DE19937784A1 - Zweischeiben-Feinschleifmaschine - Google Patents

Zweischeiben-Feinschleifmaschine

Info

Publication number
DE19937784A1
DE19937784A1 DE1999137784 DE19937784A DE19937784A1 DE 19937784 A1 DE19937784 A1 DE 19937784A1 DE 1999137784 DE1999137784 DE 1999137784 DE 19937784 A DE19937784 A DE 19937784A DE 19937784 A1 DE19937784 A1 DE 19937784A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
working
disc
axially parallel
drive shaft
grinding machine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE1999137784
Other languages
English (en)
Other versions
DE19937784B4 (de
Inventor
Volker Von Mackensen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lapmaster Wolters GmbH
Original Assignee
Peter Wolters Werkzeugmaschinen GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Peter Wolters Werkzeugmaschinen GmbH filed Critical Peter Wolters Werkzeugmaschinen GmbH
Priority to DE1999137784 priority Critical patent/DE19937784B4/de
Priority to EP20000113746 priority patent/EP1075897B1/de
Priority to DE50013453T priority patent/DE50013453D1/de
Publication of DE19937784A1 publication Critical patent/DE19937784A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19937784B4 publication Critical patent/DE19937784B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/08Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11Lapping tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/02Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents

Abstract

Zweischeiben-Feinschleifmaschine mit einem Maschinengehäuse, einer oberen und einer unteren Arbeitsscheibe, die jeweils an einer Trägerscheibe befestigt sind, einer oberen und einer unteren vertikalen Antriebswelle zum Antrieb der Arbeitsscheiben, die mittels Rollenlager im Maschinengehäuse drehbar gelagert und von einem Motor über Getriebemittel antreibbar sind, und mit einer Kühlvorrichtung, die mittels Kühlflüssigkeit die Arbeitsscheiben kühlt, wobei in der der jeweiligen Arbeitsscheibe zugekehrten Fläche der Trägerscheibe mindestens eine radial abgedichtete Kammer geformt ist, die über achsparallele Bohrungen der Arbeitsscheiben mit deren Arbeitsfläche verbunden ist, und jede Welle mindestens einen achsparallelen Kanal aufweist, dem von einer Quelle für Kühlschmierflüssigkeit über eine stationäre Zuführvorrichtung Kühlschmierflüssigkeit zugeführt wird.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Zweischeiben-Feinschleifmaschine nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus DE 195 47 085 ist eine Läpp- oder Poliermaschine mit einer oberen und einer unteren Arbeitsscheibe bekannt geworden, von denen mindestens eine von einem Antrieb drehend angetrieben ist. Zwischen den Arbeitsflächen der unteren und oberen Arbeitsscheibe sind mehrere Läuferscheiben angeordnet, die Öffnungen zur Auf­ nahme von Werkstücken aufweisen sowie eine Zahnung am Umfang, wobei die Zah­ nung mit einem inneren und einem äußeren Stiftkranz in Eingriff ist zwecks Verdre­ hung und Vortrieb der Läuferscheiben, wenn mindestens ein Stiftkranz in Drehung versetzt wird. Ferner ist eine Quelle für die Zufuhr von fließfähigem Arbeitsmittel oder Schmiermittel vorgesehen, das zwischen die Arbeitsflächen eingetragen wird. Äußere und innere Abfangmittel fangen das innen und außen aus dem Arbeitsspalt austretende Mittel ab und führen es einer Filtrieranlage zu. Eine Weiche kann die Kanäle wahlweise mit einem Recyclingtank oder einem anderweitigen Ablauf verbinden.
Es ist ferner bekannt, derartige Arbeitsmaschinen auch zu kühlen, indem insbesondere in der Trägerscheibe Kühlkanäle vorgesehen sind, denen ein Kühlmedium zugeführt wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Zweischeiben-Schleifmaschine zu schaffen, bei der der Aufwand für die Zufuhr des Arbeitsmittels und des Kühlmittels verringert und eine optimale Kühlung gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
