DE2045515A1 - Maschine zum Lappen, Polieren und dergleichen - Google Patents

Maschine zum Lappen, Polieren und dergleichen

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DE2045515A1
DE2045515A1 DE19702045515 DE2045515A DE2045515A1 DE 2045515 A1 DE2045515 A1 DE 2045515A1 DE 19702045515 DE19702045515 DE 19702045515 DE 2045515 A DE2045515 A DE 2045515A DE 2045515 A1 DE2045515 A1 DE 2045515A1
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DE
Germany
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plate
lapping
spiral
inlet
channel
Prior art date
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Pending
Application number
DE19702045515
Other languages
English (en)
Inventor
Arthur Parbold Wigan Lancashire Lymer (Großbritannien) M B24b 13 00
Original Assignee
Burmah Oll Trading Ltd , London
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Filing date
Publication date
Application filed by Burmah Oll Trading Ltd , London filed Critical Burmah Oll Trading Ltd , London
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Publication of DE2045515A1 publication Critical patent/DE2045515A1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11Lapping tools
    • B24B37/12Lapping plates for working plane surfaces
    • B24B37/16Lapping plates for working plane surfaces characterised by the shape of the lapping plate surface, e.g. grooved
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/02Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

  • Maschine #um Läppen, Polieren und dergleichen Die Erfindung bezieht sich auf eine Maschine zum Läppen, Polieren und dergleichen.
  • Es sind Läppmaschinen bekannt, mit denen die zu läppenden Gegenstände auf einer drehbaren Läppplatte aufliegen und durch-Sperringe oder dergleichen an der Nitdrehung gehindert sind. Auf die Oberfläche der Läppplatte wird ein schleiffähiger Schlamm gegeben, während die zu läppenden Gegenstande durch ein pneumatisch oder hydraulisch betätigbares Druckorgan gegen die Platte angedrückt werden, um die Läpp- oder Polierwirkung zu erhöhen.
  • B3i diesen bekannten Maschinen ist es unerwünscht, die Läpp- oder Polierwirkung ober eine gewisse obere Grenze zu steigern, bei der sich ergebende Temperaturanstieg in der L9lippla-t-te zu einer Beschädi#ung oder Zerstörung der Isäppoberfläche der Platte und damit zu Ungenauigkeiten in den zu läppenden Artikeln führt. Die zu läppenden Artikel werden sehr schnell warm, und zwar über 700, so daß sie unbequem zu handhaben sind.
  • Der Erfindung liegt die iiufgabe zugrunde, eine Maschine zum Läppen, Polieren oder dergleichen zu schaffen, bei der diese Nachteile ausgeschaltet sind, und bei dem der Vorin gang und der Umfang des Läppens erweitert und/den in der modernen Technik üblichen Materialfluß eingeschaltet werden kann.
  • Die erfindungsgemäße Maschine zum Läppen,Polieren oder dergleichen ist dadurch -gekennzeichnet, daß die Läppplatte drehfest mit einer Gegenplatte verbunden ist, die auf der der Läppplatte zugewandten Oberfläche einen spiralförmigen, sich von der Mitte zur Peripherie erstreckenden, der Zihrung eines Kühlmittels dienenden Kanal aufweist.
  • Ein weiteres Merkmal besteht darin, daß zur Unterstützung der Strömung des Kühlmittels die Steigung des spiralförmigen Kanales gleichgerichtet ist mit der Drehrichtung der Läppplatte.
  • Ein anderes Merkmal besteht darin, daß der s)iralförmige Kanal einen mit einem mit der Läppplatte fest verbundenen, in der Drehachse liegenden Zuflußrohr in Verbindung stehenden Einlauf und einen an der Peripherie der Gegenplatte liegenden, mit einem in einen kreisringförmigen Trog mündenden Auslauf aufweist.
  • Eine abgewandelte Ausführungsform kennzeichnet sich dadurch, daß die Äiitriebswelle für die Läppplatte und die Gegenplatte mit einer axialen Bohrung versehen ist, in der das mit dem Einlauf des spiralförmigen Kanales in Verbindung stehende Zuflußrohr angeordnet ist, und daß in der Gegenplatte eine den Auslauf des spiralförmigen Kanales mit einem ringförmigen, zwischen dem Zuflußrohr und der Bohrung der Antriebswelle gebildeten Austrittsraum verbindende Leitung angeordnet ist.
