JP2001526465A - ソリッドステートアクチュエータに外部電極を取り付ける方法 - Google Patents
ソリッドステートアクチュエータに外部電極を取り付ける方法Info
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
本発明は、交互に引き出された、または交互に絶縁された金属製の内部電極（１４）が介在する、電気機械的に活性の物質の多数の薄い層から成る積み重ねられたソリッドステートアクチュエータ（１）に外部電極（５）を取り付ける方法であって、交互に出る内部電極（１４）をベース金属化部（２）を介して電気的に並列に接続し、これらの内部電極を外部電極（５）に結合する方法に関する。使用分野を拡大し、耐用寿命を長くするために、外部電極（５）として、３次元的に成形された導電性の構造を使用し、該構造をアクチュエータ軸線方向で延伸可能にし、ベース金属化部への部分的なコンタクト個所を介して電気的なコンタクトを形成するために、外部電極（５）をベース金属化部（２）に圧着することが提案される。
Description
【０００１】 本発明は、請求項１の上位概念に記載の、ソリッドステートアクチュエータ（
半導体アクチュエータ）に外部電極を取り付けるための方法に関する。
半導体アクチュエータ）に外部電極を取り付けるための方法に関する。
【０００２】 ソリッドステートアクチュエータは通常の場合、活物質（例えばピエゾ・セラ
ミックス、電気歪み物質）の積み重ねられた薄い層から成っている。これらの層
の間には、導電性の内部電極が配置されている。外部電極はこれらの内部電極に
交互に結合している。これにより、内部電極は電気的に並列に接続され、纏めら
れることにより２つの群を成す。これらの２つの群は、アクチュエータの両接続
極を形成する。電圧が接続極に印加されると、この電圧はすべての内部電極に並
列に伝達され、活物質のすべての層に電界を生ぜしめる。これにより、この活物
質は機械的に変形する。すべてのこのような機械的な変形の和が、利用可能な膨
張および／または力として、アクチュエータの端面に提供される。
ミックス、電気歪み物質）の積み重ねられた薄い層から成っている。これらの層
の間には、導電性の内部電極が配置されている。外部電極はこれらの内部電極に
交互に結合している。これにより、内部電極は電気的に並列に接続され、纏めら
れることにより２つの群を成す。これらの２つの群は、アクチュエータの両接続
極を形成する。電圧が接続極に印加されると、この電圧はすべての内部電極に並
列に伝達され、活物質のすべての層に電界を生ぜしめる。これにより、この活物
質は機械的に変形する。すべてのこのような機械的な変形の和が、利用可能な膨
張および／または力として、アクチュエータの端面に提供される。
【０００３】 外部電極およびこれらの接合個所は、多くの使用事例の場合、流れるパルス電
流（最大約８０Ａ）、膨張運動（最大約２％）およびアクチュエータの損失熱（
最大２００℃）によって、極めて高い電気的、機械的および熱的な負荷に晒され
る。
流（最大約８０Ａ）、膨張運動（最大約２％）およびアクチュエータの損失熱（
最大２００℃）によって、極めて高い電気的、機械的および熱的な負荷に晒され
る。
【０００４】 従来技術によれば、ソリッドステートアクチュエータは大抵の場合、モノリス
として構成されている。すなわち活物質は焼結の前にはフォイルとして内部電極
を備えており、圧縮されることによりアクチュエータスタックとなり、次いで焼
結される。これにより、モノリシックなアクチュエータが生じる。製作法に応じ
て、内部電極が前方から内部へ、交互にモノリスから出るか、またはすべての内
部電極がモノリスから出て、次いで交互に絶縁されなければならない。
として構成されている。すなわち活物質は焼結の前にはフォイルとして内部電極
を備えており、圧縮されることによりアクチュエータスタックとなり、次いで焼
結される。これにより、モノリシックなアクチュエータが生じる。製作法に応じ
て、内部電極が前方から内部へ、交互にモノリスから出るか、またはすべての内
部電極がモノリスから出て、次いで交互に絶縁されなければならない。
【０００５】 アクチュエータは、焼結が完了して内部電極を備えた個々のディスクから積み
重ねることもできる。この場合にも、内部電極はスタックから交互に引き出され
なければならない。
重ねることもできる。この場合にも、内部電極はスタックから交互に引き出され
なければならない。
