DE1524873B2 - Monolithische integrierte Speicherzelle mit kleiner Ruheleistung - Google Patents
Monolithische integrierte Speicherzelle mit kleiner RuheleistungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine monolithisch integrierte Speicherzelle mit kleiner Ruheleistung, mit zwei als
direkt gekoppelter bistabiler Multivibrator geschalteten Multiemittertransistoren, bei der die gespeicherte
Information jeweils über einen Emitter eingeschrieben
bzw. ausgelesen werden kann, wenn an die zweiten Emitter beider Transistoren ein Adressierimpuls gelegt
wird, und bei der die Leistung während der Adressierung durch Verringerung des Kollektorwiderstandes
mit Hilfe eines elektronischen Schalters heraufgesetzt wird.
Beim Aufbau von Speichern für elektronische Rechenmaschinen ist man bestrebt, möglichst viel
Information auf einem möglichst kleinen Raum zu speichern, d. h. zu möglichst großen Bitdichten zu
kommen. Um dieses Ziel praktisch zu erreichen, muß sowohl der Raumbedarf einer einzelnen Speicherzelle
sehr klein gehalten werden als auch die gegenseitige Anordnung der einzelnen Speicherzellen
zueinander in der Gesamtspeicheranordnung optimiert werden. Aus diesen Gesichtspunkten werden
konventionelle Kernspeicher mehr und mehr durch größere Packungsdichten erlaubende, monolithisch
integrierte Halbleiterspeicher ersetzt werden.
Für die elektrische Schaltung einer derartigen einzelnen Halbleiterspeicherzelle wird in der Regel
eine Flip-Flop-Anordnung gewählt. Die Erfindung geht aus von einer bereits vorgeschlagenen Flip-Flop-Schaltung
mit zwei Multiemittertransistoren, die eine bezüglich ihres Halbleiterflächenbedarfs günstige
Realisierung in monolithischer Bauweise ermöglicht. Mit der zunehmenden flächenmäßigen Verkleinerung
der Speicherzellen treten andererseits jedoch zwangläufig Wärmeabfuhrprobleme auf. Um die Verlustleistung
einer Einzelzelle zu verringern, bestehen folgende schaltungstechnische Möglichkeiten:
1. Durch große Kollektorwiderstände der Flip-Flop-Transistoren kann ein kleiner Stromfluß
und damit niedrige Dauerleistung erreicht werden. Damit sind aber als Nachteile eine geringe
Leistung für die Leseoperation und kleine Schaltgeschwindigkeit verbunden, und zwar
wegen der großen Zeitkonstanten des Produkts von Kollektorwiderstand und Kollektor-Basis-Kapazität.
2. Durch periodische An- und Abschalten der Spannungsversorgung (Pulse - Power - Betrieb)
fließt nur für kürzere Zeiten ein Strom, wobei die Information der Zelle während der Abschaltzeit
durch Ladungsspeicherung in den Sperrschichtkapazitäten erhalten bleiben kann. Das
ist aber nur in beschränktem Umfang möglich, da bei großen Transistor-Leckströmen die maximal
zulässige Abschaltzeit stark verkürzt wird.
3. Durch Beibehalten einer kleinen Ruheleistung durch große Kollektorwiderstände, jedoch Anheben
der Leistung beim Adressieren der Zelle tritt nur kurzzeitig die notwendige Verlustleistung
auf. Im allgemeinen ist zu einem solchen Umschalten der Leistung jedoch ein erheblicher
Aufwand nötig.
Im Zusammenhang mit Kippschaltungen, die jedoch von der der Erfindung zugrundeliegenden Flip-Flop-Schaltung
mit Multiemittertransistoren abweichen, ist die schaltungstechnische Realisierung der
obengenannten Maßnahme unter 3 bekannt (USA.Patentschrift 2 874 315). Dort wird zur Einschränkung
des Leistungsverbrauchs und damit der Erwärmung der Anordnung mit Hilfe eines elektronischen
Schalters der Kollektorwiderstand zeitweilig verringert.