  • Eine weitere abgewandelte Ausfüiirungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle eine axiale Bohrung zum Eintritt des Kühlmittels besitzt, die mit dem Einlauf des spiralförmigen Kanales in Verbindung steht, und daß der an der Peripherie der Gegenplatte liegenden Auslauf des spiralförmigen Kanales derart ausgebildet ist, daß das Kühlmittel aus ihm in einen ringförmigen Sammeltrog fließt.
  • Die beiliegenden Zeichnungen zeigen drei Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Maschine, und es bedeutet: Fig. 1 einen senkrechten Schnitt durch eine erste Ausführungsform, orm, Fig. 2 einen senkrechten Schnitt durch eine abgewandelte Ausführungsform, Fig. 3 vergrößerte Teildarstellung gemäß Fig. 2, Fig. 4 senkrechten Schnitt durch eine weitere Abwandlung der erfindungsgemäßen Maschine.
  • Die Fig. 1 zeigt eine Maschine zum Lappen bekannter Ausführung,die erfindungsgemäß mit einem System zur Wasserkühlung versehen ist.
  • Die Maschine besitzt eine übliche auswechselbare Läppplatte 1 von Kreisform, die um eine senkrechte Achse drehbar ist und auf ihrer oberen Seite radiale Nuten 2 aufweist, durch die der schleiffEhige Schlamm von der Läpp-Oberfläche der Platte 1 abgeführt wird; die Vorrichtung 3 dient zur radialen Ausrichtung von nicht dargestellten Ringen, auf der Läppplatte, in denen zu läppende Werkstücke gehalten tuid durch pneumatisch oder hydraulisch betätigbare Druckorgane 4 beaufschlagbar sind, um auf die zu behandelnden Gegenstände eine nach unten gerichtete Kraft zur Erhohung-c### Läppwirkung auszuüben.
  • Für das Kühlsystem, mit dem die Maschine erfindungsgemäß ausgestattet ist, ist eine gußeiserne Gegenplatte 5 vorgesehen, die auf ihrer bearbeiteten, an der unteren Seite der -Lä##-ppplatte 1 anliegenden Oberfläche mit einem spiralförmigen Kanal 6 versehen ist, in den Wasser von einem Zuflußorgan--? im Mittelpunkt der Gegenplatte 5 zugeführt# und zu einem Auslaß 8 in der Nähe ihrer Peripherie abfließt.
  • Die Gegenplatte 5 und die Läppplatte 1 sind drehfest, beispielsweise durch nicht dargestellte Keile miteinander verbunden und laufen als ein# gemeinsames Teil um; sie werden v-on einer senkrechten Welle 9 angetrieben, die unten an der Gegenplatte 5 angreift und mit dieser durch einen Flansch 9a der: Welle 9 verbunden ist.
  • Dem Wassereinlauf 9 des Kanales 4 in der Gegenplatte 5 wird das Wasser durch ein Zulaufrohr 10 zugeführt, das an seinem unteren Ende fest mit der offenen Mitte der Läppplatte 1 verbunden ist und sich senkrecht nach oben koaxial zur Drehachse erstreckt. Das obere offene Ende 11 des Zuflußrohres 10 ist drehbar in der Mitte eines kreisringförmigen tYberlauftroges 12 gelagert; aus einer Speiseleitung oder einem nicht dargestellten Ventil, das über dem Einlauftrog 12 angeordnet ist, rinnt Leitungswasser in das Zuflußrohr 10. Der t;berlauftrog 12 ist an einem festen Maschine#il, beispielsweise dem Rahmen 13 für das pneumatisch oder hydraulisch betätigbare Druckorgan 4 befestigt.
  • Aus dem Auslauf des spiralförmigen Kanales 6 der Gegenplatte 5 wird das Wasser senkrecht nach unten durch ein mit einem Ventil regelbares Auslaufrohr 14 abgeführt, das in einen ringförmigen Sammeltrog 15 mündet. Das sustrittsrohr 14 ist an seinem oberen Ende fest an dem Auslauf 8 der Gegenplatte 5 befestigt. Das untere offene Znde des Auslaßrohres 14 läuft während der Drehung der Lappela-tte 1 und der Gegenplatte 5 in einem kreisringförmigen Weg in dem Sammeltrog 15 um.
