DE19529489A1 - Kalibrierungsplatine für eine Testeinrichtung für elektronische Schaltungen - Google Patents

Description

Diese Erfindung bezieht sich auf Systeme zum Testen elektro­ nischer Schaltungen durch das Anlegen und/oder Messen elek­ trischer Signale und insbesondere auf Testsysteme für elek­ tronische Schaltungen zum Anlegen elektrischer Signale an ein gehäustes Bauelement oder eine integrierte Schaltung, oder einen Bauelement- oder integrierten Schaltungs-Chip auf einem Wafer, und zum Messen der Antwort des Bauelements oder der integrierten Schaltung auf die angelegten elektrischen Signale. Speziell schafft ein Ausführungsbeispiel der Erfin­ dung eine Kalibrierungsplatine für eine elektrische Verbin­ dung mit einem Testkopf einer Testeinrichtung für elektro­ nische Schaltungen zum Kalibrieren der Testeinrichtung auf die Ebene des Testkopfs. Die Kalibrierungsplatine gemäß ei­ nem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist speziell auf eine Testeinrichtung für elektronische Hochfrequenzschaltungen anpaßbar, um eine Kalibrierung der Testeinrichtung zu be­ wirken, um die Genauigkeit der nachfolgenden Messungen der Antwort des Bauelements oder der integrierten Schaltung wäh­ rend des tatsächlichen Testens zu erhöhen, und um die Ini­ tialisierung und Kalibrierung der, sowie Messungen mit der, Testeinrichtung zum Testen von Hochfrequenz-Bauelementen und integrierten -Schaltungen zu erleichtern, wodurch die Zuver­ lässigkeit verbessert und der Gesamtdurchsatz vergrößert wird.

Programmierbare Testeinrichtungen für elektronische Schal­ tungen werden typischerweise während der Herstellung elek­ tronischer Bauelemente und integrierter Schaltungen verwen­ det, um das Verhalten des Bauelements oder der integrierten Schaltung, die hergestellt werden, zu testen. Tests werden durchgeführt, um sicherzustellen, daß das Bauelement oder die integrierte Schaltung zugeordneten Entwurfsverhaltens­ spezifikationen genügt. Um das Bauelement oder die inte­ grierte Schaltung zu testen, ist die Testeinrichtung für elektronische Schaltungen programmiert, um ein elektrisches Signal oder eine Reihe von elektrischen Signalen in das zu testende Bauelement oder die zu testende, integrierte Schal­ tung einzugeben, und die Antwort(en) zu messen. Die Testein­ richtung für elektronische Schaltungen kann nicht nur ver­ wendet werden, um fertige gehäuste Bauelemente und inte­ grierte Schaltungen zu testen, sondern wird auch häufig ver­ wendet, um Tests in verschiedenen Herstellungsphasen des Bauelements oder der integrierten Schaltung zwischen der an­ fänglichen Waferverarbeitung und dem abschließenden Gehäusen durchzuführen.

Eine herkömmliche, programmierbare Testeinrichtung für elek­ tronische Schaltungen, die allgemein mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet ist, ist in Fig. 1 gezeigt. Die Testeinrich­ tung 10 für elektronische Schaltungen weist einen Testkopf 12 der durch Kabel, die durch eine Röhre 14 geleitet sind, elektrisch mit einem Gestell (Gestellen) 16 elektronischer Test- und Meß-Geräte verbunden ist, wie z. B. elektrischer Wechsel- und Gleich-Signalgeneratoren zum Anlegen elektri­ scher Signale an ein Bauelement oder eine integrierte Schal­ tung, die über eine Schnittstelle mit dem Testkopf verbunden sind, und Signalanalysatoren, z. B. ein Oszilloskop und ein Netzwerkanalysator, zum Messen der Antwort(en) auf diese an­ gelegten elektrischen Signale. Wie in Fig. 1 gezeigt ist, bildet der Testkopf 12 eine Schnittstelle zu einem Bauele­ ment oder einer integrierten Schaltung durch eine Ladungs­ platine 18, die mit den Kabeln in der Röhre 14 verbunden ist, und eine Befestigungsplatine 20, die wiederum mit der Ladungsplatine verbunden ist. Alternativ wird vor der In­ stallierung der Befestigungsplatine 20 vorzugsweise eine Kalibrierungsplatine mit dem Testkopf 12 verbunden, um die Testeinrichtung 10 für elektronische Schaltungen zu kali­ brieren. Die Konfiguration der Ladungsplatine 18 hängt von dem Typ des Bauelements oder der integrierten Schaltung, die getestet werden, ab, wie z. B. einer analogen oder einer digitalen elektronischen Schaltung, während die Konfigura­ tion der Befestigungsplatine 20 typischerweise spezifisch für die Familie des Bauelements oder der integrierten Schal­ tung, die getestet werden, ist.

Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist der Testkopf 12 auf einem Rollständer 22 befestigt. Da die Testeinrichtung 10 für elektronische Schaltungen verwendet werden kann, um sowohl gehäuste Bauelemente als auch integrierte Schaltungen, eben­ so wie Bauelement- oder integrierte Schaltungs-Chips auf ei­ nem Wafer, zu testen, ist der Testkopf 12 vorzugsweise durch drehbare Verbindungen 24 auf dem Rollständer 22 befestigt. Die drehbaren Verbindungen 24 ermöglichen es, daß der Test­ kopf 12 in einer nahezu aufwärts gerichteten, horizontalen Stellung positioniert wird, derart, daß die geeignete La­ dungsplatine 18 und die Kalibrierungs- oder Befestigungs- Platine 20 durch einen Bediener auf dem Testkopf der Test­ einrichtung 10 für elektronische Schaltungen angebracht wer­ den kann. Nach der Kalibrierung wird die Kalibrierungspla­ tine durch die Befestigungsplatine 20 ersetzt, und der Test­ kopf 12 kann in eine vertikale Stellung gedreht werden, der­ art, daß die Befestigungsplatine eine Schnittstelle mit ei­ ner Materialhandhabungsvorrichtung bilden kann, um z. B. ge­ häuste Bauelemente oder integrierte Schaltungen zu testen. Schließlich kann der Testkopf 12 in eine abwärts gerichtete, horizontale Stellung gedreht werden, derart, daß die Befe­ stigungsplatine 20 eine Schnittstelle mit einem Wafer bilden kann, um Bauelement- oder integrierte Schaltungs-Chips auf dem Wafer zu testen.

Typischerweise wurde die Kalibrierung der Testeinrichtung 10 für elektronische Schaltungen mit verschiedenen Kalibrie­ rungsstandards durchgeführt, die seriell mit Verbindern, die in den Testkopf 12 eingebaut sind, verbunden werden. Dies ist ein langwieriges Verfahren. Außerdem sind koaxiale Hoch­ frequenzverbinder relativ zerbrechlich. Der Mittelleiter ei­ nes derartigen Verbinders kann beschädigt werden, wenn von dem Bediener keine Vorsicht ausgeübt wird, wenn Verbindungen bewirkt werden.

