DE2009004C3 - Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase - Google Patents

Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase

Info

Publication number
DE2009004C3
DE2009004C3 DE2009004A DE2009004A DE2009004C3 DE 2009004 C3 DE2009004 C3 DE 2009004C3 DE 2009004 A DE2009004 A DE 2009004A DE 2009004 A DE2009004 A DE 2009004A DE 2009004 C3 DE2009004 C3 DE 2009004C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
gas
calibration
arrangement
pump
gas source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2009004A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2009004B2 (de
DE2009004A1 (de
Inventor
Thaddaeus Dr. Vaduz Kraus (Liechtenstein)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
Original Assignee
Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH filed Critical Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
Publication of DE2009004A1 publication Critical patent/DE2009004A1/de
Publication of DE2009004B2 publication Critical patent/DE2009004B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2009004C3 publication Critical patent/DE2009004C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N7/00Analysing materials by measuring the pressure or volume of a gas or vapour
    • G01N7/14Analysing materials by measuring the pressure or volume of a gas or vapour by allowing the material to emit a gas or vapour, e.g. water vapour, and measuring a pressure or volume difference
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/20Metals
    • G01N33/202Constituents thereof
    • G01N33/2022Non-metallic constituents
    • G01N33/2025Gaseous constituents

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle, z. B. von einer in einem Vakuumhcißextraktionsofen erhitzten Metallprobe, abgegebenen Gase. Üblicherweise weist eine solche Anordnung ein :in die as Gasquelle anzuschließendes Pumpsjstem und einen Gassammclraum auf, in welchen die zu bestimmenden Gase hineingepumpt und anschließend mittels gecigne ter Meßgeräte untersucht werden.
Um eine vollstänjigc Extraktion der Probe und kurze Extraktionszcitcn zu erreichen, ist es erforderlich, zur Wegförderung der Gase aus ocni Vakuuinüfcn Pumpen mit genügend hohem Sjugvcnögen zu benutzen. Deshalb schloß man unmittelbar an den Ofenraum meist eine Diffusionspumpe an (DT-AS 1 078 787 und I 046 914). Da jedoch die Wartung von Diffusionspumpen umständlich ist (z. B. längere Wartezeiten erfordert, weil die Aufheizung Zeit in Anspruch nimmt) und tla besonders bei Bedienung durch weniger qualifiziertes Personal sich leicht Fehlleistungen ergeben können (/.. B. ein Fluten der noch heißen Diffusionspumpe, wodurch das Pumperitrcibmittel verdorben wird) dachte man daran. Rotationspumpen allein als .Sammelpumpen zu verwenden. Es stellte sich jedoch heraus, daß V;ikuumöfen bisheriger Bauart und Größe da/u ungeeignet waren.
Soll nämlich die Fixtraktion der Probe innerhalb einer bestimmten Zeit (/. B. I s) hinreichend vollständig (/.. B. zu 99 %) verlaufen, so darf der Quotient aus dem freien Volumen, das an der Ansaugseite der Pumpe angeschlossen ist und dem Saugvermögen der Pumpe tinen bestimmten Betrag (in diesem Beispiel 0.22 s) nicht überschreiten. Daher darf auch das Ofcnvoliimen bei Verwendung einer Pumpe mit gegebenem Saugvermögen (■/.. B. I mVh = 280 cm Vs) einen bestimmten Betrag (in diesem Beispiel bOcm1) nicht überschreiten.
Da übliche Vakuumextraktionsöfen ein bedeutend größeres Volumen (mehr als I Liier) aufgewiesen haben, erschien die Verwendung von Rotationspumpen, die grundsätzlich ein wesentlich geringeres Saugvermögen als Diffusionspumpen besitzen, ohne vorgeschaltete Diffusionspumpen nicht möglich (DT-AS I 235 631). Obwohl an sich schon bekannt war (US-PS 3 062 624), daß das Gesamtvolumen eines Gasanalysiersystems so klein sein sollte wie für die Praxis erfordcrlich, glaubte man dennoch auf eine Diffusionspumpe nicht verzichten zu können.