Die bloße Übertragung dieser Maßnahmen auf die genannte Multiemitter-Speicherzellenschaltung
würde jedoch deren Vorteile bezüglich des geringen Halbleiterflächenbedarfs wieder aufheben, da bei
einer üblichen Realisierung der zusätzlichen Schaltelemente in monolithischer Technik für jedes Bauelement
je ein durch Isolationsdiffusionen abgetrenntes Halbleitergebiet vorzusehen wäre. Derartige
Isolationsdiffusionen müssen zur wirksamen Isolation durch die gesamte Epitaxieschicht bis auf das Substrat
hinunterreichen. Als Folge davon müssen laterale Ausdiffusionen in etwa derselben Größe in Kauf
genommen werden, wodurch sich ein unerwünscht hoher Halbleiterflächenbedarf für jede einzelne
Speicherzelle — und erst recht für einen Massenspeicher aus derartigen Speicherzellen — ergibt.
Es kann demnach festgestellt werden, daß bei der Auslegung von monolithisch integrierten Halbleiterspeicherzellen
sowohl den integrations- als auch den schaltungstechnischen Maßnahmen entscheidende
Bedeutung zukommt, weil den aus einer höheren Integration zwangläufig resultierenden Wärmeproblemen
durch zusätzliche schaltungstechnische Maßnahmen begegnet werden muß, die ihrerseits
wieder Einfluß auf den erzielbaren Integrationsgrad haben. Aus dieser Betrachtung der Zusammenhänge
wird deutlich, daß die schaltungstechnischen und die Integrationsmaßnahmen nicht streng voneinander
getrennt betrachtet werden können und dürfen.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine monolithisch integrierte Speicherzellenschaltung mit
sehr hohem Integrationsgrad anzugeben, bei der durch technologisch günstig realisierbare schaltungstechnische
Maßnahmen vermieden wird, daß der durch den Einsatz von Multiemittertransistoren erzielbare
hohe Integrationsgrad infolge von Wärmeentwicklung praktisch nicht ausgenützt werden kann.
Ausgehend von der eingangs erwähnten Speicherzelle aus zwei als direkt gekoppelter bistabiler Multivibrator
geschalteten Multiemittertransistoren, bei der die gespeicherte Information jeweils über einen
Emitter eingeschrieben bzw. ausgelesen werden kann, wenn an die zweiten Emitter beider Transistoren ein
Adressierimpuls gelegt wird, und dem an anderer Stelle bekanntgewordenen Schaltungsprinzip, wonach
die Leistung einer Kippschaltung zeitweilig durch Verringerung des Kollektorwiderstandes mit Hilfe
eines elektronischen Schalters heraufgesetzt wird, besteht die vorliegende Erfindung darin, daß diese
Speicherzellenschaltung innerhalb einer Isolationswanne realisiert ist, in der die Kollektorgebiete der
beiden Multiemittertransistoren mit den darin in bekannter Weise ausgebildeten Basis- und Emittergebieten
durch eine epitaktische Schicht gleicher Leitfähigkeit verbunden sind, deren Bahnwiderstände
zwischen einer mittig angeordneten Kontaktierung zum Anlegen der Betriebsspannung und den beiden
Kollektoren als relativ hochohmige Kollektorwiderstände dienen, und daß in diese Schicht zwischen
den derart ausgebildeten Multiemittertransistoren mindestens eine Zone komplementärer Leitfähigkeit
eingelassen ist, die eine Kontaktierung zum Anlegen des Adressierimpulses besitzt und jeweils einen pnübergang
zur Darstellung eines elektronischen Schal-
ters für die relativ niederohmigen zuschaltbaren Kollektorzweige bildet.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Sie betreffen schaltungstechnische
Abwandlungen, wonach der elektronische Schalter entweder parallel zum gesamten Kollektorwiderstand oder nur zu einem Teil desselben
liegt, oder ob nur der Kollektorwiderstand des zugehörigen leitenden Flip-Flop-Transistors verringert
wird bzw. verschiedene vorteilhafte Ansteuerungsmöglichkeiten. Den weiteren schaltungstechnischen
Ausbildungen entsprechen dabei zugehörige Modifikationen in der Anordnung der Diffusionsgebiete bzw. der Leiterzüge in bzw. auf dem Halbleiterkristall,
die sich jedoch aus der oben gekennzeichneten grundsätzlichen Struktur unschwer ergeben.