Bei der erfindungsgemäßen Zweischeiben-Feinschleifmaschine, die normalerweise eine Läppkinematik hat, ist in der der jeweiligen Arbeitsscheibe zugekehrten Fläche der Trägerscheiben mindestens eine radial abgedichtete Kammer geformt, die über achsparallele Bohrungen der Trägerscheibe mit deren Arbeitsflächen verbunden ist. In jeder Welle ist mindestens ein achsparalleler Kanal vorgesehen, der mit einer Quelle für Kühlschmierflüssigkeit über eine stationäre Zuführvorrichtung verbunden ist.
Anstelle eines intern geschlossenen Kühlkreislaufes, wie dieser bisher üblich war, wird ein offener Kreislauf vorgesehen, und das Kühlmittel ist gleichzeitig Schmier- bzw. Arbeitsmittel. Es versteht sich, daß ein geeignetes Kühlaggregat vorgesehen ist, um das Kühlschmiermittel auf eine niedrige Temperatur zu bringen, bevor es den Arbeitsflächen zugeführt wird. Das Auffangen des radial aus dem Spalt zwischen den Arbeitsflächen austretenden Kühlschmiermittels erfolgt in bekannter Weise, etwa wie in DE 195 47 085 beschrieben, worauf ausdrücklich Bezug genommen wird. Die auf­ gefangene Kühlschmierflüssigkeit kann recycelt bzw. gefiltert werden, bevor sie über das Kühlaggregat erneut den Arbeitsscheiben zugeführt wird. Mit Hilfe der erfin­ dungsgemäßen Konstruktion ist sichergestellt, daß die aktiven Schleifzonen gleich­ zeitig oben und unten und somit auch unterhalb der Werkstücke optimal gekühlt wer­ den. Ferner werden die Späne optimal abgeführt. Durch die erfindungsgemäße Maß­ nahme erhöhen sich die Zerspanleistung und die Standzeit der Schleifscheiben erheb­ lich.
In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Antriebswellen zwei oder mehr achsparallele Kanäle aufweisen, die mit der Zuführvorrichtung und mit in Umlaufrichtung versetzt angeordneten Stellen der Kammern verbunden sind. Die achsparallelen Kanäle können mit Hilfe einer Hülse gebildet werden, die drehfest in der hohlen Antriebswelle sitzt und an der Außenseite einen oder mehrere achsparallele Nuten aufweist, welche die Kühlkanäle bilden.
Die Kammern in den Trägerscheiben können über mindestens einen Verbindungs­ kanal in der Trägerscheibe über eine radiale Bohrung in der Antriebswelle mit den achsparallelen Kanälen in der Antriebswelle verbunden sein. Nach einer anderen Aus­ gestaltung der Erfindung hat die untere Trägerscheibe Speichen, welche eine Nabe mit einem Tragabschnitt verbinden. Der Verbindungskanal kann dann in einer oder meh­ reren Speichen geformt sein.
Die Zuführvorrichtung an den Antriebswellen wird nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung mit einem die Antriebswelle umgebenden stationären Verteilerring ver­ sehen, an dem mindestens eine Zuführleitung angebracht ist. Diese ist über eine radiale Bohrung im Verteilerring mit einer achsparallelen Ringkammer verbunden, die zwischen Verteilerring und Antriebswelle ausgebildet ist. Über eine radiale Bohrung in der Antriebswelle ist dann die Ringkammer mit mindestens einem achsparallelen Kanal in der Antriebswelle verbunden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines in Zeichnungen dargestellten Ausfüh­ rungsbeispiels näher erläutert.
Fig. 1 zeigt im Schnitt eine Feinschleifmaschine nach der Erfindung.
Fig. 2 zeigt vergrößert den oberen Teil der Maschine nach Fig. 1.
Fig. 3 zeigt vergrößert den unteren Teil der Maschine nach Fig. 1.
Zunächst wird Fig. 1 näher beschrieben, wobei jedoch auf die Erläuterung solcher Teile im Detail verzichtet wird, die üblicherweise Bestandteile von Schleif-, Läpp-, Polier- oder sonstigen Zweischeibenmaschinen darstellen.