【０００６】 次に、上位概念に基づく従来技術について図１に関連して説明する。
【０００７】 アクチュエータスタック１には、外方に引き出された内部電極１４の領域に、
例えばスパッタリング、電気めっき法つまりガルバニック法、銀ペーストのスク
リーン印刷によってベース金属化部２が被着されている。このようなベース金属
化部２は金属材料３を被着することによって、例えばさらなるスクリーン印刷ス
テップ、浸漬被覆、薄板のろう付けまたはろう接を施すことによって補強される
。このように補強された層に電気的な接続線材４がろう接される。
例えばスパッタリング、電気めっき法つまりガルバニック法、銀ペーストのスク
リーン印刷によってベース金属化部２が被着されている。このようなベース金属
化部２は金属材料３を被着することによって、例えばさらなるスクリーン印刷ス
テップ、浸漬被覆、薄板のろう付けまたはろう接を施すことによって補強される
。このように補強された層に電気的な接続線材４がろう接される。
【０００８】 このようなアクチュエータおよび外部電極の構成および製造は、例えばドイツ
連邦共和国特許公開第３３３０５３８号明細書、ドイツ連邦共和国特許第４０３
６２８７号明細書、米国特許第５２８１８８５号明細書、米国特許第５４０６１
６４号明細書および特開平０７−２２６５４１号公報に詳細に記載されている。
連邦共和国特許公開第３３３０５３８号明細書、ドイツ連邦共和国特許第４０３
６２８７号明細書、米国特許第５２８１８８５号明細書、米国特許第５４０６１
６４号明細書および特開平０７−２２６５４１号公報に詳細に記載されている。
【０００９】 このような外部電極およびその接合個所は、電気的、機械的および熱的な永続
的な負荷を受ける傾向がある。このような負荷はアクチュエータに起因して材料
疲労を引き起こす。一般的には、すでに数１０7回の負荷サイクル後にすでに、 明らかに亀裂が外部電極に形成される。構成部分はたいていの場合、このような
亀裂にアークが形成されることにより、または、ろう接結合部が剥離することに
より機能しない。作動温度はろう接結合により約１２０°に制限される。より高
温で溶融する軟質はんだ（Ａｕ／Ｓｎ）は高価であるか、またはあまりにも僅か
な基礎強度（Ｐｂ）しか有しない。アクチュエータへの直接的な硬質はんだ付け
または溶接結合は、アクティブなアクチュエータ材料が鋭敏であることに基づき
問題外である。接着結合は、あまりにも僅かな機械的および熱的な安定性しか有
していない。
的な負荷を受ける傾向がある。このような負荷はアクチュエータに起因して材料
疲労を引き起こす。一般的には、すでに数１０7回の負荷サイクル後にすでに、 明らかに亀裂が外部電極に形成される。構成部分はたいていの場合、このような
亀裂にアークが形成されることにより、または、ろう接結合部が剥離することに
より機能しない。作動温度はろう接結合により約１２０°に制限される。より高
温で溶融する軟質はんだ（Ａｕ／Ｓｎ）は高価であるか、またはあまりにも僅か
な基礎強度（Ｐｂ）しか有しない。アクチュエータへの直接的な硬質はんだ付け
または溶接結合は、アクティブなアクチュエータ材料が鋭敏であることに基づき
問題外である。接着結合は、あまりにも僅かな機械的および熱的な安定性しか有
していない。
【００１０】 外部電極の材料疲労の問題は、三次元的に構成された、アクチュエータ軸線の
方向で延伸可能な電極を使用することによって回避することができる。しかしな
がら、このような電極も基礎金属化部にろう接しなければならない。このような
ろう接は疲労現象に陥りやすく、使用温度を制限する。延伸可能な電極を備えた
このようなソリッドステートアクチュエータは、まだ公開されていないドイツ連
邦共和国特許出願第１９６４８５４５．２号明細書に記載されている。
方向で延伸可能な電極を使用することによって回避することができる。しかしな
がら、このような電極も基礎金属化部にろう接しなければならない。このような
ろう接は疲労現象に陥りやすく、使用温度を制限する。延伸可能な電極を備えた
このようなソリッドステートアクチュエータは、まだ公開されていないドイツ連
邦共和国特許出願第１９６４８５４５．２号明細書に記載されている。
【００１１】 本発明の課題は、請求項１の上位概念に記載の、ソリッドステートアクチュエ
ータに外部電極を取り付けるための方法を改良して、使用領域が拡大され、アク
チュエータの耐用寿命が著しく長くなるような方法を提供することである。
ータに外部電極を取り付けるための方法を改良して、使用領域が拡大され、アク
