche organische Farbstoffe sind im allgemeinen nicht über einen breiten Wellenlängenbereich anzuwenden und können weder einfach gehandhabt noch gereinigt werden.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Material für einen Aufzeichnungsträger eingangs genannter Art zu schaffen, das empfindlich, panchromatisch und einfach zu handhaben sowie zu reinigen ist, Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist gekennzeichnet durch eine bei Sauerstoff-Partialdruck vakuumaufgedampfte Rhodiumschicht auf einem Substrat als optischer Aufzeichnungsträger Die erfindungsgemäßen auf ein Substrat in einem einen Sauerstoff-Partialdruck aufweisenden Vakuum niedergeschlagenen Rhodium-Filme stellen ein ausgezeichnetes panohromatisches, d.h. in einem weiten Wellenlängenbereich empfindliches, Aufzeichnungsmedium dar, das sowohl mit Gas-Lasern als auch mit Galliumarsenid-Feststoff-Lasern zu verwenden ist.
  • Es ist bekannt, daß im Hochvakuum bei einem Sauerstoff-Partialdruck gebildete dünne Rhodiumüberzüge ein besseres Haftvermögen und eine gesteigerte Gleichförmigkeit im Vergleich zu dünnen Rhodiumüberzügen aufweisen, die in Abwesenheit von Sauerstoff hergestellt worden sind. Erfindungsgemäß hat sich nun überraschenderweise herausgestellt, daß die bei einem Sauerstoff-Partialdruck vakuumaufgedampften dünnen Rhodiumfilme überall im sichtbaren Wellenlängenbereich und im nahen infraroten Bereich des Spektrums, d.h. panchromatisch absorbieren. Die Durchstrahlung eines 10,0 Nanometer (nm) dicken, unter einem Sauerstoff-Partialdruck hergestellten Rhodiumfilms zeigt keine Änderung des optischen Reflexionsvermögens und der Absorption zwischen der Wellenlänge von 488 nm, bei der Argon-Laser emittieren, und 800 nm, bei der Galliumarsenid-Laser strahlen. Es ergibt sich also, daß die Empfindlichkeit bei den beiden Wellenlängen im wesentlichen gleich ist.
  • Erfindungsgemäß dünne Rhodiumüberzüge bzw. Rhodiumfilme könneu auf bekannte Weise, z.B. nach einem in Joumal of Vacuum Science and Technology" (Band 13, 1976, Seiten 122 bis 126) beschriebenen Verfahren hergestellt werden. Beim Herstellen erfindungsgemäßer Rhodiumfilme wurde das Metall auf ein als Glasscheibe ausgebildetes Substrat aufgedampft.
  • Beim Aufdampfen wurde ein Sauerstoff-Partialdruck von etwa 2,6 x 10 3 bis 6,7 x 10 2 Pa aufrechterhalten. Wenn der Sauerstoff-Partialdruck zu niedrig ist, erhalten die hergestellten Überzüge dieselben Eigenschaften wie ein ohne die Anwesenheit von Sauerstoff hergestellter Rhodiumfilm.
  • Wenn der Sauerstoff-Partialdruck zu hoch ist, entstehen optisch streuende, schlecht haftende und fein unterteilte Filme, welche nicht brauchbar sind.
  • In einer Sauerstoff-Partialatmosphäre hergestellte Filme bzw. Dnnschichten sind transparenter als entsprechende bei Hochvakuum (weniger als 10 4Pa) hergestellte Rhodiumfilme.
  • Es hat sich aber herausgestellt, daß die Teilchengröße in den sauerstoffangereicherten Filmen kleiner ist und daß diese Filme gleichmäßiger bzw. homogener sind. Wegen der geringeren Absorption eines in einer Sauerstoffatmosphäre hergestellten Rhodiumüberzugs werden bei dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger etwas größere Rhodium-Schichtdicken benötigt, als bei herkömmlich vorbereitetem Absorptionsmetall. Überraschenderweise ist der entstehende erfindungsgemäße Film trotz der größeren Schichtdicke empfindlicher.
  • Die Schichtdicke der erfindungsgemäßen, sauerstoffmodifizierten Rhodiumüberzüge auf einem Glassubstrat beträgt vorzugsweise etwa 10 bis 40 nm. Als besonders vorteilhaft haben sich Schichtdicken zwischen 15 und 20 nm erwiesen.
