DE19753930A1 - Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren - Google Patents

Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren

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Cited By (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19909482A1 (de) * 1999-03-04 2000-09-07 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19946836A1 (de) * 1999-09-30 2000-11-09 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
WO2000079162A1 (fr) * 1999-06-19 2000-12-28 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezo-electrique
WO2000079608A1 (fr) * 1999-06-19 2000-12-28 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezo-electrique dote d'une electrode exterieure adaptee a la dilatation thermique
WO2001011699A1 (fr) * 1999-08-06 2001-02-15 Robert Bosch Gmbh Contact pour electrodes d'un actionneur piezoceramique et son procede de realisation
DE19945934C1 (de) * 1999-09-24 2001-03-22 Epcos Ag Verfahren zur Herstellung einer Außenkontaktierung eines elektrokeramischen Bauelementes, insbesondere eines Piezoaktors
DE19945267C1 (de) * 1999-09-21 2001-04-19 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Anbringung von flächigen Außenelektroden auf einem piezokeramischen Vielschichtaktor
DE19946834A1 (de) * 1999-09-30 2001-05-03 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
WO2001091199A1 (fr) * 2000-05-25 2001-11-29 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezo
DE10033588A1 (de) * 2000-07-11 2002-01-31 Bosch Gmbh Robert Keramisches Mehrlagenbauteil und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10046661A1 (de) * 2000-09-20 2002-04-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10046657A1 (de) * 2000-09-20 2002-04-04 Bosch Gmbh Robert Piezoelement und ein Verfahren zu seiner Herstellung
DE10048928A1 (de) * 2000-10-04 2002-04-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelement
EP1239525A2 (fr) * 2001-03-06 2002-09-11 Ceram Tec Ag Innovative Ceramic Engineering Actionneurs à multicouches piézocéramiques et méthode de fabrication
WO2004004021A2 (fr) * 2002-07-01 2004-01-08 Siemens Aktiengesellschaft Actionneur piezoelectrique et procede de fabrication
DE10259320A1 (de) * 2002-08-09 2004-02-26 Epcos Ag Druckkontaktiertes elektrisches Bauelement
WO2004019425A2 (fr) * 2002-08-16 2004-03-04 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezoelectrique
WO2004061986A1 (fr) * 2002-12-20 2004-07-22 Robert Bosch Gmbh Piezo-actionneur
DE10324871A1 (de) * 2003-06-02 2005-01-05 Siemens Ag Elektrotechnisches Erzeugnis und Verfahren zur Herstellung des Erzeugnisses
DE10350061A1 (de) * 2003-10-27 2005-05-25 Robert Bosch Gmbh Aktormodul
DE102005036078A1 (de) * 2005-08-01 2007-02-15 Epcos Ag Transformatoranordnung mit einem piezoelektrischen Transformator und piezoelektrischer Transformator
WO2007023046A1 (fr) * 2005-08-24 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Ensemble comprenant un actionneur piezoelectrique
DE102005044391A1 (de) * 2005-09-16 2007-03-29 Siemens Ag Piezoaktor mit verbesserter Kontaktierung des Aktorkörpers mit den Kontaktstiften
EP1808908A2 (fr) * 2006-01-13 2007-07-18 Ngk Insulators, Ltd. Dispositif piézo-électrique multicouche et procédé de fabrication de celui-ci
EP1814169A2 (fr) * 2006-01-31 2007-08-01 Robert Bosch Gmbh Actionneur piézo-électrique et procédé de fabrication de celui-ci
DE102006006076A1 (de) * 2006-02-09 2007-08-16 Siemens Ag Piezo-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines Piezo-Aktors und Einspritzsystem mit einem solchen
DE102006014606A1 (de) * 2006-03-29 2007-10-04 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung eines gekapselten Hochdruckaktors
DE102006018916A1 (de) * 2006-04-24 2007-10-25 Siemens Ag Metallischer Körper
DE102006019489A1 (de) * 2006-04-26 2007-10-31 Siemens Ag Piezoaktor mit Mehrschicht-Verkapselung und Verfahren zu seiner Herstellung
WO2007122149A1 (fr) * 2006-04-21 2007-11-01 Robert Bosch Gmbh Module d'activateur piézoélectrique avec gaine et son procédé de fabrication
WO2007124842A2 (fr) * 2006-04-28 2007-11-08 Daimler Ag Activateur piézoélectrique avec une gaine en matériau composite