Für die alleinige Verwendung von Rotationspumpen hinreichend kleine Volumen konnten auch wegen der notwendigen Eichung nicht verwirklicht werden. Zwecks Eichung der Meßanordnung wurde nämlich das Eichgas bisher direkt in den Vakuumextraktionsofen («Archiv für das Eisenhüttenwesen«. 39. Jahrgang, Heft 11, November 1968, S. 823 bis 827) eingelassen, um für dieses gleiche Bedingungen zu schaffen, wie sie das aus der Probe freigesetzte Analysengas antrifft (»Archiv für das Eisenhüttenwesen«, 33. Jahrgang, Heft 8, August 1962, S. 527 bis 533). Dieser Gesichtspunkt erschien insbesondere wichtig in Hinblick auf die quantitative Erfassung des Einflusses einer etwaigen Getterung, die auftreten kann, wenn die Probe bei der Erhitzung Dämpfe ^z. B. Metalldämpfe) abgibt, welche an den Ofenwänden Niederschläge bilden und einen Teil des Analysengases sorbieren können. Die quantitative Berücksichtigung dieser Getterung war bei Vakuumöfen mit großem Volumen für eine genaue Analyse geboten.
Die erwähnie Einleitung des Eichgases in den Ofenraum hat jedoch den wesentlichen Nachteil, daß die notwendige Eichgasanschlußleitung mit Absperrventil das Volumen auf der Ansaugseite der Pumpe vergrößert, was sich bei der nachfolgenden Bestimmung der von der zu untersuchenden Gasquelle abgegebenen Gase besonders bei Verwendung von Pumpen mit geringem .Saugvermögen ungünstig auswirkt. Ventile, die für das Einlassen genau dosierter Eichgasmengen erforderlich sind, besitzen bereits ein Totvolumen etwa gleicher Größe als für den Vakuumofen zulässig wäre (in obigem Beispiel 60 cm1). Aus den obenerwähnten Gründen glaubte man andererseits, das F.ichsystem direkt an den Ofenraum anschließen zu müssen. Dies führte dazu, daß bei der Analyse von getterndem Probenmaterial irotz geringem Ofenvolumens immer noch ein Teil des Analysengases gegettert wurde und daher die gesammelte Analyscngasmcngc nicht der aus der Probe extrahierten Menge entspra.-h. Ferner war in diesem Falle das Ergebnis einer Analyse oder einer Eichung manchmal auch noch abhängig von der Zusammensetzung vorangegangener Proben, wenn eine Gelterschicht sich auf die nachfolgende Analyse auswirkte. Aber auch im Falle von Proben, die keine Gcttcrschichtcn bilden, wirkte sich der Nachteil eines vergrößerten Volumens auf der Ansaugseite der Pumpe durch verlängerte Extraktionszeiten störend aus. Man kann diesen Nachtei1 zwar durch Verwendung einer Pumpe von größerem .Saugvermögen ausgleichen, jedoch ist diese Lösung mit höheren Kosten verbunden. Auch die Verwendung eines mehrstufigen Rotationspumpensystems h'hcbt den angeführten Mangel für ".ich allein noch nicht, obwohl sie wie bekannt, eine höhere Verdichtung und damit einen niedrigeren Enddruck im Ofenraum bei gleich hohem Druck im Sammelraum erzielen läßt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase auf die Verwendung von Diffusionspumpen verzichten zu können und die Verwendung der bekannt wartungsfreundlichen Rotationspumpen für das Sammeln des Analysengases zu ermöglichen und dabei die Vorteile einer vollständigen Extraktion des Gases aus der Probe und einer kürzeren Extraktionszeit sowie einer von der Zusammensetzung vorangegangener Proben unabhängigen Analyse und Eichung zu erzielen.
Die Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase, welche ein an
die Gasquelle anzuschließendes mindestens zweistufiges Rouuionspumpsystem zum Sammeln des zu bestimmenden Gases und einen diesem Rotationspumpsystem nachgesehalieten Gassammelrnum sowie eine Einrichtung zum Zuführen einer dosierten Eichgasmenge durch das Rotationspumpensystem in den Gassammelraum aufweist, ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß die Eichgaszuführungsleitung in die VerbindungsleUung zwischen zwei Pumpstufen des Rolationspumpsystems einmündet.
Diese Lösung erlaubt es, das Volumen auf der Ansaugseite (Ofenseite) extrem zu verkleinern, um zu vollständiger Extraktion und kurzen Extraktionszeiten zu gelangen. Zum Beispiel kann auf diese Weise ein Ofeuvolumen von nur 30 ecm verwirklicht werden. Trotzdem erlaubt die erfindungsgemäße Lösung, weil sie einen Eichgasanschluß auf der Ofenseite vermeidet, die Verwendung von relativ kleinen Rotationspumpen.