Es wäre daher wünschenswert, eine Kalibrierungsstruktur zu­ schaffen, um die Testeinrichtung 10 für elektronische Schal­ tungen während der Initialisierung und Kalibrierung der Testeinrichtung zu kalibrieren. Außerdem ist es wünschens­ wert, eine relativ robuste Kalibrierungsstruktur zu schaf­ fen, die für eine Beschädigung weniger anfällig ist, wenn eine Verbindung bewirkt wird. Eine derartige Kalibrierungs­ struktur würde die Verwendung der Testeinrichtung 10 für elektronische Schaltungen erleichtern, um die Initialisie­ rung und Kalibrierung der Testeinrichtung durchzuführen.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine robuste Kalibrierungsstruktur zu schaffen, um eine zuverlässige und genaue Kalibrierung einer Testeinrichtung für elektronische Schaltungen zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird durch Kalibrierungsplatinen gemäß Patent­ anspruch 1 und Patentanspruch 8 gelöst.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung schafft eine Kalibrie­ rungsplatine zur Verbindung mit einem Testkopf einer Test­ einrichtung für elektronische Schaltungen zum Kalibrieren der Testeinrichtung. Die Kalibrierungsplatine gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung umfaßt Kalibrierungsstan­ dards, wie z. B. Leerläufe, Kurzschlüsse und Lasten, ebenso wie mindestens einen Verifizierungsstandard. Alternativ weist die Kalibrierungsplatine gemäß einem weiteren Ausfüh­ rungsbeispiel der Erfindung Durchgangsverbindungen auf. Die Kalibrierungsplatine ist mit dem Testkopf verbunden, der wiederum mit einer Einrichtung zum Anlegen eines elektri­ schen Signals oder einer Reihe von elektrischen Signalen an die und zum Messen der Antwort(en) von den Kalibrierungs­ standards, dem Verifizierungsstandard und/oder den Durch­ gangsverbindungen der Kalibrierungsplatine verbunden ist. Die Kalibrierung kann die Verwendung sowohl einer Kalibrie­ rungsplatine, die die Kalibrierungsstandards und den Verifi­ zierungsstandard aufweist, als auch eines Kalibrierungsstan­ dards, der die Durchgangsverbindungen aufweist, einschlie­ ßen.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung weist eine Ka­ librierungsplatine zum Kalibrieren der Testeinrichtung für elektronische Schaltungen, welche einen Testkopf mit Verbin­ dern für eine elektrische Verbindung mit einer Befestigungs­ platine, die wiederum mit einem elektronischen Bauelement oder einer integrierten Schaltung, die getestet werden sol­ len, verbunden ist, einschließt, wobei die Verbinder des Testkopfs näherungsweise in einer Ebene angeordnet sind, ein dielektrisches Substrat auf. Das Substrat kann z. B. aus dem Material einer gedruckten Schaltungsplatine bestehen. Die Kalibrierungsplatine weist ferner eine Mehrzahl von Kali­ brierungsstandards auf, die auf dem Substrat angebracht sind, wobei die Kalibrierungsstandards in jeweiligen Regio­ nen des Substrats angebracht sind und Leerläufe, Kurzschlüs­ se und Lasten aufweisen. Z.B. können die Lasten 50-Ohm-Ab­ schlüsse sein. Vorzugsweise ist die Mehrzahl von Kalibrie­ rungsstandards in jeden von drei jeweiligen Quadranten des Substrats gegliedert. Die Kalibrierungsplatine weist außer­ dem eine Einrichtung zum elektrischen Verbinden der Kali­ brierungsstandards mit den Verbindern des Testkopfs auf, wenn die Befestigungsplatine selektiv durch die Kalibrie­ rungsplatine ersetzt wird. Die Kalibrierungsplatine weist ferner eine Einrichtung zum Anbringen der Kalibrierungs­ platine an dem Testkopf auf, derart, daß eine elektrische Verbindung durch die Einrichtung zum elektrischen Verbinden der Kalibrierungsstandards mit den Verbindern des Testkopfs eingerichtet wird. Schließlich weist die Kalibrierungspla­ tine eine Einrichtung auf der Kalibrierungsplatine und dem Testkopf auf, um eine Sequenz von Rotationsstellungen der Kalibrierungsplatine für die Kalibrierung der Testeinrich­ tung unter Verwendung der Kalibrierungsstandards anzuzeigen. Die Kalibrierungsplatine wird sequentiell in die angezeigten Rotationsstellungen gedreht, derart, daß die Testeinrichtung auf die Ebene der Verbinder des Testkopfs kalibriert werden kann. Die Kalibrierungsplatine kann ferner zumindest einen Verifizierungsstandard aufweisen, der an dem Substrat ange­ bracht ist. Der zumindest eine Verifizierungsstandard ist vorzugsweise in einem vierten Quadranten des Substrats an dem Substrat angebracht. Der zumindest eine Verifizierungs­ standard kann z. B. ein 100-Ohm-Widerstand sein.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung weist eine Kalibrierungsplatine zum Kalibrieren einer Testeinrich­ tung für elektronische Schaltungen, welche einen Testkopf mit Verbindern für eine elektrische Verbindung mit einer Be­ festigungsplatine, die wiederum mit einem elektronischen Bauelement oder einer integrierten Schaltung, die getestet werden sollen, verbunden ist, aufweist, wobei die Verbinder des Testkopfs näherungsweise in einer Ebene angeordnet sind, ein dielektrisches Substrat auf. Das Substrat kann z. B. aus dem Material einer gedruckten Leitungsplatine bestehen. Die Kalibrierungsplatine weist ferner eine Mehrzahl von Durch­ gangsverbindungen, die auf dem Substrat angebracht sind, auf, wobei die Durchgangsverbindungen quer über jeweilige Regionen des Substrats angebracht sind. Die Kalibrierungs­ platine weist ferner eine Einrichtung zum elektrischen Ver­ binden der Durchgangsverbindungen mit den Verbindern des Testkopfs auf, wenn die Befestigungsplatine selektiv durch die Kalibrierungsplatine ersetzt wird. Die Kalibrierungspla­ tine weist ferner eine Einrichtung zum Anbringen der Kali­ brierungsplatine an dem Testkopf auf, derart, daß eine elek­ trische Verbindung durch die Einrichtung zum elektrischen Verbinden der Durchgangsverbindungen mit den Verbindern des Testkopfs eingerichtet wird. Schließlich weist die Kalibrie­ rungsplatine eine Einrichtung auf der Kalibrierungsplatine und dem Testkopf auf, um eine Sequenz von Rotationsstellun­ gen der Kalibrierungsplatine zum Kalibrieren der Testein­ richtung unter Verwendung der Durchgangsverbindungen anzu­ zeigen. Die Kalibrierungsplatine wird sequentiell in die an­ gezeigten Rotationsstellungen gedreht, derart, daß die Test­ einrichtung auf die Ebene der Verbinder des Testkopfs kali­ briert werden kann.

