DE19644467A1

DE19644467A1 - Elektroerosions-Vorrichtung und Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren

Info

Publication number: DE19644467A1
Application number: DE19644467A
Authority: DE
Inventors: Mitsuyoshi Wada
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1996-03-05
Filing date: 1996-10-25
Publication date: 1997-09-11
Anticipated expiration: 2016-10-26
Also published as: US5841093A; DE19644467C2; JPH09239621A; TW316244B; CN1170648A; SG54380A1; JP3528400B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Elektroerosions- Vorrichtung und ein Elektroeros ions-Bearbeitungsverfahren, die dafür ausgelegt sind, einen Bearbeitungsbetrieb hauptsächlich auf der Basis von Positionsinformation für eine Elektrode stabil und optimal einzustellen.

Im Gebiet der Elektroerosions-Gesenkfräserei verbreitet sich immer mehr ein mehrstufiges Elektroerosions- Bearbeitungsverfahren. Gemäß diesem Verfahren wird eine gewünschte Gestalt als Folge eines Umschaltens einer Aufrauhungs- oder Grobbearbeitung auf eine Fein- oder Endbearbeitung durch Verändern von Bearbeitungsbedingungen, beispielsweise eines Spitzenstroms und einer Impulsbreite, und der Position einer Elektrode in mehreren Stufen erreicht. Für den Fall, daß eine Oberfläche durch eine Eletroerosions- Bearbeitung auf eine gewünschte Rauhigkeit fein bearbeitet ist, wird zur Feinbearbeitung der Oberfläche relativ viel Zeit benötigt, wenn die Oberfläche vom Anfang an fein bearbeitet wird, weil der Feinbearbeitungsvorgang einen kleinen Betrag von elektrischer Energie benötigt. Um dieses Problem zu verhindern, werden die meisten Gebiete, die aufgerauht werden sollen, durch einen Grobbearbeitungs- Betrieb entfernt, bei dem die bearbeitete Oberfläche eine hohe Rauhigkeit aufweist, aber der Bearbeitungsbetrieb mit einem großen Betrag von elektrischer Energie bei einer hohen Geschwindigkeit ausgeführt wird. Danach werden die Bearbeitungsbedingungen allmählich umgeschaltet, daß heißt, der Betrag von elektrischer Energie wird auf ein kleineres Ausmaß zurückgefahren und die zu bearbeitende Tiefe wird fortschreitend erhöht. Der mehrstufige Elektroerosions- Bearbeitungsbetrieb, der eine gewünschte Oberflächenrauhigkeit bereitstellt, wird allgemein wegen seiner hohen Bearbeitungseffizienz verwendet. Seit kurzem verbreitet sich immer mehr ein Umschalten eines Bearbeitungsbetriebs auf einen Elektroerosions- Bearbeitungsbetrieb mit eingemischtem Pulver, im Verlauf des mehrstufigen Elektroerosions-Bearbeitungsbetriebs. Bei diesem Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb mit eingemischtem Pulver wird eine mit einem Pulver gemischte Arbeitsflüssigkeit, die die Mischung eines gewöhnlichen Arbeitsflüssigkeitsöls und eines Metall- oder Halbmetall-Pulvers enthält, in den Spalt zwischen die Elektrode und das zu bearbeitende Werkstück gegossen. Infolge dessen ist die zu bearbeitende Oberfläche Hochglanz-poliert.

Mittels des Elektroerosions-Bearbeitungsbetriebs mit eingemischtem Pulver kann die zu bearbeitende Fläche, die bis zu ungefähr 500 (cm²) mißt, als Folge des Feinbearbeitungsbetriebs auf eine Oberflächenrauhigkeit von 1-2 (µm Rmax) Hochglanz-poliert werden. Ferner weist das Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren mit eingemischtem Pulver einen höchst überlegenen Vorteil darin auf, daß der Bearbeitungsbetrieb um mehrere Male schneller als bei dem herkömmlichen Bearbeitungs-Betrieb ausgeführt wird. Allerdings besteht kein wesentlicher Unterschied zwischen einer gewöhnlichen Arbeitsflüssigkeit und der mit einem Pulver vermischten Arbeitsflüssigkeit hinsichtlich der Bearbeitungs-Bedingungen oder -Charakteristiken. Deshalb wird das Werkstück von der ersten Stufe bis zu der Stufe, an der die Rauhigkeit der bearbeiteten Oberfläche 10-20 (µm Rmax) wird, unter Verwendung der gewöhnlichen Arbeitsflüssigkeit bearbeitet, wobei die Lebensdauer des Pulvers und die Filtrierung der Arbeitsflüssigkeit berücksichtigt wird. In den nachfolgenden Stufen wird der Bearbeitungsbetrieb fortgesetzt, indem die Arbeitsflüssigkeit auf die mit einem Pulver vermischte Arbeitsflüssigkeit umgeschaltet wird.

Unter Bezugnahme auf Fig. 7 wird nachstehend eine herkömmliche Elektroerosions-Verarbeitung mit gemischtem Pulver beschrieben. In Fig. 7 bezeichnet eine Bezugszahl 1 eine Elektrode, 2 ein Werkstück, 3 ist ein Bearbeitungsbad, 4 ist eine Steuereinheit, 5 ist eine Bearbeitungs-Energiequelle zum Zuführen eines Entladungsimpulses in den Spalt zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2, 6 ist eine Mittelungsschaltung zum Mitteln einer Entladungsspannung, die sich in dem Spalt entwickelt, 7 ist eine Referenzspannungs- Einstelleinheit, die eine Referenzspannung bezüglich der von der Mittelungsschaltung 6 gemittelten Entladungsspannung einstellt, 8 ist ein Servomotor, der unter der Steuerung der Steuereinheit 4 betätigt wird, 9 ist eine Verschiebeeinheit, die die Elektrode 1 festhält und in der Richtung der Z-Achse von dem Servomotor 8 über eine Kugelumlaufspindel 10 betätigt wird, 11 ist eine lineare Skala zum Erfassen der Position der Elektrode 1, 12 ist ein Bearbeitungsflüssigkeitstank, in dem ein gewöhnliches Arbeitsflüssigkeitsöl 14 gespeichert ist, 13 ist ein Arbeitsflüssigkeitstank, in dem eine mit einem Pulver vermischte Arbeitsflüssigkeit 16 mit der Einmischung einer pulverisierten Substanz 15 gespeichert ist, 17 und 18 sind Pumpen, die die Arbeitsflüssigkeit von den Arbeitsflüssigkeitstanks 12 und 13 an das Bearbeitungsbad 3 unter der Steuerung der Steuereinheit 4 pumpen und 19, 20, 21 und 22 sind Steuerventile, die sich im Ansprechen auf Befehle von der Steuereinheit 4 öffnen und schließen.

Als nächstes wird der Betrieb der herkömmlichen Elektroerosions-Vorrichtung mit gemischtem Pulver beschrieben. Für den Fall, daß die Oberfläche bearbeitet wird, bis sie eine gewünschte Oberflächenrauhigkeit und eine gewünschte Gestalt aufweist, während Bearbeitungsanforderungen und die Elektrodenposition der Bearbeitungsanforderungen in mehreren Stufen verändert werden, wird die gewöhnliche Arbeitsflüssigkeit 14 in dem Arbeitsflüssigkeitstank 12 von der Pumpe 17 heraufgepumpt. Das so heraufgepumpte Arbeitsflüssigkeitsöl wird über das Steuerventil 20 an das Bearbeitungsbad 3 geführt. Nachdem eine ausreichende Menge der gewöhnlichen Arbeitsflüssigkeit 14 an das Bearbeitungsbad 3 geführt worden ist, gibt die Steuereinheit 4 einen Befehl an die Bearbeitungsenergiequelle 5 aus. Auf einen Empfang des Befehls hin schaltet die Bearbeitungs-Energiequelle 5 die Arbeitsanforderungen auf diejenigen der ersten Stufe um und beginnt dann einen Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb zum Zuführen eines elektrischen Entladungsimpulses an den Spalt zwischen die Elektrode 1 und das Werkstück 2. Zu dieser Zeit gibt die Steuereinheit 4 einen Befehl an den Servomotor 8 aus, wodurch die Elektrode 1 in Richtung auf das Werkstück 2 hin in der Z-Richtung bewegt wird. Wenn die lineare Skala 11 die Ankunft der Elektrode 1 an einer vorgegebenen zu bearbeitenden Tiefe Z2 in der ersten Stufe erfaßt, gibt die Steuereinheit 4 den Befehl an die Bearbeitungs-Energiequelle 5 aus, wodurch die Bearbeitungs-Anforderungen auf diejenigen der zweiten Stufe umgeschaltet werden. Das Werkstück wird in der zweiten Stufe auf eine vorgegebene zu bearbeitende Tiefe Z2 bearbeitet. Eine Reihe dieser Betriebsvorgänge werden bis zu der letzten Stufe "n" wiederholt.

