DE50013453D1 - Zweischeiben-Feinschleifmaschine - Google Patents

Zweischeiben-Feinschleifmaschine

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DE50013453D1
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10159848B4 (de) * 2001-12-06 2004-07-15 Siltronic Ag Vorrichtung zur beidseitigen Bearbeitung von Werkstücken
DE10159832A1 (de) * 2001-12-06 2003-06-26 Wacker Siltronic Halbleitermat Halbleiterscheibe aus Silicium und Verfahren zu deren Herstellung
DE10218483B4 (de) * 2002-04-25 2004-09-23 Siltronic Ag Vorrichtung zur gleichzeitig beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Werkstücken
EP1366854A1 (de) * 2002-05-29 2003-12-03 PETER WOLTERS Werkzeugmaschinen GmbH Zweischeiben-Schleifvorrichtung
CN100566938C (zh) * 2002-12-27 2009-12-09 株式会社荏原制作所 基片抛光方法
JP4448297B2 (ja) * 2002-12-27 2010-04-07 株式会社荏原製作所 基板研磨装置及び基板研磨方法
DE102006037490B4 (de) * 2006-08-10 2011-04-07 Peter Wolters Gmbh Doppelseiten-Bearbeitungsmaschine
DE102007056627B4 (de) 2007-03-19 2023-12-21 Lapmaster Wolters Gmbh Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102007013058B4 (de) 2007-03-19 2024-01-11 Lapmaster Wolters Gmbh Verfahren zum gleichzeitigen Schleifen mehrerer Halbleiterscheiben
DE102009052070A1 (de) * 2009-11-05 2011-05-12 Peter Wolters Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Doppelseitenbearbeitung flacher Werkstücke
DE102010024040A1 (de) 2010-06-16 2011-12-22 Siltronic Ag Verfahren zur Politur einer Halbleiterscheibe
DE102010032501B4 (de) 2010-07-28 2019-03-28 Siltronic Ag Verfahren und Vorrichtung zum Abrichten der Arbeitsschichten einer Doppelseiten-Schleifvorrichtung
DE102010042040A1 (de) 2010-10-06 2012-04-12 Siltronic Ag Verfahren zum Schleifen einer Halbleiterscheibe
DE102011003008B4 (de) 2011-01-21 2018-07-12 Siltronic Ag Führungskäfig und Verfahren zur gleichzeitig beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung von Halbleiterscheiben
DE102011003006B4 (de) 2011-01-21 2013-02-07 Siltronic Ag Verfahren zur Bereitstellung jeweils einer ebenen Arbeitsschicht auf jeder der zwei Arbeitsscheiben einer Doppelseiten-Bearbeitungsvorrichtung
DE102011080323A1 (de) 2011-08-03 2013-02-07 Siltronic Ag Verfahren zum Einebnen einer Halbleiterscheibe mit verbesserter Kantenschonung
DE102011082857B4 (de) 2011-09-16 2020-02-20 Siltronic Ag Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung wenigstens dreier Werkstücke
DE102011089570A1 (de) 2011-12-22 2013-06-27 Siltronic Ag Führungskäfig zum beidseitigen Schleifen von mindestens einem scheibenförmigen Werkstück zwischen zwei rotierenden Arbeitsscheiben einer Schleifvorrichtung, Verfahren zur Herstellung des Führungskäfigs und Verfahren zum gleichzeitigen beidseitigen Schleifen von scheibenförmigen Werkstücken unter Verwendung des Führungskäfigs
DE102014220888B4 (de) 2014-10-15 2019-02-14 Siltronic Ag Vorrichtung und Verfahren zum doppelseitigen Polieren von scheibenförmigen Werkstücken
CN107671728A (zh) * 2017-11-15 2018-02-09 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 一种抛光研磨机的上盘水冷机构
CN115026698A (zh) * 2022-07-01 2022-09-09 深圳市易天自动化设备股份有限公司 研磨清洁组件及其控制方法和研磨清洁装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2780038A (en) * 1954-09-08 1957-02-05 Glaceries Sambre Sa Glass grinding and polishing method and apparatus
GB1261131A (en) * 1969-06-06 1972-01-19 Burmah Oil Trading Ltd Improvements in or relating to lapping machines
DE2442081C3 (de) * 1974-09-03 1979-11-15 Jmj-Werkzeugmaschinen Gmbh Fuer Feinbearbeitung, 4020 Mettmann Läppmaschine
DE3411120A1 (de) * 1983-03-26 1984-11-08 TOTO Ltd., Kitakyushyu, Fukuoka Laeppvorrichtung
FR2564360B1 (fr) * 1984-05-21 1986-10-17 Crismatec Machine d'usinage double face et dispositif de transmission de courant et de fluide entre une structure tournante et une structure non tournante
DE19547085C2 (de) * 1995-12-15 1998-02-12 Wolters Peter Werkzeugmasch Läpp- oder Poliermaschine
JP3734878B2 (ja) * 1996-04-25 2006-01-11 不二越機械工業株式会社 ウェーハの研磨装置
US5674116A (en) * 1996-10-09 1997-10-07 Cmi International Inc. Disc with coolant passages for an abrasive machining assembly

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EP1075897B1 (de) 2006-09-13
EP1075897A1 (de) 2001-02-14
DE19937784A1 (de) 2001-02-22

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