Ein Maschinengehäuse 10 der Feinschleifmaschine mit Läppkinematik nach Fig. 1 weist einen unteren Teil 12 und einen oberen Teil 14 auf. Der obere Teil 14 ist gegenüber dem unteren Teil 12 um eine vertikale Achse verschwenkbar. Der obere Teil weist eine obere Schleifscheibe 16 auf, die sich aus einer Trägerscheibe 18 und einer daran durch Verschraubung befestigten Arbeitsscheibe 20 zusammensetzt. Die Schleifscheibe 16 ist pendelnd, jedoch drehfest an einer oberen vertikalen Antriebswelle 22 aufgehängt, auf der ein Zahnrad 24 sitzt, das auf nicht näher dargestellte Art und Weise von einem geeigneten Antrieb angetrieben ist zwecks Rotation der Schleifscheibe 16. Am oberen Ende ist die Antriebswelle 22 von einer stationären Zuführvorrichtung 26 umgeben, auf die weiter unten noch näher eingegangen wird. Die Zuführvorrichtung 26 ist mit zwei Leitungen 28, 30 verbunden, über die eine Kühlschmierflüssigkeit zugeführt wird. Die Quelle für Kühlschmierflüssigkeit ist nicht dargestellt. Sie weist ein Filter- und Kühlaggregat zur Kühlung der Flüssigkeit auf sowie eine Pumpe zur Erzeugung eines ausreichenden Druckes. Die Leitung der Kühlflüssigkeit zur Schleifscheibe 16 erfolgt durch die hohle Antriebswelle 22 auf weiter unten noch zu beschreibende Art und Weise. In Fig. 1 ist zu erkennen, daß die Trägerscheibe 18 einen schrägen Kanal 32 aufweist, der in Verbindung ist mit einem Labyrinth 34, das mehrere Kammern enthält zur Aufnahme der zugeführten Kühlschmierflüssigkeit. Die Arbeitsscheibe 20 ist mit einem Muster von achsparallelen Durchbohrungen 36 versehen, über die Flüssigkeit zur Arbeitsfläche austreten kann.
Die Schleifscheibe 16 kann mit Hilfe nicht näher dargestellter und beschriebener Mittel vertikal bewegt werden in Richtung einer unteren Schleifscheibe 40, die aus einer unteren Trägerscheibe 42 und einer unteren Arbeitsscheibe 44 besteht. Die untere Schleifscheibe 40 ist in der Höhe fest, wird jedoch über eine vertikale Antriebswelle 46 in Drehung versetzt. Auf der Antriebswelle 46 sitzt wiederum ein Zahnrad 48, das von einem nicht gezeigten Antriebsmotor antreibbar ist. Am unteren Ende der Antriebswelle 46 ist eine weitere Zuführvorrichtung 50 für Kühlschmier­ mittel vorgesehen, die mit zwei Leitungen 52, 54 in Verbindung steht. Die Leitungen 52, 54 sind wie die Leitungen 28, 30 mit einer Quelle für gekühltes und gefiltertes Kühlschmiermittel verbunden. Diese kann identisch mit der für die Leitungen 28, 30 sein. Die Zufuhr des Kühlschmiermittels zur unteren Schleifscheibe 40 erfolgt über die hohle Antriebswelle 46 auf eine noch zu beschreibende Art und Weise.
Die untere Trägerscheibe 42 weist einen Tragabschnitt 56 auf, der über eine Ver­ schraubung mit der Arbeitsscheibe 44 verbunden ist, eine Nabe 58 sowie Speichen 60 zwischen Nabe 58 und Tragabschnitt 56. Der Tragabschnitt 56 weist wiederum ein Kühllabyrinth 62 auf, das ähnliche wie das Kühllabyrinth 34 ausgebildet ist und das über ein Muster achsparalleler Durchbohrungen 64 in der Arbeitsscheibe 44 mit der zugekehrten Arbeitsfläche in Verbindung steht. Das Kühllabyrinth 42 ist über Kanäle 66 in den Speichen 60 mit der Zuführung in der Antriebswelle 46 verbunden auf eine Art und Weise, die weiter unten noch beschrieben wird.
Aus Fig. 2 geht die Zuführvorrichtung 26 für die Kühlschmierflüssigkeit zur oberen Schleifscheibe 16 deutlicher hervor. Man erkennt einen Ring 70, der stationär ange­ ordnet ist und die Antriebswelle 22 umgibt und mit einer die Antriebswelle umgeben­ den und mit dieser mitdrehenden Buchse 72 eine Ringkammer 74 bildet, die über eine radiale Bohrung 76 bzw. 78 mit der Leitung 28 bzw. 30 verbunden ist. In der Buchse 72 und dazu ausgerichtet in der Welle 22 sind radiale Bohrungen 80 bzw. 82 vorge­ sehen. Die radialen Bohrungen sind verbunden mit achsparallelen Kanälen 84 bzw. 86, welche von einer Hülse 88 gebildet sind, die drehfest innerhalb der hohlen Welle 22 sitzt. Auf die Anbringung der Buchse 88 wird im einzelnen nicht eingegangen. Wie erkennbar, ist mithin jeweils ein achsparalleler Kanal in der Welle 22 mit einer Lei­ tung 28 bzw. 30 verbunden. Es ist jedoch auch denkbar, mehr als zwei achsparallele Kanäle vorzusehen und mit der Ringkammer 74 zu verbinden.