Ein Verfahren zum Steuern der Länge des Spalts zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 wird nachstehend beschrieben. Wenn von der Bearbeitungsenergiequelle 5 an den Spalt eine Impulsspannung angelegt wird, tritt eine Auslösespannung Vo nur für eine Verzögerungszeit To auf, bevor sich die elektrische Entladung entwickelt. Dann entwickelt sich eine elektrische Entladung und eine Entladungsspannung Vg tritt während einer Impulsbreite Tein auf und die nächste Impulsspannung wird nach dem Ablauf einer Ruhezeit Taus angelegt. Wenn der Spalt kleiner als der geeignete Abstand wird, entwickelt sich eine elektrische Entladung sofort, wie in Fig. 8B gezeigt. Infolgedessen erscheint die Auslösespannung Vg ohne die Zeit To, in der sich die Auslösespannung Vo entwickelt. Wenn der Bearbeitungsbetrieb in diesem Zustand fortgesetzt wird, entsteht eine elektrische Bogenbildung, wodurch die Elektrode und das Werkstück beschädigt werden. Wenn andererseits die Länge des Spalts länger als der geeignete Abstand wird, neigt eine elektrische Entladung weniger dazu, sich zu ergeben, wie in Fig. 8C gezeigt. Dies macht wiederum die Zeit To der Auslösespannung Vo sehr lang. Infolge dessen verringert sich die Anzahl von Malen, zu denen sich die elektrische Entladung pro Einheitszeit ergibt, was dazu führt, daß die Bearbeitungseffizienz wesentlich verschlechtert wird. Um Veränderungen in der Länge des Spalts zu verhindern, wird eine durchschnittliche Entladungsspannung gemessen und der Freiraum wird gesteuert, indem die gemessene Auslösespannung mit der Referenzspannung verglichen wird. Insbesondere und wie in Fig. 8A gezeigt kann ein gemittelter oder Durchschnittswert Vave, der als Folge einer Mittelung der sich in dem Spalt ergebenden Entladungsspannung unter Verwendung der Mittelungsschaltung 6 erhalten wird, folgendermaßen approximiert werden:

Vave = (Vo · To + Vg · Tein)/(To + Tein + Taus) (1).

Die Spannung Vave, die erhalten wird, wenn die Länge des Spalts geeignet ist, wird vorher als die Referenzspannung Vref in der Referenzspannungs-Einstelleinheit 7 eingestellt. Wenn sich die Länge des Spalts von dem geeigneten Abstand unterscheidet, wird die Entladungs-Verzögerungszeit To größer. Der Wert Vave wird größer als die Referenzspannung Vref aus Gleichung (1). Auf die Erfassung dieses Anstieges hin, gibt die Steuereinheit 4 den Befehl an den Servomotor 8 aus. Die Elektrode 1 wird so gesteuert, daß sie nahe an das Werkstück 2 herankommt. Wenn im Gegensatz dazu die Länge des Spalts viel kleiner als der gespeicherte Abstand ist, wird die Spannung Vave kleiner als die Referenzspannung Vref aus Gleichung (1), nämlich als Folge davon, daß die Entladungs- Verzögerungszeit To verringert wird. Auf eine Erfassung dieser Verringerung hin gibt die Steuereinheit 4 den Befehl an den Servomotor 8 aus, wodurch die Elektrode 1 von dem Werkstück 2 weg bewegt wird. Die Länge des Spalts wird konstant in dem Bereich von mehreren Mikrometern bis zu mehreren 10 Mikrometern während des Elektroerosions- Bearbeitungsbetriebs gesteuert.

Der Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb mit gemischtem Pulver, der von der k-ten Stufe oder dem k-ten Schritt ausgeführt wird, wird nachstehend beschrieben. Der Bearbeitungsbetrieb wird vorübergehend zu dem Zeitpunkt aufgehoben, wenn der Bearbeitungsbetrieb in der (k-1)-ten Stufe beendet worden ist. Die gewöhnliche Arbeitsflüssigkeit 14 wird aus dem Bearbeitungsbad 3 in den Arbeitsflüssigkeitstank 12 über das Steuerventil 19 entleert. Beim Abschluß der Entleerung der Arbeitsflüssigkeit wird die mit dem Pulver gemischte Arbeitsflüssigkeit 16 von dem Arbeitsflüssigkeitstank 13 durch die Pumpe 18 heraufgepumpt. Die so heraufgepumpte Arbeitsflüssigkeit wird über das Steuerventil 2 an das Bearbeitungsbad 3 geführt. Nachdem der ausreichende Betrag der mit einem Pulver vermischten Arbeitsflüssigkeit 16 in das Bearbeitungsbad 3 hinein geführt worden ist, gibt die Steuereinheit 4 den Befehl an die Bearbeitungs-Energiequelle 5 aus. Die gegenwärtigen Bearbeitungsbedingungen werden auf diejenigen der k-ten Stufe umgeschaltet und der Elektroerosions-bearbeitungsbetrieb wird wieder aufgenommen. Gleichzeitig gibt die Steuereinheit 4 den Befehl an den Servomotor 8 aus und die Elektrode 1 wird auf eine zu bearbeitende Tiefe Zk bewegt. Der mit einem Pulver gemischte Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb wird in dem Augenblick beendet, wenn die Elektrode 1 an der zu bearbeitenden Tiefe Zk ankommt.

Die nicht geprüfte japanische Patentanmeldungs- Veröffentlichung Nr. Hei. 4-63623 offenbart ein Verfahren zum Steuern von Bearbeitungsbedingungen oder -anforderungen im Ansprechen auf den Zustand des Bearbeitungsbetriebs in dem Spalt.

Gemäß der Untersuchungen, die von dem Erfinder ausgeführt wurden, wird die Spiegeleigenschaft einer bearbeiteten Oberfläche, die die Hauptcharakteristiken eines mit einem Pulver gemischten Elektroerosions-Bearbeitungsbetriebs ist, wesentlich von der Konzentration des Pulvers, welches in eine Arbeitsflüssigkeit gemischt wird, beeinflußt. Bei einem allgemein üblichen mit einem Pulver gemischten Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb wird die Dichte des gemischten Pulvers auf 20-30 (g/l) eingestellt, so daß ein Spiegel-Endbearbeitungsbetrieb stabil ausgeführt werden kann. Es ist bekannt, daß die endbearbeitete Oberfläche rauher werden wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers unter 10 (g/l) fällt. Infolge dessen wird die bearbeitete Oberfläche nicht Hochglanz-poliert.

Wenn jedoch die mit einem Pulver gemischte Arbeitsflüssigkeit verwendet wird, setzt sich die Pulverartige Substanz aus der Arbeitsflüssigkeit als Folge einer Stagnation des Arbeitsflüssigkeitsstroms, die von einem Umrühren der Arbeitsflüssigkeit verursacht wird, ab, weil das spezifische Gewicht der pulverisierten Metall- oder Halbmetall-Substanz, die in dem Arbeitsflüssigkeitsöl enthalten ist, größer als dasjenige des Arbeitsflüssigkeitsöls ist. Wenn die Zeit, die von dem mit einem Pulver gemischten Elektroerosions- Bearbeitungsbetrieb benötigt wird, länger wird, wird die Konzentration der pulverisierten Substanz 15, die in der mit einem Pulver gemischten Arbeitsflüssigkeit 16 enthalten ist, deshalb verringert. Demzufolge wird die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt, der zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 gebildet ist, verringert. Wenn die Konzentration des gemischten Pulvers unter 10 (g/l) fällt, wird eine gewünschte Spiegeloberfläche nicht erhalten werden.

Die pulverisierte Substanz 15, die in dem mit einem Pulver gemischten Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb eingebracht ist, wird mit dem Arbeitsflüssigkeitsöl 14 gemischt, weil das gewöhnliche Arbeitsflüssigkeitsöl 14 in das Bearbeitungsbad 3 während des nächsten Ölbearbeitungsbetriebs geführt wird, und die so gemischte Flüssigkeit wird an den Arbeitsflüssigkeitstank 12 geliefert. Deshalb wird die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Tank 13 für die mit einem Pulver gemischte Arbeitsflüssigkeit verringert. Wenn die Konzentration des gemischten Pulvers unter 10 (g/l) fällt, wird eine gewünschte Spiegeloberfläche nicht erhalten werden.

Wenn die Elektrode 1 ein kompliziertes Profil aufweist und wenn die zu bearbeitende Tiefe groß ist, wird die pulverisierte Substanz 15 unzureichend an den Spalt zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 zugeführt. Selbst wenn die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt unter 10 (g/l) fällt, wird infolge dessen eine gewünschte Spiegeloberfläche nicht erhalten werden.

Die Technik, die in der nicht geprüften japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. Hei. 4-63623 offenbart ist, bezieht sich auf die stabile Steuerung des Zustands eines Ölbearbeitungsbetriebs mittels einer Arbeitsflüssigkeit. Deshalb ist es unmöglich, den Bearbeitungszustand infolge eines Abfalls in der Konzentration des gemischten Pulvers zu identifizieren.

