DE112008000484T5 - Design-für-Test Mikrosonde bzw. -Messsonde - Google Patents

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Abstract

Ein Verfahren zum Testen einer Vorrichtung, die erste und zweite verbundene bzw. zusammengeschaltete Chips besitzt, die intern in der Vorrichtung sind, wobei das Verfahren Folgendes aufweist:
Auswählen eines Ortes bzw. einer Stelle auf einem Kommunikationspfad entlang dessen sich ein internes Signal innerhalb der Vorrichtung zwischen den ersten und zweiten Chips bewegt;
Verbinden einer Mess- bzw. Testsonde mit dem Ort, wobei die Testsonde eine Impedanz besitzt zum:
im Wesentlichen Isolieren einer Last von einem Testinstrument von der Vorrichtung und zwar während des Testens, wobei die Last kommunikationsmäßig mit der Testsonde gekoppelt ist; und
im Wesentlichen Isolieren von Signalen, die sich durch leitende Teile von der Testsonde von der Vorrichtung währen eines Normalbetriebs ausbreiten.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Diese Anmeldung bezieht sich auf automatische Testausrüstung und spezieller auf Vorrichtungen zum Messen von Signalen von integrierten Schaltungen.
  • HINTERGRUND
  • In einem Prozess, der als „Packen” bzw. „Konfektionierung” oder „Packaging” bezeichnet wird, werden die Komponenten von einer integrierten Schaltung (IC = integrated circuit) in eine Packung zusammengesetzt und die finale gepackte IC wird getestet bzw. geprüft um ihre Funktionalität zu verifizieren. Während dem Packen werden Roh-Chips bzw. Dies (d. h. integrierte Schaltungs-Chips, die aus fertiggestellten Wafern geschnitten sind) häufig an einem Substrat oder einer Trägerstruktur, wie beispielsweise einer gedruckten Leiterplatte befestigt und mit einem Verpackungsmaterial wie beispielsweise Epoxid oder Plastik eingekapselt. Dies bzw. Roh-Chips können in verschiedenen Anordnungen zusammengesetzt werden, und zwar neben anderen Faktoren abhängig von der Anwendung und Spezifikation eines Designs.
  • Ein Flip-Chip beispielsweise, ist eine Art von Anordnung bzw. Zusammensetzung in der Dies an einer flexiblen Leiterplatte befestigt sind, die gefaltet oder „geflippt” ist um eine dreidimensionale Packung bzw. Verpackung zu bilden. Einige Flip-Chip-Anordnungen besitzen Lötpunkte bzw. -bumps auf einer aktiven Oberfläche die eine elektrische Verbindung mit einer Leiterplatte vorsehen, wenn der Chip umgedreht ist. Flip-Chips werden dann normalerweise einem Einkapselungsprozess unterworfen, welcher die Oberfläche von dem Chip mit einem schützenden Material bedeckt. Eine Flip-Chip-Packung, ähnlich wie andere Arten von IC Verpackungen, beinhaltet typischerweise Eingangsanschlüsse bzw. -eins zum Empfangen externer Signale und Aus gangsanschlüsse bzw. -eins zum Senden bzw. Übertragen von durch die IC erzeugten Signale.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Diese Anmeldung beschreibt Systeme und Verfahren, einschließlich von Computerprogrammprodukten, zum Testen einer Vorrichtung (z. B. einer gepackten integrierten Schaltung).
  • Im Allgemeinen beschreibt die Anmeldung in einem Aspekt automatische Testausrüstung zum Testen eines Prüflings bzw. einer zu testenden Vorrichtung, die erste und zweite zusammengeschaltete Chips besitzt, die intern in der zu testenden Vorrichtung sind. Die automatische Testausrüstung beinhaltet eine Testsonde bzw. eine Messsonde; und eine testende Vorrichtung, die kommunikationsmäßig mit der zu testenden Vorrichtung gekoppelt ist. Die testende Vorrichtung beinhaltet Schaltkreise zum Austauschen von Signalen mit der zu testenden Vorrichtung, wobei die Signale ein internes Signal aufweisen, das durch die Messsonde akquiriert wird, die an einen Kommunikationspfad zwischen den ersten und zweiten Chips befestigt ist, wobei das interne Signal sich innerhalb der zu testenden Vorrichtung entlang des Kommunikationspfades bewegt bzw. ausbreitet und von einem externen Anschluss bzw. Pin auf der Vorrichtung unerreichbar ist. Die Messsonde beinhaltet einen ersten leitenden Teil, der mit dem Kommunikationspfad verbunden ist; einen zweiten leitenden Teil, der an der testenden Vorrichtung befestigt ist; und eine Widerstandskomponente, die mit den ersten und zweiten leitenden Teilen gekoppelt ist. Die Widerstandskomponente besitzt eine Impedanz, um (1) im Wesentlichen eine Last von der testenden Vorrichtung von der zu testenden Vorrichtung zu isolieren, wobei die Last kommunikationsmäßig mit der Messsonde gekoppelt ist; und (2) im Wesentlichen Signale zu isolieren, die sich durch den zweiten leitenden Teil von der Messsonde ausbreiten.