  • In dem bevorzugten Dickenbereich wird der nichtreflektierte Teil des aufzeichnenden Lichtes fast vollständig in der Metallschicht absorbiert. Bei größeren Schichtdicken wird die Menge des abzutragenden bzw. abzulösenden Metalls größer, ohne eine entsprechende Vergrößerung der Menge des absorbierten Lichtes mit der Folge, daß die Empfindlichkeit abnimmt.
  • Bei kleineren Schichtdicken dagegen wird ein wesentlicher Teil des aufzeichnenden Lichtes durch die Schicht zum Substrat hin durchgelassen, was zu einer unwirtschaftlichen Ausnutzung der verfügbaren Lichtenergie und damit wiederum zu geringerer Empfindlichkeit führt. Für Ablöse-Aufzeichnungsmaterialien ist eine so hohe Lichtabsorption erwünscht, daß das gesamte einfallende nichtreflektierte Licht absorbiert und nicht etwa durch das Material hindurchgelassen wird. Außerdem ist es vorteilhaft, wenn die Schichtdicke möglichst klein gehalten wird, so daß zum Schmelzen der Metallschicht nur wenig Energie erforderlich ist. Oberhalb der Schichtdicke von etwa 15 bis 20 nm zeigt der Rhodium-Überzug keine wesentliche Abnahme der Durchlässigkeit im sichtbaren Bereich des Spektrums. Eine wesentliche Erhöhung der Schichtdicke über 20 nm hinaus führt nur zu einer Abnahme der Empfindlichkeit.
  • Die Art des Substrats, auf das der erfindungsgemäß modifizierte Rhodiumfilm niedergeschlagen wird, ist nicht kritisch, das Substrat muß jedoch eine optisch glatte, ebene Fläche aufweisen, auf der der Rhodium-Überzug haften kann. Eine Platte oder Scheibe aus Glas ist z.B. geeignet; ähnliches gilt für einen optisch glatten Kunststoffkörper.
  • In der älteren US-Patentanmeldung Ser.No. 796 570 ist ein Verfahren zum Herstellen eines Informationsspeichers bzw.
  • einer -platte beschrieben, bei dem ein thermisch isolierendes Material zwischen die Metallschicht und das Substrat eingefügt wird. Die thermische Diffusionskonstante dieses thermisch isolierenden bzw. eine Wärme sperre bildenden Materials ist kleiner als die thermische Diffusionskonstante des Substrats. Folglich können billige Substrate verwendet werden, wobei trotzdem der thermische Wirkungsgrad der Energie-Kupplung in die Absorptionsschicht verbessert und damit die Empfindlichkeit erhöht wird.
  • In zwei weiteren älteren Patentanmeldungen - nämlich US-Patentanmeldung Ser.No. 668 495 und Ser.No. 782 032 -werden Aufzeichnungsträger bzw. -platten beschrieben, in denen ein lichtabsorbierendes Material von einem lichtreflektierenden Material durch ein Dielektrikum, wie Siliziumdioxid, getrennt ist. Die erfindungsgemäß unter einem Sauerstoff-Partialdruck hergestellten Rhodium-Überzüge können bei dem bekannten Aufzeichnungsträger als lichtabsorbierendes Material verwendet werden.
  • Die zum Bilden eines kleinen Lochs in einem erfindungsgemäß bei Sauerstoff-Partialdruck hergestellten Rhodium-Überzug erforderliche Mindestenergie beträgt bei einem Galliumarsenid-Festkörper-Laser und einer Wellenlänge von etwa 800 nm - basierend auf den Ergebnissen bei einer Wellenlänge von 488 nm und einem Argon-Laser - etwa 8 Milliwatt. Für einen auf einem Glassubstrat in Abwesenheit von Sauerstoff hergestellten Rhodium-Überzug beträgt die entsprechende Mindestenergie bei einer Wellenlänge von 800 nm zum Aufzeichnen etwa 22 Milliwatt. Die beobachtete Mindest-Einfallenergie zum Einbringen einer Aufzeichnung in einen 15 nm dicken auf ein Glassubstrat aufgedampften Wismut-Überzug beträgt bei einer Wellenlänge von 800 nm 10 Milliwatt.
  • Anhand der schematischen Zeichnung eines Ausführungsbeispiels werden weitere Einzelheiten der Erfindung erläutert. Es zeigen: Fig. 1 einen Querschnitt durch einen unbeschriebenen Aufzeichnungsträger; Fig. 2 einen Querschnitt durch einen Aufzeichnungsträger mit Aufzeichnungsloch; Fig. 3 ein Block-Schaltbild eines Systems zum Aufnehmen und Abspielen von Informationen mit dem Aufzeichnungsträger; Fig. 4 einen Querschnitt eines unbeschriebenen Aufzeichnungsträgers mit einer Wärmesperrschicht; und Fig. 5 einen Querschnitt durch einen beschriebenen Aufzeichnungsträger mit einer Wärmesperrschicht.