Die vorliegende Erfindung wurde zur Lösung der oben beschriebenen Nachteile des Standes der Technik durchgeführt, und die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, zu vermeiden, daß die Spiegeleingenschaft einer bearbeiteten Oberfläche als Folge eines Absinkens der Konzentration eines gemischten Pulvers in einem Bearbeitungsspalt zwischen einer Elektrode und einem Werkstück verschlechtert wird, und außerdem darin, eine gewünschte Spiegeloberfläche (gewünschte Oberflächenrauhigkeit) zu erhalten.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Elektroerosions-Vorrichtung bereitgestellt, zur Bearbeitung eines Werkstücks durch Anlegen einer Impulsspannung in einer Arbeitsflüssigkeit, die eine Mischung einer pulverisierten Substanz umfaßt und in einen Spalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gefüllt ist, wenn ein mehrstufiger Bearbeitungsbetrieb ausgeführt wird, wobei die Elektroerosions-Vorrichtung umfaßt:

- eine Einrichtung zum Erfassen einer Startposition für einen Bearbeitungsbetrieb an jeder Stufe;
- eine Einrichtung zum Erfassen einer Endposition für den Bearbeitungsbetrieb an jeder Stufe;
- eine Einrichtung zum Vergleichen einer Endposition für die Bearbeitung einer vorangehenden Stufe, die von der Einrichtung zum Erfassen einer Endposition für den Bearbeitungsbetrieb erfaßt wird, mit einer Startposition für den Bearbeitungsbetrieb einer nächsten Stufe, die von der Stufe zum Erfassen einer Startposition für den Bearbeitungsbetrieb erfaßt wird;
- eine Einrichtung zum Ändern von Bearbeitungsbedingungen in Abhängigkeit von einem Vergleichsergebnis, welches von der Einrichtung zum Vergleichen der Positionen für den Bearbeitungsbetrieb ausgegeben wird.

Die Bearbeitungspositions-Vergleichseinrichtung bestimmt vorzugsweise, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit klein ist, wenn die Differenz zwischen der Startposition für die Bearbeitung der nächsten Stufe, die von der Bearbeitungsstartposition Erfassungseinrichtung erfaßt wird, und der Endposition für die Bearbeitung des vorangehenden Schritts, die von der Bearbeitungsendpositions-Erfassungseinrichtung erfaßt wird, kleiner als ein vorgegebener Wert ist.

Die Elektroerosions-Vorrichtung ist vorzugsweise mit einer Einrichtung zum Zuführen der pulverisierten Substanz in die Arbeitsflüssigkeit hinein versehen, wenn die Bearbeitungspositions-Vergleichseinrichtung bestimmt hat, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit gering ist.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Elektroerosions-Vorrichtung vorgesehen, zur Bearbeitung eines Werkstücks durch Anlegen einer Impulsspannung in einer Arbeitsflüssigkeit, die eine Mischung einer pulverisierten Substanz enthält und in einen Spalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gefüllt ist, wobei die Elektroerosions- Vorrichtung umfaßt:

- eine Einrichtung zum Zählen der Anzahl der effektiven Elektroerosions-Impulsen, die zu einem Bearbeitungsbetrieb für jede vorgegebene Zeit beitragen;
- eine Einrichtung zum Einstellen des pro elektrischen Ladungsimpulses unter jeder Elektroerosions- Bearbeitungsbedingung zu bearbeitenden Betrags des Werkstücks;
- eine Einrichtung zum Einstellen einer unter jeder Elektroerosions-Bearbeitungsbedingung zu bearbeitenden Fläche;
- eine Einrichtung zum Berechnen eines geplanten Abstands, über den sich die Elektrode während einer vorgegebenen Zeitperiode bewegt, aus der Anzahl der effektiven elektrischen Ladungsimpulse, die von der Einrichtung zum Zählen der Anzahl der effektiven elektrischen Entladungsimpulse erfaßt wird, aus dem pro elektrischen Entladungsimpuls zu bearbeitenden Betrag des Werkstücks, der in der Einrichtung zum Einstellen des zu bearbeitenden Betrags des Werkstücks eingestellt wird, und der zu bearbeitenden Fläche, die in der Einrichtung zum Einstellen der zu bearbeitenden Fläche eingestellt wird;
- eine Einrichtung zum Erfassen des Abstands, über den sich die Elektrode tatsächlich während des Bearbeitungsbetriebs bewegt, für jede vorgegebene Zeit;
- eine Einrichtung zum Vergleichen des geplanten Bewegungsabstands, der von der Einrichtung zum Berechnen eines geplanten Bewegungsabstands berechnet wird, mit dem tatsächlichen Bewegungsabstand, der von der Einrichtung zum Erfassen des Abstands, über den sich die Elektrode abstandsmäßig bewegt, erfaßt wird;
- eine Einrichtung zum Ändern der Bearbeitungsbedingungen im Ansprechen auf ein Vergleichsergebnis, welches von der Einrichtung zum Vergleichen der Elektroden- Bewegungsabstände ausgegeben wird.

Die Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinrichtung bestimmt vorzugsweise, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit klein ist, wenn die Differenz zwischen dem Bewegungsabstand der Elektrode, der von der Elektrodenbewegungsabstands- Erfassungseinrichtung erfaßt wird, und dem geplanten Bewegungsabstand, der von der Elektrodenbewegungsabstands- Berechnungseinrichtung berechnet wird, größer als ein vorgegebener Wert ist.

Die Elektroerosions-Vorrichtung ist vorzugsweise mit einer Einrichtung zum Zuführen der pulverisierten Substanz in die Arbeitsflüssigkeit hinein versehen, wenn die Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinrichtung bestimmt, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit gering ist.

Ferner ändert die Bearbeitungsbedingungs-Änderungseinrichtung vorzugsweise die Referenzspannung in Bezug zu einer Entladungsspannung, die sich in dem Spalt entwickelt.

Die Bearbeitungsbedingungs-Änderungseinrichtung ändert vorzugsweise die Ruhezeit einer elektrischen Entladung.

Die Bearbeitungsbedingungs-Änderungseinrichtung ändert vorzugsweise den regulären Anhebebetrag der Elektrode.

Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren vorgesehen, zum Bearbeiten eines Werkstücks durch Anlegen einer Impulsspannung in eine Arbeitsflüssigkeit, die eine Mischung einer pulverisierten Substanz enthält und in einen Spalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gefüllt ist, wenn ein mehrstufiger Bearbeitungsbetrieb ausgeführt wird, wobei das Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren die folgenden Schritte umfaßt:

- Erfassen einer Startposition für die Bearbeitung an jeder Stufe;
- Erfassen einer Endposition für die Bearbeitung an jeder Stufe;
- Vergleichen der erfaßten Endposition für die Bearbeitung einer vorangehenden Stufe mit der erfaßten Startposition für die Bearbeitung einer nächsten Stufe; und
- Ändern der Bearbeitungsbedingungen in Abhängigkeit von einer Vergleichsergebnisausgabe, die in dem Schritt zum Vergleichen der Positionen für den Bearbeitungsbetrieb erhalten wird.

In dem Bearbeitungspositions-Vergleichsschritt wird vorzugsweise bestimmt, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit gering ist, wenn die Differenz zwischen der Startposition für die Bearbeitung der nächsten Stufe, die in dem Bearbeitungsstartspositions-Erfassungsschritt erfaßt wird, und der Endposition für die Bearbeitung der vorangehenden Stufe, die bei dem Bearbeitungsendpositions-Erfassungsschritt erfaßt wird, kleiner als ein vorgegebener Wert ist.

Das Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren umfaßt vorzugsweise einen Schritt zum Zuführen der pulverisierten Substanz in die Arbeitsflüssigkeit, wenn bestimmt worden ist, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit gering ist.

Gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren vorgesehen, zur Bearbeitung eines Werkstücks durch Anlegen einer Impulsspannung in einer Arbeitsflüssigkeit, die eine Mischung einer pulverisierten Substanz enthält und in einen Spalt gefüllt ist zwischen einer Elektrode und dem Werkstück, wobei das Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren die folgenden Schritte umfaßt:

- Zählen der Anzahl der effektiven Elektroerosions- Impulse, die zu einem Bearbeitungsbetrieb für jede vorgegebene Zeit beitragen;
- Einstellen des Betrags des Werkstücks, der pro elektrischem Entladungsimpuls unter jeder Elektroeros ions-Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll;
- Einstellen einer Fläche, die unter jeder Elektroerosions-Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll;
- Berechnen eines geplanten Abstands, über den sich die Elektrode während einer vorgegebenen Zeitperiode bewegt, aus der Anzahl der effektiven elektrischen Entladungsimpulse, die von dem Schritt zum Zählen der Anzahl der effektiven elektrischen Entladungsimpulse erfaßt wird, dem pro elektrischem Entladungsimpuls zu bearbeitenden Betrag des Werkstücks, der in dem Schritt zum Einstellen des zu bearbeitenden Betrags des Werkstücks eingestellt wird, und aus der zu bearbeitenden Fläche, die in dem Schritt zum Einstellen der zu bearbeitenden Fläche eingestellt wird;
- Erfassen des Abstands, über den sich die Elektrode tatsächlich während des Bearbeitungsbetriebs bewegt, für jede vorgegebene Zeit;
- Vergleichen des geplanten Bewegungsabstands, der von dem Schritt zum Berechnen eines geplanten Bewegungsabstands berechnet wird, mit dem tatsächlichen Bewegungsabstand, der von dem Schritt zum Erfassen des Abstands über den sich die Elektrode bewegt, erfaßt wird; und
- Ändern der Bearbeitungsbedingungen im Ansprechen auf ein Vergleichsergebnis, welches von dem Schritt zum Vergleichen der Elektroden-Bewegungsabstände ausgegeben wird.