  • Im Allgemeinen beschreibt die Anmeldung in einem anderen Aspekt ein Verfahren und ein Computerprogrammprodukt zum Testen einer Vorrichtung, die erste und zweite zusammengeschaltete Chips besitzt, die intern in der Vorrichtung sind. Das Verfahren beinhaltet Auswählen eines Ortes auf einem Kommunikationspfad entlang dessen sich ein internes Signal innerhalb der Vorrichtung zwischen den ersten und zweiten Chips bewegt bzw. ausbreitet und Verbinden einer Messsonde mit dem Ort. Die Messsonde besitzt eine Impedanz um (1) im Wesentlichen eine Last von einem Testinstrument von der Vorrichtung während dem Testen zu isolieren, wobei die Last kommunikationsmäßig mit der Messsonde gekoppelt ist, und (2) im Wesentlichen Signale zu isolieren, die sich durch leitende Teile von der Messsonde von der Vorrichtung während dem normalen Betrieb ausbreiten.
  • Im Allgemeinen beschreibt die Anmeldung in einem weiteren Aspekt auch eine gepackte bzw. konfektionierte integrierte Schaltung, die Folgendes beinhaltet: erste und zweite Chips, die externe Anschlüsse bzw. Pins besitzen, die von außerhalb der gepackten integrierten Schaltung erreichbar sind; eine elektrische Verbindung zwischen den ersten und zweiten Chips, wobei die elektrische Verbindung einen Pfad vorsieht entlang dessen sich ein internes Signal zwischen dem ersten und dem zweiten Chip ausbreitet, wobei das interne Signal von einem externen Anschluss auf den ersten und zweiten Chips unerreichbar ist; und eine Sonde bzw. Messsonde oder Fühler, konfiguriert zum Messen des internen Signals. Die Sonde beinhaltet einen ersten leitenden Teil, der mit dem Pfad verbunden ist; einen zweiten leitenden Teil, der zur Befestigung an einer Testausrüstung konfiguriert ist, und eine Widerstandskomponente, die mit den ersten und zweiten leitenden Teilen gekoppelt ist. Die Widerstandskomponente besitzt eine Impedanz, um (1) im Wesentlichen eine Last von der Testausrüstung von der elektrischen Verbindung während dem Testen zu isolieren, wobei die Last kommunikationsmäßig mit der Messsonde gekoppelt ist; und (2) im Wesentlichen Signale zu isolieren, die sich durch den zweiten leitenden Teil von der Messsonde ausbreiten.
  • Ausführungsbeispiele können eines oder mehreres von dem Folgenden beinhalten. Das interne Signal kann von externen Anschlüssen von der Vorrichtung unerreichbar sein. Die Auswahl von einem Ort kann während einer Aus legungs- bzw. Entwurfsphase von der Vorrichtung durchgeführt werden. Die Impedanz von der Messsonde kann größer als 100 Ohm sein. Die Messsonde kann an dem Ort angelötet worden sein, und zwar während der Herstellung von der Vorrichtung. Einer von den leitenden Teilen von der Messsonde kann an einer automatischen Testausrüstung befestigt sein. Ein Testsignal kann an die Vorrichtung an dem Ort unter Verwendung der Sonde geliefert werden.
  • Die Widerstandskomponente kann einen Widerstand und/oder einen Transistor implementierten Puffer beinhalten. Die Messsonde kann in einer internen Komponente von der zu testenden Vorrichtung integriert sein (z. B. einem von den ersten und zweiten Chips). Der zweite leitende Teil von der Messsonde bzw. Sonde kann konfiguriert sein zum Empfangen eines Testsignals von der Testausrüstung; und zum Liefern des Testsignals an einen der ersten und zweiten Chips oder an beide Chips. Die ersten und zweiten Chips können an einer flexiblen Leiterplatte befestigt sein.
  • Die automatische Testausrüstung kann Schaltkreise beinhalten zum Analysieren von Signalen, die von der Messsonde empfangen werden. Die automatische Testausrüstung kann einen Kontakt beinhalten, der konfiguriert ist um mit dem ersten oder dem zweiten leitenden Teil von der Messsonde elektrisch gekoppelt zu sein. Schaltkreise zum Liefern eines Testsignals an die Vorrichtung an dem Ort unter Verwendung der Sonde und zum Empfangen des internen Signals von der Sonde können in der automatischen Testausrüstung enthalten sein.