  • Fig. 1 zeigt einen noch keinem aufzeichnenden Lichtstrahl ausgesetzten erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger 24.
  • Diesei;#esteht im wesentlichen aus einem Glassubstrat 110 und einer in einer Sauerstoffatmosphäre gebildeten Rhodiumschicht 112. In Fig. 2 ist ein erfindungsgemäßer Aufzeichnungsträger 24 nach der Einwirkung eines aufzeichnenden Lichtstrahls dargestellt. Durch den Lichtstrahl ist ein Teil der Rhodiumschicht 112 abgelöst und dadurch ein Loch 114 erzeugt worden. Nach dem Bespielen enthält der Aufzeichnungsträger eine Vielzahl von Löchern 114 und nicht nur das in Fig. 2 als Beispiel dargestellte.
  • Die Anwendung des erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers 24 wird anhand von Fig. 3 im einzelnen erläutert. Zur Aufnahme wird von einem Laser 10 emittiertes Licht durch ein#Modulator 12 geleitet. Dort wird das Licht in Abhängigkeit von einer elektrischen Eingangsspannungsquelle 14 moduliert.
  • Mit Hilfe der Aufnahmeoptik 16 wird das intensitätsmodulierte Licht verstärks um den Durchmesser des intensitätsmodulierten Laserstrahls so zu vergrößern, daß dieser den gewünschten Öffnungswinkel einer Objektivlinse 18 ausfüllt. Nach Totalreflexion des vergrößerten modulierten Laserstrahls durch eine poiaflsier#nde Teilerplatte 20 wird das Licht durch ein strahlärehendes bzw. -polarisierendes Viertel-Wellenlängen-Plättchen (Lambdaviertelplättchen) 22 zur Objektivlinse 18 geleitet. Der modulierte Strahl fällt dann - vorzugsweise einer Spiralspur folgend - auf das Aufzeichnungsmedium bzw. den Aufzeichnungsträger 24 gemäß Fig. 1 und löst bzw. schmilzt einen Teil der lichtabsorbierenden Schicht ab, so daß ein Teil des nichtreflektierenden Substrats freigelegt wird. Der Aufzeichnungsträger 24 wird während der Aufnahme mit Hilfe eines Drehantriebs bzw. Drehtisches 26 mit etwa 1800 Umdrehungen pro Minute gedreht. Ein Schärferegler 28 sorgt für einen konstanten Abstand zwischen der Objektivlinse 18 und der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums 24.
  • Zum Abspielen wird ein unmodulierter Laserstrahl mit einer geringeren Intensität als der aufzeichnende Laser strahl verwendet, so daß keine Ablöse- oder Abschmelzerscheinungen im Aufzeichnungsmedium verursacht werden.
  • Der lesende Laserstrahl folgt demselben Weg wie der aufnehmende Laserstrahl auf dem Aufzeichnungsträger 24. Das beim Bespielen erzeugte Muster einer Folge von Reflexions- und Nichtreflexions-Bereichen moduliert das beim Abspielen reflektierte Licht, welches durch die Objektivlinse 18 und das Lambda-Viertelplättchen 22 gelangt. Das nunmehr durch zwei Passagen durch das Lambda-Viertelplättchen 22 durch Polarisation um 900 gedrehte Licht durchläuft die polarisierende Teilerplatte 20 und wird mit Hilfe der Wiedergabeoptik 30 auf einen Fotodetektor 32 gerichtet. Dieser wandelt das reflektierte Licht in ein elektrisches Ausgangssignal um, das dem Eingangssignal entspricht und an der Ausgangsklemme 34 abzunehmen ist. Ein Spurregler 36 ist dazu vorgesehen, das durch die Wiedergabeoptik 30 geleitete Licht so zu steuern, daß dessen Spur auf dem Aufzeichnungsträger 24 während des Abspielens dieselbe ist wie bei der Aufnahme.
  • Das Auslesen des Aufzeichnungsträgers kann auch mit Hilfe einer Durchsttahlungstechnik erfolgen, wobei ebenfalls ein unmodulierter und wenig intensiver Laserstrahl zu benutzen ist.