DE102006019900A1 (de) * 2006-04-28 2007-11-08 Siemens Ag Piezoaktor mit Gradient-Verkapselungsschicht und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102006025172A1 (de) * 2006-05-30 2007-12-06 Siemens Ag Piezoaktor mit Verkapselung und Verfahren zu seiner Herstellung
EP1909339A1 (fr) * 2006-10-02 2008-04-09 Robert Bosch Gmbh Module d'actionneur ayant un piezoactionneur gainé
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008048051A1 (de) 2008-09-19 2010-04-08 Continental Automotive Gmbh Bauelement sowie Verfahren zum Kontaktieren eines Bauelements
DE102009009164B4 (de) * 2009-02-16 2014-10-02 Continental Automotive Gmbh Piezoelektrischer Aktor, Verfahren zur Herstellung des Aktors und Injektor
EP2802766A1 (fr) * 2012-01-11 2014-11-19 CeramTec GmbH Module d'actionnement muni d'un actionneur multicouche agencé dans un boîtier et présentant un courant de fuite extrêmement bas constant au niveau de la surface de l'actionneur
DE102015218701A1 (de) * 2015-09-29 2016-12-01 Continental Automotive Gmbh Elektrokeramisches Bauelement, insbesondere Vielschichtpiezoaktor

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4737799B2 (ja) * 2000-04-28 2011-08-03 京セラ株式会社 積層型圧電アクチュエータおよび噴射装置
DE10211107A1 (de) * 2001-07-12 2003-02-13 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor in einem Gehäuse
JP3925650B2 (ja) 2003-03-06 2007-06-06 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタヘッド
DE102007058873A1 (de) * 2007-12-06 2009-06-10 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Außenkontaktierung, die eine Gasphasen-Abscheidung aufweist, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3040563A1 (de) * 1980-10-28 1982-05-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Elektrisch zu betaetigendes stellglied
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
US5281885A (en) * 1989-11-14 1994-01-25 Hitachi Metals, Ltd. High-temperature stacked-type displacement device
US5406164A (en) * 1993-06-10 1995-04-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
DE19615694C1 (de) * 1996-04-19 1997-07-03 Siemens Ag Monolithischer Vielschicht-Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4250605A (en) * 1978-01-19 1981-02-17 The Carborundum Company Biaxially stressed fluorinated polymer roll cover and method for making same
JPS61258485A (ja) * 1985-05-13 1986-11-15 Aisan Ind Co Ltd 圧電変換器
US4803763A (en) * 1986-08-28 1989-02-14 Nippon Soken, Inc. Method of making a laminated piezoelectric transducer
JPS63299384A (ja) * 1987-05-29 1988-12-06 Murata Mfg Co Ltd 積層型圧電アクチュエ−タ
JP3239670B2 (ja) * 1995-02-27 2001-12-17 株式会社デンソー 積層圧電体

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3040563A1 (de) * 1980-10-28 1982-05-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Elektrisch zu betaetigendes stellglied
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
US5281885A (en) * 1989-11-14 1994-01-25 Hitachi Metals, Ltd. High-temperature stacked-type displacement device
US5406164A (en) * 1993-06-10 1995-04-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
DE19615694C1 (de) * 1996-04-19 1997-07-03 Siemens Ag Monolithischer Vielschicht-Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 5-48170 A., In: Patents Abstracts of Japan, E-1390,June 29,1993,Vol.17,No.344 *

Cited By (71)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19909482A1 (de) * 1999-03-04 2000-09-07 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
US6507140B1 (en) 1999-06-19 2003-01-14 Robert Bosch Gmbh Piezoelectric actuator with an outer electrode that is adapted for thermal expansion
WO2000079162A1 (fr) * 1999-06-19 2000-12-28 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezo-electrique
WO2000079608A1 (fr) * 1999-06-19 2000-12-28 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezo-electrique dote d'une electrode exterieure adaptee a la dilatation thermique
DE19928190A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-11 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE19936713C2 (de) * 1999-08-06 2001-08-23 Bosch Gmbh Robert Piezokeramischer Aktor sowie Verfahren zu seiner Herstellung