  • Ein Ausführungsbeispiel oder mehrere Ausführungsbeispiele können einen oder mehrere von den folgenden Vorteilen vorsehen. Die Signale an den internen Orten von einer zu testenden Vorrichtung (einem gepackten IC Chip) können überwacht werden und zwar ohne die Integrität von den Signalen zu beeinflussen. Ein Zugriff auf interne Komponenten von einem gepackten Chip, die von externen Anschlüssen nicht erreichbar sind, ist vorgesehen. Ein gepackter Chip wird effizienter verifiziert und fehlerbereinigt bzw. debugged. Die Last von dem Testinstrument wird von der Vorrichtung während dem Testen isoliert und der Testanschluss und darauf erzeugte Signale werden von der Vorrichtung während dem normalen Betrieb isoliert. Durch Verwendung einer Sonde können Testsignale an interne Orte von einem gepackten Chip geliefert werden, die von den externen Anschlüssen von der Vorrichtung unerreichbar sind.
  • Die Details von einem oder mehreren Ausführungsbeispielen sind in den begleitenden Zeichnungen und der Beschreibung unten angegeben. Andere Merkmale, Ziele und Vorteile werden aus der Beschreibung und den Zeichnungen und aus den Ansprüchen klar werden.
  • BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1A und 1B sind Blockdiagramme von einem Prüfling bzw. einer zu testenden Vorrichtung (DUT = device under test).
  • 2A und 2B sind Blockdiagramme von anderen DUTs.
  • 3 ist ein Flussdiagramm von einem Prozess zum Testen der DUTs der 2A und 2B.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
  • Die Anmeldung ist auf Halbleitervorrichtungstesten gerichtet, welches eine Messsonde oder Testsonde bzw. einen Messkopf (bezeichnet als eine „Design-für-Test (DFT = design-for-test) Sonde”) nutzt zum Messen von Signalen, die intern in einer fertiggestellten IC (auch bezeichnet als „gepackter Chip”) sind. Ein gepackter Chip beinhaltet interne Komponenten, die aus verschiedenen Wafern hergestellt und auf der Packungsebene zusammengeschaltet worden sind. Beispielsweise können die internen Komponenten mehrere Dies bzw. Roh-Chips beinhalten, die auf einer flexiblen Leiterplatte bestückt und in einer Flip-Chip-Konfiguration angeordnet sind. Derartige Anordnungen werden häufig als ein gepacktes System (SiP = System in Package) bezeichnet. Beispiele von gepackten Chips beinhalten Systeme auf einem Chip (SOCs = sy tem an a chip) und anwendungsspezifische integrierte Schaltungen (ASICs = application-specifc ICs).
  • 1A zeigt ein Blockdiagramm von einem gepackten Chip 10, der einen ersten internen Chip 12 und einen zweiten internen Chip 14 innerhalb einer Packung bzw. Verpackung 18 beinhaltet. Die internen Chips 12 und 14 sind als zwei unterschiedliche Dies bzw. Halbleiterstücke hergestellt, die entweder von dem gleichen Wafer bzw. der gleichen Halbleiterscheibe oder von verschiedenen Wafern geschnitten worden sind. Falls die Dies von dem gleichen Wafer kommen, können sie in einen einzelnen Chip integriert werden. Für gewöhnlich sind Mehrfach-Chips von verschiedenen Wafern, da sie mit verschiedenen Prozessen hergestellt werden können. In einigen Ausführungsbeispielen werden die internen Chips 12 und 14 auf einer flexiblen Leiterplatte befestigt. Einer oder beide von den Chips 12 und 14 können empfindliche passive Komponenten wie Induktivitäten, Kondensatoren, Schwingquarze und Filter mit akustischen Oberflächenwellen (SAW = surface acoustic-wave) beinhalten. Die Verpackung 18 von dem gepackten Chip 10 beinhaltet auch externe Anschlüsse 16, die Eingangsanschlüsse zum Empfangen externer Eingangssignale und Ausgangsanschlüsse, zum Liefern von Ausgangssignalen an eine oder mehrere externe Vorrichtungen (nicht gezeigt) beinhalten und zwar während dem Normalbetrieb von dem gepackten Chip 10. Eine interne elektrische Verbindung 11, zwischen den internen Chips 12 und 14 sieht einen Pfad vor entlang dem sich ein internes Signal zwischen den internen Chips 12 und 14 ausbreitet. In diesem Beispiel ist die interne Verbindung 11 von außerhalb des gepackten Chips 10 von irgendeinem der externen Anschlüsse 16 nicht erreichbar. Wie unten beschrieben, könnte eine direkte Verbindung mit der internen Verbindung 11 die Leistungsfähigkeit von der Signallieferung bzw. -zuführung beeinträchtigen.
  • Obwohl ein gewisser Einblick gewonnen werden kann, ob oder ob nicht der gepackte Chip 10 korrekt arbeitet, und zwar durch Beobachten der Signale, die an den externen Anschlüssen 16 erzeugt werden, ist es häufig nützlicher und in einigen Fällen notwendig, Signale zu messen, die intern in der Packung sind, z. B. Signale, die sich zwischen den internen Chips 12 und 14 über die interne Verbindung 11 ausbreiten. Erlangen von Zugriff auf die internen Signale ist häufig schwierig, z. B. aufgrund der Verpackung bzw. Packung.