Bei dem Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichsschritt wird vorzugsweise bestimmt, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit gering ist, wenn die Differenz zwischen dem Bewegungsabstand der Elektrode, der von dem Elektrodenbewegungsabstands- Erfassungsschritt erfaßt wird, und dem geplanten Bewegungsabstand, der von dem Elektrodenbewegungsabstand- Berechnungsschritt berechnet wird, größer als ein vorgegebener Wert ist.

Das Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren ist vorzugsweise mit einem Schritt zum Zuführen der pulverisierten Substanz in die Arbeitsflüssigkeit hinein versehen, wenn der Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichswert bestimmt, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz in der Arbeitsflüssigkeit gering ist.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Nachstehend wird die Erfindung anhand ihrer vorteilhaften Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltbild der Konfiguration einer Elektroerosions-Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine Kurve, die den Zusammenhang zwischen der Konzentration eines gemischten Pulvers und der Länge eines Bearbeitungsspalts zeigt;

Fig. 3 eine schematische Darstellung, die den Zusammenhang zwischen der Position einer Elektrode und der Länge des Bearbeitungsspalts für den Fall eines mehrstufigen Elektroerosions-Bearbeitungsbetriebs zeigt;

Fig. 4 ein Blockschaltbild, das die Konfiguration einer Elektroerosions-Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 5 eine Kurve, die den Zusammenhang zwischen einer Bearbeitungszeit und dem Bewegungsabstand der Elektrode für verschiedene Konzentrationen des gemischten Pulvers zeigt;

Fig. 6 eine Tabelle, die die Übersicht eines mehrstufigen Elektroerosions-Bearbeitungsverfahrens zeigt;

Fig. 7 ein Blockschaltbild, welches eine herkömmliche Elektroerosionsmaschine zeigt; und

Fig. 8A bis 8C Kurven, die jeweils den Zusammenhang zwischen der Länge des Bearbeitungsspalts und einer Entladungsspannung darstellen.

(Erste Ausführungsform)

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 3 wird nachstehend eine Elektroerosions-Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Überall in den Zeichnungen sind die gleichen Bezugszahlen vorgesehen, um die entsprechenden Elemente der herkömmlichen Elektroerosionsmaschine zu bezeichnen und somit wird deren Erläuterung weggelassen.

Fig. 1 ist ein Blockschaltbild, welches die Konfiguration der Elektroerosions-Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in Fig. 1 gezeigt umfaßt die Elektroerosions-Vorrichtung eine Einheit 30 zum Erfassen der Startposition für einen Bearbeitungsbetrieb an jeder Stufe, eine Einheit 31 zum Erfassen der Endposition für den Bearbeitungsbetrieb an jeder Stufe, eine Einheit 32 zum Vergleichen der Endposition für die Bearbeitung in einem bestimmten Schritt (oder Stufe), die von der Bearbeitungsbetriebs-Endpositions-Erfassungseinheit 31 erfaßt wird, mit der Startposition für die Bearbeitung des nächsten Schritts, die von der Bearbeitungsbetriebs-Startpositions- Erfassungseinheit 30 erfaßt wird, eine Einheit 33 zum steuern von Veränderungen in Bearbeitungsbedingungen im Ansprechen auf das Ergebnis des Vergleichs, der von der Bearbeitungspositions-Vergleichseinheit 32 ausgeführt wird und eine Einheit 34, die eine pulverisierte Substanz enthält und eine pulverisierte Substanz 15 in einen Arbeitsflüssigkeitstank 13 mit gemischtem Pulver zuführt.

Der Betrieb der Elektroerosions-Vorrichtung wird nachstehend beschrieben. Wie voranstehend beschrieben, wird für die Fälle, daß die in das Bearbeitungsbad 3 eingebrachte pulverisierte Substanz 15 aus dem Arbeitsflüssigkeitstank 12 ausgespült wird, während sie mit einer gewöhnlichen Arbeitsflüssigkeit 14 gemischt wird, daß die Elektrode 1 ein kompliziertes Profil aufweist und daß die zu bearbeitende Tiefe groß ist, eine Spiegeloberfläche nicht erhalten, wenn die Konzentration wies gemischten Pulvers in dem Spalt auf weniger als 10 (g/l) absinkt. Fig. 2 zeigt den Zusammenhang zwischen der Konzentration des gemischten Pulvers und der Länge des Spalts. Je kleiner die Konzentration des gemischten Pulvers wird, desto kürzer wird die Länge des Spalts selbst unter identischen Bearbeitungsbedingungen. Demzufolge ist es möglich, zu verhindern, daß die Spiegeleigenschaft einer bearbeiteten Oberfläche verschlechtert wird, indem die Abnahme in der Länge des Spalts, die sich aus einem Abfall in der Konzentration des gemischten Pulvers ergibt, erfaßt wird und indem die Konzentration des gemischten Pulvers gemäß dem Ergebnis der Erfassung erhöht wird.

Fig. 3 zeigt den Zusammenhang zwischen der Position der Elektrode 1 und der Länge des Spalts, wenn eine mit einem Pulver gemischte Elektroerosions-Bearbeitung in mehreren Stufen ausgeführt wird. Wie sich Fig. 2 entnehmen läßt, ist die Länge des Spalts, der erhalten wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers 20-30 (g/l) ist, größer als die Spaltlänge, die erhalten wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers kleiner als 10 (g/l) ist. Deshalb ist die Startposition der mit einem Pulver gemischten Elektroerosions-Bearbeitung in der k-ten Stufe, die ermittelt wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers kleiner als 10 (g/l) ist, geringfügig vorgerückt in der Richtung der Weiterbewegung der Elektrode bezüglich der Startposition, die erhalten wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers unter 20-30 (g/l) ist, und zwar nur um die Differenz in der Länge zwischen den Spalten. Unter der Annahme, daß die Startposition für die Elektroerosions-Bearbeitung der (k-1)-ten Stufe mit Zk-1 dargestellt wird, daß der mit einem Pulver gemischte Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb in der k-ten Stufe, der erhalten wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers 10 (g/l) ist, mit Z bezeichnet wird, daß die Länge des Spaltes, der erhalten wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers 10 (g/l) ist, mit Ga bezeichnet wird, daß die Startposition der mit einem Pulver gemischten Elektroerosions-Bearbeitung der k-ten Stufe, die erhalten wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers 20-30 (g/l) ist, mit Zb dargestellt wird, und daß die Länge des Spalts, die erhalten wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers mit Gb dargestellt wird, gilt

Zb - Z = (Zb - Zk-1) - (Z - Zk-1) = Gb - Ga (2).

Die Gleichung (2) kann folgendermaßen ausgedrückt werden:

Z - Zk-1 = (Zb - Zk-1) - (Gb - Ga) (3).

Ein Wert, der von der Subtraktion Gb - Ga erhalten wird, ist aus Fig. 2 ersichtlich und ein Wert, der durch die Subtraktion Zb - Zk-1 erhalten wird, ist unabhängig von der zu bearbeitenden Gestalt und der zu bearbeitenden Tiefe konstant. Deshalb wird Zk-1 vorher berechnet und die Endposition Zk-1 für die Bearbeitung der (k-1)-ten Stufe und die Startposition für die mit einem Pulver gemischte Erosionsbearbeitung der k-ten Stufe werden erfaßt. Wenn die Differenz zwischen Zk-1 und Z die mit Gleichung (4) ausgedrückten Bedingungen erfüllt

Z - Zk-1 (Zb - zk-1) - (Gb - Ga) = α (α ist eine Konstante) (4)

wird bestimmt, daß die Konzentration des gemischten Pulvers kleiner als 10 (g/l) ist. Infolge dessen wird es möglich sein, die Verschlechterung der Spiegeleigenschaft einer bearbeiteten Oberfläche durch Erhöhen der Konzentration des gemischten Pulvers zu verhindern.