チュエータの耐用寿命が著しく長くなるような方法を提供することである。
【００１２】 本発明によれば、このような課題は、電気的なコンタクトを形成するために、
構造化された外部電極、例えば波形の金属フォイル（ドイツ連邦共和国特許出願
第１９６４８５４５．２号明細書に基づく）を、ベース金属化部に圧着すること
によって解決される。
構造化された外部電極、例えば波形の金属フォイル（ドイツ連邦共和国特許出願
第１９６４８５４５．２号明細書に基づく）を、ベース金属化部に圧着すること
によって解決される。
【００１３】 本発明によれば圧着媒体として、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）収
縮スリーブが使用される。最大２６０°Ｃの耐熱性の他に、収縮スリーブはアク
チュエータ表面の秀でた電気的な絶縁部を形成し、衝撃および破断に対して鋭敏
なアクチュエータのために良好な機械的な保護を提供する。
縮スリーブが使用される。最大２６０°Ｃの耐熱性の他に、収縮スリーブはアク
チュエータ表面の秀でた電気的な絶縁部を形成し、衝撃および破断に対して鋭敏
なアクチュエータのために良好な機械的な保護を提供する。
【００１４】 本発明によれば、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレ
ン−コポリマー）を備えたＰＴＦＥ収縮スリーブが使用されてもよい。最大２０
５℃の耐熱性、電気的および機械的な保護の他に、このような方法は、湿分に対
して極めて敏感なアクチュエータを気密にカプセル化することを可能にする。
ン−コポリマー）を備えたＰＴＦＥ収縮スリーブが使用されてもよい。最大２０
５℃の耐熱性、電気的および機械的な保護の他に、このような方法は、湿分に対
して極めて敏感なアクチュエータを気密にカプセル化することを可能にする。
【００１５】 以下に、本発明の方法を図２ａ，２ｂ，２ｃにつき説明する。
【００１６】 モノリシックに構成されたアクチュエータスタック１は両側にベース金属化部
２を備えている（図２ｃ参照）。このベース金属化部２は、最高約４００℃まで
熱負荷可能なあらゆる導電性材料から成っていてよい。しかしながら、ガルバニ
ックに成層された、ボンディング可能な純金コーティングを備えたニッケル層が
使用されると有利である。
２を備えている（図２ｃ参照）。このベース金属化部２は、最高約４００℃まで
熱負荷可能なあらゆる導電性材料から成っていてよい。しかしながら、ガルバニ
ックに成層された、ボンディング可能な純金コーティングを備えたニッケル層が
使用されると有利である。
【００１７】 このようなベース金属化部２には、構造化された外部電極５が載着されている
。これらの外部電極は、線材メッシュ、線材ニットまたは金属発泡体から成って
いてよい。ベース金属化部と同じガルバニックな表面を有する波形の金属フォイ
ルが使用されると有利である。
。これらの外部電極は、線材メッシュ、線材ニットまたは金属発泡体から成って
いてよい。ベース金属化部と同じガルバニックな表面を有する波形の金属フォイ
ルが使用されると有利である。
【００１８】 構造化された外部電極５には、耐熱性を有する弾性的な材料、有利には、円筒
または円筒部分として形成された、ＰＴＦＥ、線材メッシュ、線材ニットから成
る押圧部材６が載着されている。
または円筒部分として形成された、ＰＴＦＥ、線材メッシュ、線材ニットから成
る押圧部材６が載着されている。
【００１９】 アクチュエータスタックの底部には、円筒形に成形された基部片７が位置決め
される。この基部片は、絶縁された２つの電気的な貫通部８を有している。この
基部片のための材料としては、汎用の金属またはセラミックス材料が考えられる
。しかしながら、鋼、または、熱膨張特性がアクチュエータに適合された合金、
例えばＦｅＮｉ４２および窒化アルミニウムが使用されると有利である。貫通案
内された接続部８は有利には、ベース金属化部２と同じガルバニックな表面を有
しており、ガラス、セラミックスまたはＰＴＦＥで基部片に対して絶縁されてい
る。接続部の上側の端部はそれぞれ、構造化された外部電極５のうちの一方に設
けられるようになっている。
される。この基部片は、絶縁された２つの電気的な貫通部８を有している。この
基部片のための材料としては、汎用の金属またはセラミックス材料が考えられる
。しかしながら、鋼、または、熱膨張特性がアクチュエータに適合された合金、