Die Kalibrierungsplatine gemäß der Erfindung erhöht die Zu­ verlässigkeit und die Effizienz während der Initialisierung und Kalibrierung der Testeinrichtung für elektronische Schaltungen. Dies beschleunigt das Meßverfahren.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine isometrische Ansicht einer herkömmlichen Test­ einrichtung für elektronische Schaltungen;

Fig. 2 eine auseinandergezogene Absicht eines Testkopfs, einer Ladungsplatine und einer Befestigungsplatine in der Testeinrichtung für elektronische Schaltun­ gen, die in Fig. 1 gezeigt ist, welche die Kali­ brierungsplatine gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung einschließt;

Fig. 3 eine Vorderansicht einer Kalibrierungsplatine gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 4 eine Vorderansicht einer Kalibrierungsplatine gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung; und

Fig. 5 eine Vorderansicht der in Fig. 3 oder 4 gezeigten Kalibrierungsplatine, die auf dem Testkopf der Testeinrichtung für elektronische Schaltungen ange­ bracht ist.

Fig. 2 zeigt einen Teil einer Testeinrichtung für elektroni­ sche Schaltungen, nämlich einen Testkopf 100, eine Ladungs­ platine 112 und eine Befestigungsplatine 114. Wie in Fig. 2 gezeigt ist, weist der Testkopf 100 Verbinder 126 zur elek­ trischen Verbindung mit der Befestigungsplatine 114 auf, welche wiederum mit einem elektronischen Bauelement oder einer integrierten Schaltung 128, die getestet werden sol­ len, verbunden ist. Der Testkopf kann z. B. 20 Verbinder 126 aufweisen, wie in Fig. 2 gezeigt ist. Die Verbinder 126 des Testkopfs 100 sind näherungsweise in einer Ebene 130 ange­ ordnet. Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird die Befestigungsplatine 114 zum Kalibrieren der Testeinrich­ tung für elektronische Schaltungen während der Initialisie­ rung und Kalibrierung der Testeinrichtung auf die Ebene 130 durch eine Kalibrierungsplatine, die allgemein mit dem Be­ zugszeichen 116 bezeichnet ist, ersetzt.