WO2001011699A1 (fr) * 1999-08-06 2001-02-15 Robert Bosch Gmbh Contact pour electrodes d'un actionneur piezoceramique et son procede de realisation
US6891313B1 (en) 1999-08-06 2005-05-10 Robert Bosch Gmbh Electrode contact for a piezoceramic actuator and method for producing same
DE19936713A1 (de) * 1999-08-06 2001-03-15 Bosch Gmbh Robert Piezokeramischer Aktor sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE19945267C1 (de) * 1999-09-21 2001-04-19 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Anbringung von flächigen Außenelektroden auf einem piezokeramischen Vielschichtaktor
DE19945934C1 (de) * 1999-09-24 2001-03-22 Epcos Ag Verfahren zur Herstellung einer Außenkontaktierung eines elektrokeramischen Bauelementes, insbesondere eines Piezoaktors
DE19946834A1 (de) * 1999-09-30 2001-05-03 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE19946836A1 (de) * 1999-09-30 2000-11-09 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE10026005A1 (de) * 2000-05-25 2001-12-06 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
WO2001091199A1 (fr) * 2000-05-25 2001-11-29 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezo
DE10026005B4 (de) * 2000-05-25 2004-07-08 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
DE10033588C2 (de) * 2000-07-11 2002-05-16 Bosch Gmbh Robert Keramisches Mehrlagenbauteil und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10033588A1 (de) * 2000-07-11 2002-01-31 Bosch Gmbh Robert Keramisches Mehrlagenbauteil und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10046661A1 (de) * 2000-09-20 2002-04-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor
DE10046657A1 (de) * 2000-09-20 2002-04-04 Bosch Gmbh Robert Piezoelement und ein Verfahren zu seiner Herstellung
DE10048928A1 (de) * 2000-10-04 2002-04-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelement
EP1239525A2 (fr) * 2001-03-06 2002-09-11 Ceram Tec Ag Innovative Ceramic Engineering Actionneurs à multicouches piézocéramiques et méthode de fabrication
EP1239525A3 (fr) * 2001-03-06 2005-08-31 Ceram Tec Ag Innovative Ceramic Engineering Actionneurs à multicouches piézocéramiques et méthode de fabrication
WO2004004021A3 (fr) * 2002-07-01 2004-05-13 Siemens Ag Actionneur piezoelectrique et procede de fabrication
DE10229494A1 (de) * 2002-07-01 2004-01-29 Siemens Ag Piezoaktor sowie Verfahren zu dessen Herstellung
WO2004004021A2 (fr) * 2002-07-01 2004-01-08 Siemens Aktiengesellschaft Actionneur piezoelectrique et procede de fabrication
DE10259320A1 (de) * 2002-08-09 2004-02-26 Epcos Ag Druckkontaktiertes elektrisches Bauelement
DE10259320B4 (de) * 2002-08-09 2004-07-22 Epcos Ag Druckkontaktiertes elektrisches Bauelement
WO2004019425A3 (fr) * 2002-08-16 2004-07-22 Bosch Gmbh Robert Actionneur piezoelectrique
WO2004019425A2 (fr) * 2002-08-16 2004-03-04 Robert Bosch Gmbh Actionneur piezoelectrique
US7271524B2 (en) 2002-08-16 2007-09-18 Robert Bosch Gmbh Piezo actuator
WO2004061986A1 (fr) * 2002-12-20 2004-07-22 Robert Bosch Gmbh Piezo-actionneur
US7276837B2 (en) 2002-12-20 2007-10-02 Robert Bosch Gmbh Piezoelectric actuator
DE10324871A1 (de) * 2003-06-02 2005-01-05 Siemens Ag Elektrotechnisches Erzeugnis und Verfahren zur Herstellung des Erzeugnisses
DE10350061A1 (de) * 2003-10-27 2005-05-25 Robert Bosch Gmbh Aktormodul
DE102005036078A1 (de) * 2005-08-01 2007-02-15 Epcos Ag Transformatoranordnung mit einem piezoelektrischen Transformator und piezoelektrischer Transformator
WO2007023046A1 (fr) * 2005-08-24 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Ensemble comprenant un actionneur piezoelectrique
DE102005044391A1 (de) * 2005-09-16 2007-03-29 Siemens Ag Piezoaktor mit verbesserter Kontaktierung des Aktorkörpers mit den Kontaktstiften
DE102005044391B4 (de) * 2005-09-16 2008-10-09 Siemens Ag Piezoaktor mit verbesserter Kontaktierung des Aktorkörpers mit den Kontaktstiften
EP1808908A3 (fr) * 2006-01-13 2008-04-09 Ngk Insulators, Ltd. Dispositif piézo-électrique multicouche et procédé de fabrication de celui-ci
EP1808908A2 (fr) * 2006-01-13 2007-07-18 Ngk Insulators, Ltd. Dispositif piézo-électrique multicouche et procédé de fabrication de celui-ci