  • 1B zeigt den gepackten Chip 10 der 1A mit einem Testanschluss 9, der mit der internen Verbindung 11 verbunden ist. Obwohl es während der Herstellung möglich ist, den Testanschluss 9 in die Packung 18 einzuschließen, um eine Verbindung mit einem Ort innerhalb des gepackten Chips 10 von außerhalb vorzusehen, um die Messung von internen Signalen zu ermöglichen und zwar während dem Normalbetrieb, kann der Testanschluss 9 störende Reflexionen, Unzulänglichkeiten bzw. Störstellen und unerwünschte Antworten erzeugen, im Speziellen während einem Betrieb mit hohen Frequenzen. Ein anderes Problem das mit dem Testanschluss 9 entsteht, ist, dass wenn ein Testinstrument mit dem Anschluss verbunden wird, das Testinstrument der Vorrichtung extra Last hinzufügt, die bei normalen Betrieb nicht vorhanden wäre. Die zusätzliche Last kann die Signale beeinflussen, die an dem Testinstrument empfangen werden, und kann die Testergebnisse verdrehen bzw. verschieben.
  • In einigen Testschemata werden interne Chips separat getestet und es wird verifiziert, dass sie richtig funktionieren, bevor sie in einem gepackten Chip zusammengefügt werden. Diese Arten von Testschemata werden im Allgemeinen bezeichnet als „bekannt-guter Roh-Chip”- bzw. „known-good die”-Test, weil ein interner Chip, der die Tests bestanden hat als ein „bekannt-guter Roh-Chip” bezeichnet wird. Selbst wenn ein interner Chip als bekannt-guter Roh-Chip verifiziert worden ist, könnte er während nachfolgender Herstellungs-/Zusammenbauprozesse (z. B. Schleifprozesse) beschädigt oder zerstört werden, bevor er in eine Packung bzw. Baugruppe eingebaut wird. Während derartiger Prozesse, können die Roh-Chips physische oder elektrische Beschädigung erleiden, die dazu führen, dass sie unsachgemäß funktionieren. Z. B. kann wenigstens ein Teil von dem Roh-Chip überhitzt und/oder elektrische Verbindungen könnten getrennt oder kurz geschlossen sein. Selbst wenn alle von den Komponenten von einem gepackten Chip während einer bekannt-guter Roh-Chip Testprozedur als funktionierend verifiziert worden sind, kann nach dem Zusammenbau der gepackte Chip defekt sein.
  • Wie unten detaillierter beschrieben ist, um die Nachteile von wenigstens einigen der vorhergehenden Testtechniken anzusprechen, macht es eine DFT Prüfspitze bzw. DFT Sonde möglich, interne Signale (z. B. Signale zwischen internen Chips) direkt zu analysieren, während die Integrität von Signalen innerhalb des gepackten Chips während dem Test- und dem Normalbetrieb erhalten wird.
  • Bezugnehmend auf 2A, ist der gepackte Chip 30 konfiguriert um Testen an einem oder mehreren von seinen internen Orten zu ermöglichen. Der gepackte Chip 30 beinhaltet einen ersten internen Chip 13 und einen zweiten internen Chip 15, die innerhalb einer Packung 19 angeordnet sind. Zum Beispiel kann die Packung 19 eine Flip-Chip-Packung sein, in der die ersten und zweiten Chips 13 und 15 an einer flexiblen Leiterplatte befestigt sind. Die Packung 19 von dem gepackten Chip 30 beinhaltet externe Anschlüsse 17, die Eingangsanschlüsse zum Empfangen externer Eingangssignale und Ausgangsanschlüsse zum Liefern von Ausgangssignalen an eine oder mehrere externe Vorrichtungen (nicht gezeigt) beinhalten und zwar während dem Normalbetrieb von dem gepackten Chip 30.
  • Die ersten und zweiten internen Chips 13 und 15 werden als zwei verschiedene Dies bzw. Roh-Chips hergestellt, die entweder von dem gleichen Wafer oder von verschiedenen Wafern geschnitten werden. In einigen Ausführungsbeispielen kann der erste interne Chip 13 ein Signalsender sein und der zweite interne Chip 15 kann ein Signalempfänger sein. Einer oder beide von den ersten und zweiten Chips 13 und 15 können integrierte Schaltungen sein und/oder elektrisch empfindliche Komponenten beinhalten wie beispielsweise Schwingquarze und SAW Filter. Der gepackte Chip 30 beinhaltet auch eine DFT Sonde 20, die elektronisch mit einem internen Signalpfad 21 gekoppelt ist, über den ein internes Signal sich zwischen den ersten und zweiten internen Chips 13 und 15 ausbreitet. Der interne Signalpfad 21 kann einen oder mehrere Drähte und andere Komponenten (z. B. Widerstände, Kondensatoren etc.) beinhalten zum Liefern interner Signale zwischen den ersten und zweiten internen Chips 13 und 15.
