DE1621246B2 - - Google Patents

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DE1621246B2
DE1621246B2 DE19681621246 DE1621246A DE1621246B2 DE 1621246 B2 DE1621246 B2 DE 1621246B2 DE 19681621246 DE19681621246 DE 19681621246 DE 1621246 A DE1621246 A DE 1621246A DE 1621246 B2 DE1621246 B2 DE 1621246B2
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Karl Dr. Dietzel
Guenter Dr. Peilstoecker
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Bayer AG
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/10Glass or silica

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Abänderung des Verfahrens zum Oberflächenvergüten von Kunststoffen durch Bedampfen derselben mit SiOx, (Igxä2) im Hochvakuum (10~4 bis 10~6 Torr) unter Verwendung eines Elektronenstrahlverdampfers in Gegenwart von Sauerstoff bis zur Erreichung einer Schichtdicke von etwa 2 bis etwa 5 μ gemäß Patentanmeldung P 1 521 249.4-45. Bei diesem Verfahren werden Kunststoffe bedampft, die bei 1200C einen Dampfdruck von weniger als 10~5 Torr besitzen und deren Oberflächen zu höchstens 30% mit einer monomolekularen Schicht von organischen Fremdstoffen bedeckt sind. Dabei wird eine Elektronenstrahlenergiedichte von 5 bis 15 Kw/cm2 bei einer effektiven Verdampfungsfläche von etwa 0,3 bis 0,6 cm2 angewandt. Die Verdampfung erfolgt bei einem Partialdruck des SiO* von mindestens einmal 10~2 Torr und einer mittleren Kondensationsrate von etwa 90 bis 110 A/sec in mindestens 50 aufeinanderfolgendenden Schichten.
In der deutschen Patentschrift 834 490 wird ein Verfahren zur Erzeugung dünner Schichten auf Glasoberflächen beschrieben, bei dem ein Gemisch von SiO2 und Metallen oder Metalloxiden im Vakuum verdampft wird und das entstehende Reaktionsprodukt absublimiert. Es hat sich nun herausgestellt, daß das Aufdampfen von quarzhaltigen Schichten auf Kunststoffe ein wesentlich schwierigeres Problem darstellt und dementsprechend eine kompliziertere Technologie erforderlich macht als die Erzeugung dünner festhaftender Quarzschichten auf Glasoberflächen. Dabei spielt die qualitative und quantitative Zusammensetzung des zu verdampfenden Materials eine wichtige Rolle.
Es wurde nämlich gefunden, daß besonders widerstandsfähige Vergütungsschichten erzielt werden können, wenn man erfindungsgemäß an Stelle von reinem Quarz ein Gemisch aus etwa 95 bis etwa 98,5 Gewichtsprozent Siliziumdioxid und etwa 5 bis etwa 1,5 Gewichtsprozent Zinkoxid, Zirkonoxid oder Antimonoxid, bevorzugt jedoch Chromoxid, oder Gemischen dieser Oxide, verdampft, wodurch sich ein entsprechendes Gemisch auf den Oberflächen der Kunststoffe niederschlägt.
Durch diese Abänderung des Verfahrens gemäß Patentanmeldung 1 521 249 wird eine noch bessere
ίο Oberflächenvergütung der Kunststoffe, insbesondere hinsichtlich ihrer Beständigkeit gegenüber starken Temperaturwechseln, z. B. im Bereich zwischen +20 und +100° C, und gegenüber Schwefeldioxid enthaltender feuchter Luft, erreicht. So halten die nur mit einer Quarzschicht bedampften Oberflächenvergütungen gemäß dem Verfahren des Hauptpatents zwar den Beanspruchungen des Weather-O-Meter-Tests recht gut stand, bei wiederholter Einwirkung rascher Temperaturwechsel zwischen etwa 20cC und etwa 100;C kann es jedoch vorkommen, daß feine Haarrisse in der aufgedampften Schicht auftreten. Bei nach dem vorliegenden Abänderungsverfahren hergestellten Vergütungsschichten ist dies nicht der Fall.
Um die gewünschte Verbesserung der Oberflächenvergütung zu erzielen, sollte der Gegalt der genannten Metalloxide zum Siliziumoxid nicht unter etwa 1,5 Gewichtsprozent, bezogen auf das Gemisch der Oxide, liegen. Andererseits treten bei Überschreitung dieses Gehalts von etwa 5 Gewichtsprozent Verschlechterungen der Eigenschaften der Oberflächenvergütungen ein.
Das erfindungsgemäß zu verdampfende Gemisch kann aus einer zweckmäßig zuvor auf eine Temperatur bis etwa 1000°C geglühten, physikalischen Mischung feinkörnigen Siliziumdioxids und feinkörniger Fremdoxide bestehen. Man kann das Pulvergemisch vor seiner Verwendung jedoch auch durch Erhitzen auf Temperaturen oberhalb etwa 1800° C zu einem Block verschmelzen.
Eine besonders innige Durchmischung des Siliziumdioxids mit den Fremdmetalloxiden kann man durch gemeinsames Fällen aus wäßrigen Lösungen, z. B. der entsprechenden Chloride, also z. B. des Siliziumtetrachlorids und des Chromchlorids, mit z. B. Ammoniak und Glühen bzw. Schmelzen der Niederschläge erreichen.
Beispiel
Man verfährt wie im Beispiel des Hauptpatents, verwendet jedoch statt des Quarzes ein Gemisch von 95 Gewichtsprozent Quarzsand und 5 Gewichtsprozent Chromoxid, deren maximale Teilchengröße bei etwa 50 bis etwa 100 μ liegt, das zuvor bei etwa 1000° C geglüht wurde. Die auf diese Weise auf die Oberfläche der Polycarbonatplatte aufgedampfte Vergütungsschicht ist völlig farblos, klardurchsichtig und hält z. B. folgenden Bedingungen stand:
1. der Temperaturwechselbeständigkeitspriifung nach DIN 52304,
2. einem 3maligen Erhitzen während 30 min auf 1000C und dazwischen 30 min langem Lagern bei 200C,
3. der Prüfung nach DlN 50016 (Tropenwechselklima 7 Tage),
4. dem Kesternich-Test nach DIN 50018 (8 Stunden 4O0C 95% r. F. + 2 1 SO2 auf 300 1 Luft).

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Verfahren zum Oberflächenvergüten von Kunststoffen durch Bedampfen derselben mit SiO* (*^1>2) im Hochvakuum (ΙΟ"4 bis 10~6 Torr) in Gegenwart von Sauerstoff unter Verwendung eines Elektronenstrahlverdampfers, bei dem das Substrat relativ zur Verdampferquelle mit gleichmäßiger Geschwindigkeit bewegt wird un-d Kunststoffe mit einem Dampfdruck von weniger als 10~5 Torr bei 12O0C bedampft werden, wobei eine Eiektronenstrahlenergiedichte von 5 bis 15 Kw/cm2 bei einer effektiven Verdampfungsfläche von etwa 0,3 bis 0,6 cm2 angewandt wird und die Verdampfung bei einem Partialdruck des SiO.c von mindestens einmal 10~2 Torr und einer mittleren Kondensationsrate von etwa 90 bis 110 Ä/sec in mindestens 50 aufeinanderfolgenden Schichten erfolgt, nach Patentanmeldung P 1521249.4-45, dadurch gekennzeichnet, daß man an Stelle von Quarz ein Gemisch aus etwa 95 bis etwa 98,5 Gewichtsprozent Siliciumdioxid und etwa 5 bis etwa 1,5 Gewichtsprozent Zinkoxid, Zirkonoxid, Antimonoxid, bevorzugt jedoch Chromoxid oder Gemischen dieser Oxide, verdampft.
DE19681621246 1966-04-29 1968-02-09 Verfahren zum Oberflaechenvergueten von Kunststoffen Granted DE1621246A1 (de)

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E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
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