Am unteren Ende der Welle 22 sitzt ein Ringkörper drehfest auf der Welle, der seiner­ seits mit der Trägerscheibe 18 verschraubt ist. Der Ringkörper 90 weist eine erste Kanalanordnung 92 und eine zweite Kanalanordnung 94 auf, welche einen achs­ parallelen Kanal 84 bzw. 86 mit einem Kanal 32 in der Trägerscheibe 18 verbinden, um an mehreren in Umfangsrichtung beabstandeten Stellen Kühlschmiermittel in das Labyrinth 34 einzuleiten.
Die Schleifscheibe 16 ist von einer Haube 96 umgeben, die höhenverstellbar am Gehäuseteil 14 angebracht ist. Zur Verstellung dient ein Verstellzylinder 98. Wie aus Fig. 1 hervorgeht, erstreckt sich die Seitenwand der Haube 96 über die Arbeitsfläche der Schleifscheibe 16 nach unten hinaus, wenn die Schleifscheibe 16 in Richtung unterer Schleifscheibe 40 abgesenkt wird. Dies ist in Fig. 1 links durch die gestrichelte Doppellinie angedeutet.
Eine mit 100 bezeichnete Anordnung dient Meßzwecken beim Schleifen, worauf nicht weiter eingegangen wird. Sie weist eine durch die hohle Welle 22 geführte Stange auf, die am oberen Ende aus der Welle 22 herausgeführt ist.
Wie aus Fig. 3 zu erkennen, weist die Zuführvorrichtung 50 einen Zuführring 110 auf, der stationär das untere Ende der Antriebswelle 46 umgibt und der mit den beiden Leitungen 52, 54 verbunden ist. Radiale Bohrungen 112, 114 sind mit einer Ring­ kammer 116 in Verbindung, die zwischen dem Ring 50 und einer auf der Welle 46 sitzenden Buchse 118 gebildet ist. Die Buchse 118 und die Welle 46 weisen ausge­ richtete radiale Bohrungen auf, die in Verbindung stehen mit achsparallelen Kanälen 120, 122 in der Welle 46. Diese werden gebildet durch achsparallele Nuten einer Hülse 124, die drehfest in der hohlen Welle 46 angeordnet ist. Wie erkennbar, ist die Ringkammer 116 durch eine obere und eine untere Lippendichtung abgedichtet, ebenso wie die Kammer 74 der Verteilvorrichtung 26 an der oberen Welle 22. Mit Hilfe eines jeweils auf der anderen Seite der Dichtungen aufgebauten Drucks durch Luft oder eine Flüssigkeit unter Druck wird eine verbesserte Abdichtung erhalten und verhindert, daß das unter Druck eingeleitete Kühlschmiermittel entweicht.
Die achsparallelen Kanäle 120, 122 sind über obere radiale Bohrungen in der Welle 46 mit den Kanälen 66 in den Speichen 60 in Verbindung, wobei die Nabenanordnung 58 Verbindungskanäle aufweist, die jedoch nicht mit Bezugszeichen versehen sind. Das Kühlschmiermittel kann daher auch bei Drehung der Schleifscheibe 40 in die Kühllabyrinthe 62 eingespeist werden und von dort über die Bohrungen 64 zur Arbeitsfläche hin austreten.
Ein innerer Stiftkranz 126 wird über eine Innenwelle 128 innerhalb der Welle 46 angetrieben, und zwar über einen Zahnriemenantrieb 130, der von einem Motor 132 angetrieben ist. Ferner ist ein äußerer Stiftkranz 134 gezeigt, der die Schleifscheibe 40 umgibt und ebenfalls drehend angetrieben sein kann, was hier jedoch nicht dargestellt ist. Es ist lediglich eine Hubvorrichtung 136 gezeigt, die jedoch im einzelnen nicht beschrieben werden soll und mit der der Stiftkranz 134 in der Höhe verstellbar ist. Dies gilt insbesondere zum Absenken des Stiftkranzes 134 beim Be- und Entladen der Werkstücke. Wie bekannt, dienen die Stiftkränze zum Antrieb der nicht gezeigten, am Umfang gezahnten Läuferscheiben.
Eine Stange 138 in der inneren Welle 128 mit einem oberen Teller 140 ist ein weiteres Teil der in Fig. 2 dargestellten Meßvorrichtung. Auf diese wird im einzelnen nicht eingegangen.
Das radial nach außen austretende Kühlschmiermittel wird durch eine Seitenwand 142, welche die untere Schleifscheibe 40 wannenartig umgibt, aufgefangen. Das Kühlschmiermittel wird in einer Wanne gesammelt, dann gefiltert sowie gekühlt und erneut zugeführt. Entsprechend wird auch das zwischen innerem Stiftkranz 126 und dem Innenrand der Schleifscheibe 40 austretende Kühlschmiermittel nach unten geleitet und auf nicht gezeigte Art und Weise aufgefangen, damit es dem Kreislauf wieder zugeführt werden kann.