  • Während des Betriebes der Maschine fließt Kühlwasser in dem Zuflußrohr 10 nach unten durch die Mittelöffnung der Läppplatte 1 und in den Einlauf des spiralförmigen Kanales 6 der Gegenplatte 5. Die Steigung der Spirale ist der Drehrichtung der Läppplatte und der Gegenplatte gleichgerichtet um einen Pumpeffekt zu erzeugen, der den Durchfluß des Lühlwassers durch den Kanal 6 unterstützt. Die Ableitung der Hitze erfolgt während des Durchlaufes des Wassers durch den Kanal 6, wobei das Wasser am Auslauf 8 durch das Austrittsrohr 14 in den Sammeltrog 15 abfließt, aus dem es durch ein Abzugsrohr 16 entfernt wird.
  • Das erfindungsgemäß ausgebildete Kühl system gewährleistet auf einfache Weise eine Kühlung an der Unterseite der Läppplatte 1, ohne daß die Anordnung umlaufender Dichtungen oder teurer Pumpenanlagen erforderlich ist, und wobei eine wirksame Treunmig zwischen dem Kühlwasser und der oberen Seite der Läpplatte 1 und damit von dem Öl und dem Schleifmaterial gewährleistet ist. Die abgewandelte Ausführungsform gemäß Figuren 2 und 3 besitzt ebenfalls eine Läppplatte 17, die mit einer Gegenplatte 18 drehfest verbunden ist.
  • Ein Dichtungsring 19 ist an der Peripherie der Gegenplatte 19 angeordnet und steht mit der Unterseite der Läppplatte 17 in dichtendem Eingriff.
  • Ebenso wie bei-der Ausführungsform der Fig. 1 ist in der Gegenplatte 17 ein spiralförmiger Kanal 20 zur Fuhrun g von Kühlwasser von einem Einlauf 21 zu einem Auslauf-22 -ange-#rdnet-, und der Drehantrieb erfolgt auch hier durch eine mit Ihrem Flansch#23ä-an der Unterseite der Gegenplatte 18 befestigten Welle 23. - -Die Zuführung und die Abführung des Wassers zum und vom spiralförmigen Kanal 20 unterscheide# sich von derjenigen der Fig. 1 insoweit, als die Antriebswelle 23 eine# axiale -Bohrung 24 besitzt, in der koaxial ein Wasserzuflußrohr 25 angeordnet und mit seinen beiden Enden an der Welle 23 befestigt it. Das obere Ende des Rohres 25 mündet in eine Eintrittskammer 26, die mit dem Einlauf 21 des spiralfor-~ migen Kanales 20 in Verbindung steht. Im Abstand unter und getrennt von der Einlaßkammer 26 ist#. eine Auslctßkamner 27 angeordnet, die das Einlaßrohr 25 umgibt und die einerseits mit dem Einlauf 22 des spiralförmigen Kanales 20 über eine Leitung 28 und andererseits mit einem Ringraum 29 in Verbindung steht, der zwischen dem Einlaßrohr 25 und der Wandung der Bohrung der Welle 24 in Verbindung steht.
  • Wie sich am besten aus Fig. 3 ergibt, erstreckt sich das untere Ende des Zuflußrohres 25 in ein Gehäuse 30, das einen Rohranschluß 31 besitzt, dessen inneres Ende einen feststehenden Dichtungsring einer ersteniechanischen Diditung aufnimmt. Der Dichtungsring 32 umschließt das Zuflußrthr 25 und wirkt zusammen mit einem drehbaren Dichtungsring 33, der unter der Wirkung einer Druckfeder 34 steht, die mit ihrem Ende an einem Arretierungsring 35 anliegt, der auf dem Ende der Antriebswelle 23 befestigt ist.
  • Die erste mechanische Dichtung dient dazu, den Wassereintritt von der Austrittskammer 36 zu trennen, in die eine Eintrittsöffnung 37 führt, die mit dem ringförmigen Zwischenraum 29 und einem Austritt 38 in Verbindung steht.