Detaillierter betrachtet weist die Kalibrierungsplatine 116 ein dielektrisches Substrat 132 auf, wie in Fig. 3 gezeigt ist. Das Substrat 132 kann z. B. aus dem Material einer ge­ druckten Schaltungsplatine bestehen.

Die Kalibrierungsplatine 116 weist ferner eine Mehrzahl von Kalibrierungsstandards 134 auf, die auf dem Substrat 132 an­ gebracht sind. Die Kalibrierungsstandards umfassen Leerläufe 136, Kurzschlüsse 138 und Lasten 140. Die Lasten 140 können z. B. 50-Ohm-Abschlüsse sein.

Wie in Fig. 3 gezeigt ist, sind die Kalibrierungsstandards 134 in jeweiligen Regionen des Substrats 132 angebracht. Vorzugsweise sind die Kalibrierungsstandards in jeden von drei jeweiligen Quadranten 142, 144 und 146 des Substrats 132 gegliedert.

Wie in Fig. 3 gezeigt ist, kann die Kalibrierungsplatine 116 ferner zumindest einen Verifizierungsstandard 147, der an dem Substrat 132 angebracht ist, aufweisen. Der zumindest eine Verifizierungsstandard 147 ist vorzugsweise in einem vierten Quadranten 148 des Substrats auf dem Substrat 132 angebracht. Der zumindest eine Verifizierungsstandard 147 kann z. B. ein 100-Ohm-Widerstand sein.

Die Kalibrierungsplatine 116 weist außerdem eine Einrichtung auf, um die Kalibrierungsstandards 134 und den zumindest einen Verifizierungsstandard 147 mit den Verbindern 126 des Testkopfs 100 elektrisch zu verbinden, wenn die Kalibrie­ rungsplatine, die die Befestigungsplatine 114 selektiv er­ setzt, an dem Testkopf angebracht ist. Vorzugsweise sind die Kalibrierungsstandards 134 und der zumindest eine Verifizie­ rungsstandard 147 elektrisch mit Blindgegenverbindern 149 verbunden. Die Blindgegenverbinder 149 verbinden die Kali­ brierungsstandards 134 und den zumindest einen Verifizie­ rungsstandard 147, die auf einer Oberfläche des Substrats 132 angebracht sind, und laufen durch das Substrat über die andere Oberfläche des Substrats hinaus zur Verbindung mit den Verbindern 126 des Testkopfs 100. Die Blindgegenverbin­ der 149 können z. B. die Blindgegenverbinder sein, die in der US-SN 08/316,970, deren Offenbarung hiermit durch Bezugnahme aufgenommen ist, offenbart sind, sein.

Die Kalibrierungsplatine 116 weist ferner eine Einrichtung zum Anbringen der Kalibrierungsplatine an dem Testkopf 100 auf, derart, daß eine elektrische Verbindung durch die Ein­ richtung zum elektrischen Verbinden der Kalibrierungsstan­ dards 134 und des zumindest einen Verifizierungsstandards 147 mit den Verbindern 126 des Testkopfs eingerichtet wird. Der Testkopf 100 weist z. B. einen Abzieh/Auswurf-Ring 150 mit einer Mehrzahl von Schlitzen 150A auf. Die Kalibrie­ rungsplatine 116 weist vorzugsweise Stifte 152 auf, die in die Schlitze 150A passen, derart, daß eine Drehung der Kali­ brierungsplatine eine axiale Bewegung der Blindgegenverbin­ der 149 zu den Verbindern 126 hin bewirkt, um eine Verbin­ dung zwischen der Kalibrierungsplatine und dem Testkopf 100 zu bewirken.