例えばＦｅＮｉ４２および窒化アルミニウムが使用されると有利である。貫通案
内された接続部８は有利には、ベース金属化部２と同じガルバニックな表面を有
しており、ガラス、セラミックスまたはＰＴＦＥで基部片に対して絶縁されてい
る。接続部の上側の端部はそれぞれ、構造化された外部電極５のうちの一方に設
けられるようになっている。
【００２０】 基部片７は、貫通案内された線材８に溶接された、構造化された外部電極５と
押圧部材６と一緒に１つの組み付けユニットを形成することができる。
押圧部材６と一緒に１つの組み付けユニットを形成することができる。
【００２１】 アクチュエータスタックのヘッドには、円筒形に成形されたヘッド片９が位置
決めされる。このヘッド片は基部片と同じ材料から成っている。
決めされる。このヘッド片は基部片と同じ材料から成っている。
【００２２】 ヘッド片および基部片は、丸い環状の溝１２を有していると有利である。これ
により、収縮スリーブ１０のシール作用が改善される。
により、収縮スリーブ１０のシール作用が改善される。
【００２３】 この装置に、適宜な市販のＰＴＦＥ収縮スリーブ１０が被せ嵌められる。この
収縮スリーブは、収縮温度よりも低い温度で溶融可能なＦＥＰ内部被覆体１１を
有している。この装置は今や、約３５０℃の収縮温度にもたらされる。このとき
、収縮スリーブ１０は半径方向および軸線方向に収縮し、個別構成部材を大きな
力で緊定する。収縮スリーブ１０の内部被覆体１１は溶融し、個別構成部材に解
離不能かつ完全に密に結合する。
収縮スリーブは、収縮温度よりも低い温度で溶融可能なＦＥＰ内部被覆体１１を
有している。この装置は今や、約３５０℃の収縮温度にもたらされる。このとき
、収縮スリーブ１０は半径方向および軸線方向に収縮し、個別構成部材を大きな
力で緊定する。収縮スリーブ１０の内部被覆体１１は溶融し、個別構成部材に解
離不能かつ完全に密に結合する。
【００２４】 その結果、湿分に対して保護され、衝撃に対しても保護されたアクチュエータ
が得られる。このアクチュエータは、２００℃までの高度な動力学的条件下で使
用するのに適している。
が得られる。このアクチュエータは、２００℃までの高度な動力学的条件下で使
用するのに適している。
【００２５】 上記の方法は、焼結完了された個別のディスク１３から積み重ねられた（図３
ａ，図３ｂ）アクチュエータにとっても同様に特に有利に使用することができる
。この場合、収縮スリーブの軸線方向の収縮力が、ディスク同士の接着を不要に
する。内部電極１４の適宜な形状付与と材料選択とが行われた場合、有利にはデ
ィスクの縁部の周りに部分的に達するガルバニックに沈積した、ボンディング可
能な純金コーティングを有するニッケル層１５によって、ベース金属化部を省く
ことができる。
ａ，図３ｂ）アクチュエータにとっても同様に特に有利に使用することができる
。この場合、収縮スリーブの軸線方向の収縮力が、ディスク同士の接着を不要に
する。内部電極１４の適宜な形状付与と材料選択とが行われた場合、有利にはデ
ィスクの縁部の周りに部分的に達するガルバニックに沈積した、ボンディング可
能な純金コーティングを有するニッケル層１５によって、ベース金属化部を省く
ことができる。
【００２６】 ＰＴＦＥ層を完全に水蒸気非透過性にするために、本発明による方法は次のよ
うに進められる： 収縮完了されたアクチュエータは、プラズマエッチングに続きＮｉ／Ｃｕでス
パッタリングされることにより、周囲を導電性の金属層１６でコーティングされ
る。これにより、アクチュエータから出た電界がシールドされ、水蒸気の拡散が
ブロックされる（図４）。次いで、アクチュエータは耐熱性のポリマー１７で、
例えばアクチュエータをスリーブ内に挿入して繰り返し薄壁状のＰＴＦＥ収縮ス
リーブを収縮することにより、被覆される。
うに進められる： 収縮完了されたアクチュエータは、プラズマエッチングに続きＮｉ／Ｃｕでス
パッタリングされることにより、周囲を導電性の金属層１６でコーティングされ
る。これにより、アクチュエータから出た電界がシールドされ、水蒸気の拡散が
ブロックされる（図４）。次いで、アクチュエータは耐熱性のポリマー１７で、
例えばアクチュエータをスリーブ内に挿入して繰り返し薄壁状のＰＴＦＥ収縮ス
リーブを収縮することにより、被覆される。
【００２７】 その結果、２００℃までの高度な動力学的条件下で使用するのに良好に適する
気密にシールされた、衝撃に対して保護されたアクチュエータが得られる。