  • In Fig. 4 ist ein noch nicht bespielter, erfindungsgemäßer Aufzeichnungsträger 25 dargestellt, der aus einem Glassubstrat 110, einem thermisch isolierenden Material 111 mit geringerer thermischer Diffusionskonstanten als das Substrat 110 und einer in einer Sauerstoffatmosphäre hergestellten Rhodiumschicht 112 besteht. Die Fig. 5 zeigt einen erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger 25, der bereits einem aufzeichnenden Lichtstrahl ausgesetzt war und bei dem daher durch Ablösen bzw. Abschmelzen eines Teils der Rhodiumschicht 112 ein Loch 116 entstanden ist. In einem Aufzeichnungsmedium befinden sich nach der jeweiligen Aufnahme eine Vielzahl von Löchern 116 und nicht nur das eine beispielhafte Loch gemäß Fig. 5.
  • Die Erfindung wird anhand der folgenden Beispiele noch näher erläutert; Beispiel 1 Auf ein Glassubstrat wurde durch Elektronenstrahlverdampfung bei einem Sauerstoff-Partialdruck von etwa 2 bis 3 x10 2 Pa ein dünner Rhodiumüberzug mit einer Schichtdicke von etwa 20 Nanometern (nm) von einer wassergekühlten Kupferelektrode bzw. einem wassergefüllten Kupferherd aus niedergeschlagen.
  • Der entstandene dünne Überzug wurde einem 80 Nanosekunden dauernden Einzelimpuls des Lichtes eines Argon-Lasers mit einer Wellenlänge von 488 Nanometern ausgesetzt. Die zu dieser Aufzeichnung benutzte Vorrichtung war ähnlich derjenigen gemäß Fig. 3, sie wies jedoch nicht den Spurregler sowie den Schärferegler auf, außerdem war der Aufnahmeträger bei der Aufnahme nicht auf einen Drehtisch 26 sondern auf eine feste Unterlage gesetzt. Die Aufnahmeschwelle dieses Überzugs lag bei einer auffallenden Energie von etwa 3,5 Milliwatt.
  • Die optischen Eigenschaften bei einer Wellenlänge von 488 Nanometern von nach dem vorgenannten Verfahren in einem Sauerstoff-Partialdruck hergestellten dünnen Rhodium-Überzügen sind in Tabelle I zusammengefaßt.
  • Tabelle I Optische Eigenschaften bei 488 um Wellenlänge eines unter Sauerstoff gebildeten Rhodiumüberzugs Dicke 0 2-Partialdruck Reflexions- Durchlaß- Absorpvermögen vermögen tion nm Pa o/o 7% 10 1 x 10 2 35 25 40 20 1 x 10 2 62 2 36 40 1 x 10 2 -67 0 30 Zur Kontrolle wurde ein dünner Rhodium-Überzug mit einer Schichtdicke von 10,0 Nanometern durch Elektronenstrahlverdampfung von einem wassergekühlten Kupferherd in einem Hochvakuum von weniger als 10 -4 Pa auf ein aus Glas bestehendes Substrat niedergeschlagen. Auch dieser Überzug wurde einem 80 Nanosekunden dauernden Einzelimpuls des Lichtes eines Argon-Lasers mit einer Wellenlänge von 488 Nanometern ausgesetzt0 Die entsprechende Aufnahmevorrichtung war die gleiche wie beim vorgenannten Versuch. Der in Abwesenheit von Sauerstoff in einem Hochvakuum hergestellte Rhodiumfilm hatte einen Aufnahme schwellenwert zum Bilden von Löchern von etwa 10,5 Milliwatt auf dem Film auffallender Strahlungsenergie.
  • Die optischen Eigenschaften dieses Rhodiumfilms sind in Tabelle II zusammengestellt.
  • Tabelle II Optische Eigenschaften bei 488 nm Wellenlänge von Rhodiumüberzügen.
  • Dicke 0 2-Partialdruck Reflexions- Durchlaß- Absorpvermögen vermögen tion nm Pa 20 Nullmenge 60 8 32 38 Nullmenge 64 1 35 Die Nullmenge des Sauerstoff-Partialdrucks liegt im Hochvakuum im allgemeinen weit unter 10 6 Pa.
  • Beispiel 2 Es wurde ein etwa 22,0 Nanometer dicker Rhodiumfilm bei einem einen Sauerstoff-Partialdruck von etwa 10 2 Pa enthaltenden Hochvakuum auf eine Glasscheibe mit 30,07 cm Durchmesser wie im Beispiel 1 aufgebracht. Der prozentuale Durchlässigkeitsgrad eines Films vor der Aufnahme bei 488 Nanometern Wellenlänge betrug 200%. Bei Verwendung der Vorrichtung gemäß Fig. 3 lag die Aufnahme schwelle zur Lochbildung bei 50 Milliwatt Ausgangsleistung des Argon-Lasers.