  • Die DFT Testsonde bzw. die DFT Sonde 20 sieht eine Verbindung vom Inneren von der Packung 19 vor und zwar an einer Stelle bzw. an einem Ort von dem internen Signalpfad 21 zu dem Äußeren von der Packung 19. Die DFT Sonde beinhaltet eine Widerstandskomponente 22, die mit ersten und zweiten leitenden Komponenten 24 und 26 (z. B. Drähten) gekoppelt ist. Die erste leitende Komponente 24 ist in elektronischer Kommunikation mit dem Signalpfad 21. Z. B. kann die erste leitende Komponente 24 ein Draht sein, der an einem Ort bzw. einer Stelle auf dem Signalpfad 21 angelötet ist. Die zweite leitende Komponente 26 ist mit der Widerstandskomponente 22 elektrisch gekoppelt und beinhaltet einen externen Testanschluss 27 zum Vorsehen von Zugriff auf Verbindungen (z. B. Drähte) innerhalb der Packung 19. Z. B. kann die zweite leitende Komponente 26 ein Draht sein, der mit der Widerstandskomponente 22 verbunden ist, und der sich durch ein äußeres Gehäuse der Packung 19 erstreckt um den Testanschluss 27 zu bilden.
  • Der Testanschluss 27 ist konfiguriert um an einer externen Testausrüstung 32 angeschlossen zu werden, wobei die Testausrüstung eines oder mehrere der folgenden beinhalten kann: automatische Testausrüstung, Oszilloskope, Spektrumanalysierer, Logikanalysierer, Rauschanalysierer, Multimeter bzw. Mehrfachmessgeräte und andere elektronische Testausrüstung. Die Testausrüstung 32 besitzt einen Kontakt 34, wie eine Sonde bzw. Testsonde, die mit dem Testanschluss 27 verbunden werden kann. Durch den Testanschluss 27 empfängt die Testausrüstung 32 Signale, die sich entlang des Signalpfads 21 ausbreiten und liefert Testsignale an verschiedene interne Komponenten (z. B. interne Chips 13 und 15), die in elektrischer Kommunikation mit dem Signalpfad 21 sind. Die DFT Sonde 20 wird genutzt um verschiedene interne Signale zu betrachten, einschließlich von Inter-Packungssignalen (z. B. Signale, die zwischen Komponenten innerhalb der Packung, die in separaten Roh-Chips hergestellt worden sind, gesendet werden). Z. B. in Ausführungsbeispielen, in denen die internen Chips 13 und 15 von separaten Roh-Chips stammen, sind die Signale, die sich entlang des Signalpfads 21 ausbreiten Inter-Packungssignale. Die DFT Sonde 20 wird auch genutzt um Signale in den gepackten bzw. konfektionierten Chip 30 einzuführen.
  • Die Widerstandskomponente 22 besitzt eine Impedanz um im Wesentlichen die Last der Testausrüstung 32 von internen Komponenten (z. B. interne Chips 13 und 15) während des Testens zu isolieren. Als Ergebnis ermöglicht es die DFT Sonde 20 der Testausrüstung 32 interne Signale zu messen ohne dass die Impedanz von der Testausrüstung 32 die internen Signale in irgendeinem signifikanten Ausmaß beeinflusst. Mit anderen Worten kann die gewünschte Information von den internen Signalen erlangt werden, wie sie an der Testausrüstung 32 gemessen werden. Die Widerstandskomponente 22 isoliert auch im Wesentlichen die internen Komponenten von dem gepackten Chip 30 von der zweiten leitenden Komponente 26, einschließlich des Pins 27, so dass während dem Normalbetrieb irgendwelche Signale, die sich durch die leitende Komponente 26 ausbreiten, wenig bis keinen Effekt auf den Betrieb von den internen Komponenten haben werden. Z. B. kann eine wesentliche Isolation erreicht werden, wenn die leitende Widerstandskomponente 22 Signale dämpft, die sich durch die zweite leitende Komponente 26 ausbreiten, so dass die internen Komponenten von dem gepackten Chip 30 wie beabsichtigt betrieben werden.
  • Die Impedanz von der Widerstandskomponente 22 ist im Allgemeinen größer als 100 Ohm. Z. B. kann die Impedanz in dem Bereich von mehreren hundert Ohm bis zu mehreren tausend Ohm sein. Die Widerstandskomponente 22 kann eine passive Vorrichtung sein, z. B. ein einzelner Widerstand, ein Spannungsteiler oder eine Kombination aus Widerständen, Kondensatoren und anderen passiven elektrischen Komponenten. Die Widerstandskomponente 22 kann auch ein transistorimplementierter Puffer (z. B. ein Emitter-Folger) oder eine Kombination aus transistorimplementierten Puffern, die auch passive Komponenten beinhalten kann, sein. Die DFT Sonde 20 kann in den gepackten Chip 30 während der Herstellungsphase integriert werden.