Auf einen Empfang eines Bearbeitungs-Endsignals für die (k-1)-te Bearbeitungsstufe von der Steuereinheit 4 und eines Elektrodenpositions-Signals, welches von einer linearen Skala 11 zur Zeit einer Beendigung der (k-1)-ten Stufe ausgegeben wird, erfaßt die Bearbeitungsbetriebs-Endpositions- Erfassungseinheit 31 die Position Zk-1 der Elektrode, wenn die (k-1)-te Stufe abgeschlossen ist. Die so erfaßte Position wird an die Bearbeitungspositions-Vergleichseinheit ausgegeben. Auf einen Empfang eines Bearbeitungs-Startsignals in bezug auf die k-te Stufe, in der ein mit einem Pulver gemischter Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb ausgeführt wird, von der Steuereinheit 4, und eines Elektroden- Positionssignals von der linearen Skala 11, welches zur Zeit eines Startens der k-ten Bearbeitungsstufe erhalten wird, erfaßt die Bearbeitungsbetriebs-Startpositions- Erfassungseinheit 30 eine Startposition Z für einen Bearbeitungsbetrieb der k-ten Bearbeitungsstufe. Die so erfaßte Position wird an die Bearbeitungspositions- Vergleichseinheit 32 ausgegeben. Bei einem Empfang von Zk-1 und Z berechnet die Bearbeitungspositions-Vergleichseinheit 32 die Differenz zwischen Z und Zk-1. Wenn die Differenz kleiner als die vorgegebene Konstante α wird, nämlich wenn die mit Gleichung (4) ausgedrückte Beziehung erreicht wird, bestimmt die Bearbeitungspositions-Vergleichseinheit 32, daß die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt abgesunken ist. Signale werden dann an das Steuerventil 35 und die Bearbeitungsbedingungs-Änderungseinrichtung 33 gesendet. Auf einen Empfang des Signals hin wird das Steuerventil 35 für eine vorgegebene Zeitperiode geöffnet, so daß die in der Pulverzuführungs-Einheit 34 gespeicherte pulverisierte Substanz 15 an den Arbeitsflüssigkeitstank 13 geführt wird. Demzufolge wird die Konzentration des Pulvers in der mit einem Pulver gemischten Arbeitsflüssigkeit 16 erhöht.

Auf einen Empfang des Signals von der Bearbeitungspositions- Vergleichseinheit 32 hin, gibt die Bearbeitungsbedingungs- Änderungseinheit 33 ein Signal an die Steuereinheit 4 aus, um den Wert der Referenzspannung Vref, der in der Referenzspannungs-Einstelleinheit 7 eingestellt ist, zu erhöhen. Auf einen Empfang des Signals hin sendet die Steuereinheit 4 ein Signal an die Referenzspannungs- Einstelleinheit 7, wodurch der Wert der Referenzspannung Vref auf einen erhöhten Pegel gesetzt wird. Wenn beispielsweise die Referenzspannung auf 40 (V) eingestellt ist, wird die Referenzspannung so eingestellt, daß sie um ungefähr 10 (V) ansteigt. Wenn die Referenzspannung Vref angestiegen ist, wird die Länge des Spalts so gesteuert, daß Vave in Gleichung (1) erhöht werden kann. Es ist nur notwendig, eine Entladungs-Verzögerungszeit To zu vergrößern, um Vave zu erhöhen. Deshalb wird durch Vergrößern der Länge des Spalts das Auftreten der elektrischen Entladung so gesteuert, daß es verzögert wird. Infolge dessen wird die Länge des Spalts vergrößert und ein Eintritt der pulverisierten Substanz 15 in den Spalt wird einfach, wodurch die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt ansteigt.

Auf einen Empfang des Signals von der Bearbeitungspositions- Vergleichseinheit 32 hin gibt die Bearbeitungsbedingungs- Änderungseinheit 33 das Signal an die Steuereinheit 4 aus, um so die Ruhezeit Taus zu erhöhen, die bei den Bearbeitungsbedingungen zu dieser Zeit eingestellt wird. Auf einen Empfang dieses Signals hin gibt die Steuereinheit 4 ein Signal an die Bearbeitungsenergiequelle 5. Die Bearbeitungsenergiequelle 5 stellt die Ruhezeit Taus so ein, daß sie erhöht werden kann, und ein elektrischer Entladungsimpuls wird an den Spalt angelegt. Wenn beispielsweise die Ruhezeit (µs) ist, wird die Ruhezeit so eingestellt, daß sie verdoppelt wird, d. h. sie wird so eingestellt, daß sie ungefähr 8 (µs) wird. Je länger die Ruhezeit Taus wird, desto kleiner wird Vave in Gleichung (1). Deshalb wird die Länge des Spalts so gesteuert, daß Vave konstant aufrecht erhalten werden kann. Um den Wert Vave konstant zu halten, ist es lediglich erforderlich, die Entladungs-Verzögerungszeit To zu vergrößern. Deshalb wird das Auftreten der elektrischen Entladung durch Vergrößern der Länge des Spalts so gesteuert, daß es verzögert wird. Demzufolge steigt die Länge des Spalts an, was einen Eintritt in den Spalt für die pulverisierte Substanz 15 einfach macht. Somit nimmt die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt zu.

Bei einem Empfang des Signals von der Bearbeitungspositions- Vergleichseinheit 32 gibt die Bearbeitungsbedingungs- Änderungseinheit 33 das Signal an die Steuereinheit 4 aus, so daß der reguläre Anhebungsbetrag der Elektrode zu dieser Zeit vergrößert werden kann. Auf einen Empfang dieses Signals hin gibt die Steuereinheit 4 ein Signal an den Servomotor 8 aus und der Servomotor 8 nimmt eine Betätigung derart vor, daß der reguläre Anhebebetrag der Elektrode 1 vergrößert wird. Wenn beispielsweise der reguläre Anhebungsbetrag der Elektrode 0,5 (mm) ist, wird der reguläre Anhebebetrag der Elektrode vergrößert, so daß er verdoppelt wird, d. h. er wird vergrößert, so daß er 1 (mm) wird. Demzufolge nimmt die Länge des Spalts zu und ein Eintritt in den Spalt wird für die pulverisierte Substanz 15 einfach, wodurch die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt zunimmt.

In dieser Weise wird nach dem Empfang des Signals von der Bearbeitungsstartpositions-Vergleichseinheit 32 die pulverisierte Substanz in die Arbeitsflüssigkeit zugeführt, oder die Länge des Spalts wird durch Vergrößern der Referenzspannung Vref, der Ruhezeit Taus oder dem regulären Anhebebetrag der Elektrode vergrößert, was es für die pulverisierte Substanz 15 einfach macht, in den Spalt einzutreten. Infolge dessen ist es möglich, zuverlässig eine gewünschte Spiegeloberfläche zuverlässig zu erhalten und außerdem die Konzentration des gemischten Pulvers zu vergrößern.

(Zweite Ausführungsform)

Fig. 4 ist ein Blockschaltbild, welches eine Elektroerosions- Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in Fig. 4 gezeigt umfaßt die Elektroerosions-Vorrichtung eine Einheit 36 zum Zählen der Anzahl von effektiven Entladungsimpulsen, die zu einem Bearbeitungsbetrieb für jede vorgegebene Zeit beitragen, eine Einheit 37 zum Einstellen des Betrags eines Werkstücks, welcher pro elektrischem Entladungsimpuls für jede Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll, eine Einheit 38 zum Einstellen der zu bearbeitenden Fläche, eine Einheit 39 zum Berechnen des Bewegungsabstands der Elektrode 1 (d. h. ein geplanter oder Soll-Bewegungsabstand der Elektrode 1) pro vorgegebener Zeit, aus der Anzahl von effektiven Entladungsimpulsen pro Einheitszeit, die von der Zähleinheit 36 für effektive Entladungsimpulse erfaßt wird, dem pro elektrischen Entladungsimpuls zu bearbeitendem Betrag des Werkstücks, der in der Bearbeitungsbetrags-Einstelleinheit 37 eingestellt ist, und der in der Flächeneinstelleinheit 38 eingestellten zu bearbeitenden Fläche, eine Einheit 40 zum Erfassen des tatsächlichen oder Ist-Bewegungsabstands der Elektrode 1 pro Einheitszeit auf einen Empfang eines Signals von einer linearen Skala 11 hin, und eine Einheit 41 zum Vergleichen des Bewegungsabstands der Elektrode pro vorgegebener Zeit, der von der Elektrodenbewegungsabstands- Berechnungseinheit 39 berechnet wird, mit dem tatsächlichen Bewegungsabstand pro vorgegebener Zeit, der von der Elektrodenbewegungsabstands-Erfassungseinheit 40 erfaßt wird.

