DE883546C - Oberflaechenschutz von Metallen - Google Patents

Oberflaechenschutz von Metallen

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DE883546C DEH4167D DEH0004167D DE883546C DE 883546 C DE883546 C DE 883546C DE H4167 D DEH4167 D DE H4167D DE H0004167 D DEH0004167 D DE H0004167D DE 883546 C DE883546 C DE 883546C
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Description

  • Oberflächenschutz von Metallen Zahllose Arbeiten und Erfindungen beschäftigen sich mit der Aufgabe, Metalle gegen korrodierende Einflüsse, wie sie vor allem in den Einwirkungen der Atmosphäre vorliegen, zu schützen. Man hat hierfür schon Metalle und nichtmetallische Überzüge der verschiedensten Art, .die mit chemischen oder physikalischen Verfahren auf die zu schützende Metalloberfläche aufgebracht werden, vorgeschlagen. Diese Schutzüberzüge übernehmen häufig noch die Aufgabe, ein für den Gebrauch zu weiches Metall gegen mechanische Beschädigungen zu schützen. Daß trotz der großen Zahl der vorgeschlagenen Schutzüberzüge und Verfahren zu ihrem Anbringen auf der metallischen Unterlage die Aufgabe doch noch nicht befriedigend gelöst ist, durch dünne Überzüge die Metalle auch unter ungünstigen Umständen gegen die verschiedenen in der Praxis auftretenden mechanischen und chemischen Beanspruchungen wirksam zu schützen, sei im folgenden an Hand der in der technischen Optik vorliegenden Verhältnisse ausführlich dargelegt.
  • Die Technik benötigt für die verschiedensten optischen Prozesse Oberflächenspiegel, die so beschaffen sind, daß reflektierte Lichtstrahlen, die zu einer optischen Abbildung dienen, nur einmalig reflektiert werden und damit in der abbildenden Ebene nur einfache Bilder des abzubildenden Gegenstandes wiedergeben. Rückwärts belegte Spiegel zeigen neben dem Hauptbilde, das durch die Reflexion an der Rückwand des Spiegels, d. h. an der metallischen Auflagefläche auf der Rückseite erzeugt wird, auch noch an der Oberfläche infolge der Glasreflexion, die durch ,den mathematischen Ausdruck in ihrer Größe angebbar ist, ein stark störendes Doppelbild. Man hat deshalb versucht, den Oberflächenspiegel, der allen chemischen und mechanischen Einflüssen in besonders hohem Maße ausgesetzt ist, so zu verbessern, daß er den praktischen Bedürfnissen genügt und, wenn irgend möglich, dieselbe Beständigkeit erhält wieder rückwärts belegte Spiegel. Der erste bedeutende Fortschritt bestand darin, die gegen chemische und mechanische Einflüsse stark empfindlichen reflektierenden dünnen Metallschichten, die auf dem Glas durch chemische Reaktionen oder durch Kathodenzerstäubung aufgebracht wurden, durch Lack oder durch sehr dünn ausgewalzte Glasfolien, die aufgekittet werden, zu schützen.. Diese Maßnahme stellte jedoch nur eine Notlösung dar. Dies gilt insbesondere für den Überzug mit Lack, der nur unter milden atmosphärischen Verhältnissen eine gewisse Gewähr der Beständigkeit gibt. Die Glasfolienmethode läßt sich nur für verhältnismäßig kleine Spiegeloberflächen, die zudem noch eben sein müssen, anwenden. Für alle anderen Fälle scheidet sie aus. Das Bedürfnis nach einer Verbesserung lag also immer noch vor. Hier wurde durch den Rhodiumoberflächenspiegel ein so bedeutender Fortschritt erzielt, daß zunächst kein Zwang mehr bestand, nach weiteren Verbesserungen zu suchen. Als durch die Kriegsverhältnisse eine Verknappung an Edelmetallen, insbesondere auch an Rhodium, eintrat, ergab sich jedoch die neue Aufgabe, die bisher benutzten Edelmetalle durch Uriedelmetalle und andere leichter zugängliche Stoffe vollwertig zu ersetzen. Als Ausgangspunkt lag hierbei