  • 2B zeigt einen gepackten Chip 31, der identisch zu dem gepackten Chip 30 der 2A ist, außer dass die Widerstandskomponente 22 innerhalb des internen Chips 13 angeordnet ist. Die Widerstandskomponente 22 kann ausgelegt bzw. entworfen und innerhalb des Siliziums von einem der internen Chips 13 und 15 hergestellt worden sein. Z. B. könnte die Widerstandskomponente 22 der 2B ein transistorimplementierter Puffer oder eine Kombination aus transistorimplementierten Puffern, die auch passive Komponenten beinhaltet, sein. In anderen Ausführungsbeispielen wird die Widerstandskomponente 22 auf einem separaten Siliziumstück hergestellt und später an einer Verbindung zwischen den internen Chips 13 und 15 angeschlossen bzw. befestigt. Z. B. kann die Widerstandskomponente 22 an einer flexiblen Leiterplatte befestigt sein, an der die internen Chips 13 und 15 befestigt sind.
  • Bezugnehmend auf 3 ist ein Prozess 40 zum Herstellen und Testen eines gepackten Chips, wie dem in 2 gezeigten gepackten Chip 30, beschrieben. Während der Herstellung wird ein interner Testort bzw. eine interne Teststelle ausgewählt (42). Z. B. kann der interne Testort ein Ort sein entlang eines Signalpfads zwischen mehreren internen Komponenten z. B. dem Signalpfad 21, zwischen den internen Chips 12 und 15. Eine DFT Sonde (z. B. die DFT Sonde 20 der 2) wird mit den internen Testort verbunden (44). In einigen Ausführungsbeispielen wird ein Leiter von der DFT Sonde an dem Testort angelötet. In anderen Ausführungsbeispielen wird der interne Testort während einer Auslegungs- bzw. Entwurfsphase ausgewählt und die DFT Sonde wird innerhalb einer der internen Komponenten hergestellt. Die DFT Sonde wird an dem Kontakt 34 mit der Testausrüstung 32 verbunden (46). Von der DTF Sonde empfängt (48) die Testausrüstung 32 Signale, die sich durch den internen Testort ausbreiten und analysiert die Signale um zu verifizieren, ob eine oder mehrere interne Komponenten von dem gepackten Chip richtig funktionieren. Durch die DFT Sonde kann die Testausrüstung 32 auch Testsignale an den gepackten Chip an dem internen Testort liefern (50). In einigen Ausführungsbeispielen, werden mehrere DFT Sonden in einen gepackten Chip an verschiedenen Testorten integriert. In diesen Ausführungs beispielen kann ein erster Teil von den DFT Sonden genutzt werden, um interne Signale von den internen Testorten an die Testausrüstung 32 zu liefern und ein zweiter Teil von den DTF Sonden kann genutzt werden, um Testsignale von der Testausrüstung 32 an die internen Testorte zu liefern. Z. B. kann die Testausrüstung 32 ein Testsignal an einen ersten internen Ort unter Verwendung einer ersten DFT Sonde bzw. einer ersten DFT Prüfspitze liefern und ein an einem zweiten Testort ansprechend auf das Testsignal erzeugtes Signal unter Verwendung einer zweiten DFT Sonde überwachen.
  • Der Prozess 40 und die Testausrüstung 32 sind nicht auf die Nutzung mit der hierin beschriebenen Hardware und Software limitiert. Der Prozess 40 und die Testausrüstung 32 können implementiert sein in digitalen elektronischen Schaltkreisen oder in Computer-Hardware, Firmware, Software oder in Kombinationen davon, z. B. kann Software genutzt werden zum Steuern des Sendens und Empfangens von Testsignalen und des Platzierens von der DFT Sonde.
  • Der Prozess 40 und die Testausrüstung 32 können zumindest teilweise, implementiert werden mittels eines Computerprogrammprodukts, d. h. einem Computerprogramm das greifbar auf einem Informationsträger verkörpert ist, z. B. in einer maschinenlesbaren Speichervorrichtung oder in einem verbreiteten bzw. gesendeten Signal, und zwar zur Ausführung durch eine bzw. zur Steuerung des Betriebs von einer Datenverarbeitungsvorrichtung, z. B. einem programmierbaren Prozessor, einem Computer oder mehreren Computern. Ein Computerprogramm kann in irgendeiner Art von Programmiersprache geschrieben sein, einschließlich von kompilierten oder interpretierten Sprachen und es kann in irgendeiner Form eingesetzt werden, einschließlich als ein eigenständiges Programm oder als ein Modul, eine Komponente, eine Unterroutine, oder einer anderen Einheit, die geeignet ist zur Nutzung in einer Computerumgebung. Ein Computerprogramm kann eingesetzt werden zur Ausführung auf einem Computer oder auf mehreren Computern an einem Ort oder verteilt über mehrere Orte und verbunden durch ein Kommunikationsnetzwerk.
