DE50013453D1 - Zweischeiben-Feinschleifmaschine - Google Patents
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- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
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DE3411120A1 (de) * | 1983-03-26 | 1984-11-08 | TOTO Ltd., Kitakyushyu, Fukuoka | Laeppvorrichtung |
FR2564360B1 (fr) * | 1984-05-21 | 1986-10-17 | Crismatec | Machine d'usinage double face et dispositif de transmission de courant et de fluide entre une structure tournante et une structure non tournante |
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US5674116A (en) * | 1996-10-09 | 1997-10-07 | Cmi International Inc. | Disc with coolant passages for an abrasive machining assembly |
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Date | Code | Title | Description |
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8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: PETER WOLTERS GMBH, 24768 RENDSBURG, DE |