Dabei ist es jedoch unerläßlich, die Eichgaszuführungsleitung in die Verbindungsleiiung zwischen zwei ao Pumpsiufen des Rotationspumpsystems einmünden zu lassen. Würde man das Eichgas nach der leu.icn Pump-Stule einführen, wäre die Forderung, daß die Eichung von der Eichgasmenge unabhängig sein muß, nicht zu erfüllen, weil sich dann auf der Ausstoßseite des Pumpsystems ein wechselnder und zu hoher Druck aufbildcn würde. Bei Einlaß des Eichgases auf der Ansaugseite dagegen würden die für diesen ('all dargelegten Nachteile auch bei Verwendung eines zweistufigen Rotationspumpensystems nicht vermieden werden können.
Man erreicht mit der erfindungsgemäßen Anordnung iowohl eine rasche und quantitative Entleerung des kalibierten Volumens des Eichsystems als auch eine reiche und quantitative Entgasung der Probe im Ofenraum, ohne daß kostspielige Zusatzeinrichtungen erfor-Verlieh sind. Infolge der bedeutenden Verringerung des Volumens auf der Ansaugseite der Pumpe wird auch (lic Gettcrung vernachlässigbar klein und braucht diese bei der Eichung gar nicht mehr berücksichtigt zu werden. ijO
Ein Beispiel einer Anordnung nach der Erfindung wurde nachfolgend an Hand der Zeichnung näher beschrieben.
In der Zeichnung bedeutet 1 eine die zu untersiahen- «lcn Gase abgebende Quelle. Es handelt sich dabei oft um eine die Gase bei Unterdruck abgebende Quelle, beispielsweise um einen Vakuumheißextraktionsofcn. An die Gasquelle 1 ist ein zweistufiges mechanisches Pumpsystem angeschlossen, welches die Aufgabe hat, die Meßgase zu sammeln und dem Gasmengenmeßgerät 2 zuzuführen. Letzteres kann beliebiger Art sein und z. B. auf der Messung der Ultrarotabsorption der Gase, deren Wärmeleitfähigkeit oder anderer physikalischer oder chemischer Eigenschaften beruhen.
Das erwähnte zweistufige Pumpensystem besteht im gezeichneten Beispiel aus zwei Vakuumdrehschieberpumpstufen 3 und 4.
Die erste Stufe 3 verdichtet das Gas vom Druck in der Quelle auf einen mittleren Druck, die zweite von diesem auf den Druck, der sich im Gassammeiraum bildet. Dieser letztere Druck ist in der Regel ebenfalls ein Unterdruck, da der Gassammelrium vor Beginn der Messung mit einer weiteren nicht dargestellten Pumpe evakuiert wird.
Um der beschriebenen Anordung zwecks Eichung ein Eichgas zuführen zu können, ist der Eichgasanschluß 5 vorgesehen, und zwar mündet dieser erfindungsgcmäß in den die beiden Pumpsiufen 3 ur-J 4 verbindenden Raum, nämlich in die Verbindungsleitung 6.
Die Zeichnung zeigt ein Ventil 7 in der Eichgasanschlußleitung, ein Meßvolumen 8 für das Eichgas und ein zweites Ventil 10. welches gestattet von dem Eichgasvorrat 9 eine bestimmte Menge in das Eichvolumen einzulassen, die dann bei Offnen des Ventils 7 in den Gassammclraum 2 gelangt. Gegenüber dem möglichen Einlaß des Eichgases direkt in den Gassammclraum bringt die Verwendung eines zwei- oder mehrstufigen Piimpsjstems den Vorteil, daß in der Verbindungsleitung zwischen zwei Pumpsiufen der Druck noch so gering ist, daß die Eichgasmenge quantitativ in das .System eingeführt werden kann. Auf der Ausstoßscite des Pumpsysiems dagegen kann der DrucK unter Umständen bereits so hoch sein, daß das Eichgas nicht mehr vollständig von der Gassammclkammor aufgenommen wird.
Das in der Gassammclkammer gesammelte Gas wird Untersuchungen mittels Meßgeräten unterworfen, die an die Gassammclkammer angeschlossen sind oder mit dieser zusammen eine bauliche Einheil bilden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase, welche ein an die Gasquelle anzuschließendes mindesten» zweistufiges Rotationspumpsystem zum Sammeln des zu bestimmenden Gases und einen diesem Rolationspumpsystem nachgeschalteten Gassammelraum sowie eine Einrichtung zum Zuführen einer dosierten Eichgasmenge durch das Rotationspurnp system in den Gassammeiraum aufweist, d a durch gekennzeichnet, daß die Eichgaszuführungsleitung (5) in die Verbindungsleitung (6) zwischen zwei Pumpstufen (3, 4) des Rotationspumpsystems (3,4) einmündet.
DE2009004A 1969-04-08 1970-02-26 Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase Expired DE2009004C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH539769A CH490673A (de) 1969-04-08 1969-04-08 Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2009004A1 DE2009004A1 (de) 1970-10-15
DE2009004B2 DE2009004B2 (de) 1974-07-25
DE2009004C3 true DE2009004C3 (de) 1975-03-20