Der Betrieb der Elektroerosions-Vorrichtung wird nachstehend beschrieben. Selbst wenn die Konzentration des gemischten Pulvers an dem Startpunkt für den Bearbeitungsbetrieb 20-30 (g/l) ist, fällt das Pulver aus der Arbeitsflüssigkeit als Ergebnis einer Stagnation des Arbeitsflüssigkeitsstroms in der voranstehend beschriebenen Weise aus. Wenn die Bearbeitungszeit länger wird, schreitet deshalb die Ausfällung der pulverisierten Substanz 15 weiter fort. Infolge dessen sinkt die Konzentration des gemischten Pulvers auf weniger als 10 (g/l) im Verlauf des Bearbeitungsbetriebs ab und somit wird die Spiegeloberfläche nicht erhalten. Fig. 5 zeigt den Zusammenhang zwischen der Zeit für den mit einem Pulver gemischten Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb und dem Betrag des Fortschreitens des Bearbeitungsbetriebs. Wenn die Konzentration des gemischten Pulvers konstant auf einem Pegel von 20-30 (g/l) gehalten wird, wird die Bearbeitungszeit proportional zu dem Betrag des Fortschreitens des Bearbeitungsbetriebs und eine Bearbeitungsrate, die von den Bearbeitungsbedingungen zu dieser Zeit definiert wird, wird die Konstante der Proportionalität. Wenn die Konzentration des gemischten Pulvers im Verlauf des Bearbeitungsbetriebs abnimmt, wird auch die Länge des Spalts selbst unter Identischen Bearbeitungsbedingungen verkleinert, wie in Fig. 2 gezeigt. Deshalb steigt der Betrag des Fortschreitens des Bearbeitungsbetriebs proportional zu der Verkleinerung der Länge des Spalts zu, wie in Fig. 5 gezeigt.

Während des Elektroerosions-Bearbeitungsbetriebs wird die Elektrode von der Oberfläche des Werkstücks 2 weg positioniert, um so nur um die Länge des Spalts, die von den Bearbeitungsbedingungen zu dieser Zeit bestimmt wird, bearbeitet zu werden. Die Länge des Spalts wird konstant gesteuert, so daß ein geeigneter Abstand in einer voranstehend beschriebenen Weise sichergestellt wird. Wenn die mit einem Pulver gemischte Elektroerosions-Bearbeitung des k-ten Schritts gestartet wird, wird deshalb der Bearbeitungsbetrieb fortgesetzt, während die Länge des Spalts Gb aufrecht erhalten wird, bis der k-te Bearbeitungsbetrieb abgeschlossen ist, außer wenn ein Absinken der Konzentration des gemischten Pulvers auftritt. Unter der Annahme, daß der Betrag des Werkstücks, der pro elektrischem Entladungsimpuls für die Bearbeitungsbedingungen zu dieser Zeit bearbeitet werden soll, V ist, daß die zu bearbeitende Fläche S ist, daß die Anzahl von effektiven Entladungsimpulsen pro vorgegebener Zeit m ist und daß das spezifische Gewicht des Werkstücks ρ ist, kann der Bewegungsabstand Lb pro vorgegebener Zeit zu dieser Zeit folgendermaßen approximiert werden:

Lb = m · V/ρ · S (8).

Wenn jedoch die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt während der vorgegebenen Zeitperiode 10 (g/l) wird, und wenn die Länge des Spalts zu dieser Zeit Ga wird, wird eine Abnahme ΔG in der Länge des Spalts folgendermaßen ausgedrückt:

ΔG = Gb - Ga (9).

Ferner wird der Bewegungsabstand La der Elektrode zu dieser Zeit die Summe eines Abstands Lb, über den sich die Elektrode als Folge des Bearbeitungsbetriebs bewegt, und der Abnahme ΔG in der Länge des Spalts. Genauer gesagt wird La folgendermaßen ausgedrückt:

La = LB + ΔG (10).

Demzufolge ist die Abnahme Δ in der Länge des Spalts, die sich aus einem Absinken der Konzentration des Mischpulvers ergibt, folgendermaßen gegeben:

ΔG = La - Lb (11).

ΔG in Gleichung (11) läßt sich aus den Fig. 2 und 5 ersehen. Der tatsächliche Bewegungsabstand L der Elektrode zu einer vorgegebenen Zeit und der Bewegungsabstand L′ der Elektrode, der unter der Voraussetzung berechnet wird, daß die Konzentration des gemischten Pulvers nicht abnimmt, werden jeweils erfaßt. Wenn die Differenz zwischen ihnen den mit Gleichung (12) definierten Zusammenhang erfüllt, nämlich

L - L′ La - Lb = β (β ist eine Konstante) (12)

wird bestimmt, daß die Konzentration des gemischten Pulvers kleiner als 10 (g/l) ist. Es ist möglich, zu verhindern, daß die Spiegeleigenschaft der bearbeiteten Oberfläche verschlechtert wird, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers erhöht wird.

Die Elektrodenbewegungsabstands-Berechnungseinheit 39 berechnet den Abstand L′, über den sich die Elektrode während einer vorgegebenen Zeitperiode bewegt, wenn die Konzentration des gemischten Pulvers nicht verkleinert wird, aus der Anzahl von effektiven elektrischen Entladungsimpulsen, die zu dem Bearbeitungsbetrieb für jede vorgegebene Zeit beitragen und von der Erfassungseinheit 36 für die Anzahl von effektiven Entladungsimpulsen erfaßt werden, aus dem Betrag des Werkstücks, der pro Entladungsimpuls für jede Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll und von der Bearbeitungsbetrags-Einstelleinheit 37 eingestellt wird, und aus der Fläche, die für jede Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll und in der Flächen-Einstelleinheit 38 eingestellt wird, unter Verwendung der Gleichung (8). Der so berechnete Bewegungsabstand L′ wird an die Elektroden-Bewegungsabstands- Vergleichseinheit 41 ausgegeben. Die Zähleinheit 36 für die Anzahl von effektiven Entladungsimpulsen erfaßt Hochfrequenzkomponenten der Entladungsspannung unter Verwendung eines derartigen Verfahrens, so wie es in der nicht geprüften japanischen Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. Hei. 5-293714 offenbart ist, und integriert dann die so erfaßten Hochfrequenzkomponenten. Wenn eine Ergebniswert größer als der Referenzwert ist, wird die Entladungsspannung als ein effektiver Entladungsimpuls bestimmt. Die Zähleinheit 36 für die Anzahl von effektiven Entladungsimpulsen zählt die Impulse für jede vorgegebene Zeit. Die Elektrodenbewegungsabstands-Erfassungseinheit 40 erfaßt den tatsächlichen Bewegungsabstand L der Elektrode 1 pro Einheitszeit bei einem Empfang des Signals von der linearen Skala 11. Der so erfaßte Bewegungsabstand L wird an die Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinheit 41 ausgegeben. Ruf einen Empfang von L und L′ hin berechnet die Elektrodenbewegungsabtands-Vergleichseinheit 41 die Differenz zwischen L und L′. Wenn die Differenz größer als der vorgegebene Wert β ansteigt, das heißt, wenn der mit Gleichung (12) gegebene Zusammenhang erfüllt ist, bestimmt die Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinheit 35, daß die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt auf weniger als 10 (g/l) absinkt. Dann wird ein Signal an das Steuerventil 35 bzw. die Bearbeitungsbedingungs- Änderungseinheit 33 ausgegeben. Auf einen Empfang des Signals hin wird das Steuerventil 35 nur für eine vorgegebene Zeitperiode geöffnet, so daß die in der Pulverzuführungseinheit 34 gespeicherte pulverisierte Substanz 15 an den Arbeitsflüssigkeitstank 13 geliefert wird. Infolge dessen wird die Konzentration des gemischten Pulvers in der mit dem Pulver gemischten Arbeitsflüssigkeit 16 erhöht.

Auf einen Empfang des Signals von der Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinheit 41 hin gibt die Bearbeitungsbedingungs-Änderungseinheit 33 das Signal an die Steuereinheit 4 aus, um so die in der Referenzspannungs- Einstelleinheit 7 eingestellte Referenzspannung Vref zu erhöhen. Auf einen Empfang dieses Signals hin gibt die Steuereinheit 4 auch ein Signal an die Referenzspannungs- Einstelleinheit 7 aus, so daß die Referenzspannung Vref auf einen größeren Wert eingestellt wird. Wenn beispielsweise die Referenzspannung auf 40 (V) eingestellt worden ist, wird die Referenzspannung um ungefähr 10 (V) erhöht. Als Folge der Erhöhung der Referenzspannung Vref wird die Länge des Spalts so gesteuert, daß Vave in Gleichung (1) ansteigen kann. Es ist lediglich erforderlich, die Verzögerungszeit To zu erhöhen, um Vave zu erhöhen. Deshalb wird das Auftreten der elektrischen Entladung durch Vergrößern der Länge des Spalts so gesteuert, daß sie verzögert wird. Demzufolge nimmt die Länge des Spalts zu, was wiederum der pulverisierten Substanz 15 erleichtert, in den Spalt einzutreten. Deshalb steigt die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt an.

Auf einen Empfang des Signals der Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinheit 41 hin gibt die Bearbeitungsbedingungs-Änderungseinheit 33 ferner das Signal an die Steuereinheit 4 aus, um so die Ruhezeit Taus, die in der Bearbeitungsbedingung zu dieser Zeit eingestellt ist, zu vergrößern. Auf einen Empfang dieses Signals hin gibt die Steuereinheit 4 das Signal an die Bearbeitungsenergiequelle 5 aus, wodurch die Bearbeitungsenergiequelle 5 die Ruhezeit Taus so einstellt, daß sie erhöht werden kann. Dann wird der Entladungsimpuls an den Spalt angelegt. Wenn beispielsweise die Ruhezeit 4 (µs) ist, wird sie verdoppelt, das heißt, sie wird auf ungefähr 8 (µs) erhöht. Wenn die Ruhezeit Taus länger wird, wird Vave in Gleichung (1) kleiner. Deshalb wird die Länge des Spalts so gesteuert, daß Vave auf einem konstanten Wert gehalten werden kann. Es ist lediglich erforderlich, die Entladungs-Verzögerungszeit To zu erhöhen, um Vave konstant zu halten. Deshalb wird das Auftreten der elektrischen Entladung durch Vergrößern der Länge des Spalts so gesteuert, daß es verzögert wird. Die Länge des Spalts wird infolge dessen vergrößert, was der pulverisierten Substanz 15 erleichtert, in den Spalt einzutreten. Infolge dessen steigt die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt an.

Auf einen Empfang des Signals von der Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinheit 41 hin gibt die Bearbeitungsbedingungs-Änderungseinheit 33 das Signal an die Steuereinheit 4 aus, um so den regulären Anhebebetrag der Elektrode zu dieser Zeit zu vergrößern. Auf einen Empfang dieses Signals hin gibt die Steuereinheit 4 das Signal an den Servomotor 8 aus. Der Servomotor 8 wird betätigt, um so den regulären Anhebebetrag der Elektrode zu vergrößern. Wenn die zeitliche Anhebung der Elektroden 0,5 (mm) ist, wird beispielsweise der reguläre Anhebebetrag der Elektrode verdoppelt, genau gesagt wird er auf ungefähr 1 (mm) vergrößert. Demzufolge wird die Länge des Spalts vergrößert, was wiederum der pulverisierten Substanz 15 erleichtert, in den Spalt einzutreten. Infolge dessen steigt die Konzentration des gemischten Pulvers in dem Spalt an.

Natürlich wird der Elektroerosions-Bearbeitungsbetrieb mit dem gemischten Pulver in der k+1-ten Stufe in exakt der gleichen Weise wie voranstehend beschrieben ausgeführt.

Nach dem Empfang des Signals von der Elektrodenbewegungsabstands-Vergleichseinheit 41 wird die pulverisierte Substanz in die Arbeitsflüssigkeit hinein geführt oder die Länge des Spalts wird durch Vergrößern der Referenzspannung Vref, der Ruhe zeit Taus oder dem regulären Anhebebetrag der Elektrode vergrößert, was der pulverisierten Substanz 15 erleichtert, in den Spalt einzutreten. Infolge dessen ist es möglich, zuverlässig eine gewünschte Spiegeloberfläche zu erhalten und außerdem die Konzentration des gemischten Pulvers zu erhöhen.

Die folgenden Wirkungen werden von der Elektroerosions- Vorrichtung mit den oben beschriebenen Konfigurationen erreicht.

Wenn ein mehrstufiger Bearbeitungsbetrieb ausgeführt wird, wird die Konzentration des gemischten Pulvers in der Arbeitsflüssigkeit bestimmt, indem die Endposition für die Bearbeitung in einer bestimmten Stufe mit der Startposition für die Bearbeitung der nächsten Stufe verglichen wird. Wenn bestimmt worden ist, daß die Konzentration des gemischten Pulvers gering ist, wird die pulverisierte Substanz in die Arbeitsflüssigkeit hinein geführt, wodurch die Konzentration des gemischten Pulvers erhöht wird. Infolge dessen ist es möglich, die Verschlechterung der Spiegeleigenschaft der bearbeiteten Oberfläche, die sich aus dem Absinken der Konzentration des gemischten Pulvers ergibt, zu verhindern. Infolge dessen kann eine gewünschte Spiegeloberfläche erhalten werden.

Wenn ein mehrstufiger Bearbeitungsbetrieb ausgeführt wird, wird die Konzentration des gemischten Pulvers in der Arbeitsflüssigkeit bestimmt, indem die Endposition für die Bearbeitung in einer bestimmten Stufe mit der Startposition für die Bearbeitung der nächsten Stufe verglichen wird. Wenn bestimmt worden ist, daß die Konzentration des gemischten Pulvers gering ist, wird die Bearbeitungsbedingung so geändert, daß die Länge des Spalts vergrößert wird. Infolge dessen wird der pulverisierten Substanz erleichtert, in den Spalt einzutreten, was wiederum die Konzentration des gemischten Pulvers erhöht. Demzufolge ist es möglich, die Verschlechterung der Spiegeleigenschaft der bearbeiteten Oberfläche aufgrund der Abnahme der Konzentration des gemischten Pulvers zu verhindern, und somit kann eine gewünschte Spiegeloberfläche erhalten werden.

Der Bewegungsabstand der Elektrode pro vorgegebener Zeit wird berechnet aus der Anzahl von effetiven Impulsen, die zu dem Bearbeitungsbetrieb zu jeder vorgegebenen Zeitperiode beitragen, dem Betrag des Werkstücks, der bei jedem elektrischen Entladungsimpuls unter jeden Elektroerosions- Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll, und der unter jeder Bearbeitungsbedingung zu bearbeitenden Fläche bestimmt. Der so ermittelte Bewegungsabstand der Elektrode wird mit dem Abstand verglichen, über den sich die Elektrode tatsächlich pro Einheitszeit bewegt, wodurch die Konzentration des gemischten Pulvers in der Arbeitsflüssigkeit bestimmt wird. Wenn bestimmt wird, daß die Konzentration des gemischten Pulvers gering ist, wird die pulverisiert Substanz in die Arbeitsflüssigkeit hinein geliefert. Somit wird die Konzentration des gemischten Pulvers erhöht, was wiederum die Verschlechterung der Spiegeleigenschaft der verarbeiteten Oberfläche aufgrund der Abnahme der Konzentration des gemischten Pulvers verhindert. Deshalb kann eine gewünschte Spiegeloberfläche erhalten werden.

Der Bewegungsabstand der Elektrode pro Einheitszeit wird berechnet aus der Anzahl von effektiven Impulsen, die zu dem Bearbeitungsbetrieb bei jeder vorgegebenen Zeitperiode beitragen, dem Betrag des Werkstücks, der für jeden elektrischen Entladungsimpuls unter jeder Elektroerosions- Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll, und der unter jeder Bearbeitungsbedingung zu bearbeitenden Fläche. Der so erhaltene Bewegungsabstand der Elektrode wird mit dem Abstand verglichen, über den sich die Elektrode tatsächlich pro Einheitszeit bewegt, wodurch die Konzentration des gemischten Pulvers in der Arbeitsflüssigkeit bestimmt wird. Wenn bestimmt worden ist, daß die Konzentration des gemischten Pulvers gering ist, wird die pulverisierte Substanz in die Arbeitsflüssigkeit hinein geführt. Somit wird die Konzentration des gemischten Pulvers erhöht, was wiederum die Verschlechterung der Spiegeleigenschaft der bearbeiteten Oberfläche aufgrund der Abnahme der Konzentration des gemischten Pulvers verhindert. Deshalb kann eine gewünschte Spiegeloberfläche erhalten werden.

Claims

1. Elektroerosions-Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks (2) durch Anlegen eines Spannungsimpulses in einer Arbeitsflüssigkeit (14), die eine Mischung einer pulverisierten Substanz (15) enthält und in einen Spalt zwischen einer Elektrode (1) und dem Werkstück (2) gefüllt ist, wenn ein mehrstufiger Bearbeitungsbetrieb ausgeführt wird, wobei die Elektroerosions-Vorrichtung umfaßt:

- eine Einrichtung (30) zum Erfassen einer Startposition für einen Bearbeitungsbetrieb in jedem Schritt;
- eine Einrichtung (31) zum Erfassen einer Endposition für den Bearbeitungsbetrieb in jedem Schritt;
- eine Einrichtung (32) zum Vergleichen einer Endposition für die Bearbeitung eines vorangehenden Schritts, die von der Einrichtung zum Erfassen einer Endposition für den Bearbeitungsbetrieb erfaßt wird, mit einer Startposition für den Bearbeitungsbetrieb eines nächsten Schritts, die von der Einrichtung (20) zum Erfassen einer Startposition für den Bearbeitungsbetrieb erfaßt wird; und
- eine Einrichtung (33) zum Ändern von Bearbeitungsbedingungen in Abhängigkeit von einem Vergleichsergebnis, welches von der Einrichtung (32) zum Vergleichen der Positionen für den Bearbeitungsbetrieb ausgegeben wird.

2. Elektroerosions-Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (32) zum Vergleichen der Positionen für den Bearbeitungsbetrieb bestimmt, daß eine Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist, wenn eine Differenz zwischen der Startposition für den Bearbeitungsbetrieb des nächsten Schritts, die von der Einrichtung (30) zum Erfassen der Startposition erfaßt wird und der Endposition für den Bearbeitungsbetrieb des vorangehenden Schritts, die von der Einrichtung (31) zum Erfassen der Endposition erfaßt wird, kleiner als ein vorgegebener Wert ist.