Claims (6)

1. Zweischeiben-Feinchleifmaschine mit einem Maschinengehäuse, einer oberen und einer unteren Arbeitsscheibe, die jeweils an einer Trägerscheibe befestigt sind, einer oberen und einer unteren vertikalen Antriebswelle zum Antrieb der Arbeitsscheiben, die mittels Rollenlager im Maschinengehäuse drehbar gelagert und von einem Motor über Getriebemittel antreibbar sind, und mit einer Kühlvorrichtung, die mittels Kühlflüssigkeit die Arbeitsscheiben kühlt, dadurch gekennzeichnet, daß in der der jeweiligen Arbeitsscheibe (20, 44) zugekehrten Fläche der Trägerscheibe (18, 42) mindestens eine radial abgedichtete Kammer (34, 62) geformt ist, die über achsparallele Bohrungen (36, 64) der Arbeitsscheiben (20, 44) mit deren Arbeitsfläche verbunden ist, und jede Welle (22, 46) mindestens einen achsparallelen Kanal (86, 88, 120, 122) aufweist, dem von einer Quelle für Kühlschmierflüssigkeit über eine stationäre Zuführvorrichtung (26, 50) Kühlschmierflüssigkeit zugeführt wird.
2. Zweischeiben-Schleifmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Arbeitswellen (22, 46) zwei oder mehr achsparallele Kanäle (86, 88, 120, 122) aufweist, die mit der Zuführvorrichtung (26, 50) und mit in Umfangsrichtung versetzt angeordneten Stellen der Kammern (34, 62) verbun­ den sind.
3. Zweischeiben-Schleifmaschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Kammern (34, 62) über mindestens einen Verbindungskanal (32, 66) in der Trägerscheibe (18, 42) über eine radiale Bohrung in der Antriebs­ welle (22, 46) mit dem achsparallelen Kanal (86, 88, 120, 122) in der Antriebs­ welle (22, 46) verbunden ist.
4. Zweischeiben-Schleifmaschine nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die untere Trägerscheibe (42) einen mit der Arbeitsscheibe (44) verbundenen Tragschnitt (56), eine auf der Antriebswelle (46) sitzende Nabe (58) und Speichen (60) zwischen Nabe und Tragabschnitt aufweist und der Verbindungs­ kanal (66) durch eine Speiche (60) geführt ist.
5. Zweischeiben-Schleifmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführvorrichtung (26, 50) einen die Antriebswelle (22, 46) im Abstand zur Trägerscheibe umgebenen stationären Verteilerring (70, 110) aufweist, an dem mindestens eine Zuführleitung (28, 30, 52, 54) ange­ bracht ist, die über eine radiale Bohrung (76, 78, 112, 114) im Verteilerring mit einer achsparallelen Ringkammer (74, 116) zwischen Verteilerring und Antriebswelle verbunden ist.
6. Zweischeiben-Schleifmaschine nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in der hohlen Antriebswelle (22, 46) eine Hülse (88, 124) angeordnet ist, die an der Außenseite mindestens eine achsparallele Nut auf­ weist zur Bildung des achsparallelen Kanals (86, 88, 120, 122).
DE1999137784 1999-08-10 1999-08-10 Zweischeiben-Feinschleifmaschine Expired - Lifetime DE19937784B4 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999137784 DE19937784B4 (de) 1999-08-10 1999-08-10 Zweischeiben-Feinschleifmaschine
EP20000113746 EP1075897B1 (de) 1999-08-10 2000-06-29 Zweischeiben-Feinschleifmaschine
DE50013453T DE50013453D1 (de) 1999-08-10 2000-06-29 Zweischeiben-Feinschleifmaschine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1999137784 DE19937784B4 (de) 1999-08-10 1999-08-10 Zweischeiben-Feinschleifmaschine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19937784A1 true DE19937784A1 (de) 2001-02-22
DE19937784B4 DE19937784B4 (de) 2006-02-16

Family

ID=7917886

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1999137784 Expired - Lifetime DE19937784B4 (de) 1999-08-10 1999-08-10 Zweischeiben-Feinschleifmaschine
DE50013453T Expired - Lifetime DE50013453D1 (de) 1999-08-10 2000-06-29 Zweischeiben-Feinschleifmaschine

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50013453T Expired - Lifetime DE50013453D1 (de) 1999-08-10 2000-06-29 Zweischeiben-Feinschleifmaschine