気密にシールされた、衝撃に対して保護されたアクチュエータが得られる。
【００２８】 以下に図面を順序に従って再度説明する。
【００２９】 図１は、従来技術に基づくソリッドステートアクチュエータを例として示した
ものである。この図においては、交互に引き出された内部電極１４を備えたモノ
リシックのアクチュエータスタック１が、ベース金属化部２で被覆されている。
このベース金属化部は、ろう接部３で補強されている。このろう接部３には、電
気的な接続部４がろう接されている。この装置全体は、市販の保護ラッカーでコ
ーティングされている。
ものである。この図においては、交互に引き出された内部電極１４を備えたモノ
リシックのアクチュエータスタック１が、ベース金属化部２で被覆されている。
このベース金属化部は、ろう接部３で補強されている。このろう接部３には、電
気的な接続部４がろう接されている。この装置全体は、市販の保護ラッカーでコ
ーティングされている。
【００３０】 図２ａは一例として、本発明による組み付けられたソリッドステートアクチュ
エータを、鉛直方向中央で断面した断面図である。この実施例の場合、交互に引
き出された内部電極１４を備えたモノリシックのアクチュエータスタック１が、
ベース金属化部２で被覆されている。このベース金属化部には、ＰＴＦＥ収縮ス
リーブ１０と押圧部材６とによって、この図面においては示唆だけした、構造化
された外部電極５（波形の金属フォイル）が圧着される。収縮スリーブのＦＥＰ
内部被覆体１１は溶融されて、残されたすべての空隙を充填する。電気的に絶縁
された貫通部８を備えた基部片７とヘッド片９とは、アクチュエータ１を軸線方
向で緊定し、溝１２で周囲の湿分に対してシールする。
エータを、鉛直方向中央で断面した断面図である。この実施例の場合、交互に引
き出された内部電極１４を備えたモノリシックのアクチュエータスタック１が、
ベース金属化部２で被覆されている。このベース金属化部には、ＰＴＦＥ収縮ス
リーブ１０と押圧部材６とによって、この図面においては示唆だけした、構造化
された外部電極５（波形の金属フォイル）が圧着される。収縮スリーブのＦＥＰ
内部被覆体１１は溶融されて、残されたすべての空隙を充填する。電気的に絶縁
された貫通部８を備えた基部片７とヘッド片９とは、アクチュエータ１を軸線方
向で緊定し、溝１２で周囲の湿分に対してシールする。
【００３１】 図２ｂは、同一のアクチュエータを水平方向中央で断面した断面図である。こ
の図では図２ａと同じ符号で同一の部材を示している。
の図では図２ａと同じ符号で同一の部材を示している。
【００３２】 図２ｃは、図２ａの脚部領域の拡大図である。この図では図２ａと同じ符号で
同一の部材を示している。
同一の部材を示している。
【００３３】 図３ａは、本発明による組み付けられたソリッドステートアクチュエータの一
例を鉛直方向中央で断面した断面図である。この実施例においては、アクチュエ
ータスタック１が個別に焼結されたディスク１３から成っている。これらのディ
スクの面はガルバニックにＮｉ／Ａｕ層１４でコーティングされている。この層
は、ディスク１５の１つの個所でディスク縁部の周りに巡らされている。ＰＴＦ
Ｅ収縮スリーブ１０によって、円筒部分として成形された、構造化された外部電
極５（線材ニット）が圧着される。収縮スリーブのＦＥＰ内部層１１は溶融され
ており、残りのすべての空隙を充填している。電気的に絶縁された貫通部８を備
えた基部片７と、ヘッド片９とがアクチュエータ１を軸線方向で緊定し、溝１２
によって周辺湿分に対してシールしている。
例を鉛直方向中央で断面した断面図である。この実施例においては、アクチュエ
ータスタック１が個別に焼結されたディスク１３から成っている。これらのディ
スクの面はガルバニックにＮｉ／Ａｕ層１４でコーティングされている。この層
は、ディスク１５の１つの個所でディスク縁部の周りに巡らされている。ＰＴＦ
Ｅ収縮スリーブ１０によって、円筒部分として成形された、構造化された外部電
極５（線材ニット）が圧着される。収縮スリーブのＦＥＰ内部層１１は溶融され
ており、残りのすべての空隙を充填している。電気的に絶縁された貫通部８を備
えた基部片７と、ヘッド片９とがアクチュエータ１を軸線方向で緊定し、溝１２
によって周辺湿分に対してシールしている。
【００３４】 図３ｂは、同じアクチュエータを水平方向中央で断面した断面図である。この
図面においては、図３ａと同一の符号が同一の構成部材に付せられている。
図面においては、図３ａと同一の符号が同一の構成部材に付せられている。