Schließlich weist die Kalibrierungsplatine 116 eine Einrich­ tung auf der Kalibrierungsplatine 116 und dem Testkopf 100 auf, um eine Sequenz von Rotationsstellungen der Kalibrie­ rungsplatine 116 zur Kalibrierung der Testeinrichtung für elektronische Schaltungen unter Verwendung der Kalibrie­ rungsstandards 134 und des zumindest einen Verifizierungsstandards 147 anzuzeigen. Wie in Fig. 5 gezeigt ist, wird die Kalibrierungsplatine 116 sequentiell in die angezeigten Rotationsstellungen A, B, C und D gedreht, die mit dem Stel­ lungspfeil 162 auf dem Testkopf 100 ausgerichtet sind, der­ art, daß die Testeinrichtung für elektronische Schaltungen auf die Ebene 130 der Verbinder 126 des Testkopfs kalibriert werden kann.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung weist eine Kalibrierungsplatine 116′ ein dielektrisches Substrat 132′ auf, wie in Fig. 4 gezeigt ist. Das Substrat 132′ kann z. B. aus dem Material einer gedruckten Schaltungsplatine be­ stehen. Die Kalibrierungsplatine 116′ weist ferner eine Mehrzahl von Durchgangsverbindungen 160, die auf dem Sub­ strat 132′ angebracht sind, auf. Die Durchgangsverbindungen 160 sind quer über jeweilige Regionen des Substrats 132′ an­ gebracht.

Die Kalibrierungsplatine 116 weist zusätzlich eine Einrich­ tung auf, um die Durchgangsverbindungen 160 mit den Verbin­ dern 126 des Testkopfs 100 zu verbinden, wenn die Befesti­ gungsplatine 114 selektiv durch die Kalibrierungsplatine 116′ ersetzt ist. Vorzugsweise sind die Durchgangsverbindun­ gen 160 elektrisch mit Blindgegenverbindern 149, wie oben beschrieben wurde, verbunden. Die Durchgangsverbindungen 160 können Koaxialkabel sein, die zwischen die Blindgegenverbin­ der 149 geschaltet sind.

Die Kalibrierungsplatine 116′ weist ferner eine Einrichtung zum Befestigen der Kalibrierungsplatine 116′ an dem Testkopf 100 auf, derart, daß eine elektrische Verbindung durch die Einrichtung zum elektrischen Verbinden der Durchgangsverbin­ dungen 160 mit den Verbindern 120 des Testkopfs 100 einge­ richtet wird. Der Testkopf 100 weist z. B. vorzugsweise einen Abzieh/Auswurf-Ring 150 mit einer Mehrzahl von Schlitzen 150A auf. Die Kalibrierungsplatine 116′ weist vorzugsweise Stifte 152 auf, die in die Schlitze 150 passen, derart, daß eine Drehung der Kalibrierungsplatine 116′ eine axiale Bewegung der Blindgegenverbinder 149 zu den Verbindern 126 bewirkt, um eine Verbindung zwischen der Kalibrierungspla­ tine 116′ und dem Testkopf 100 zu bewirken.

Schließlich weist die Kalibrierungsplatine 116′ eine Ein­ richtung auf der Kalibrierungsplatine 116′ und dem Testkopf 100 auf, um eine Sequenz von Rotationsstellungen der Kali­ brierungsplatine 116′ zum Kalibrieren der Testeinrichtung für elektronische Schaltungen unter Verwendung der Durch­ gangsverbindungen 160 anzuzeigen. Wie in Fig. 5 gezeigt ist, wird die Kalibrierungsroutine 116′ sequentiell in die ange­ zeigten Rotationsstellungen A, B, C und D gedreht, welche mit dem Stellungspfeil 162 auf dem Testkopf 100 ausgerichtet sind, derart, daß die Testeinrichtung für elektronische Schaltungen auf die Ebene 130 der Verbinder 126 des Test­ kopfs kalibriert werden kann.