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP1075897B1 (de)
DE (2) DE19937784B4 (de)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10159832A1 (de) * 2001-12-06 2003-06-26 Wacker Siltronic Halbleitermat Halbleiterscheibe aus Silicium und Verfahren zu deren Herstellung
DE10159848B4 (de) * 2001-12-06 2004-07-15 Siltronic Ag Vorrichtung zur beidseitigen Bearbeitung von Werkstücken
DE10218483B4 (de) * 2002-04-25 2004-09-23 Siltronic Ag Vorrichtung zur gleichzeitig beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Werkstücken
US7367867B2 (en) 2006-08-10 2008-05-06 Peter Wolters Ag Two-side working machine
DE102007056628A1 (de) 2007-03-19 2008-09-25 Siltronic Ag Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102007013058A1 (de) 2007-03-19 2008-09-25 Siltronic Ag Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102010024040A1 (de) 2010-06-16 2011-12-22 Siltronic Ag Verfahren zur Politur einer Halbleiterscheibe
DE102010032501A1 (de) 2010-07-28 2012-02-02 Siltronic Ag Verfahren und Vorrichtung zum Abrichten der Arbeitsschichten einer Doppelseiten-Schleifvorrichtung
DE102010042040A1 (de) 2010-10-06 2012-04-12 Siltronic Ag Verfahren zum Schleifen einer Halbleiterscheibe
DE102011003008A1 (de) 2011-01-21 2012-07-26 Siltronic Ag Führungskäfig und Verfahren zur gleichzeitig beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Halbleiterscheiben
DE102011003006A1 (de) 2011-01-21 2012-07-26 Siltronic Ag Verfahren zur Bereitstellung jeweils einer ebenen Arbeitsschicht auf jeden der zwei Arbeitsscheiben einer Doppelseiten-Bearbeitungsvorrichtung
DE102011080323A1 (de) 2011-08-03 2013-02-07 Siltronic Ag Verfahren zum Einebnen einer Halbleiterscheibe mit verbesserter Kantenschonung
DE102011082857A1 (de) 2011-09-16 2013-03-21 Siltronic Ag Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung wenigstens dreier Werkstücke
DE102011089570A1 (de) 2011-12-22 2013-06-27 Siltronic Ag Führungskäfig zum beidseitigen Schleifen von mindestens einem scheibenförmigen Werkstück zwischen zwei rotierenden Arbeitsscheiben einer Schleifvorrichtung, Verfahren zur Herstellung des Führungskäfigs und Verfahren zum gleichzeitigen beidseitigen Schleifen von scheibenförmigen Werkstücken unter Verwendung des Führungskäfigs
DE102014220888A1 (de) 2014-10-15 2016-04-21 Siltronic Ag Vorrichtung und Verfahren zum doppelseitigen Polieren von scheibenförmigen Werkstücken
CN115026698A (zh) * 2022-07-01 2022-09-09 深圳市易天自动化设备股份有限公司 研磨清洁组件及其控制方法和研磨清洁装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1366854A1 (de) * 2002-05-29 2003-12-03 PETER WOLTERS Werkzeugmaschinen GmbH Zweischeiben-Schleifvorrichtung
CN100566938C (zh) * 2002-12-27 2009-12-09 株式会社荏原制作所 基片抛光方法
JP4448297B2 (ja) 2002-12-27 2010-04-07 株式会社荏原製作所 基板研磨装置及び基板研磨方法
DE102009052070A1 (de) * 2009-11-05 2011-05-12 Peter Wolters Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Doppelseitenbearbeitung flacher Werkstücke
CN107671728A (zh) * 2017-11-15 2018-02-09 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 一种抛光研磨机的上盘水冷机构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5674116A (en) * 1996-10-09 1997-10-07 Cmi International Inc. Disc with coolant passages for an abrasive machining assembly
EP0803329A2 (de) * 1996-04-25 1997-10-29 Fujikoshi Kikai Kogyo Kabushiki Kaisha Poliermaschine

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2780038A (en) * 1954-09-08 1957-02-05 Glaceries Sambre Sa Glass grinding and polishing method and apparatus
GB1261131A (en) * 1969-06-06 1972-01-19 Burmah Oil Trading Ltd Improvements in or relating to lapping machines
DE2442081C3 (de) * 1974-09-03 1979-11-15 Jmj-Werkzeugmaschinen Gmbh Fuer Feinbearbeitung, 4020 Mettmann Läppmaschine
DE3411120A1 (de) * 1983-03-26 1984-11-08 TOTO Ltd., Kitakyushyu, Fukuoka Laeppvorrichtung
FR2564360B1 (fr) * 1984-05-21 1986-10-17 Crismatec Machine d'usinage double face et dispositif de transmission de courant et de fluide entre une structure tournante et une structure non tournante
DE19547085C2 (de) * 1995-12-15 1998-02-12 Wolters Peter Werkzeugmasch Läpp- oder Poliermaschine