Die Erfindung wird im folgenden an Hand mehrerer Ausführungsbeispiele unter Zuhilfenahme der
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
F i g. 1 die erfindungsgemäße Speicherzelle in ihrem elektrischen Ersatzschaltbild (Fig. 1 a) sowie
deren monolithische Realisierung in einer schematischen Draufsicht auf den Halbleiterkristall
(Fig. Ib),
F i g. 2 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung im elektrischen Ersatzschaltbild (F i g. 2 a)
und deren monolithische Realisierung im Halbleiterkristall (Fig. 2b) und
F i g. 3 bis 7 die elektrischen Schaltbilder weiterer Ausführungsbeispiele der Erfindung.
Zum besseren Verständnis der Erfindung soll hier kurz die Wirkungsweise der bereits vorgeschlagenen
Speicherzelle erläutert werden. Bei einem solchen bistabilen Multivibrator ist stets ein Transistor
leitend, während der andere gesperrt ist. Im Ruhezustand fließt Strom durch den leitenden Transistor
über denjenigen Emitter, der sich auf dem Potential von 0 Volt befindet. Die Spannung am zweiten
Emitter dieses Transistors liegt um den Spannungsabfall eines geringen sich einstellenden Stroms am
Emitterwiderstand höher. Die Vorspannung der Basis gegen diesen Emitter genügt dann nicht mehr, einen
vergleichbaren Stromfluß zu gestatten. Erst wenn mit einem Adressierimpuls an dem auf 0 Volt befindlichen
Emitter der bisher leitende Transistorzweig gesperrt wird, fließt ein merklicher Strom über den
Emitterwiderstand, dessen Spannungsabfall als Leseimpuls dient und über einen Leseverstärker zur Anzeige
gebracht werden kann. Umgekehrt geschieht das Einschreiben einer Information so, daß der
leitende Transistor bei Anlegen eines Adressierimpulses an den einen Emitter durch einen Schreibimpuls
an den zweiten Emitter gesperrt wird.
F i g. 1 a zeigt die erfindungsgemäße Speicherzelle in ihrem elektrischen Ersatzschaltbild, wobei die
Dioden D als elektronische Schalter dienen.
Im nicht adressierten Zustand liegt das Potential an der Kontaktierung A' und an der Kontaktierung A
auf Null, und der Strom fließt nur durch die relativ großen Kollektorwiderstände Rc, wodurch die Verlustleistung
einen kleinen Wert hat. Wird die Zelle adressiert, so wird das Potential an der Kontaktierung^'
und an der Kontaktierung A so weit angehoben, daß der Strom praktisch nur über die beiden
Widerstände R (R <^ Rc) zugeführt und je nach r Schaltungszustand
der Zelle über den Widerstand RE '■':/.
des Transistors T1 oder T2 abgeführt wird. Die Span- ':
nung am Widerstand RE von Transistors T2 dient als
Eingangssignal des Leseverstärkers; durch positive Schreibimpulse an den Emitteranschlüssen E2 bzw.
E1 wird T1 bzw. T2 eingeschaltet. Da der Widerstand
R klein gegenüber dem Widerstand Rc dimensioniert
ist, werden die i^C-Zeitkonstanten wesentlich herabgesetzt, und man erhält bei gleichem Rc
eine größere Schaltgeschwindigkeit und größere Leseleistung gegenüber der bekannten Schaltung des
Standes der Technik.
Es ist möglich, die beiden Kontaktierungen A und A' zu verbinden; dadurch benötigt man keine
zusätzliche Zuleitung und Ansteuerstufe. Die Schaltung kann durch einen Widerstand ergänzt werden,
der den beiden zusätzlichen Widerständen R gemeinsam vorgeschaltet wird, um eine gewisse Stromeinprägung
zu erreichen. Dadurch wird eine zu starke Sättigung des stromführenden Transistors verhindert,
wodurch die Schaltzeiten verringert werden.
Die erfindungsgemäße Darstellung der oben beschriebenen Schaltung in integrierter Bauweise ist in
Fig. Ib skizziert.
Gebiete unterschiedlicher Leitfähigkeit sind durch unterschiedliche Schraffur dargestellt. Zur Isolation
ist die vorliegende integrierte Schaltung von eventuell angrenzenden Bauelementen durch eine
p+-Zone (Isolationswanne 1) abgegrenzt. Nach innen folgt ein Gebiet aus η-leitendem Material (epitaktische
Schicht 2), ein p-leitendes Material (Basisgebiet 3) und ein η-leitendes Emittermaterial (Emittergebiet
4).
Ebenso besteht natürlich die Möglichkeit, jeweils ein Material komplementärer Leitfähigkeit zu verwenden.
Die beiden Multiemittertransistoren sind symmetrisch zu zwei Anschlußkontaktierungen UB und A'
angeordnet. Ihre Kollektoren sind durch eine Epitaxieschicht gleicher Leitfähigkeit verbunden. Hierin
eingelassen ist eine Schicht komplementärer Leitfähigkeit, welche die Anschlußkontaktierungyi' trägt.
Sie erstreckt sich nach beiden Seiten bis in die beiden Kollektorzonen nahe an die beiden Basiszonen.
Die Kontaktierung UB ist an der verbindenden Epitaxieschicht
angebracht. Je zwei Emitter der beiden Transistoren sind über eine metallische Verbindung
direkt gekoppelt, außerdem sind sie im Punktet noch metallisch mit der Kontaktierung A' verbunden.
Daneben bestehen noch metallische Verbindungen jeweils zwischen der Basis des einen Transistors und
dem Kollektor des anderen Transistors. An den nicht verbundenen Emittergebieten 4 sind über eine Kontaktierung
die außerhalb der dargestellten Schicht liegenden Emitterwiderstände RE und Zuführungen
zu Lese- bzw. Schreibverstärkern angeschlossen. Die Widerstände Rc der Schaltung nach F i g. 1 a sind
durch die hochohmige epitaktische Kollektorverbindungsschicht zwischen der Z7ß-Kontaktierung und
den Kollektoren der beiden Transistoren realisiert. Die beiden Dioden in den Kollektorzweigen sind
durch pn-Übergänge zwischen der eingelassenen Zone komplementärer Leitfähigkeit und den beiden Kollektoren
dargestellt. Die Widerstände R werden durch die Bahnwiderstände dieser Schicht zwischen der Kontaktierung^'
und den pn-Ubergängen gebildet. Vorteilhaft ist die dargestellte Anordnung auszugestalten,
wenn noch zwei Subkollektoren mit erhöhter Dotierung gegenüber dem Kollektormaterial in der Nähe
der Transistoren vorgesehen sind.
Bemerkenswert an der gezeigten Verwirklichung der Schaltung nach F i g. 1 a in monolithischer Schaltkreistechnik
ist, daß trotz der beiden zusätzlichen Widerständet und der beiden DiodenD die für
die Speicherzelle notwendige Fläche nicht vergrößert wird gegenüber einem denkbaren Lay-out der nach
dem Stand der Technik bekannten Zelle. Denn bei der üblichen Lay-out-Technik ■— nach der für jedes
Bauelement eine besondere Isolationswanne erforder-Vorwiderstand der beiden Kollektorzweige bei Anlegen
eines Adressierimpulses an die Basis eines parallelgeschalteten Transistors überbrückt wird, wobei
der Spannungsabfall über dem Vorwiderstand zusammenbricht und ein Impuls an den Kollektorwiderständen
erscheint. Im Ruhezustand wird der Zellenstrom durch den Widerstand Rv klein gehalten.
Im adressierten Zustand, wenn entweder der Widerstand Rv mit Hilfe eines Transistors kurzgeschlossene
stromführenden Kollektorwiderstand so groß, die parallelgeschaltete Diode leitend wird, während
die andere Diode praktisch unwirksam bleibt.
Falls die Emitter-Basis-Spannungen der Multiemittertransistoren
innerhalb des ganzen Trägers (Chips), der eine Vielzahl gleichartiger Speicherzellen
trägt, nur sehr wenig schwanken, kann man für viele Zellen einen gemeinsamen Widerstand Rv
lieh ist — hätte man eine merkliche und daher i0 wird oder das Potential im Punkte Q entsprechend
äußerst unerwünschte Vergrößerung der Fläche in angehoben wird, wird der Spannungsabfall über den
Kauf nehmen müssen. stromführenden Kollektorwiderstand so groß, daß
Ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt F i g. 2 a. Es ist eine Variante der Schaltung
nach Fig. la. Hier werden die beiden Kollektorwiderstände
angezapft; die Anzapfung wird über Entkopplungsdioden D an A' gelegt. Die Anzapfung
wird so vorgenommen, daß das Teilungsverhältnis der Kollektorwiderstände sehr groß wird, so daß der
stromführende Kreis im adressierten Zustand einen 2o verwenden,
wesentlich kleineren Kollektorwiderstand und damit Ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfindung
eine größere Leistung besitzt als im Ruhezustand. zeigt Fig. 5. Dieses Prinzip ähnelt dem in Fig. 2a
Die Verwirklichung dieses Schaltprinzips in mono- dargestellten. Als elektronischer Schalter ist hier je
lithischer Bauweise ist in Fig. 2b dargestellt. Im ein Transistor parallel zum Kollektorwiderstand vor-
Gegensatz zu F i g. 1 b ist die eingelassene mittlere 25 gesehen, dessen Basis mit einem Abgriff des Kollek-
Schicht komplementärer Leitfähigkeit zu zwei kleinen torwiderstandes bei Q1 und Q2 verbunden ist. Wird
Flächen zusammengezogen, die nahe an den beiden der Kollektorwiderstand vom Ruhestrom durch-
Transistorteilen liegen. Sie sind metallisch mit der flössen, so reicht der Spannungsabfall über dem
Kontaktierung A' verbunden. Wie in dem in Fi g. Ib unteren Teil des Kollektorwiderstandes nicht aus, um
gezeigten Ausführungsbeispiel der Erfindung bilden 30 den Transistor leitend zu steuern. Erst ein Anheben
die pn-Übergänge die Dioden. Der Bahnwiderstand der Spannung an den beiden Kollektorwiderständen,
in der Verbindungsschicht zwischen den beiden Flä- der den Stromfluß durch den Kollektorwiderstand
chen und den zugehörigen Kollektoren der Transi- vergrößert, bewirkt, daß der Spannungsabfall so groß
stören bilden die verkleinerten Widerstände, die im wird, daß der Transistor leitend wird und eine grö-Gegensatz
zu den Bahnwiderständen zwischen der 35 ßere Ausleseleistung erreicht werden kann. Im
Kontaktierung UB und den Kollektoren wirksam Gegensatz zu dem vorher erläuterten Prinzip ist hier
werden, wenn die Zelle adressiert wird. ein gemeinsamer Vorwiderstand nicht notwendig,
In den folgenden Ausführungsbeispielen bewirkt jedoch möglich.
der elektronische Schalter, daß im Gegensatz zu den Ein fünftes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist
beiden oben beschriebenen Ausführungsbeispielen 40 in F i g. 6 dargestellt. Hier wird der elektronische
nur derjenige Kollektorwiderstand überbrückt wird, Schalter durch einen dritten Multiemittertransistor,
dessen zugehöriger Transistor Strom führt. Der Vorteil dieses Schaltungsprinzips ist eine Einsparung von
Widerständen, welcher sich besonders auswirkt bei der Darstellung in integrierter Bauweise.
Ein anderes Ausführungsbeispiel ist in F i g. 3 dargestellt. Im Ruhezustand sind beide Dioden D
gesperrt. Der Strom wird in bekannter Weise durch die Kollektorwiderstände Rc bestimmt. Bei Anlegen
der parallel zu den beiden Kollektorwiderständen liegt, dargestellt. Er ist im Ruhezustand gesperrt und
wird bei Anlegen eines Adressierimpulses leitend, wodurch der stromführende Kollektorwiderstand
überbrückt wird. Gegenüber dem in F i g. 5 dargestellten Beispiel hat dieses Ausführungsbeispiel den
Vorteil, daß die beiden Kontaktierungen A und A', die dort verschieden hohe Adressierimpulse erfor-
eines Impulses bei der Adressierung der Zelle im 50 derten, hier miteinander verbunden werden können
Punkte A' wird das Potential so weit angehoben, daß und die Steuerleistung an der Kontaktierung ^4' her-
die Diode im Zweig des stromführenden Transistors leitend wird, weil dessen Kollektorpotential niedriger
liegt als das des gesperrten Transistors. Der Arbeitsstrom kann so auf einfache Weise allein durch den
Emitterwiderstand RE bestimmt werden.
Ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt F i g. 4. Der elektronische Schalter, der bewirkt, daß
die Leistung während der Adressierung heraufgesetzt wird durch Verringerung des Kollektorwiderstandes
des jeweiligen stromführenden Transistors und eventuell eines gemeinsamen Vorwiderstandes, ist in diesem
Beispiel dargestellt durch je eine parallel zum Kollektorwiderstand liegende Diode pro Transistor,
die den Kollektorwiderstand Rc des stromführenden
Transistors überbrückt, wenn ein Impuls an die Kollektorwiderstände gelegt wird. Dies ist in geeigneter
Weise dadurch zu erreichen, daß ein gemeinsamer abgesetzt wird. Auch hier kann in geeigneter Weise
ein Vorwiderstand gemeinsam vor den beiden Kollektorwiderständen vorgesehen werden.
Patentansprüche:
1. Monolithisch integrierte Speicherzelle mit kleiner Ruheleistung, mit zwei als direkt gekoppelter
bistabiler Multivibrator geschalteten Multiemittertransistoren, bei der die gespeicherte Information
jeweils über einen Emitter eingeschrieben bzw. ausgelesen werden kann, wenn an
die zweiten Emitter beider Transistoren ein Adressierimpuls gelegt wird, und bei der die
Leistung während der Adressierung durch Verringerung des Kollektorwiderstandes oder eines
gemeinsamen Vorwiderstandes mit Hilfe eines elektronischen Schalters heraufgesetzt wird, da-
Claims (6)
- 5 6bcnwf kern* crt an der gezeigten Verwirklichung Vorwiderstand der beiden Kollektorzweige bei An- jder Schalung ruch Fig. I« in monoltthiichcrSchalt- legen eines Adressierimpulses an die Basis eineskic.iicd.nik »*t, daü trou der beiden zusätzlichen paraüelgeschalteten Transistors überbrückt wird, wo-UidfrMiindcÄ und der beiden Dioden D die für bei der Spannungsabfall über dem Vorwiderstand jdie SjKwhtr/cllc no'.wcndiyc !"lache nicht vergrößert 5 zusammenbricht und ein Impuls an den Kollektor- jwird i.Ttri^iK-f emeus ilaU.roreri Ijy-out der nach widerständen erscheint. Im Ruhezustand wird der.'tiun Siarid der Technik bekannten Zelle. Denn bei Zellenstrom durch den Widersland Rv klein gehalten,der üblK-hen- La>-out-Tcchnik — nach der für jedes Im adressierten Zustand, wenn f.iweder der Wider-ISauf lemcni eine besondere lfcolationswanne erforder- stand Rv mit Hilfe eines Transistors kurzgeschlossenelieh Ut — haue man eine merkliche und daher 10 wird oder das Potential im Punkte β entsprechendäultem unerwünschte Vergrößerung der Fläche in angehoben wird, wird der Spannungsabfall über denKauf nehmen müssen. stromführenden Kollektorwiderstand so groß, daßEin weitere* Ausfühmrigsbeispiel der Erfindung die parailelgeschaltete Diode leitend wird, währendzeigt Fig.2a. Es ist eine Variante der Schaltung die andere Diode praktisch unwirksam, bleibt.cli H g. 1 a. Hier verd^n die beiden Kollektor- I5 Falls " die Emitter-Basis-Spannungen der Multiwiderstände angezapft; die Anzapfung wird über Ent- emittertransistoren innerhalb des ganzen Trägers kopplungsdiod™ D an A' gelegt. Die Anzapfung (Chips), der eine Vielzahl gleichartiger Speicherwird so vorgenommen, daß das Teilungsverhältnis zellen trägt, nur sehr wenig schwanken, kann man der Kollekiorwiderstände sehr groß wird, so daß der für viele Zellen einen gemeinsamen Widerstand Rv stromführende Kreis im adressierten Zustand einen 40 verwenden.wesentlich kleineren Kollektorwiderstand und damit Ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfindung eine größere Leistung besitzt als im Ruhezustand. zeigt Fig. 5. Dieses Prinzip ähnelt dem in Fig. 2a Die Verwirklichung dieses Schaltprinzips in mono- dargestellten. Als elektronischer Schalter ist hier je lithischer Bauweise ist in Fig.2b dargestel·'. Im ein Transistor parallel zum Kollektorwiderstand vorGegensatz zu Fig. Ib ist die eingelassene mittlere 15 gesehen, dessen Basis mit einem Abgriff des Kollek-Schicht komplementärer Leitfähigkeit zu zwei kleinen torwiderstandes bei Q1 und O2 verbunden ist. Wird j Flächen zusammengezogen, die nahe an den beiden der Kollektorwiderstand Vom Ruhestrom durch- j Transistorteilen liegen. Sie sind metallisch mit der flössen, so reicht der Spannungsabfall über dem Kontaktierung Λ' verbunden. Wie in dem in Fig. IK unteren Teil des Kollektorwiderstandes nicht aus, um gezeigten Ausführungsbeispiel der Erfindung bilden 30 den Transistor leitend zu steuern. Erst ein Anheben die pn-Übergänge die Dioden. Der Bahnwiderstand der Spannung an den beiden Kollektorwiderständen, in der Verbindungsschicht zwischen den beiden FIa- der den Stromfluß durch den Kollektorwiderstand chen und den zugehörigen Kollektoren der Transi- vergrößert, bewirkt, daß der Spannungsabfall sogroß stören bilden die verkleinerten Widerstände, die im wird, daß der Transistor leitend wird und eine grö-Gegensatz zu den Bahnwiderständen zwischen der 35 ßere Ausleseleistung erreicht werden kann. Im Kontaktierung UB und den Kollektoren wirksam Gegensatz zu dem vorher erläuterten Prinzip ist hier werden, wenn die Zelle adressiert wird. ein gemeinsamer Vorwiderstand nicht notwendig,In den folgenden Ausführungsbcispielen bewirkt jedoch möglich.der elektronische Schalter, daß im Gegensatz zu den Ein fünftes Ausführungsbeispiel der Erfindung istbeiden oben beschriebenen Ausführungsbcispielen 40 in Fig. 6 dargestellt. Hier wird der elektronischenur derjenige Kollektorwiderstand überbrückt wird, Schalter durch einen dritten Multiemittertransistor,dessen zugehöriger Trai.v.vtor Strom führt. Der Vor- der parallel zu den beiden Kollektorwiderständi-nteil dieses Schaltungsprinzips ist eine Einsparung von liegt, dargestellt. Er ist im Ruhezustand gesperrt undWiderständen, welcher sich besonder* auswirkt bei wird bei Anlegen eine* Adressierimpulses leitend,der Darstellung in integrierter Bauweise. «j wodurch der stromführende KollektorwiderstandEin andere* Ausführungsbeispiel iil in Fi/. 