【００３５】 図４は、図２に関して説明したものに対応して、本発明に基づき組み付けられ
たソリッドステートアクチュエータを鉛直方向中央で断面した断面図である。全
面に設けられた付加的な金属層１６は水蒸気拡散を阻止し、薄壁状のＰＴＦＥ収
縮スリーブ１７によって機械的に保護される。
たソリッドステートアクチュエータを鉛直方向中央で断面した断面図である。全
面に設けられた付加的な金属層１６は水蒸気拡散を阻止し、薄壁状のＰＴＦＥ収
縮スリーブ１７によって機械的に保護される。
【図１】 従来技術に基づくソリッドステートアクチュエータを示す図である。
【図２】 本発明により組み付けられたソリッドステートアクチュエータを鉛直方向中央
で断面した図ａ、図ａと同じアクチュエータを水平方向中央で断面した図ｂ、お
よび、図２ａの基部領域を拡大した図ｃである。
で断面した図ａ、図ａと同じアクチュエータを水平方向中央で断面した図ｂ、お
よび、図２ａの基部領域を拡大した図ｃである。
【図３】 アクチュエータスタックが個別に焼結されたディスクから成る、本発明により
組み付けられたソリッドステートアクチュエータを鉛直方向中央で断面した図ａ
、および、図ａと同じアクチュエータを水平方向中央で断面した図ｂである。
組み付けられたソリッドステートアクチュエータを鉛直方向中央で断面した図ａ
、および、図ａと同じアクチュエータを水平方向中央で断面した図ｂである。
【図４】 本発明に基づき組み付けられた別のソリッドステートアクチュエータを鉛直方
向中央で断面した断面図である。
向中央で断面した断面図である。
Claims (15)
- 【請求項１】 交互に引き出された、または交互に絶縁された金属製の内部
電極（１４）が介在して挿入された、電気機械的に活性の物質の多数の薄い層か
ら成る積み重ねられたソリッドステートアクチュエータ（１）に外部電極（５）
を取り付ける方法であって、交互に出る内部電極（１４）をベース金属化部（２
）を介して電気的に並列に接続し、これらの内部電極を外部電極（５）に結合す
る方法において、 外部電極（５）として、３次元的に成形された導電性の構造を使用し、該構造
をアクチュエータ軸線方向で延伸可能にし、ベース金属化部への部分的なコンタ
クト個所を介して電気的なコンタクトを形成するために、外部電極（５）をベー
ス金属化部（２）に圧着することを特徴とする、ソリッドステートアクチュエー
タに外部電極を取り付ける方法。 - 【請求項２】 外部電極（５）を耐熱性の収縮スリーブ（１０）によってベ
ース金属化部（２）に圧着する、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 収縮スリーブ（１０）をＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチ
レン）から形成する、請求項２記載の方法。 - 【請求項４】 収縮スリーブ（１０）に溶融可能なライニング（１１）を備
え、該ライニングを収縮スリーブ（１０）の収縮温度よりも低い温度で溶融させ
る、請求項２または３記載の方法。 - 【請求項５】 溶融可能なライニング（１１）としてＦＥＰ（テトラフルオ
ロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン−コポリマー）を使用する、請求項４記
載の方法。 - 【請求項６】 収縮スリーブ（１０）の半径方向の力を増強するために、押
圧部材（６）を収縮スリーブ（１０）と外部電極（５）との間に配置する、請求
項２から５までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項７】 押圧部材（６）を円筒または円筒部分として形成する、請求
項６記載の方法。 - 【請求項８】 押圧部材（６）のための材料として、アクチュエータ軸線方
向に延伸可能な金属メッシュまたは金属ニット、あるいは、ＰＴＦＥまたはＰＦ
Ａ（ペルフルオロアルコキシ−ポリマー）のような耐熱性のポリマーを使用する
、請求項６または７記載の方法。 - 【請求項９】 ベース金属化部（２）と外部電極（５）とのコンタクト面を
、硬質金、純金、すず、銀、パラジウムまたはパラジウム／ニッケルのような、
耐熱性のコンタクト金属から形成する、請求項１から８までのいずれか１項記載
の方法。 - 【請求項１０】 ベース金属化部（２）と外部電極（５）とのコンタクト面
を、ボンディング可能な純金でコーティングされたニッケル層から形成する、請