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0803329A2 (de) * 1996-04-25 1997-10-29 Fujikoshi Kikai Kogyo Kabushiki Kaisha Poliermaschine
US5674116A (en) * 1996-10-09 1997-10-07 Cmi International Inc. Disc with coolant passages for an abrasive machining assembly

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 11058233 A, in: Patent abstracts of Japan *
JP 58017256 A, in: Patent abstracts of Japan *

Cited By (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10159832A1 (de) * 2001-12-06 2003-06-26 Wacker Siltronic Halbleitermat Halbleiterscheibe aus Silicium und Verfahren zu deren Herstellung
DE10159848B4 (de) * 2001-12-06 2004-07-15 Siltronic Ag Vorrichtung zur beidseitigen Bearbeitung von Werkstücken
DE10218483B4 (de) * 2002-04-25 2004-09-23 Siltronic Ag Vorrichtung zur gleichzeitig beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Werkstücken
US7367867B2 (en) 2006-08-10 2008-05-06 Peter Wolters Ag Two-side working machine
DE102006037490B4 (de) * 2006-08-10 2011-04-07 Peter Wolters Gmbh Doppelseiten-Bearbeitungsmaschine
DE102007056627A1 (de) 2007-03-19 2008-09-25 Siltronic Ag Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102007013058A1 (de) 2007-03-19 2008-09-25 Siltronic Ag Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102007056628A1 (de) 2007-03-19 2008-09-25 Siltronic Ag Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102007013058B4 (de) 2007-03-19 2024-01-11 Lapmaster Wolters Gmbh Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
US8113913B2 (en) 2007-03-19 2012-02-14 Siltronic Ag Method for the simultaneous grinding of a plurality of semiconductor wafers
DE102007056628B4 (de) 2007-03-19 2019-03-14 Siltronic Ag Verfahren und Vorrichtung zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102010024040A1 (de) 2010-06-16 2011-12-22 Siltronic Ag Verfahren zur Politur einer Halbleiterscheibe
WO2011157493A1 (de) 2010-06-16 2011-12-22 Siltronic Ag Verfahren zur politur einer halbleiterscheibe
US9011209B2 (en) 2010-07-28 2015-04-21 Siltronic Ag Method and apparatus for trimming the working layers of a double-side grinding apparatus
US8911281B2 (en) 2010-07-28 2014-12-16 Siltronic Ag Method for trimming the working layers of a double-side grinding apparatus
DE102010032501A1 (de) 2010-07-28 2012-02-02 Siltronic Ag Verfahren und Vorrichtung zum Abrichten der Arbeitsschichten einer Doppelseiten-Schleifvorrichtung
DE102010032501B4 (de) 2010-07-28 2019-03-28 Siltronic Ag Verfahren und Vorrichtung zum Abrichten der Arbeitsschichten einer Doppelseiten-Schleifvorrichtung
US8986070B2 (en) 2010-07-28 2015-03-24 Siltronic Ag Method for trimming the working layers of a double-side grinding apparatus
DE102010042040A1 (de) 2010-10-06 2012-04-12 Siltronic Ag Verfahren zum Schleifen einer Halbleiterscheibe
DE102011003008B4 (de) 2011-01-21 2018-07-12 Siltronic Ag Führungskäfig und Verfahren zur gleichzeitig beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Halbleiterscheiben
DE102011003006A1 (de) 2011-01-21 2012-07-26 Siltronic Ag Verfahren zur Bereitstellung jeweils einer ebenen Arbeitsschicht auf jeden der zwei Arbeitsscheiben einer Doppelseiten-Bearbeitungsvorrichtung
US8795776B2 (en) 2011-01-21 2014-08-05 Siltronic Ag Method for providing a respective flat working layer on each of the two working disks of a double-side processing apparatus
US8974267B2 (en) 2011-01-21 2015-03-10 Siltronic Ag Insert carrier and method for the simultaneous double-side material-removing processing of semiconductor wafers
DE102011003008A1 (de) 2011-01-21 2012-07-26 Siltronic Ag Führungskäfig und Verfahren zur gleichzeitig beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Halbleiterscheiben
DE102011080323A1 (de) 2011-08-03 2013-02-07 Siltronic Ag Verfahren zum Einebnen einer Halbleiterscheibe mit verbesserter Kantenschonung
DE102011082857A1 (de) 2011-09-16 2013-03-21 Siltronic Ag Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung wenigstens dreier Werkstücke