die Verbesserung des seither schon bekannten Aluminiumspiegels nahe, dessen reflektierende Oberfläche dem Rhodium gegenüber eine um zo 0/n erhöhte Lichtausbeute gab, der aber infolge seiner Weichheit nicht für härtere mechanische Beanspruchung verwendet werden konnte. Wohl war schon bekanntgeworden, daß Aluminiumspiegel durch elektrolytische Oxydation in ihrer schützenden Oberflächenschicht- verstärkt werden können. Diese Schichten haben aber, wie den Fachleuten bekannt war; noch den Nachteil, daß sie unter der Einwirkung .von Chlor- und Sulfationen sowie bei Anwesenheit von Kohlensäure in der Atmosphäre verhältnismäßig schnell zerstört werden. Es wurden deshalb mannigfache Versuche angestellt, um die schützende Oberfläche aus Aluminiumoxyd zusätzlich noch so mit dünnen schützenden Schichten zu überziehen, daß auch diese Anfälligkeit beseitigt wird und der Spiegel somit gegen sämtliche atmosphärischen Einflüsse genügend beständig wird. Eine Lösung dieser Aufgabe, die fabrikationstechnisch einfach und sicher durchzuführen ist, würde aber bisher noch nicht gefunden.
  • Die Erfindung hat nun die Aufgabe des Oberflächenschutzes von Metallen in einer Weise gelöst, ,welche die bei den bisher bekannten Verfahren auftretenden Nachteile vermeidet und mit vergleichsweise einfachen Mitteln einen chemisch und mechanisch gleich guten Schutz bietet.
  • Erfindungsgemäß werden auf die zu schützenden Metalle im Hochvakuum dünne Schichten von Elementen, insbesondere Metallen, aufgedampft oder aufsublimiert und diese anschließend in die Oxyde übergeführt. Es werden vor allem hochschmelzende Metalle ausgewählt, die im Hochvakuum noch ohne Schwierigkeiten zu verdampfen sind, und vor allem solche Metalle, deren Oxyde eine hohe chemische Beständigkeit aufweisen, insbesondere wasserunlöslich sind, und die eine gute Härte besitzen. Es sind dies vor allem die Elemente Beryllium, Chrom, Silicium und Thor, daneben für bestimmte Anwendungszwecke auch Cer, Eisen, Kobalt, Kupfer, Magnesium, Mangan, Nickel, Titan, Uran, Vanadin und Zirkön sowie außer Cer die übrigen seltenen Erden.
  • Bei der Aufdampfung oder Sublimation der Metalle, die nach allen an sich bekannten Verfahren erfolgen kann, hat man zunächst den bedeutenden Vorteil, daß'die Metalle leichter zu verdampfen sind als ihre Oxyde. Weiterhin besteht bei der Verdampfung der Oxyde die Gefahr, daß sie bei dem Verfahren Sauerstoff abgeben und sich in niedere Oxyde umwandeln, deren Eigenschaften oft andere sind, als sie von den Schutzschichten gefordert werden. Bei dem, Verfahren der Erfindung werden die Metalle selbst verdampft, die sich anschließend durch bestimmte Behandlungsverfahren in die stabilen Oxyde überführen lassen.
  • Weiterhin werden die meisten der oben aufgezählten Metalle nach dem Aufdampfen im Hochvakuum durch die zur- Anwendung kommenden Oxydationsverfahren in glasige Oxydschichten übergeführt. Man erhält auf diese Weise Oberflächen, die gegen mechanische Verletzungen besonders guten Schutz bieten und die weiterhin bei der Anwendung für optische Zwecke die erwünschte Glätte aufweisen.
  • Die stabilen Oxyde der meisten der genannten Metalle, beispielsweise beim Chrom also die dreiwertige Oxydationsstufe, sind außerdem in dünnen Schichten, soweit das sichtbare Licht in Frage kommt, praktisch farblos. Dies ist für die optischen Anwendungen wesentlich, darüber hinaus aber auch allgemein bei der Anwendung des neuen Verfahrens zum Schützen metallischer Oberflächen sehr vorteilhaft, weil auf diese Weise das metallische Aussehen der behandelten Gegenstände nicht nachteilig verändert wird.