求項９記載の方法。 - 【請求項１１】 ソリッドステートアクチュエータを基部片（７）とヘッド
片（９）とによって成端させ、基部片（７）に、ガラス、セラミックスまたは耐
熱性を有するポリマーで絶縁された２つの電気的な貫通部（８）を設ける、請求
項１から１０までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項１２】 ヘッド片（９）と基部片（７）とを円筒形に形成し、ヘッ
ド片（９）と基部片（７）とに、収縮スリーブ（１０）に固定するための環状の
溝（１２）を設ける、請求項１１記載の方法。 - 【請求項１３】 ヘッド片（９）と基部片（７）とを、鋼、または、アクチ
ュエータの熱膨張率に適合された、ＦｅＮｉ４２または窒化アルミニウムのよう
な膨張材料から形成する、請求項１１または１２記載の方法。 - 【請求項１４】 収縮完了した構成部分もしくはソリッドステートアクチュ
エータ（１）に、導電性の金属層（１６）を例えばスパッタリングによりコーテ
ィングする、請求項２から１３までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項１５】 構成部分もしくはソリッドステートアクチュエータ（１）
に、熱に対して安定性を有するポリマー（１７）を、例えば繰り返しＰＴＦＥ収
縮スリーブで収縮を行うことによりコーティングする、請求項１４記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19753930A DE19753930A1 (de) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren |
| DE19753930.0 | 1997-12-05 | ||
| PCT/EP1998/007899 WO1999030374A1 (de) | 1997-12-05 | 1998-12-04 | Verfahren zur anbringung von aussenelektroden an festkörperaktoren |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001526465A true JP2001526465A (ja) | 2001-12-18 |
Family
ID=7850812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000524828A Pending JP2001526465A (ja) | 1997-12-05 | 1998-12-04 | ソリッドステートアクチュエータに外部電極を取り付ける方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1036419A1 (ja) |
| JP (1) | JP2001526465A (ja) |
| DE (1) | DE19753930A1 (ja) |
| WO (1) | WO1999030374A1 (ja) |
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| US7192124B2 (en) | 2003-03-06 | 2007-03-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator |
| JP2009534826A (ja) * | 2006-04-21 | 2009-09-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | カバーを備えたピエゾアクチュエータモジュールおよびカバーを備えたピエゾアクチュエータモジュールの製造方法 |
| JP2011507221A (ja) * | 2007-12-06 | 2011-03-03 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 気相堆積層を有する外部電極を備えた圧電コンポーネント及び該コンポーネントの製造方法及び適用方法 |
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| EP1036419A1 (de) | 2000-09-20 |
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