US8851958B2 (en) 2011-09-16 2014-10-07 Siltronic Ag Method for the simultaneous double-side material-removing processing of at least three workpieces
DE102011082857B4 (de) * 2011-09-16 2020-02-20 Siltronic Ag Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung wenigstens dreier Werkstücke
DE102011089570A1 (de) 2011-12-22 2013-06-27 Siltronic Ag Führungskäfig zum beidseitigen Schleifen von mindestens einem scheibenförmigen Werkstück zwischen zwei rotierenden Arbeitsscheiben einer Schleifvorrichtung, Verfahren zur Herstellung des Führungskäfigs und Verfahren zum gleichzeitigen beidseitigen Schleifen von scheibenförmigen Werkstücken unter Verwendung des Führungskäfigs
WO2013092255A2 (de) 2011-12-22 2013-06-27 Siltronic Ag Führungskäfig zum beidseitigen schleifen von mindestens einem scheibenförmigen werkstück zwischen zwei rotierenden arbeitsscheiben einer schleifvorrichtung, verfahren zur herstellung des führungskäfigs und verfahren zum gleichzeitigen beidseitigen schleifen von scheibenförmigen werkstücken unter verwendung des führungskäfigs
DE102014220888A1 (de) 2014-10-15 2016-04-21 Siltronic Ag Vorrichtung und Verfahren zum doppelseitigen Polieren von scheibenförmigen Werkstücken
DE102014220888B4 (de) 2014-10-15 2019-02-14 Siltronic Ag Vorrichtung und Verfahren zum doppelseitigen Polieren von scheibenförmigen Werkstücken
CN115026698A (zh) * 2022-07-01 2022-09-09 深圳市易天自动化设备股份有限公司 研磨清洁组件及其控制方法和研磨清洁装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1075897A1 (de) 2001-02-14
DE50013453D1 (de) 2006-10-26
DE19937784B4 (de) 2006-02-16
EP1075897B1 (de) 2006-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1075897B1 (de) Zweischeiben-Feinschleifmaschine
DE10007390A1 (de) Zweischeiben-Poliermaschine, insbesondere zur Bearbeitung von Halbleiterwafern
DE3890883C2 (de) Fliehkraft-Gleitschliff-Maschine
EP2755788A2 (de) Honmaschine mit öldichter arbeitswanne
DE888374C (de) Poliermaschine fuer Schaufeln von Gasturbinen od. dgl.
DE19547085C2 (de) Läpp- oder Poliermaschine
DE2651879C2 (de) Einrichtung zum Zuführen von Kühlmittel zur Innenseite einer topfförmigen Stirnschleifscheibe
DE3326626A1 (de) Kegelbrecher
DE10253791A1 (de) Rührwerksmühle
DE19547086C1 (de) Vorrichtung zum flächigen Bearbeiten von Werkstücken
DE7527462U (de) Vorrichtung zum Ausgleich der Unwucht eines rotierenden Körpers, insbesondere einer Schleifscheibe
DE2832903C2 (de) Rührwerksmühle - Lager
WO2001064394A1 (de) Schleifmaschine
EP0358790B1 (de) Mahlvorrichtung
EP3356074B1 (de) Verzahnungsbearbeitungsmaschine mit balg
EP0615804B1 (de) Senkrechtdreh- und/oder -fräsmaschine
DE4022902A1 (de) Mahlvorrichtung
DE2709448C3 (de) Bohrspindeleinheit
DE3430508C2 (de)
DE2045515A1 (de) Maschine zum Lappen, Polieren und dergleichen
DE102008016081A1 (de) Schleifmaschine und Verfahren zum Schleifen oder Polieren von Werkstücken mittels einer solchen Schleifmaschine
DE4424239A1 (de) Schleifeinrichtung zur Bearbeitung von Bauteilen, insbesondere für Turbomaschinen
DE3430507A1 (de) Filterzentrifuge
DE102007043583B3 (de) Rundlauf-Tablettenpresse
DE10229941A1 (de) Zweischeiben-Schleifvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: PETER WOLTERS GMBH, 24768 RENDSBURG, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: LAPMASTER WOLTERS GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: PETER WOLTERS GMBH, 24768 RENDSBURG, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: HAUCK PATENTANWALTSPARTNERSCHAFT MBB, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: LAPMASTER WOLTERS GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: LAPMASTER WOLTERS GMBH, 24768 RENDSBURG, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: HAUCK PATENTANWALTSPARTNERSCHAFT MBB, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: LAPMASTER WOLTERS GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNERS: LAPMASTER WOLTERS GMBH, 24768 RENDSBURG, DE; SILTRONIC AG, 81737 MUENCHEN, DE

R082 Change of representative

Representative=s name: HAUCK PATENTANWALTSPARTNERSCHAFT MBB, DE

R071 Expiry of right