  • Aktionen, die mit dem Implementieren des Prozessors 40 und der Testausrüstung 32 assoziiert sind, können durch einen oder mehrere programmierbare Prozessoren durchgeführt werden, die ein oder mehrere Computerprogramme ausführen, um die Funktionen von den Prozessen auszuführen. Alles oder ein Teil von dem Prozess 40 und der Testausrüstung 32, kann implementiert werden als Speziallogikschaltkreise z. B. einem FPGA (field programmable gate array = feldprogrammierbare Gatteranordnung) und/oder einem ASIC (application-specific integrated circuit bzw. anwendungsspezifische integrierte Schaltung).
  • Prozessoren, die geeignet sind für die Ausführung von einem Computerprogramm beinhalten, beispielhaft, sowohl allgemeine als auch spezielle Mikroprozessoren, und irgendeinen oder mehrere Prozessoren von irgendeiner Art von digitalem Computer. Im Allgemeinen wird ein Prozessor Instruktionen und Daten von einem Nur-Lesespeicher oder einem Speicher mit wahlfreiem Zugriff oder von beiden empfangen. Elemente von einem Computer beinhalten einen Prozessor zum Ausführen von Instruktionen und einen oder mehrere Speichervorrichtungen zum Speichern von Instruktionen und Daten.
  • Eine Anzahl von Ausführungsbeispielen sind beschrieben worden. Nichtsdestotrotz sollte klar sein, dass verschiedene Modifikationen gemacht werden können. Z. B. könnte der gepackte Chip 30 der 2 hergestellt werden um mehrere DFT Sonden zu beinhalten, die elektrisch mit mehreren internen Testorten gekoppelt sind. Der interne Signalpfad 21 könnte irgendein Kommunikationspfad einschließlich eines Drahtes, eines Busses etc. sein. Dementsprechend liegen andere Ausführungsbeispiele, einschließlich jenen, die hierin nicht speziell beschrieben worden sind, innerhalb des Umfangs der folgenden Ansprüche.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Systeme und Techniken zum Testen einer Vorrichtung, die erste und zweite verbundene bzw. zusammengeschaltete Chips besitzt, die intern in der Vorrichtung sind, einschließlich von Auswählen eines Ortes bzw. einer Stelle auf einem Kommunikationspfad entlang dessen sich ein internes Signal innerhalb der Vorrichtung zwischen den ersten und zweiten Chips bewegt und Verbinden eines Testsondes bzw. einer Messsonde mit dem Ort. 27465

Claims (21)

  1. Ein Verfahren zum Testen einer Vorrichtung, die erste und zweite verbundene bzw. zusammengeschaltete Chips besitzt, die intern in der Vorrichtung sind, wobei das Verfahren Folgendes aufweist: Auswählen eines Ortes bzw. einer Stelle auf einem Kommunikationspfad entlang dessen sich ein internes Signal innerhalb der Vorrichtung zwischen den ersten und zweiten Chips bewegt; Verbinden einer Mess- bzw. Testsonde mit dem Ort, wobei die Testsonde eine Impedanz besitzt zum: im Wesentlichen Isolieren einer Last von einem Testinstrument von der Vorrichtung und zwar während des Testens, wobei die Last kommunikationsmäßig mit der Testsonde gekoppelt ist; und im Wesentlichen Isolieren von Signalen, die sich durch leitende Teile von der Testsonde von der Vorrichtung währen eines Normalbetriebs ausbreiten.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Vorrichtung eine gepackte bzw. eine konfektionierte integrierte Schaltung ist, und das interne Signal von externen Anschlüssen von der Vorrichtung unerreichbar ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei Auswählen eines Ortes während einer Entwurfs- bzw. Auslegungsphase von der Vorrichtung ausgeführt wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine Impedanz von der Testsonde größer als 100 Ohm ist.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verbinden einer Testsonde eines oder mehreres aufweist aus Anlöten der Testsonde an dem Ort und Befestigen der Testsonde unter Verwendung von Dick- oder Dünnfilmabscheidung.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, das ferner aufweist Befestigen von einem von den leitenden Teilen von der Testsonde an automatischer Testausrüstung.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, das ferner aufweist Liefern eines Testsignals an die Vorrichtung an dem Ort unter Verwendung der Testsonde.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Verbinden ausgeführt wird, während der Herstellung von der Vorrichtung.