Im Betrieb ist die Kalibrierungsplatine 160 auf dem Testkopf 100 installiert. Der Bediener wählt einen Kalibrierungsmodus der Testeinrichtung für elektronische Schaltungen aus. Die Testeinrichtung für elektronische Schaltungen erkennt, wel­ che Kalibrierungsstandards 134 und Verifizierungsstandards 147 mit den Verbindern 126 des Testkopfs 100 verbunden sind, wenn die Kalibrierungsplatine 116 zwischen den Stellungen, die in Fig. 5 gezeigt sind, gedreht wird. Als nächstes kann die Kalibrierungsplatine 116′ eingesetzt werden, um Durch­ gangskalibrierungen auf eine ähnliche Art und Weise durch­ zuführen. Die Testeinrichtung für elektronische Schaltungen kann dann Fehlerkoeffizienten für nachfolgende Messungen mit einem Bauelement oder einer integrierten Schaltung 128, die getestet werden sollen, berechnen. Die Testeinrichtung für elektronische Schaltungen kann ferner die Fehlerkoeffizien­ ten für Messungen mit dem zumindest einen Verifizierungs­ standard 147 verwenden, und die Ergebnisse mit Werten ver­ gleichen, die in einer Nachschlagtabelle gespeichert sind, um zu bestimmen, ob die korrigierten Messungen mit dem Veri­ fizierungsstandard innerhalb einer annehmbaren Toleranz lie­ gen, was eine annehmbare Kalibrierung anzeigt, oder nicht.

Wenn die Kalibrierung annehmbar ist, wird die Kalibrierungs­ platine 116 oder 116′ für das tatsächliche Testen eines Bau­ elements oder einer integrierten Schaltung 128 durch die Be­ festigungsplatine 114 ersetzt.

Es ist offensichtlich, daß das Ausführungsbeispiel der vor­ liegenden Erfindung, das oben beschrieben wurde, für ver­ schiedenen zusätzliche Modifikationen, Änderungen und Anpas­ sungen geeignet ist. Die Kalibrierungsplatine gemäß der Er­ findung kann konfiguriert sein, um einen Testkopf mit einem oder mehreren Toren zu kalibrieren. Ferner kann die Kali­ brierungsplatine 116 gemäß der Erfindung konfiguriert sein, um zusätzliche Kalibrierungsstandards, z. B. Lasten, in zu den Quadranten 142, 144, 146 und 148, die in Fig. 3 gezeigt sind, zusätzlichen Regionen aufweisen, wobei die Kalibrie­ rungsplatine eine entsprechende Anzahl von Drehungen für die Kalibrierung aufweisen würde. Obwohl die vorhergehende Be­ schreibung eine Testeinrichtung für elektronische Schaltun­ gen offenbart, die elektrische Hochfrequenzsignale mißt, gelten die Grundsätze der Erfindung auch allgemein auf eine Kalibrierung.

Claims (9)

1. Kalibrierungsplatine (116) zum Kalibrieren einer Test­ einrichtung (10) für elektronische Schaltungen, die ei­ nen Testkopf (100) mit Verbindern (126) für eine elek­ trische Verbindung mit einer Befestigungsplatine (114) aufweist, welche wiederum mit einem elektronischen Bau­ element oder einer integrierten Schaltung, die getestet werden sollen, verbunden ist, wobei die Verbinder (126) des Testkopfs (100) näherungsweise in einer Ebene (130) angeordnet sind, wobei die Kalibrierungsplatine (116) folgende Merkmale aufweist:
ein dielektrisches Substrat (132);
eine Mehrzahl von Kalibrierungsstandards (134), die auf dem Substrat (132) angebracht sind, wobei die Kalibrie­ rungsstandards (134) in jeweiligen Regionen des Sub­ strats (132) angebracht sind, wobei die Kalibrierungs­ standards Leerläufe (136), Kurzschlüsse (138) und La­ sten (140) aufweisen;
eine Einrichtung zum elektrischen Verbinden der Kali­ brierungsstandards (134) mit den Verbindern (136) des Testkopfs (100), wenn die Befestigungsplatine (114) se­ lektiv durch die Kalibrierungsplatine (116) ersetzt ist;
eine Einrichtung zum Anbringen der Kalibrierungsplatine (116) auf dem Testkopf (100), derart, daß eine elektri­ sche Verbindung durch die Einrichtung zum elektrischen Verbinden der Kalibrierungsstandards (134) mit den Ver­ bindern (126) des Testkopfs (100) eingerichtet ist; und
eine Einrichtung auf der Kalibrierungsplatine (116) und dem Testkopf (100) zum Anzeigen einer Sequenz von Rota­ tionsstellungen der Kalibrierungsplatine (116) zur Ka­ librierung der Testeinrichtung (10) unter Verwendung der Kalibrierungsstandards (134);
wodurch die Testeinrichtung (10) auf die Ebene (130) der Verbinder (126) des Testkopfs (100) kalibriert wer­ den kann.