Family

ID=4292882

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2009004A Expired DE2009004C3 (de) 1969-04-08 1970-02-26 Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3618363A (de)
CH (1) CH490673A (de)
DE (1) DE2009004C3 (de)
FR (1) FR2038314B1 (de)
GB (1) GB1282197A (de)
NL (1) NL6909218A (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3885414A (en) * 1972-10-24 1975-05-27 Gen Electric Package for calibration fluids and process
DE2843651A1 (de) * 1978-10-06 1980-04-24 Draegerwerk Ag Funktionspruefgeraet fuer gas-messeinrichtungen mit kleinen foerdermengen
DE3521535C1 (de) * 1985-06-15 1986-09-18 Drägerwerk AG, 2400 Lübeck Verfahren zur Kalibrierung eines Gasmessgeraetes
FR2627285B1 (fr) * 1988-02-16 1991-05-31 Pechiney Appareil d'etude et de mesure des gaz contenus dans les metaux
US5033286A (en) * 1990-06-18 1991-07-23 Westinghouse Electric Corp. On-line instrument for measuring effective partial pressure of dissolved gases in a liquid
US5369977A (en) * 1992-09-30 1994-12-06 Lundahl Instruments, Inc. Gaseous detection system
US5394730A (en) * 1993-01-29 1995-03-07 Eli Lily And Company Method and apparatus for generating a vapor/gas mixture, and uses therefor
DE602004029062D1 (de) * 2003-09-10 2010-10-21 Astellas Pharma Inc Vorrichtung zur verdampfung von lösungsmitteln im vakuum
CN108387691B (zh) * 2018-04-02 2023-08-22 杭州赛威斯真空技术有限公司 一种材料吸气放气率测试装置

Also Published As

Publication number Publication date
US3618363A (en) 1971-11-09
DE2009004B2 (de) 1974-07-25
NL6909218A (de) 1970-10-12
FR2038314A1 (de) 1971-01-08
CH490673A (de) 1970-05-15
FR2038314B1 (de) 1974-05-03
DE2009004A1 (de) 1970-10-15
GB1282197A (en) 1972-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0283543B1 (de) Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu
EP2217902B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur dichtheitsprüfung
DE1648648C3 (de) Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
DE2009004C3 (de) Anordnung zur quantitativen Bestimmung der von einer Gasquelle abgegebenen Gase
DE2552149C3 (de) Gasanalysator für Lungenuntersuchungen
DE4139735C3 (de) Entgasungsgerät
DE4228313A1 (de) Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
WO2005124309A1 (de) Lecksuchgerät mit schnüffelsonde
DE1937271A1 (de) Lecksuchgeraet
EP0242684B1 (de) Lecksuchgerät mit Detektor und Testleck
DE69817650T2 (de) Spürgas-Leckdetektor
DE102011107334B4 (de) Lecksucheinrichtung sowie Verfahren zum Überprüfen von Gegenständen auf Dichtigkeit mittels einer Lecksucheinrichtung
DE69104005T2 (de) Leckdetektor mit Spürgas.
DE19646301C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Analyse von Dampf aus einer Dampfsterilisations- oder Dampfdesinfektionsanlage
DE4136950A1 (de) Mehrstufiges vakuumpumpsystem
EP1549421B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur entnahme von flüssigen proben
DE2144479A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum kraeuseln von faeden
DE1145815B (de) Messanordnung zur fortlaufenden digitalen Messung von Gasmengen
DE1235631B (de) Verfahren zur quantitativen Analyse von Gasen und Anordnung zur Ausuebung des Verfahrens
DE9107975U1 (de) Anordnung zum Messen des Wasserdampfanteiles in Rauchgas
DE1598276A1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung von Uran in der Atmosphaere
EP1088224B1 (de) Gasextraktionsanlage
DE4435821A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Chlordioxid-Lösung
DE2836122A1 (de) Verfahren zum detektieren von unreinheiten in behaeltern sowie vorrichtung zur ausuebung des verfahrens
DE632681C (de) Vorrichtung zur Messung des Zuckergehaltes von Fluessigkeiten

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee