DE19915661A1 - Monolithischer Varistor - Google Patents
Monolithischer VaristorInfo
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Abstract
Die vorliegende Erfindung sieht einen monolithischen Varistor vor, welcher klein und günstig ist und ausgezeichnete Varistor-Charakteristika aufweist. Der monolithische Varistor gemäß der vorliegenden Erfindung schließt einen geschichteten keramischen Körper ein, der ZnO als eine primäre Komponente und basierend auf 100 Mol-% ZnO eine Al-Komponente in einer Menge von 100-350 ppm, nach Anpassung an Al¶2¶O¶3¶, eine Bi-Komponente in einer Menge von 1,0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Bi¶2¶O¶3¶, eine Co-Komponente in einer Menge von 0,1-1,5 Mol-%, nach Anpassung an Co¶2¶O¶3¶, eine Mn-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an MnO, mindestens eine Komponente einer Sb-Komponente und einer Sn-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an SbO¶3/2¶ oder SnO, eine Y-Komponente in einer Menge von 0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Y¶2¶O¶3¶, eine Si-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an SiO¶2¶, und eine B-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an B¶2¶O¶3¶, enthält; und welcher eine mittlere Körnchengröße von 0,9-3,0 mum in einem charakteristischen Bereich des Varistors aufweist.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen monolithischen Varistor, insbesondere ei
nen monolithischen Varistor, welcher ZnO als eine primäre Komponente beinhaltet
und eine Varistorspannung von 100 V oder mehr besitzt. Die vorliegende Erfindung
betrifft ebenfalls eine Keramik zur Herstellung des Varistors und ein Verfahren zur
Herstellung des Varistors. In der gesamten Beschreibung bezieht sich die "Vari
storspannung" auf die Spannung über dem Varistor, gemessen bei einem gegebe
nen Strom von 1 mA.
In den letzten Jahren schritt die Entwicklung eines Elementes vom Chip-Typ und
die Anwendung einer höheren Frequenz zusammen mit dem Trend in Richtung auf
eine Miniaturisierung von elektronischen Vorrichtungen und Schaltkreisvorgängen
mit höherer Geschwindigkeit voran. Darüber hinaus muß ein solches Element eine
verringerte Größe aufweisen, insbesondere hinsichtlich der Höhe, um die Pac
kungsdichte eines Schaltkreises zu erhöhen. Ein nicht-linearer Resistor, d. h. ein
Varistor, der als ein Rausch-absorbierendes Element dient, ist nicht eine Aus
nahme; ein Varistor vom Chip-Typ, welcher aus einer hauptsächlich Zinkoxid oder
Strontriumtitanat umfassenden Keramik gebildet ist, wurden auf den Markt ge
bracht. Dagegen wurde ein Einzel-Schicht-Varistor mit Leitungsenden oder ein Va
ristor, in dem eine einzelne Varistorschicht in ein Harz oder Glas "eingeformt" ist,
als ein Varistor mit hoher Varistorspannung, wie ein Varistor für Wechselstrom, ein
gesetzt.
Gleichwohl hat der herkömmlicherweise angewandte einschichtige Varistor den
Nachteil, daß, wenn der maximale Spitzen- bzw. Peakstrom erhöht werden soll, die
Elektrodenfläche ebenfalls vergrößert werden muß, wodurch eine Miniaturisierung
des Varistors fehlschlägt; wohingegen die Miniaturisierung des Varistors nur auf
Kosten des maximalen Spitzenstroms möglich ist. Somit war bei der Miniaturisie
rung eines Varistors mit einer Varistorspannung von 100 V oder mehr ein Fortschritt
nicht zu sehen. Um mit diesem Dilemma fertigzuwerden, ist ein monolithischer ke
ramischer Varistor, der einen geschichteten Keramikkörper umfaßt, in dem eine
Vielzahl von Innenelektroden ausgebildet sind, wünschenswert. In diesem Fall muß
gleichwohl die Varistorspannung pro Dickeneinheit davon erhöht werden. Zu die
sem Zweck muß die Körnchengröße der Keramik reduziert werden, ohne den ma
ximalen Spitzenstrom pro Flächeneinheit zu senken.
Im Hinblick auf das Vorstehende ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung die Bereit
stellung eines monolithischen Varistors, welcher klein und billig ist, und welcher
ausgezeichnete Varistor-Charakteristika aufweist.
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung einer Keramik zur
Erzeugung des Varistors.
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Varistors,
welcher vornehmlich ZnO aufweist und eine hohe Varistorspannung von
1000-2500 V/mm besitzt.
Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens
zur Erzeugung des Varistors.
Demzufolge wird in einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein monolithi
scher Varistor bereitgestellt, welcher einen geschichteten keramischen Körper mit
einer Vielzahl von Innenelektroden innerhalb des Produktes einschließt und wel
cher monolithisch gesintert ist, wobei der geschichtete keramische Körper ZnO als
eine primäre Komponente und auf 100 Mol-% ZnO basierend eine Al-Komponente
in einer Menge von 100-350 ppm, nach Anpassung an Al2O3, eine Bi-Komponente
in einer Menge von 1,0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Bi2O3, eine
Co-Komponente in einer Menge von 0,1-1,5 Mol-%, nach Anpassung an Co2O3, eine
Mn-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an MnO,
mindestens eine Komponente einer Sb-Komponente und einer Sn-Komponente in
einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an SbO3/2 oder SnO, eine
Y-Komponente in einer Menge von 0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Y2O3, eine
Si-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an SiO2, und
eine B-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an B2O3
umfaßt; und welcher eine mittlere Körnchengröße von 0,9-3,0 µm zumindest in
einem charakteristischen Bereich aufweist, welcher eine Varistor-Charakteristik
zeigt und von Innenelektroden sandwichartig umgeben wird.
In einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein monolithischer Vari
stor bereitgestellt, welcher einen geschichteten keramischen Körper mit einer Viel
zahl von Innenelektroden innerhalb des Produktes einschließt und monolithisch
gesintert ist, worin der geschichtete keramische Körper ZnO als primäre Kompo
nente und basierend auf 100 Mol-% ZnO eine Al-Komponente in einer Menge von
100-350 ppm, nach Anpassung an Al2O3, eine Bi-Komponente in einer Menge von
1,0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Bi2O3, eine Co-Komponente in einer Menge
von 0,1-1,5 Mol-%, nach Anpassung an Co2O3, eine Mn-Komponente in einer
Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an MnO, mindestens eine Kompo
nente einer Sb-Komponente und einer Sn-Komponente in einer Menge von
0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an SbO3/2 oder SnO, eine Y-Komponente in einer
Menge von 0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Y2O3, eine Si-Komponente in einer
Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an SiO2, und eine B-Komponente in
einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an B2O3 umfaßt; und welcher
eine Varistorspannung pro Dickeneinheit von 1000-2500 V/mm besitzt, wenn ein
elektrischer Strom von 1 mA angelegt wird.
In einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Keramik für einen Va
ristor vorgesehen, welcher ZnO als primäre Komponente und basierend auf 100
Mol-% ZnO eine Al-Komponente in einer Menge von 100-350 ppm, nach Anpas
sung an Al2O3, eine Bi-Komponente in einer Menge von 1,0-3,0 Mol-%, nach An
passung an Bi2O3, eine Co-Komponente in einer Menge von 0,1-1,5 Mol-%, nach
Anpassung an Co2O3, eine Mn-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%,
nach Anpassung an MnO, mindestens eine Komponente einer Sb-Komponente und
einer Sn-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an
SbO3/2 oder SnO, eine Y-Komponente in einer Menge von 0-3,0 Mol-%, nach An
passung an Y2O31 eine Si-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach
Anpassung an SiO2, und eine B-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%,
nach Anpassung an B2O3 umfaßt.
In einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Varistor bereitgestellt,
welcher eine ZnO als eine primäre Komponente enthaltende keramische Schicht
und eine Vielzahl von Innenelektroden in der keramischen Schicht aufweist und
welcher eine Varistorspannung pro Dickeneinheit von 1000-2500 V/mm aufweist,
wenn ein elektrischer Strom von 1 mA angelegt wird.
In einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Erzeu
gung eines Varistors bereitgestellt, welches die folgenden Schritte umfaßt:
Mischen von Ausgangsmaterialien, einschließlich ZnO und Komponenten von Al, Bi, Co, Mn, Y, Si, B und mindestens einem von Sb und Sn;
Kalzinieren der resultierenden Mischung;
Bilden von das kalzinierte Produkt enthaltenden keramischen Grüntafeln;
Bilden einer Innenelektrode auf jeder der keramischen Grüntafeln;
Laminieren der Grüntafeln;
Sintern des geschichteten Produktes.
Mischen von Ausgangsmaterialien, einschließlich ZnO und Komponenten von Al, Bi, Co, Mn, Y, Si, B und mindestens einem von Sb und Sn;
Kalzinieren der resultierenden Mischung;
Bilden von das kalzinierte Produkt enthaltenden keramischen Grüntafeln;
Bilden einer Innenelektrode auf jeder der keramischen Grüntafeln;
Laminieren der Grüntafeln;
Sintern des geschichteten Produktes.
Vorsehen von äußeren metallisierten Bereichen auf Außenoberflächen des gesin
terten Produktes, welche mit den Innenelektroden verbunden sind.
Vorzugsweise haben die Ausgangsrohmaterialien bei dem Verfahren die gleiche
Zusammensetzung, wie es in dem ersten Aspekt der Erfindung beschrieben ist.
Vorzugsweise werden bei dem Verfahren die Kalzinierungstemperatur, die Kalzinie
rungszeit, die Sintertemperatur, die Sinterzeit und die Zusammensetzung der In
nenelektroden und der äußeren metallisierten Bereiche in geeigneter Weise ge
wählt. Vorzugsweise schließt der Sinter-Schritt ferner einen Schritt zur Zersetzung
einer organischen Substanz bei etwa 600°C zur Entfernung derselben ein.