  • Außerdem sind Mittel vorgesehen, um zu verhindern, daß sich das austretende Wasser mit dem 1 vermischt, das benötigt wird zur Schmierung der Lager 39 der Welle 23 und des Getriebegehäuses 40 (Fig.. 2). Diese Mittel bestehen aus einer üblichen Lippendichtung 41, die an der Antriebswelle 23 anliegt und aus einer zweiten mechanischen Dichtung,bestehend aus einem feststehenden Dichtungsring 42, der mit einem drehbaren Dichtungsring 43 zusammenwirkt, der unter der Wirkung liner Druckfeder 44 steht. An dem oberen Ende eines mit der Welle 23 fest verbundenen zylindrischen Organes 46 ist ein Sperring 45 angeordnet, und zwischen dem Sperring 45 und dem drehbaren Dichtungsring 43 ist die Druckfeder 44 angeordnet.
  • Jedes Leckwasser, das die zweite mechanische Dichtung durchdringt, und jedes Lecköl, das die Öldichtung 41 durchdringt, tritt in eine gemeinsame Leitung 47 zur Abführung der Leckwerluste ein.
  • Bei Benutzung der Maschine wird Kühiwasserdom Einlauf 21 des spiralförmigen Kanales 20 uber den Rohranschluß 31, das Zuflußrohr 25 und die Eintrittskammer 26 zugeführt.
  • Das Wasser zirkuliert durch den spiralförmigen Kanal 20 hindurch und kühlt die Läppplatte 17. Das aus dem Auslauf 22 des spiralförmigen Kanales 20 austretende Wasser tritt durch die Leitung 28 hindurch und in die Austrittskammer 27 ein und von dort durch den ringförmigen Zwischenraum 29 nach unten in die Abflußkammer 26, aus der es über den suslaß 38 abgeführt wird.
  • Bei beiden vorbeschriebenen Ausführungsforme## kann die Fließgeschwindigkeit des Kühlwassers durch die Gegenpiatte eingestellt werden auf die jeweiligen Betriebsbedürfnisse.
  • Bei der ersten Ausführungsform wird dies erreicht durch Veränderung der Zuflußgeschwindigkeit des Wassers und durch Erstellung des Ventiles an dem Wasserauslaufrohr 14, während bei der zweiten Ausführungsform dies erreicht werden kann durch Verwendung einer veränderlichen Pumpe oder durch Ventile, die den Einlauf und den Auslaßdruck steuern.
  • Die Ausführungsform gemäß Fig0 4 ist ähnlich der Ausführungsform gemäß den Figuren 2 und 3 insofern, als auch hier eine Läppplatte 48 und eine mit einem spiralförmigen Kanal 50 ausgestattete Gegenplatte 49 vorgesehen sind, die als Einheit durch die Antriebswelle 51 in Drehung versetzt werden, die mit der Unterseite der Gegenplatte 49 durch einen Flansch 52 verbunden ist, Die Welle 51 besitzt ebenfalls eine axiale Bohrung 539 die an ihrem oberen Ende mit einer Leitung 54 in Verbindung steht, die zum Einlauf 55 des spiralförmigen Kanales 50 führt. Der Auslauf 56 des spiralförmigen Kanales 50 giDt das austretende Wasser in einen ringförmigen Sammeltrog 57 und kann mit Düseneinsetzen 58 verschiedener Bohrungsdurchmesser versehen seine um die Ausfließgeschwindigkeit aus dem Kühl system einzustellen} Das in dem Trog 57 angesammelte Wasser wird durch ein Rohr 59 abgeführt.
  • Bei dieser Ausführungsform besteht keine Nftwendigkeit, Dichtungen vorzusehen, um den Wassereinlaß vom Wasserauslaß zu trennen, wie dies bei der gemäß Figuren 2 und 3 angegebenen Ausfährungsform erforderlich ist. Die erste mechanische Dichtung gemäß Figuren 2 und 3 kann fortgelassen werden, es ist lediglich eine einfache Lippendichtung 60 zur Abdichtung gegen Lecköl und eine mechanische Dichtung 61 zur Abdichtung gegen Leckwasser vorgesehen, wobei die beiden Dichtungen durch eine Leck-Austrittsöffnung 62 getrennt sind.