US7538475B2 (en) 2006-01-13 2009-05-26 Ngk Insulators, Ltd. Multilayer piezoelectric devices and method of producing same
EP1814169A2 (fr) * 2006-01-31 2007-08-01 Robert Bosch Gmbh Actionneur piézo-électrique et procédé de fabrication de celui-ci
EP1814169A3 (fr) * 2006-01-31 2008-06-18 Robert Bosch Gmbh Actionneur piézo-électrique et procédé de fabrication de celui-ci
DE102006006076A1 (de) * 2006-02-09 2007-08-16 Siemens Ag Piezo-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines Piezo-Aktors und Einspritzsystem mit einem solchen
DE102006006076B4 (de) * 2006-02-09 2014-10-02 Continental Automotive Gmbh Piezo-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines Piezo-Aktors und Einspritzsystem mit einem solchen
DE102006014606A1 (de) * 2006-03-29 2007-10-04 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung eines gekapselten Hochdruckaktors
DE102006014606B4 (de) * 2006-03-29 2011-04-07 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung eines gekapselten Hochdruckaktors
US7872398B2 (en) 2006-04-21 2011-01-18 Robert Bosch Gmbh Piezoelectric actuator module having a sheath, and a method for its production
WO2007122149A1 (fr) * 2006-04-21 2007-11-01 Robert Bosch Gmbh Module d'activateur piézoélectrique avec gaine et son procédé de fabrication
DE102006018916A1 (de) * 2006-04-24 2007-10-25 Siemens Ag Metallischer Körper
WO2007122227A2 (fr) * 2006-04-26 2007-11-01 Siemens Aktiengesellschaft Piézo-actionneur comportant un encapsulage multicouche et procédé de fabrication
DE102006019489B4 (de) * 2006-04-26 2008-03-13 Siemens Ag Piezoaktor mit Mehrschicht-Verkapselung und Verfahren zu seiner Herstellung
WO2007122227A3 (fr) * 2006-04-26 2007-12-13 Siemens Ag Piézo-actionneur comportant un encapsulage multicouche et procédé de fabrication
DE102006019489A1 (de) * 2006-04-26 2007-10-31 Siemens Ag Piezoaktor mit Mehrschicht-Verkapselung und Verfahren zu seiner Herstellung
US7851978B2 (en) 2006-04-26 2010-12-14 Siemens Aktiengesellschaft Piezo actuator comprising a multilayer encapsulation, and method for the production thereof
US8261720B2 (en) 2006-04-28 2012-09-11 Daimler Ag Piezoelectric actuator with a sheathing composed of a composite material
US8198783B2 (en) 2006-04-28 2012-06-12 Siemens Aktiengesellschaft Piezoelectric actuator with encapsulation layer having a thickness-varying property gradient
WO2007124842A3 (fr) * 2006-04-28 2008-01-03 Daimler Chrysler Ag Activateur piézoélectrique avec une gaine en matériau composite
DE102006019900A1 (de) * 2006-04-28 2007-11-08 Siemens Ag Piezoaktor mit Gradient-Verkapselungsschicht und Verfahren zu seiner Herstellung
WO2007124842A2 (fr) * 2006-04-28 2007-11-08 Daimler Ag Activateur piézoélectrique avec une gaine en matériau composite
DE102006025172A1 (de) * 2006-05-30 2007-12-06 Siemens Ag Piezoaktor mit Verkapselung und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102006025172B4 (de) * 2006-05-30 2008-10-16 Siemens Ag Piezoaktor mit Verkapselung und Verfahren zu seiner Herstellung
EP1909339A1 (fr) * 2006-10-02 2008-04-09 Robert Bosch Gmbh Module d'actionneur ayant un piezoactionneur gainé
US8638025B2 (en) 2008-08-18 2014-01-28 Epcos Ag Piezo actuator with external electrode soldered to outer face
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008048051A1 (de) 2008-09-19 2010-04-08 Continental Automotive Gmbh Bauelement sowie Verfahren zum Kontaktieren eines Bauelements
DE102008048051B4 (de) 2008-09-19 2018-04-05 Continental Automotive Gmbh Bauelement sowie Verfahren zum Kontaktieren eines Bauelements
DE102009009164B4 (de) * 2009-02-16 2014-10-02 Continental Automotive Gmbh Piezoelektrischer Aktor, Verfahren zur Herstellung des Aktors und Injektor
EP2802766A1 (fr) * 2012-01-11 2014-11-19 CeramTec GmbH Module d'actionnement muni d'un actionneur multicouche agencé dans un boîtier et présentant un courant de fuite extrêmement bas constant au niveau de la surface de l'actionneur
DE102015218701A1 (de) * 2015-09-29 2016-12-01 Continental Automotive Gmbh Elektrokeramisches Bauelement, insbesondere Vielschichtpiezoaktor

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