  • Die Auswahl des aufzudampfenden Metalls richtet sich vor allem auch nach der chemischen Beanspruchung, der die Gegenstände ausgesetzt werden. Es -lassen sich aus der genannten Gruppe von Metallen solche auswählen, deren Oxyde selbst in dünner Schicht auch gegen Säuren beständig sind.
  • Von großer Bedeutung bei der Durchführung des neuen Verfahrens ist -die Wahl der Schichtstärke. Zweckmäßig wird die Schichtstärke in der Größenordnung einer Lichtwellenlänge des sichtbaren Lichtes (56oo AE) oder darunter gewählt. Diese Grenze ist leicht festzustellen, da durch die beobachtbare Interferenz die Schichtstärken bequem gemessen werden können, während durch mechanische Meßmethoden eine genaue Ausmessung dieser sehr dünnen Oberflächenschichten nicht möglich ist. Schichten, die eine wesentlich größere Dicke als eine Wellenlänge haben, werden spröde, während dünnere Schichten infolge ihres ausgezeichneten elastischen Verhaltens überraschend günstige mechanische Eigenschaften aufweisen. Es werden vorzugsweise Schichten zwischen einer zehntel und einer Wellenlänge, beispielsweise von einer viertel Wellenlänge des sichtbaren Lichtes benutzt. Trotz ihrer sehr geringen Stärke schützen diese dünnen Schichten meist besser als dickere Auflagen, sie weisen beispielsweise gegenüber mechanischen Einwirkungen, wie Kratzen, eine erstaunliche Beständigkeit auf.
  • Die Überführung der im Hochvakuum aufgedampften Metalle in die oxydischen Schutzschichten erfolgt durch chemische Oxydationsmittel, vor allem aber durch bei der Gasentladung entstehende Sauerstoffionen und durch elektrolytische Verfahren. Die beiden letzteren Verfahren seien im folgenden an Hand von Beispielen ausführlich erläutert, weil sie besonders gleichmäßige und gut schützende Oxydschichten ergeben.
  • Die mit den dünnen aufgedampften Metallschichten überzogenen Gegenstände werden an den Minuspol einer Gleichstromhochspannungsanlage gelegt, deren Spannung zweckmäßigerweise zwischen iooo und io ooo V liegt. Der positive Pol liegt diesen Gegenständen gegenüber. Der Raum, in dem sich die Gegenstände befinden, wird auf ein Vakuum von i mm Hg bis Ihoo mm Hg ausgepumpt und die dabei entstehende Glimmentladung ausgenutzt. Dabei treten aus der Kathode Elektronen unter dem angelegten hohen elektrischen Feld aus, ionisieren die Gasreste im Raum, die infolge ihrer dadurch entstehenden positiven Aufladung von der Kathode angezogen werden und im Kathodenfall eine Beschleunigung erfahren, die sie befähigt, in die Oberfläche der Kathode einzudringen. Handelt es sich hier nun insbesondere um Sauerstoffionen, dann vereinigen sich diese infolge ihrer außerordentlichen Reaktionsfähigkeit, die noch durch die Ionisation gesteigert wird, mit den an der Kathode befindlichen Metallen zum Oxyd. Dieses Verfahren ist übrigens auch zum Aufoxydieren niederer Oxyde anwendbar.
  • Die Anwendung dieses Oxydationsverfahrens bietet die Möglichkeit, korrosionsbeständige Oberflächenspiegel in ein und derselben Anlage ohne Betriebsunterbrechung herzustellen. Auf eine Unterlage aus Glas od. dgl. wird in dem Hochvakuumraum zunächst das reflektierende Metall, beispielsweise Aluminium, aufgedampft, dann wird im gleichen Raum das Metall aufgedampft, das nachher die oxydische Schutzschicht ergeben soll, und hieran anschließend, ohne daß es notwendig ist, die Gegenstände in eine neue Anlage zu geben, die metallische Oberflächenschicht durch Bombardieren mit Gasinnen in das Oxyd in der Weise übergeführt, wie es eben beschrieben wurde.