  9. Eine konfektionierte bzw. gepackte integrierte Schaltung, die Folgendes aufweist: erste und zweite Chips, die externe Anschlüsse bzw. Pins besitzen, auf die von außerhalb der gepackten integrierten Schaltung zugegriffen werden kann; eine elektrische Verbindung zwischen den ersten und zweiten Chips, wobei die elektrische Verbindung einen Kommunikationspfad vorsieht entlang dessen sich ein internes Signal zwischen dem ersten Chip und dem zweiten Chip ausbreitet, wobei das interne Signal unerreichbar ist von einem externen Anschluss auf einer Packung, die die ersten und zweiten Chips beinhaltet; und eine Mess- bzw. Testsonde, die konfiguriert ist zum Messen des internen Signals, wobei die Testsonde Folgendes aufweist: einen ersten leitenden Teil, der mit der Kommunikation verbunden ist; einen zweiten leitenden Teil, der konfiguriert ist um an der Testausrüstung angeschlossen zu sein; und eine Widerstandskomponente, die mit den ersten und zweiten leitenden Teilen gekoppelt ist, wobei die Widerstandskomponente eine Impedanz besitzt zum: im Wesentlichen eine Last der Testausrüstung von der elektrischen Verbindung während dem Testen zu isolieren, wobei die Last kommunikationsmäßig mit der Testsonde gekoppelt ist; und im Wesentlichen Isolieren von Signalen, die sich durch den zweiten leitenden Teil von der Testsonde ausbreiten.
  10. Gepackte integrierte Schaltung nach Anspruch 9, wobei die Widerstandskomponente einen Widerstand aufweist.
  11. Gepackte integrierte Schaltung nach Anspruch 9, wobei die Widerstandskomponente einen transistorimplementierten Puffer aufweist.
  12. Gepackte integrierte Schaltung nach Anspruch 9, wobei die Testsonde integriert ist mit einem von den ersten und zweiten Chips.
  13. Gepackte integrierte Schaltung nach Anspruch 9, wobei der zweite leitende Teil konfiguriert ist zum: Empfangen eines Testsignals von der Testausrüstung; und Liefern des Testsignals an einen oder beide von den ersten und zweiten Chips.
  14. Gepackte integrierte Schaltung nach Anspruch 9, wobei die ersten und zweiten Chips an einer flexiblen Leiterplatte befestigt bzw. montiert sind.
  15. Automatische Testausrüstung zum Testen eines Prüfkörpers bzw. einer zu testenden Vorrichtung, die erste und zweite verbundene bzw. zusammengeschaltete Chips besitzt, die intern in der zu testenden Vorrichtung sind, wobei die automatische Testausrüstung Folgendes aufweist: eine Test- bzw. Messsonde; eine Testvorrichtung, die kommunikationsmäßig mit der zu testenden Vorrichtung gekoppelt ist, wobei die Testvorrichtung Schaltkreise aufweist zum Austauschen von Signalen mit der zu testenden Vorrichtung, wobei die Signale ein internes Signal aufweisen, das durch die Testsonde, die an einen Kommunikationspfad zwischen den ersten und zweiten Chips befestigt bzw. angeschlossen ist, akquiriert wird, wobei das interne Signal sich innerhalb der zu testenden Vorrichtung entlang des Kommunikationspfads bewegt und von einem externen Anschluss von der zu testenden Vorrichtung unerreichbar ist, wobei die Testsonde Folgendes aufweist: einen ersten leitenden Teil, der mit dem Kommunikationspfad verbunden ist; einen zweiten leitenden Teil, der mit der Testvorrichtung verbunden ist; und eine Widerstandskomponente, die mit den ersten und zweiten leitenden Teilen gekoppelt ist, wobei die Widerstandskomponente eine Impedanz besitzt zum: im Wesentlichen Isolieren einer Last von der Testvorrichtung von der zu testenden Vorrichtung, wobei die Last kommunikationsmäßig mit der Testsonde gekoppelt ist; und im Wesentlichen Isolieren von Signalen, die sich durch den zweiten leitenden Teil von der Testsonde ausbreiten.
  16. Automatische Testausrüstung nach Anspruch 15, wobei die Widerstandskomponente eine Impedanz besitzt, die größer als 100 Ohm ist.
  17. Automatische Testausrüstung nach Anspruch 15, wobei die Testsonde integriert ist in einer internen Komponente von der zu testenden Vorrichtung.
  18. Automatische Testausrüstung nach Anspruch 15, die ferner Schaltungen aufweist zum Analysieren von Signalen, die von den Testsonden empfangen werden.
  19. Automatische Testausrüstung nach Anspruch 15, die ferner einen Kontakt aufweist, der konfiguriert ist um mit einem von den ersten und zweiten leitenden Teilen von der Testsonde elektrisch gekoppelt zu sein.
  20. Automatische Testausrüstung nach Anspruch 15, die ferner aufweist: Schaltkreise zum Liefern eines Testsignals an die Vorrichtung an den Ort unter Verwendung der Testsonde; und Schaltungen zum Empfangen des internen Signals von der Testsonde.
  21. Automatische Testausrüstung nach Anspruch 15, wobei die zu testende Vorrichtung eine gepackte integrierte Schaltung ist.
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