2. Kalibrierungsplatine (116) gemäß Anspruch 1, bei der das Substrat (132) aus einem Material einer gedruckten Schaltungsplatine besteht.

3. Kalibrierungsplatine (116) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Mehrzahl der Kalibrierungsstandards (134) in jeden von drei jeweiligen Quadranten (142, 144, 146) des Substrats (132) gegliedert ist.

4. Kalibrierungsplatine (116) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der die Lasten (140) 50-Ohm-Abschlüsse sind.

5. Kalibrierungsplatine (116) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, die ferner mindestens einen Verifizierungsstan­ dard (147), der auf dem Substrat (132) angebracht ist, aufweist.

6. Kalibrierungsplatine (116) gemäß Anspruch 3, die ferner mindestens einen Verifizierungsstandard (147) aufweist, der in einem vierten Quadranten (148) des Substrats (132) auf dem Substrat (132) angebracht ist.

7. Kalibrierungsplatine (116) gemäß Anspruch 5 oder 6, bei der der zumindest eine Verifizierungsstandard (147) ein 100-Ohm-Widerstand ist.

8. Kalibrierungsplatine (116′) zum Kalibrieren einer Test­ einrichtung (10) für elektronische Schaltungen, welche einen Testkopf (100) mit Verbindern (126) zur elektri­ schen Verbindung mit einer Befestigungsplatine (114) aufweist, welche wiederum mit einem elektronischen Bauelement oder einer integrierten Schaltung, die ge­ testet werden sollen, verbunden ist, wobei die Verbin­ der (126) des Testkopfs (100) näherungsweise in einer Ebene (130) angeordnet sind, wobei die Kalibrierungs­ platine (116′) folgende Merkmale aufweist:
ein dielektrisches Substrat (132′);
eine Mehrzahl von Durchgangsverbindungen (160), die auf dem Substrat (132′) angebracht sind, wobei die Durch­ gangsverbindungen (160) quer über jeweilige Regionen des Substrats (132′) angebracht sind;
eine Einrichtung zum elektrischen- Verbinden der Durch­ gangsverbindungen (160) mit den Verbindern (126) des Testkopfs (100), wenn die Befestigungsplatine (114) se­ lektiv durch die Kalibrierungsplatine (116′) ersetzt ist;
eine Einrichtung zum Befestigen der Kalibrierungsplati­ ne (116′) an dem Testkopf (100), derart, daß eine elek­ trische Verbindung durch die Einrichtung zum elektri­ schen Verbinden der Durchgangsverbindungen (160) mit den Verbindern (126) des Testkopfs (100) eingerichtet ist; und
eine Einrichtung auf der Kalibrierungsplatine (116′) und dem Testkopf (100) zum Anzeigen einer Sequenz von Rotationsstellungen der Kalibrierungsplatine (116′) zur Kalibrierung der Testeinrichtung (10) unter Verwendung der Durchgangsverbindungen (160);
wodurch die Testeinrichtung (10) auf die Ebene (130) der Verbinder (126) des Testkopfs (100) kalibriert wer­ den kann.

9. Kalibrierungsplatine (116′) gemäß Anspruch 8, bei der das Substrat (132′) aus einem Material einer gedruckten Schaltungsplatine besteht.