  • Der maximale Kontrast von 47% wurde bei einer Laser-Ausgangsleistung von etwa 500 Milliwatt erreicht. Der Kontrast ist dabei definiert als Differenz der Reflexionsvermögen der Löcher und der unberührten Filmbereiche dividiert durch die Summe der Reflexionsvermögen der Lochbereiche und des Hintergrundbereichs. Das Signal-Rauschverhältnis betrug ungefähr 30 bis 35 Dezibel (dB). Weitere Werte sind in Tabelle III angegeben.
  • Tabelle III Aufzeichnungseigenschaften eines bei einem Sauerstoffpartialdruck gebildeten Rho dium-Film-Übe rzug s Laser-Ausgangsleistung Kontrast mW 500 47 250 46 216 46 180 45 140 36 100 31 60 8 50 Schwelle Zur Kontrolle wurde ein 22,0 Nanometer dicker Rhodiumfilm auf eine Glasscheibe mit 30,0 cm Durchmesser unter Hochvakuum durch Elektronenstrahlniederschlag wie im ersten Teil dieses Beispiels aber in Abwesenheit von Sauerstoff gebildet. Bei einer Wellenlänge von 488 Nanometern ergab sich ein Durchlässigkeitsgrad von 7%. Es wurden Informationen mit Hilfe einer anhand von Fig. 3 beschriebenen Vorrichtung bei 488 Nanometern Wellenlänge aufgenommen. Das Signal-Rauschverhältnis beim höchsten Kontrastniveau betrug 35 dB.
  • Die Ergebnisse sind in Tabelle IV zusammengefaßt.
  • Tabelle IV Ohne Sauerstoff gebildete Rhodium-Scheiben Laser-Ausgangsleistung Kontrast mW 500 34 433 35 362 36 282 32 197 12 185 Schwellenwert In einem zweiten Kontrollversuch wurde ein 19,0 Nanometer dicker auf eine Glasscheibe mit 30,0 cm Durchmesser aufgedampfter Wismutfilm unter Verwendung der Vorrichtung gemäß Fig. 3 untersucht. Die Ausgangsschwellenspannung des Lasers betrug etwa 100 Milliwatt. Der maximale Kontrast lag bei 52% mit einem Signal-Rauschverhältnis von 35 dB bei einer Laser-Ausgangsleistung von 180 Milliwatt.
  • Leerseite

Claims (7)

  1. Patentansprüche: 1. Optischer Aufzeichnungsträger mit einer Rhodiumschicht auf einem Substrat, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h eine bei Sauerstoff-Partialdruck vakuumaufgedampfte Rhodiumschicht (112).
  2. 2. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, g e k e n n -z e i c h n e t d u r c h eine bei einem Sauerstoff-Partialdruck von etwa 2,6 x 10 -3 bis 6,7 x 10 2 Pa vakuumaufgedampfte Rhodiumschicht (112).
  3. 3. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1 oder 2, g e k e n n -z e i c h n e t d u r c h eine auf ein Glassubstrat (110) vakuumaufgedampfte Rhodiumschicht (112).
  4. 4. Aufzeichnungsträger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t daß die Rhodiumschicht (112) eine Schichtdicke von etwa 10,0 bis 40,0 Nanometer aufweist.
  5. 5. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Schichtdicke zwischen etwa 15 und 20 Nanometern liegt.
  6. 6. Aufzeichnungsträger, der für einen fokussierten Lichtstrahl vorgegebener Frequenz vorgesehen und aus einem Substrat, einer aus einem Material mit relativ zur thermischen Diffusionskonstanten des Substrats kleinen thermischen Diffusionskonstanten bestehenden Wärmesperrschicht und einer auf letzterer liegenden sowie aus einem gegenüber dem Licht der vorgegebenen Frequenz empfindlichen Material bestehenden Lichtabsorptionsschicht zusammengesetzt ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t daß die Lichtabsorptionsschicht (112) eine bei einem Sauerstoff-Partialdruck vakuumaufgedampfte Rhodiumschicht ist.
  7. 7. Verfahren zum Herstellen eines Aufzeichnungsträgers nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Rhodiumschicht in einem Vakuum mit Sauerstoff-Partialdruck, vorzugsweise zwischen etwa 2,6 x 10 3 und 6,7 x 10 Pa, aufgedampft wird.
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