  • Eine zweite Methode besteht darin, daß man die für das Aluminium bekannte elektrolytische Oxydation auch für das Verfahren der Erfindung benutzt. Hier werden die Gegenstände in einem geeigneten Elektrolyt, der zweckmäßig nicht zu sauren Charakter hat und keine Chlor- und Sulfationen enthält, anodisch polarisiert. Durch Zersetzung des Wassers entsteht hierbei über Sekundärreaktionen an der Anode atomarer Sauerstoff, dessen Reaktionsvermögen außerordentlich groß ist und der außerdem kataphoretisch in die sich bildende Oxydschicht eingepreßt wird. Auf diese Weise wandelt sich das gesamte aufgedampfte Metall in Oxyd um. Die im Metall etwa vorhandenen Poren schließen sich durch die Volumenvergrößerung bei der Oxydbildung. Weiterhin kann der Vorgang so gelenkt werden, daß auch noch von dem darunterliegenden zu schützenden Metall, beispielsweise Aluminium, verschiedene Atomlagen mit oxydiert werden und damit eine besonders starke Verkrallung zwischen der Unterlage und der daraufliegenden Schicht erzielt wird. Dabei ist es von Vorteil, für jede Schichtstärke des aufgebrachten Metalls und für jedes Metall eine geeignete Spannung zur Elektrolyse zu verwenden, da die Höhe des Reflexionsvermögens des entstehenden Spiegels von dieser Spannung abhängig ist.
  • Ein weiteres Verfahren zur Oxydation der auf das Unterlagemetall aufgebrachten metallischen Schichten besteht darin, daß sie höheren Temperaturen ausgesetzt werden, bei denen der dünne Metallfilm mit dem Luftsauerstoff reagiert. Dabei sind die Temperaturen so zu wählen, daß das jeweils gewünschte stabile Oxyd erhalten wird.
  • An Stelle der Überführung in die Oxyde kann gegebenenfalls auch die Umwandlung der Metalle in andere beständige Verbindungen, die den praktischen Anforderungen hinsichtlich Härte und Widerstandsfähigkeit genügen, erfolgen. Als Beispiel sei nur auf die Umwandlung in die Nitride hingewiesen, die beispielsweise in einem Gasentladungsgefäß durch Verwendung von Stickstoff als Füllgas und Bombardement mit Stickstoffionen durchgeführt werden kann.
  • Oft ist es vorteilhaft, auf das zu schützende Metall gleichzeitig verschiedene Metalle aufzudampfen oder aufzusublimieren und die so gebildete Schicht dann in Oxyde oder andere stabile Verbindungen überzuführen.
  • Das Hauptanwendungsgebiet der Erfindung, die empfindliche Metalle durch eine Oxydschicht schützt, besteht darin, die metallischen Gegenstände vor äußeren chemischen Einwirkungen, beispielsweise den Einflüssen der Atmosphäre und mechanischen Beschädigungen, zu schützen. Dieser Schutz hat vor allem in der Optik Bedeutung, sei es, daß unedle Metalle oder Edelmetalle, wie Silber, Platin oder Rhodium, zu schützen sind. Darüber hinaus kann die gute Schutzwirkung dieser dichten Oxydschichten auch ausgenutzt werden, um als Zwischenlage zwischen zwei metallischen Schichten die Diffusion der - beiden Metalle ineinander zu verhindern oder auf ein gewünschtes Maß herabzusetzen. Besonders wertvoll ist dieser technische Kunstgriff bei der Herstellung von Metallspiegeln, die besonders hohen Temperaturen ausgesetzt werden, weil hier sonst die Gefahr besteht, daß das schlecht reflektierende Metall der Grundlage in das gut reflektierende äußere Metall diffundiert und so die Brauchbarkeit als Spiegel in Frage stellt. Durch die Zwischenschaltung der erfindungsgemäß hergestellten Oxydschicht wird diese Gefahr beseitigt. Zweckmäßig wird bei der Herstellung solcher Metallspiegel die an der Oberfläche liegende metallische reflektierende Schicht nochmals durch einen Oxydfilm der Erfindung vor schädlichen mechanischen und atmosphärischen Einflüssen geschützt. Die Herstellung diffusionsverhindernder Sperrschichten nach dem Verfahren der Erfindung durch Aufdampfen von Metallen im Hochvakuum und überführen in die Oxyde bewährt sich auch bei der Erzeugung von Doublemetallen. Auch hier besteht die Gefahr, daß das unedle Grundmetall in die Edelmetallauflage eindiffundiert und damit deren Schutzwirkung in: Frage stellt. Durch .die Zwischenschaltung der Oxydschichten nach .dem neuen Verfahren kann auch in diesem Fall die Diffusion verhindert oder auf ein erträgliches Maß herabgesetzt werden.
  • Da das Aufdampfen der Metalle im Hochvakuum und die Überführung der Metalle in die Oxyde durch Gasentladung keine metallische Unterlage zur Voraussetzung hat, ist das Oberflächenschutzverfahren der Erfindung auch auf nichtmetallische Werkstoffe anwendbar. Es wird mit Vorteil überall da angewandt, wo Gegenstände mit einem chemisch und mechanisch widerstandsfähigen Schutzüberzug versehen werden sollen. So lassen sich optische Gläser und kristalline Stoffe, wie Kochsalz, Flußspat, Kalkspat und Lithiumfluorid durch Aufdampfen der genannten Metalle im Hochvakuum und Überführen der Metalle in Oxyde durch Bombardieren mit Sauerstoffionen bei der beschriebenen Glimmentladung hervorragend gegen chemische und mechanische Angriffe schützen.
  • Die nach dem Verfahren der Erfindung hergestellten Oberflächenschichten haben außer den erwünschten Schutzeigenschaften noch weitere Vorzüge, die ihre Anwendung in bestimmten Fällen besonders wertvoll machen und sie somit weitergehenden technischen Zwecken zuführen. So lassen sich Metalle auswählen, die bei der Überführung in die glasigen Oxyde in gewissen Spektralbereichen eine Absorption aufweisen, die dazu ausgenutzt wird, den zu schützenden Spiegeln gewisse selektive Reflexionseigenschaften- zu verleihen. Hierbei wird an den Stellen; an denen das schützende Oxyd stärkere Absorptionen aufweist, das reflektierte Licht dieses Wellenlängengebietes ausgefiltert.
  • Auch bei anderen technischen Vorgängen ist eine glasige Oberfläche der aus Metall bestehenden Werkstoffe erwünscht, so beispielsweise bei der Fertigung von Spinndüsen für die Gewinnung von Kaseinfäden. Das neue Verfahren erlaubt nun, Spinndüsen aus beliebigen Metallen so mit Oxydschichten zu überziehen, daß die Oberfläche der Düse, insbesondere an ihrem Boden, glasiger Natur ist und die für das Ablösender Fäden günstigen Eigenschaften aufweist.
  • Das Verfahren der Erfindung soll nun an Hand einiger Beispiele näher erläutert werden.