Verschiedene andere Ziele, Merkmale und viele der begleitenden Vorteile der vor
liegenden Erfindung werden leicht ersichtlich werden, wenn sie besser verständlich
werden mit Bezug auf die folgende genaue Beschreibung der bevorzugten Ausfüh
rungsformen in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen, welche wie folgt
sind:
die Fig. 1 ist eine Oberansicht eines Musters von auf eine keramische Grüntafel gedruckter Pt-Paste;
die Fig. 2 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel der Schichtung in einem monolithischen Varistor der vorliegenden Erfindung zeigt;
die Fig. 3 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Al2O3-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem Al2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 4 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Al2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Al2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 5 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem B2O3-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem B2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 6 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem B2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem B2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 7 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SiO2-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem SiO2-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 8 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SiO2-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem SiO2-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 9 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Y2O3-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem Y2O3-Gehalt und α zeigt,
die Fig. 10 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Y2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Y2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 11 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem SnO-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 12 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem SnO-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 13 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO3/2-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem SnO3/2-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 14 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO3/2-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem SnO3/2-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 15 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem MnO-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem MnO-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 16 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem MnO-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem MnO-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 17 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Co2O3-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem Co2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 18 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Co2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Co2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 19 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Bi2O3-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem Bi2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 20 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Bi2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Bi2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt; und
die Fig. 21 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen der Korngröße in dem cha rakteristischen Bereich eines Keramiklaminats und dem Klemmspannungsverhält nis zeigt.
die Fig. 1 ist eine Oberansicht eines Musters von auf eine keramische Grüntafel gedruckter Pt-Paste;
die Fig. 2 ist eine schematische Ansicht, die ein Beispiel der Schichtung in einem monolithischen Varistor der vorliegenden Erfindung zeigt;
die Fig. 3 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Al2O3-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem Al2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 4 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Al2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Al2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 5 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem B2O3-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem B2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 6 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem B2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem B2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 7 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SiO2-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem SiO2-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 8 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SiO2-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem SiO2-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 9 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Y2O3-Gehalt und der Va ristorspannung und jene zwischen dem Y2O3-Gehalt und α zeigt,
die Fig. 10 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Y2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Y2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 11 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem SnO-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 12 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem SnO-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 13 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO3/2-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem SnO3/2-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 14 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem SnO3/2-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem SnO3/2-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 15 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem MnO-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem MnO-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 16 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem MnO-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem MnO-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 17 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Co2O3-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem Co2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 18 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Co2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Co2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt;
die Fig. 19 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Bi2O3-Gehalt und der Varistorspannung und jene zwischen dem Bi2O3-Gehalt und α zeigt;
die Fig. 20 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Bi2O3-Gehalt und dem maximalen Spitzenstrom und jene zwischen dem Bi2O3-Gehalt und dem Klemm spannungsverhältnis zeigt; und
die Fig. 21 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen der Korngröße in dem cha rakteristischen Bereich eines Keramiklaminats und dem Klemmspannungsverhält nis zeigt.
Als nächstes werden die Effekte, die durch die Zusatzkomponenten erreicht wer
den, und die Kriterien für die Festlegung von Beschränkungen bezüglich deren
Mengen beschrieben.
Al2O3 senkt die Klemmspannung und erhöht leicht die Varistorspannung. Wenn der
Al2O3-Gehalt 100 ppm oder mehr ist, nimmt die Klemmspannung ab, und wenn die
Menge an hinzugesetztem Al2O3 zunimmt, wird die Klemmspannung allmählich
stabilisiert. Wenn jedoch der Al2O3-Gehalt etwa 250 ppm übersteigt, fängt α an,
abzunehmen. Wie nachfolgend beschrieben, wird der Wert von α aus α =
1/Log(V10 mA/V1 mA) bestimmt, wobei die Ausgangsspannung (V10 mA) gemes
sen wird, wenn ein Strom von 10 mA zwischen den Ag-Elektroden angelegt wird,
welche an gegenüberliegenden Enden des Teststückes vorgesehen sind. Wenn α
30 oder mehr beträgt, hat der Leckstrom im wesentlichen keinen Effekt auf einen
Stromkreis. Deshalb wird die obere Grenze auf 350 ppm festgelegt, wo α geringer
als 30 wird. Der maximale Spitzenstrom ist stärker bevorzugt, wenn der Al2O3-Ge
halt 200-300 ppm ist.
B2O3 dient dazu, eine Varistor-Charakteristik zu zeigen und die Sinterbarkeit zu er
höhen. Wenn der B2O3-Gehalt geringer als 1,0 Mol-% ist, erhöhen sich die Vari
storspannung und α, jedoch ist die Sinterbarkeit schlecht und nimmt der maximale
Spitzenstrom ab, wohingegen, wenn er 3,0 Mol-% übersteigt, der maximale Spit
zenstrom aufgrund eines anormalen Körnchenwachstums abnimmt, wodurch die
Homogenität von Körnchen gesenkt wird.
Co2O3 dient dazu, den Wert von α zu erhöhen. Wenn der Gehalt über 0,1 Mol-%
ist, ist α 30 oder mehr. Wenn jedoch dieser über 1,5 Mol-% liegt, wird Co2O3 in den
Korngrenzen abgeschieden, wodurch ein Körnchenwachstum verhindert wird und
die Varistorspannung und die Klemmspannung nachteilig erhöht werden. Im Fall
von Co2O3 und anderen Zusatzstoffen nimmt der maximale Spitzenstrom drastisch
ab, wenn das Klemmspannungsverhältnis über 1,7 liegt. Dieses Phänomen betrifft
die Sinterbarkeit und die Wärmeerzeugung eines Elementes. Kurz gesagt, wenn
die Sinterbarkeit schlecht ist, und sowohl die Klemmspannung als auch die Vari
storspannung hoch sind, nimmt der maximale Spitzenstrom ab. Wenn die Varistor
spannung pro Dickeneinheit über 2500 V/mm liegt, wird die Sinterbarkeit schlecht
und die Wärmeerzeugung eines Elementes erhöht sich, wodurch der maximale
Spitzenstrom reduziert wird. Wenn der Gehalt an Co2O3 0,3-1 Mol-% ist, sind α
und der maximale Spitzenstrom stärker bevorzugt.
MnO hat die Wirkung der Erhöhung von α im Fall von Co2O3. Wenn jedoch der
MnO-Gehalt 0,1 Mol-% oder weniger ist, wird die Wirkung nicht signifikant, wohin
gegen, wenn er über 1,0 Mol-% liegt, der maximale Spitzenstrom abnimmt und sich
die Klemmspannung erhöht, wie im Fall von Co2O3. Wenn der MnO-Gehalt 0,3-1
Mol-% ist, werden stärker bevorzugte Werte für α und den maximalen Spitzenstrom
erhalten.
Sb2O3 und SnO haben die Wirkung der Erhöhung von der Varistorspannung und
von α. Wenn der Sb2O3- und/oder SnO-Gehalt 0,1 Mol-% ist, ist α 30 oder mehr
und erhöht sich die Varistorspannung; wohingegen, wenn er über 2,0 Mol-% liegt,
der maximale Spitzenstrom abnimmt. Die Sb-Komponente und die Sn-Komponente
können einzeln oder in Kombination verwendet werden. Wenn der Sb2O3- und/oder
SnO-Gehalt 1-2 Mol-% ist, zeigen die Varistorspannung und α stärker bevorzugte
Werte.
Y2O3 erhöht α, wenn es in relativ geringen Mengen hinzugesetzt wird, und die Vari
storspannung, wenn es in relativ großer Menge hinzugesetzt wird. Die Zugabe von
Y2O3 verhindert eine Abänderung des Klemmspannungsverhältnisses und ist wirk
sam für die Regulierung der Varistorspannung. Wenn jedoch der Y2O3-Gehalt 3,0
Mol-% oder mehr ist, wird das Sintern inhibiert und nimmt der maximale Spit
zenstrom ab. Wenn der Y2O3-Gehalt 1-3 Mol-% ist, zeigt die Varistorspannung
stärker bevorzugte Werte.
SiO2 und B2O3 können einzeln oder in Form von Glas zusammen mit der
Bi-Komponente oder der Zn-Komponente hinzugesetzt werden. Wenn SiO2 und B2O3
in Form von Glas hinzugegeben werden, senken sie die Sintertemperatur aufgrund
der Bildung der flüssigen Phase. Wenn SiO2 und/oder B2O3 vermittels von SiO2
allein oder B2O3 allein hinzugegeben werden, senken sie die Sintertemperatur und
dienen als Sinterhilfsstoffe. Somit haben SiO2 und B2O3 einzeln den Effekt der Er
höhung von α. Wenn sie jedoch in großen Mengen hinzugegeben werden, tritt ein
anormales Körnchenwachstum auf und werden Kristalle von Zinksilikat oder Zink
borat abgeschieden, wodurch eine drastische Abnahme und Schwankung der Vari
storspannung hervorgerufen werden. Deshalb ist der SiO2-Gehalt auf 0,1-1 Mol-%
beschränkt und ist der B2O3-Gehalt auf 0,1-2,0 Mol-% beschränkt. Wenn der SiO2-Ge
halt 0,1-0,3 Mol-% ist, oder wenn der B2O3-Gehalt 0,2-0,7 Mol-% ist, werden
stärker bevorzugte Werte hinsichtlich der Varistorspannung, des maximalen Spit
zenstroms und α erhalten.
Der oben beschriebene geschichtete keramische Körper wird bei einer Brenntem
peratur von 850-900°C gesintert. Während des Sinterns wird das Körnchen
wachstum unterdrückt, wodurch die Varistorspannung pro Dickeneinheit erhöht
wird. Die mittlere Körnchengröße des charakteristischen Bereiches des geschich
teten keramischen Körpers betrifft die Klemmspannung. Wenn die mittlere Körn
chengröße geringer als 0,9 µm ist, erhöht sich die Klemmspannung nachteilig auf
grund z. B. eines schlechten Sinterns, wohingegen, wenn sie 3,0 µm oder mehr
beträgt, die Klemmspannung nachteilig erhöht wird aufgrund der Zunahme von
Korngrenzenabscheidungen, welche durch übermäßige Additive oder durch eine zu
stark ablaufende Reaktion gebildet werden. Deshalb liegt die mittlere Körnchengrö
ße des charakteristischen Bereichs des geschichteten keramischen Körpers vor
zugsweise zwischen 0,9 und 3,0 µm. Wie hierin verwendet, bezieht sich der cha
rakteristische Bereich auf einen Bereich, welcher eine Varistor-Charakteristik be
reitstellt und durch Innenelektroden mit einer unterschiedlichen Polarität in dem ge
schichteten keramischen Körper sandwichartig eingebunden ist.
Darüber hinaus ist die Varistorspannung pro Dickeneinheit ein Faktor, welcher beim
Entwurf eines Elementes wichtig ist und den maximalen Spitzenstrom bestimmt.
Wenn die Varistorspannung pro Dickeneinheit übermäßig hoch ist, wird das Ele
ment nachträglich beeinflußt. Somit hat die Varistorspannung einen oberen Grenz
wert. Wenn z. B. die Varistorspannung pro Dickeneinheit über 2500 V/mm liegt,
nimmt der maximale Spitzenstrom aufgrund z. B. eines schlechten Sinterns ab.
Wenn sie weniger als 1000 V/m ist, können Varistor-Charakteristika erhalten wer
den, die jenen eines herkömmlichen Produktes ähnlich sind; da α niedrig ist, und
wenn die Varistorspannung auf 100 V oder mehr ausgelegt ist, kann eine ge
wünschte charakteristische Fläche nicht erhalten werden, aufgrund einer Zunahme
in der Dicke einer charakteristischen Schicht. Deshalb liegt die Varistorspannung
pro Dickeneinheit vorzugsweise bei 1000-2500 V/mm.
Zu 100 Mol-% ZnO wurden eine Al-Komponente (0-500 ppm, nach Anpassung an
Al2O3), eine Bi-Komponente (0,5-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Bi2O3), eine
Co-Komponente (0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Co2O3), eine Mn-Komponente (0-5,0
Mol-%, nach Anpassung an MnO), mindestens eine einer Sb-Komponente
(0,1-5,0 Mol-%, nach Anpassung an SbO3/2) und einer Sn-Komponente (0,1-5,0
Mol-%, nach Anpassung an SnO), eine Y-Komponente (0-5,0 Mol-%, nach An
passung an Y2O3), eine Si-Komponente (0-5,0 Mol-%, nach Anpassung an SiO2)
und eine B-Komponente (0-5,0 Mol-%, nach Anpassung an B2O3) hinzugesetzt.
Die resultierende Mischung wurde gemischt und pulverisiert während 60 Stunden
unter Verwendung einer Kugelmühle. Die Mischung wurde dann entwässert, ge
trocknet und unter Verwendung eines #60-Siebes granuliert. Das resultierende Pul
ver wurde bei 750°C 2 Stunden kalziniert. Das erhaltene kalzinierte Material wurde
grob gestampft, gefolgt von einem zusätzlichen Mischen und Pulverisieren unter
Verwendung einer Kugelmühle. Die resultierende Aufschlämmung wurde entwäs
sert und getrocknet, wodurch ein Pulver erhalten wurde.
Zu dem Pulver wurde ein Lösungsmittel, ein Bindemittel und ein Dispergiermittel
hinzugesetzt, und die Mischung wurde zu einer Tafel mit einer Dicke von 50 µm
gebildet. Die Tafel wurde auf eine vorbestimmte Größe gestanzt, wodurch eine
Vielzahl von keramischen Grüntafeln 10 erhalten wurde. Pt-Paste 12 wurde durch
Siebdruck auf einen Bereich von jeder Grüntafel 10 in einem Muster, wie es z. B. in
Fig. 1 gezeigt ist, aufgetragen. Die Muster der Pt-Paste 12 wurden später gebrannt,
woraus die Innenelektroden 16 eines monolithischen Varistors wurden. Ferner wur
den die Grüntafeln 10 in vorbestimmten Anordnungen und in einer vorbestimmten
Reihenfolge geschichtet, wodurch ein Laminat erhalten wurde.
Eine Harzkomponente wurde zersetzt und aus dem derart erhaltenen Laminat bei
600°C freigesetzt, und das Laminat wurde bei 850-900°C 3 Stunden lang ge
brannt und gesintert, wodurch ein geschichteter keramischer Körper 14, wie in Fig.
2 gezeigt, erhalten wurde. Die Ag-Paste zur Bildung von äußeren Elektroden wurde
auf die Bereiche der Innenelektroden 16 aufgetragen, die an beiden Seitenoberflä
chen des geschichteten keramischen Körpers 14 exponiert sind. Das aufgetragene
Ag, das als äußere Elektroden dient, wurde dann bei 800°C gebrannt, um dadurch
einen monolithischen Varistor gemäß der vorliegenden Ausführungsform zu erhal
ten.
Die Grundzusammensetzung des geschichteten keramischen Körpers gemäß der
vorliegenden Ausführungsform ist folgende: mit bezug auf 100 Mol-% ZnO, das als
primäre Komponente dient; Al2O3: 250 ppm, Bi2O3: 1,5 Mol-%, Co2O3: 0,5 Mol-%,
MnO: 0,5 Mol-%, Sb2O3: 0,3 Mol-%, Y2O3: 0 Mol-%, SiO2: 0,2 Mol-%, B2O3: 0,5
Mol-%. Ein monolithischer Varistor mit dem geschichteten keramischen Körper 14
dieser Grundzusammensetzung wurde hergestellt und den nachfolgenden Beurtei
lungstests unterzogen.
Die Messung der Varistorspannung wurde durch Messung einer Ausgangsspan
nung durchgeführt, welche erzeugt wurde, wenn ein Strom von 1 mA zwischen den
Ag-Elektroden angelegt wurde, welche an gegenüberliegenden Enden des Test
stückes vorgesehen wurden. Diese Spannung wird nachfolgend durch V1mA ange
geben.
Der maximale Spitzenstrom wurde in einem Test gemessen, bei dem ein Strom mit
einer Standard-Wellenform von 8×20 µs zweimal mit einem einminütigen Intervall
zwischen Anlegungen angelegt wurde, und dieser Vorgang wurde wiederholt, wäh
rend der Strom, der bei seiner Wellenfront gemessen wurde, schrittweise von 100 A
in 50 A-Steigerungen erhöht wurde. Der maximale Spitzenstrom (Ip(A)) ist als Wert
der Wellenfront des Stromes definiert, der anlag, direkt vor der letzten Anlegung
von Strom, der einen Zusammenbruch des Teststückes verursachte.
Die Wellenformen von Strom und Spannung unter Anlegung eines Stromes von
100 A wurden durch ein Speicher-Oszilloskop überwacht. Das Verhältnis der Span
nung unter Anlegung eines Stromes von 100 A zu der Varistorspannung (V1mA)
wurde durch das Klemmspannungsverhältnis (V100 A/V1mA) angegeben.
Ferner wurde zur Überprüfung der prozentualen Schwankung der entsprechenden
Varistorspannung (V1mA) nach Anlegung eines Stoßstromes ein Strom mit einer
standardmäßigen Wellenform von 8×20 µs zweimal mit einem einminütigen Inter
vall zwischen Anlegungen angelegt, und 5 Minuten später wurde die Varistorspan
nung (V1mA) gemessen, um dadurch die Schwankung (%) der entsprechenden
Varistorspannung (V1 mA) zu untersuchen.
Die Testergebnisse sind in Fig. 1 gezeigt.
Zum Vergleich zeigt die Fig. 1 die Ergebnisse eines ähnlichen Tests, der für einen
auf dem Markt verfügbaren Chip-Varistor vom einschichtigen geformten Typ durch
geführt wurde.
- (1) Probe
- (2) Beispiel dieser Erfindung
- (3) Vergleichsbeispiel 1 (herkömmlich)
- (4) Vergleichsbeispiel 2 (herkömmlich)
- (5) Maximaler Spitzenstrom (A)
- (6) Klemmspannungsverhältnis
- (7) Schwankung (%) von V1mA nach Anlegung des Spannungsstoßes
- (8) Durchschlag
Die Testergebnisse zeigen, daß im Gegensatz zum Fall eines herkömmlichen ein
schichtigen Varistors ein monolithischer Varistor sich nicht allmählich unter Errei
chung eines Durchschlags aufgrund von Stoßstrom verschlechtert, sondern den
Zusammenbruch bei einem bestimmten Wert des Stoßstromes direkt erreicht.
Als nächstes wurden monolithische Varistoren hergestellt durch Änderung der
Menge jeder der Komponenten der Standardzusammensetzung und wurden Tests
unterzogen. Die Testergebnisse sind in den Fig. 3-20 gezeigt. Jede der Fig. 3, 5,
7, 9, 11, 13, 15, 17 und 19 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen dem Gehalt
einer Komponente (Mol-%) und der Varistorspannung (V1mA/t(V/mm)) pro Dicken
einheit, gemessen an einem Bereich (ein charakteristischer Bereich 18), der durch
Innenelektroden 16 des geschichteten keramischen Körpers sandwichartig einge
bunden ist, gemessen wird, und die Beziehung zwischen dem Gehalt der gleichen
Komponente (Mol-%) und α zeigt. Der Wert von α wird aus folgender Gleichung
bestimmt: α = 111 Log (V10mA/V1mA), basierend auf einer Ausgangsspannung
(V10mA), die gemessen wird, wenn ein Strom von 10 mA zwischen den
Ag-Elektroden angelegt wurde, welche an gegenüberliegenden Enden des Teststückes
vorgesehen sind.
Ferner ist jede der Fig. 4, 6, 8, 10, 12, 14, 16, 18 und 20 ein Graph, der die Bezie
hung zwischen dem Gehalt einer Komponente (Mol-%) und dem maximalen Spit
zenstrom (Ip(A)) und die Beziehung zwischen dem Gehalt der gleichen Kompo
nente (Mol-%) und dem Klemmspannungsverhältnis (V100 A/V1mA) zeigt.
Der Querschnitt jeder der monolithischen Varistoren wurde poliert und dann bei
750°C 5 Minuten lang geätzt. Die in dem charakteristischen Bereich 18 des ge
schichteten keramischen Körpers 14 enthaltenen Körnchen wurden unter einem
SEM (Rasterelektronenmikroskop) begutachtet, um die mittlere Körnchengröße
(µm) zu messen. Die Fig. 21 zeigt die Beziehung zwischen der mittleren Körnchen
größe und dem Klemmspannungsverhältnis.