3. Elektroerosions-Vorrichtung nach Anspruch 2, ferner umfassend:
eine Einrichtung (34) zum Zuführen der pulverisierten Substanz (15) in die Arbeitsflüssigkeit (14) hinein, wenn die Einrichtung (32) zum Vergleichen der Positionen für den Bearbeitungsbetrieb bestimmt, daß eine Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist.

4. Elektroerosions-Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks durch Anlegen eines Spannungsimpulses innerhalb einer Arbeitsflüssigkeit (14, die eine Mischung einer pulverisierten Substanz (15) umfaßt und in einen Spalt zwischen einer Elektrode (1) und dem Werkstück (2) gefüllt ist, wobei die Elektroerosions- Vorrichtung umfaßt:

- eine Einrichtung (36) zum Zählen der Anzahl der effektiven elektrischen Ladungsimpulse, die zu einem Bearbeitungsbetrieb für jede vorgegebene Zeit beitragen;
- eine Einrichtung (37) zum Einstellen des Betrags des Werkstücks (2), der pro elektrischem Entladungsimpuls unter jeder Elektroerosions- Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll;
- eine Einrichtung (38) zum Einstellen einer Fläche, die unter jeder Elektroerosions- Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll;
- eine Einrichtung (39) zum Berechnen eines Soll- Abstands, über den sich die Elektrode während einer vorgegebenen Zeitperiode bewegt, aus der Anzahl der effektiven elektrischen Entladungsimpulsen, die von der Einrichtung (36 zum Zählen der Anzahl der effektiven elektrischen Entladungsimpulsen erfaßt wird, aus dem Betrag des Werkstücks (2), der pro elektrischem Entladungsimpuls bearbeitet werden soll und in der Einrichtung (37) zum Einstellen des zu bearbeitenden Betrags des Werkstücks eingestellt ist, und aus der zu bearbeitenden Fläche, die in der Einrichtung (38) zum Einstellen der zu bearbeitenden Fläche eingestellt ist;
- eine Einrichtung (40) zum Erfassen des Abstands, um den sich die Elektrode (1) tatsächlich während des Bearbeitungsbetriebs bewegt, für jede vorgegebene Zeit;
- eine Einrichtung (41) zum Vergleichen des Soll- Bewegungsabstands, der von der Einrichtung (39) zum Berechnen eines Soll-Bewegungsabstands berechnet wird, mit dem tatsächlichen Bewegungsabstand, der von der Einrichtung (40) zum Erfassen des Abstands, über den sich die Elektrode bewegt, erfaßt wird; und
- eine Einrichtung (33) zum Ändern der Bearbeitungsbedingungen im Ansprechen auf ein Vergleichsergebnis, welches von der Einrichtung (41) zum Vergleichen der Elektroden- Bewegungsabstände ausgegeben wird.

5. Elektroerosions-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Einrichtung (41) zum Vergleichen des Elektroden-Bewegungsabtands bestimmt, daß eine Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist, wenn die Differenz zwischen dem Bewegungsabstand der Elektrode (1), der von der Einrichtung (40) zum Erfassen des Elektroden-Bewegungsabstands erfaßt wird und dem Soll-Bewegungsabstand, der von der Einrichtung (39) zum Berechnen des Elektroden- Bewegungsabstands berechnet wird, größer als ein vorgegebener Wert ist.

6. Elektroerosions-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 5, ferner umfassend:

- eine Einrichtung (34) zum Zuführen der pulverisierten Substanz (15) in die Arbeitsflüssigkeit (14) hinein, wenn die Einrichtung (41) zum Vergleichen der Elektroden- Bewegungsabstände bestimmt, daß eine Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist.

7. Elektroerosions-Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Einrichtung (33) zum Ändern der Bearbeitungsbedingungen eine Referenzspannung in Bezug auf eine Entladungsspannung, die sich in dem Spalt entwickelt, ändert.

8. Elektroerosions-Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Einrichtung (33) zum Ändern der Bearbeitungsbedingungen eine Ruhezeit (Taus) einer elektrischen Entladung ändert.

9. Elektroerosions-Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß

- die Einrichtung (33) zum Ändern der Bearbeitungsbedingungen einen regulären Anhebebetrag der Elektrode (1) ändert.

10. Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren zum Bearbeiten des Werkstücks (2) durch Anlegen einer Impulsspannung in einer Arbeitsflüssigkeit (14), die eine Mischung einer pulverisierten Substanz (15) enthält und in einen Spalt zwischen einer Elektrode (1) und dem Werkstück (2) gefüllt ist, wenn ein mehrstufiger Bearbeitungsbetrieb ausgeführt wird, wobei das Elektroerosions- Bearbeitungsverfahren die folgenden Schritte umfaßt:

- Erfassen einer Startposition für die Bearbeitung in jedem Schritt;
- Erfassen einer Endposition für die Bearbeitung in jedem Schritt;
- Vergleichen der erfaßten Endposition für die Bearbeitung eines vorangehenden Schritts mit der erfaßten Startposition für die Positionierung eines nächsten Schritts; und
- Ändern der Bearbeitungsbedingungen in Abhängigkeit von einer Vergleichsergebnisausgabe, die in dem Schritt zum Vergleichen der Positionen für den Bearbeitungsbetrieb erhalten wird.

11. Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß

- in dem Schritt zum Vergleichen der Positionen für den Bearbeitungsbetrieb bestimmt wird, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist, wenn die Differenz zwischen einer Startposition für die Bearbeitung eines nächsten Schritts, die in dem Bearbeitungs-Startpositions-Erfassungsschritt erfaßt wird, und einer Endposition für die Bearbeitung eines vorangehenden Schritts, die in dem Bearbeitungs-Endpositions-Erfassungsschritt erfaßt wird, kleiner als ein vorgegebener Wert ist.

12. Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren nach Anspruch 11, ferner umfassend den folgenden Schritt:

- Zuführen der pulverisierten Substanz (15) in die Arbeitsflüssigkeit (14) hinein, wenn bestimmt wird, daß die Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist.

13. Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks (2) durch Anlegen einer Impulsspannung in einer Arbeitsflüssigkeit (14), die eine Mischung einer pulverisierten Substanz (15) enthält und in einen Spalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück (2) gefüllt ist, wobei das Elektroerosions- Bearbeitungsverfahren die folgenden Schritte umfaßt:

- Zählen der Anzahl der effektiven elektrischen Entladungsimpulse, die zu einem Bearbeitungsbetrieb für jede vorgegebene Zeit beitragen;
- Einstellen des Betrags des Werkstücks (2), der pro elektrischem Entladungsimpuls unter jeder Elektroerosions-Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll;
- Einstellen einer Fläche, die unter jeder Elektroerosions-Bearbeitungsbedingung bearbeitet werden soll;
- Berechnen eines Soll-Abstands, über den sich die Elektrode (1) während einer vorgegebenen Zeitperiode bewegt, aus der Anzahl der effektiven Entladungsimpulsen, die in dem Schritt zum Zählen der Anzahl der effektiven elektrischen Entladungsimpulse erfaßt wird, aus dem Betrag des Werkstücks, der pro elektrischem Entladungsimpuls überarbeitet werden soll und in dem Schritt zum Einstellen des zu bearbeitenden Betrags des Werkstücks (2) eingestellt wird, und aus der zu bearbeitenden Fläche, die in dem schritt zum Einstellen der zu bearbeitenden Fläche eingestellt wird;
- Erfassen des Abstands, über den sich die Elektrode (1) tatsächlich während des Bearbeitungsbetriebs bewegt, für jede vorgegebene Zeit;
- Vergleichen des Soll-Bewegungsabstands, der von dem Schritt zum Berechnen eines Soll-Bewegungsabstands berechnet wird, mit dem tatsächlichen Bewegungsabstand, der von dem Schritt zum Erfassen des Abstands, über den sich die Elektrode (1) bewegt, erfaßt wird; und
- Ändern der Bearbeitungsbedingungen im Ansprechen auf ein Vergleichsergebnis, welches von dem Schritt zum Vergleichen der Elektroden-Bewegungsabstände ausgegeben wird.

14. Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß

- in dem Schritt zum Vergleichen der Bewegungsabstände bestimmt wird, daß eine Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist, wenn die Differenz zwischen dem Bewegungsabstand der Elektrode (1), der von dem Schritt zum Erfassen des Elektroden-Bewegungsabstands erfaßt wird, und dem Soll-Bewegungsabstand, der von dem Schritt zum Berechnen des Elektroden-Bewegungsabstand berechnet wird, größer als ein vorgegebener Wert ist.

15. Elektroerosions-Bearbeitungsverfahren nach Anspruch 14, ferner umfassend den folgenden Schritt:

- Zuführen der pulverisierten Substanz (15) in die Arbeitsflüssigkeit (14) hinein, wenn der Schritt zum Vergleichen der Elektroden-Bewegungsabstände bestimmt, daß eine Konzentration der pulverisierten Substanz (15) in der Arbeitsflüssigkeit (14) gering ist.