  • In einem hochvakuumraum von 2 m Durchmesser wird Aluminium von einem Wolframband aus sc verdampft, daß es sich an darunter befindlichen Gläsern, die auf niederer Temperatur gehalten werden und vorher durch Glimmentladung gereinigt worden sind; bei einem Vakuum von 5 - zo-5mmHg kondensiert. Dien Schichtstärke des Aluminiums soll so sein, daß der Faden einer a5-Watt-Lampe gerade nicht mehr in der Durchsicht beobachtet werden kann. Eine Verstärkung der Aluminiumschicht ist jedoch nicht zweckmäßig, eine dünne Schicht wirkt sich eher noch günstiger aus. Auf diese Aluminiumschicht wird nun von einem zweiten Wolframband aus, das sich in demselben Vakuumraum befindet, vorher geschmolzenes Beryllium verdampft, und zwar so lange, bis der eben belegte Aluminiumspiegel durch das aufkondensierte Beryllium ein Reflexionsvermögen von 75 % aufweist. Darauf wird die Anlage mit Luft gefüllt, die Spiegel herausgenommen und in. einer einfachen Halterungsvorrichtung, die aus Reinaluminium besteht, anodisch in ein Bad von roo/oiger Citronensäure bei einer Klemmenspannung von 30 V eingeführt. Der zunächst sehr große Formierungsstrom, der für eine Fläche von r qdm 2,5 Amp. beträgt, geht innerhalb von 3 0 Sekunden auf 5o mAmp. zurück. Gleichzeitig steigt das Reflexionsvermögen des Spiegels, das vorher 75 % betragen hat, auf 89a5 % an und erreicht damit das Reflexionsvermögen eines unbelegten Aluminiumspiegels. Der auf diese Art erzeugte Spiegel hat eine besonders glatte Oberfläche und weist alle die Vorzüge auf, die dem Berylliümoxyd eigen sind, insbesondere hohe Härte und sehr große chemische Beständigkeit. Ein solcher Spiegel besitzt also gegenüber einem nur eloxierten Aluminiumspiegel eine bedeutend größere Korrosionsbeständigkeit. Wird beispielsweise die Oberfläche eines solchen Spiegels mit konzentrierter Natronlauge als Reagens geprüft, dann wird der mit Berylliumoxyd geschützte Oberflächenspiegel auch nach zehnfacher Behandlungszeit von der Natronlauge nur an den Stellen angegriffen, an denen Poren in der Oberflächenschicht vorhanden sind, wÄrend der nur eloxierte Aluminiumspiegel schon innerhalb von r So Sekunden vollständig aufgelöst wird. Einer Behandlung mit kochendem Wasser hält der Spiegel vollkommen stand, während ein nicht mit Beryllium-Oxyd belegter Spiegel schon nach 5 Minuten abgelöst wird.
  • Wird bei dem eben- beschriebenen Beispiel an Stelle von Beryllium Thorium verdampft und dieses dann entsprechend in Thoriumoxyd übergeführt, dann erhält man Spiegel, die sogar eine noch höhere chemische Beständigkeit aufweisen. Diese mit Thoriumoxyd belegten Aluminiumspiegel bringen somit gegenüber den bisher bekannten Aluminiumspiegeln einen besonders großen Fortschritt. Während das zu verdampfende Beryllium und Thorium ohne weiteres auf Wolfram aufgebracht werden können, ist dies bei Verwendung von Kobalt als aufzudampfendes Metall nicht möglich. Kobalt legiert sich außerordentlich leicht mit Wolfram, und es ist deshalb ohne weiteres gar nicht möglich, einen vernünftigen Überzug auf dem Aluminiumspiegel aus Kobalt zu erzielen, da das Wolframband sich mit dem Kobalt zu einer niederschmelzenden Legierung verbindet und dann durchschmilzt. Es ist deshalb notwendig, das Kobalt aus einem oxy dischen Material zu verdampfen; besonders zweckmäßig hierfür ist ein Schiffchen aus Aluminiumoxyd, das durch das schmelzende Kobalt nicht angegriffen wird. Als Heizkörper, der das Schiffchen erhitzt, wird Wolfram benutzt, aber es muß darauf geachtet werden, daß dieses Wolfram nicht mit dem Atomstrahl aus Kobaltatomen, der aus dem Aluminiumoxydschiffchen austritt, in Berührung kommt. Auf diese Weise kann ohne Schwierigkeiten ein Kobaltüberzug erzielt werden, der dann nach dem beschriebenen Verfahren in das Kobaltoxyd übergeführt wird. Der Überzug von Kobaltoxyd weist allerdings nicht ganz die hervorragende Beständig-]zeit wie die vorerwähnten Überzüge aus Berylliumoxvd und Thoriumoxyd auf.
  • Silicium legiert sich ebenfalls sehr leicht mit Wolfram, ähnlich wie dies oben für Kobalt beschrieben wurde. Es ist deshalb zweckmäßig, ein sehr dieses Wolframband zu verwenden und die Verdampfungstemperatur des Siliciums so tief zu wählen, daß die Reaktion zwischen Wolfram und Silicium möglichst langsam vonstatten geht. Auf diese Weise lassen sich verschiedene Bele"ungen mit demselben Wolframband durchführen. Nach der Oxydation erhält man Schutzschichten aus Siliciumdioxyd, die vollständig gegen kochendes Wasser schützen.

Claims (3)

  1. PATE NTAI\TSPRÜGHE: i. Verfahren zum Schützen der Oberfläche von Metallen gegen korrodierende Angriffe und mechanische Beschädigungen, dadurch gekennzeichnet, daß man auf die zu schützende Oberfläche im Hochvakuum Elemente, wie Beryllium, Cer, Chrom, Eisen, Kobalt, Kupfer, Magnesium, 1langan, Nickel, Silicium, Thorium, Titan, Uran, Vanadin und Zirkon, in dünner Schicht, vorzugsweise mit einer Dicke zwischen i/lo 2 und i 2 (sichtbares Licht: 56oo AE), beispielsweise 1/4 @, aufdampft oder aufsublimiert und anschließend in die Oxyde überführt.
  2. 2. Durchführung der Oxydation bei dem Oberflächenschutzverfahren des Anspruches i, dadurch gekennzeichnet, daß man die im Hochvakuum aufgedampften oder aufsublimierten Metalle bei einer Glimmentladung durch Bom'bardieren mit Sauerstoffionen in die Oxyde überführt.
  3. 3. Durchführung der Oxydation bei dem Oberflächenschutzverfahren des Anspruches i, dadurch gekennzeichnet, daß man die im Hochvakuum aufgedampften oder aufsublimierten Metalle elektrolytisch in die Oxyde überführt.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1100233B (de) * 1953-03-04 1961-02-23 Boehler & Co Ag Geb Metallischer Kern zur Herstellung von Hohlraeumen, insbesondere enger und langer Bohrungen in Gussstuecken aus hochschmelzenden Metallen
DE1195135B (de) * 1959-06-30 1965-06-16 Balzers Vakuum G M B H Verfahren zur Verbesserung der elektrischen Leitfaehigkeit von auf Unterlagen, wie Glas und Kunststoffen, insbesondere durch Vakuum-bedampfen aufgebrachten duennen, licht-durchlaessigen oxydischen Schichten
DE1228489B (de) * 1958-10-30 1966-11-10 Balzers Vakuum G M B H Verfahren zum Herstellen duenner, im sichtbaren Wellenlaengengebiet praktisch absorptionsfreier Oxydschichten fuer optische Zwecke durch Aufdampfen im Vakuum
DE1521507B1 (de) * 1966-09-13 1970-02-12 Siemens Ag Verfahren zum Aufdampfen eines Isolierstoffes auf einen Traeger durch gebuendelte Elektronenstrahlen

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1100233B (de) * 1953-03-04 1961-02-23 Boehler & Co Ag Geb Metallischer Kern zur Herstellung von Hohlraeumen, insbesondere enger und langer Bohrungen in Gussstuecken aus hochschmelzenden Metallen
DE1228489B (de) * 1958-10-30 1966-11-10 Balzers Vakuum G M B H Verfahren zum Herstellen duenner, im sichtbaren Wellenlaengengebiet praktisch absorptionsfreier Oxydschichten fuer optische Zwecke durch Aufdampfen im Vakuum
DE1195135B (de) * 1959-06-30 1965-06-16 Balzers Vakuum G M B H Verfahren zur Verbesserung der elektrischen Leitfaehigkeit von auf Unterlagen, wie Glas und Kunststoffen, insbesondere durch Vakuum-bedampfen aufgebrachten duennen, licht-durchlaessigen oxydischen Schichten
DE1521507B1 (de) * 1966-09-13 1970-02-12 Siemens Ag Verfahren zum Aufdampfen eines Isolierstoffes auf einen Traeger durch gebuendelte Elektronenstrahlen

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