Claims (5)

  1. A n-s p r ü c h e
    Maschine zum Läppen, Polieren und dergleichen mit einer drehbaren Läppplatte, - d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Läppplatte drehfest mit einer Gegenplatte verbunden ist, die auf der der Läppplatte zugewandten Oberfläche einen spiralförmigen, sich von der Mitte zur rPeripherie erstreckenden, der Führung eines Kühlmittels dienenden Kanal aufweist.
  2. 2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterstützung der Strömung des Kühlmittels die Steigung des spiralförmigen Kanales gleichgerichtet ist mit der Drehrichtung der Läppplatte.
  3. 3. Maschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der sptalförmige Kanal einen mit einem mit der Läppplatte fest verbundenen, in der Drehachse liegenden Zuflußrohr in Verbindung stehenden Einlauf und einen wander Peripherie der Gegenplatte LIEGENden, mit einem in einen kreisringförmigen Trog mündenden Auslauf aufweist.
  4. 4.Maschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle für die Läppplatte und die Gegenplatte mit einer axialen Bohrung versehen ist, in der das mit dem Einlauf des giralförmigen Kanales in Verbindung stehende Zuflußrohr angeordnet ist, und daß in der Gegenplatte eine den Auslauf des spiralförmigen Kanales mit einem ringförmigen, zwischen dem Zuflußrohr und der Bohrung der Antriebswelle gebildeten Austrittsraum verbindende Leitung angeordnet ist.
  5. 5. Maschine nach Anspruch 1 oder 2,. dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle eine axiale Bohrung zum Eintritt des Kühlmittels besitzt, die mit dem Einlauf des spiralförmigen Kanales in Verbindung steht, und daß der an der Peripherie der Gegenplatte liegende Auslauf des#iralförmigen Kanales derart ausgebildet ist, daß das Kühlmittel aus ihm in einen ringförmigen Sammeltrog fließt.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3128880A1 (de) * 1981-07-22 1983-02-10 Fa. Peter Wolters, 2370 Rendsburg Maschine zum laeppen oder polieren
DE3411120A1 (de) * 1983-03-26 1984-11-08 TOTO Ltd., Kitakyushyu, Fukuoka Laeppvorrichtung
EP0451471A2 (de) * 1990-04-13 1991-10-16 International Business Machines Corporation Verfahren und Gerät zum Polieren von Halbleiterscheiben
US5718620A (en) * 1992-02-28 1998-02-17 Shin-Etsu Handotai Polishing machine and method of dissipating heat therefrom
CN102091994A (zh) * 2010-12-11 2011-06-15 昆明台兴精密机械有限责任公司 晶片单面抛光机主轴磨盘冷却装置
CN102626902A (zh) * 2012-04-28 2012-08-08 浙江昀丰新能源科技有限公司 单面研磨抛光机用冷却装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3128880A1 (de) * 1981-07-22 1983-02-10 Fa. Peter Wolters, 2370 Rendsburg Maschine zum laeppen oder polieren
DE3411120A1 (de) * 1983-03-26 1984-11-08 TOTO Ltd., Kitakyushyu, Fukuoka Laeppvorrichtung
EP0451471A2 (de) * 1990-04-13 1991-10-16 International Business Machines Corporation Verfahren und Gerät zum Polieren von Halbleiterscheiben
EP0451471A3 (en) * 1990-04-13 1992-03-18 International Business Machines Corporation Method and apparatus for polishing a semiconductor wafer
US5718620A (en) * 1992-02-28 1998-02-17 Shin-Etsu Handotai Polishing machine and method of dissipating heat therefrom
CN102091994A (zh) * 2010-12-11 2011-06-15 昆明台兴精密机械有限责任公司 晶片单面抛光机主轴磨盘冷却装置
CN102626902A (zh) * 2012-04-28 2012-08-08 浙江昀丰新能源科技有限公司 单面研磨抛光机用冷却装置
CN102626902B (zh) * 2012-04-28 2015-04-22 浙江昀丰新能源科技有限公司 单面研磨抛光机用冷却装置

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