Wie aus der Fig. 21 ersichtlich wird, erhöht sich, wenn die mittlere Körnchengröße
in dem charakteristischen Bereich 18 des geschichteten keramischen Körpers 14
geringer als 0,9 µm ist, das Klemmspannungsverhältnis aufgrund eines unzurei
chenden Sinterns und ähnlichen Ursachen, wohingegen, wenn die mittlere Körn
chengröße 3 µm oder mehr beträgt, das Klemmspannungsverhältnis sich erhöht
aufgrund der Zunahme von Korngrenzenabscheidungen, die aus übermäßig vor
handenen Zusatzstoffen oder durch eine übermäßige ablaufende Reaktion gebildet
werden.
Wie oben beschrieben, sieht die vorliegende Erfindung einen monolithischen Vari
stor vor, welcher klein ist, günstig ist und ein hohes Leistungsvermögen bezüglich
der Unterdrückung der Stoßspannung aufweist. Insbesondere sieht die vorliegende
Erfindung z. B. einen monolithischen Varistor-Chip mit einer Varistorspannung von
100-500 V in einer Größe von 4,5×3,2×2,0-2,5 (mm) als ein Element vor. Der
monolithische Varistor-Chip besitzt ein Leistungsvermögen, das zu dem eines her
kömmlichen einzelschichtigen Varistors mit einer Chip-Größe von 8,0×5,6×2,0
(mm) äquivalent ist. Ferner zeigt der monolithische Varistor-Chip ein verbessertes
Leistungsvermögen bei der Unterdrückung der Stoßspannung, wobei er ein
Klemmspannungsverhältnis von dem etwa 1/5-fachen eines herkömmlichen ein
schichtigen Varistors zeigt.
Claims (21)
1. Monolithischer Varistor, welcher einen geschichteten keramischen Körper
mit einer Vielzahl von Innenelektroden innerhalb des Produktes umfaßt und
welcher monolithisch gesintert ist, wobei der geschichtete keramische Körper
ZnO als eine primäre Komponente und auf 100 Mol-% ZnO basierend eine
Al-Komponente in einer Menge von 100-350 ppm, nach Anpassung an
Al2O3, eine Bi-Komponente in einer Menge von 1,0-3,0 Mol-%, nach An
passung an Bi2O3, eine Co-Komponente in einer Menge von 0,1-1,5 Mol-%,
nach Anpassung an Co2O3, eine Mn-Komponente in einer Menge von 0,1-
1,0 Mol-%, nach Anpassung an MnO, mindestens eine Komponente einer
Sb-Komponente und einer Sn-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol
%, nach Anpassung an SbO3/2 oder SnO, eine Y-Komponente in einer Men
ge von 0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Y2O3, eine Si-Komponente in ei
ner Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an SiO2, und eine
B-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an B2O3
umfaßt; und welcher eine mittlere Körnchengröße von 0,9-3,0 µm zumin
dest in einem charakteristischen Bereich aufweist, welcher eine
Varistor-Charakteristik zeigt und von Innenelektroden sandwichartig umgeben wird.
2. Monolithischer Varistor, welcher einen geschichteten keramischen Körper
mit einer Vielzahl von Innenelektroden innerhalb des Produktes umfaßt und
monolithisch gesintert ist, worin der geschichtete keramische Körper ZnO als
primäre Komponente und basierend auf 100 Mol-% ZnO eine
Al-Komponente in einer Menge von 100-350 ppm, nach Anpassung an Al2O3,
eine Bi-Komponente in einer Menge von 1,0-3,0 Mol-%, nach Anpassung
an Bi2O3, eine Co-Komponente in einer Menge von 0,1-1,5 Mol-%, nach
Anpassung an Co2O3, eine Mn-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0
Mol-%, nach Anpassung an MnO, mindestens eine Komponente einer
Sb-Komponente und einer Sn-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%,
nach Anpassung an SbO3/2 oder SnO, eine Y-Komponente in einer Menge
von 0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Y2O3, eine Si-Komponente in einer
Menge von 0,1-1-0 Mol-%, nach Anpassung an SiO2, und eine
B-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an B2O3
umfaßt; und welcher eine Varistorspannung pro Dickeneinheit von
1000-2500 V/mm besitzt, wenn ein elektrischer Strom von 1 mA angelegt wird.
3. Keramik für einen Varistor, welcher ZnO als primäre Komponente und basie
rend auf 100 Mol-% ZnO eine Al-Komponente in einer Menge von 100-350
ppm, nach Anpassung an Al2O3, eine Bi-Komponente in einer Menge von
1,0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Bi2O3, eine Co-Komponente in einer
Menge von 0,1-1,5 Mol-%, nach Anpassung an Co2O3, eine
Mn-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an MnO,
mindestens eine Komponente einer Sb-Komponente und einer Sn-Kompo
nente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an SbO3/2 oder
SnO, eine Y-Komponente in einer Menge von 0-3,0 Mol-%, nach Anpas
sung an Y2O3, eine Si-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%,
nach Anpassung an SiO2, und eine B-Komponente in einer Menge von
0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an B2O3 umfaßt.
4. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, worin die Al-Komponente in
einer Menge von 200-300 ppm, nach Anpassung an Al2O3, enthalten ist.
5. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, worin die Co-Komponente in
einer Menge von 0,3-1,0 Mol-%, nach Anpassung an Co2O3, enthalten ist.
6. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, worin die Mn-Komponente in
einer Menge von 0,3-1,0 Mol-%, nach Anpassung an MnO, enthalten ist.
7. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, worin mindestens eine der
Sb- oder Sn-Komponente in einer Menge von 1,0-2,0 Mol-%, nach Anpas
sung an SbO3/2 oder SnO, enthalten ist.
8. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, worin die Y-Komponente in
einer Menge von 1-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Y2O3, enthalten ist.
9. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, worin die Si-Komponente in
einer Menge von 0,1-0,3 Mol-%, nach Anpassung an SiO2, enthalten ist.
10. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, worin die B-Komponente in
einer Menge von 0,2-0,7 Mol-%, nach Anpassung an B2O3, enthalten ist.
11. Keramik für einen Varistor gemäß Anspruch 3, wobei mindestens ein Bereich
davon eine mittlere Körnchengröße von 0,9-3,0 µm besitzt.
12. Varistor, umfassend:
eine keramische Schicht, die ZnO als eine primäre Komponente enthält, und
eine Vielzahl von Innenelektroden in der keramischen Schicht, wobei der Varistor eine Varistorspannung pro Dickeneinheit von 1000-2500 V/mm aufweist, wenn ein elektrischer Strom von 1 mA daran angelegt ist.
eine keramische Schicht, die ZnO als eine primäre Komponente enthält, und
eine Vielzahl von Innenelektroden in der keramischen Schicht, wobei der Varistor eine Varistorspannung pro Dickeneinheit von 1000-2500 V/mm aufweist, wenn ein elektrischer Strom von 1 mA daran angelegt ist.
13. Verfahren zur Herstellung eines Varistors, welches folgende Schritte umfaßt:
Mischen von Ausgangsmaterialien, einschließlich ZnO und Komponenten von Al, Bi, Co, Mn, Y, Si, B und mindestens einem von Sb und Sn;
Kalzinieren der resultierenden Mischung;
Bilden von das kalzinierte Produkt enthaltenden keramischen Grüntafeln;
Bilden einer Innenelektrode auf jeder der keramischen Grüntafeln;
Laminieren der Grüntafeln;
Sintern des geschichteten Produktes;
Vorsehen von äußeren metallisierten Bereichen auf Außenoberflächen des gesinterten Produktes, welche mit den Innenelektroden verbunden sind.
Mischen von Ausgangsmaterialien, einschließlich ZnO und Komponenten von Al, Bi, Co, Mn, Y, Si, B und mindestens einem von Sb und Sn;
Kalzinieren der resultierenden Mischung;
Bilden von das kalzinierte Produkt enthaltenden keramischen Grüntafeln;
Bilden einer Innenelektrode auf jeder der keramischen Grüntafeln;
Laminieren der Grüntafeln;
Sintern des geschichteten Produktes;
Vorsehen von äußeren metallisierten Bereichen auf Außenoberflächen des gesinterten Produktes, welche mit den Innenelektroden verbunden sind.
14. Verfahren zur Herstellung eines Varistors gemäß Anspruch 13, wobei die
Ausgangsrohmaterialien ZnO als eine primäre Komponente und auf 100 Mol-%
ZnO basierend eine Al-Komponente in einer Menge von 100-350 ppm,
nach Anpassung an Al2O3, eine Bi-Komponente in einer Menge von 1,0-3,0
Mol-%, nach Anpassung an Bi2O3, eine Co-Komponente in einer Menge von
0,1-1,5 Mol-%, nach Anpassung an Co2O3, eine Mn-Komponente in einer
Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung an MnO, mindestens eine
Komponente einer Sb-Komponente und einer Sn-Komponente in einer Men
ge von 0,1-2,0 Mol-%, nach Anpassung an SbO3/2 oder SnO, eine
Y-Komponente in einer Menge von 0-3,0 Mol-%, nach Anpassung an Y2O3,
eine Si-Komponente in einer Menge von 0,1-1,0 Mol-%, nach Anpassung
an SiO2, und eine B-Komponente in einer Menge von 0,1-2,0 Mol-%, nach
Anpassung an B2O3, umfassen.
15. Verfahren zur Herstellung eines Varistors gemäß Anspruch 13, wobei der
Kalzinierungsschritt bei etwa 750°C durchgeführt wird.
16. Verfahren zur Herstellung eines Varistors gemäß Anspruch 13, wobei der
Kalzinierungsschritt etwa 2 Stunden lang durchgeführt wird.
17. Verfahren zur Herstellung des Varistors gemäß Anspruch 13, wobei die In
nenelektroden Pt als eine primäre Komponente enthalten.
18. Verfahren zur Herstellung eines Varistors gemäß Anspruch 13, wobei der
Brennschritt bei etwa 880-900°C durchgeführt wird.
19. Verfahren zur Herstellung eines Varistors gemäß Anspruch 18, wobei der
Sinterschritt etwa 3 Stunden lang durchgeführt wird.
20. Verfahren zur Herstellung eines Varistors gemäß Anspruch 13, wobei die
äußeren metallisierten Bereiche Pt als eine primäre Komponente enthalten.
21. Verfahren zur Herstellung eines Varistors gemäß Anspruch 13, wobei der
Sinterschritt ferner einen Schritt zur Zersetzung einer organischen Substanz
bei etwa 600°C zu dessen Entfernung einschließt.
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