3 überbrückt wird. Gegenüber dem in Fig. 5 dargc-dargestcllt. Im Ruhezustand sind 'teide Dioden D stellten Beispiel hat dieses Auüführungsbeispi·^ dengesperrt. Der Strom wird in bekannt Weise durch Vorteil, daß die beiden Kontakticrungen A unJ A',die Kollcklorwidcrstandc R, bcstim nt. Bei Anlcpcn die dort verschieden hohe Adressierimpulsc crfor-cine* Irnpulw.·* bei dtr Adressierung der Zelle im je dcrtcn, hier miteinander verbunden werden könnenPunkte A' wird das Potential *o weit angehoben, daß und die Steucrlciitung an der Kontaktierung A' her-die Diode im Zweig des stromführenden Transistors »bgcsct/t wird. Auch hier kann in geeigneter Weiseleitend wird, weil dessen Kollcktorpotcntial niedriccr ein VorwidcrMand gemeinsam vor den beiden KoI-licpt als das des pcspcrrtcn Transistors. Der Arbcits- lcktorwiderständen vorgesehen werden. Mrom kann so auf einfache Weite »Hein durch den 5$Emitterwiderstand R, bestimmt werden. Patentansprüche:Ein dritte» AusführunpsbcispicJ der Ilrfindunp zeigt 1. Monolithisch integrierte Speicherzelle mit Fip. 4. Der elektronische Schalter, der hcwirkt. daß kleiner Ruhclcistung, mit zwei als direkt gekop-J .· Leistung wahrend der Adressierung ncraufpcsct/t peiler bistabilcr Multivibrator geschalteten Mulli-A.-rci durch Verringerung des Kollektor*idcmandcs *e cmittcrirsnsistorcn. bei der die gespeicherte In-Jcs jeweiligen stromführenden Transistor* und even- formation jeweils über einen Emitter eingelucll eines gemeinsamen Vnrwidcrstandci. ist in die- Khricben bzw. ausgelesen werden kann, wenn an scm Beispiel dargestellt 'durch je eine |>*ral!rl zum die zweiten Emitter beider Transistoren ein Kollektorwiderstand liegende Diode pro Transistor, Adrcssicrimpuk gelegt wirJ, und bei der die die den Kollcktnrwidcrsiand R1 des stromführenden *5 Leistung während der Adressierung durch VerTransistors überbrückt, wenn ein Impuls an die KoI- ringcrung des Kollcktorwidcrstandcs oder eines lektorwidtn.tiindc gclct't wird. Dies ist in geeigneter gemeinsamen Vorwidcrstandcs mit Hilfe eines Weise dadurch /u eircichen. daß ein gemeinsamer elektronischen Schalters heraufgesetzt wird, da-durch gekennzeichnet, daß die« Spei· cherzcllenscbaltung innerhalb einer l*c>thtioorwanne(l) realisiert ist, in der die Kollektor· gebiete der beiden MulticmittertramUtoren(ri, T2) mit den darin in bekannter Wri« eu*£r- | bildeten Basis-(3) und Eniiter^cbictrn (4) duich eine epitaktische Schicht (2) gleicher Leitfähigkeit verbunden sind, deren Bahnwiderbikndc zwischen einer mittig angeordneten Kontaktie· : jng (UB) zum Anlegen der Bctriebupannung ι· und den beiden Kollektoren ah relativ hoch· ohmige Kolltktorwidcrstände (Rc) dienen, und daß in diese Schicht (2) zwischen de » derart ausgebildeten Multiemittertranwstoren (71,72) mindestens eine Zone komplementärer Leitfähigkeit i$ (3*) eingelassen ist, die eine Kontaktierung (A' in F i g. 1 b) zum Anlegen de* Adrcisterimpulie» besitzt und jeweils einen pn-Ubergang zur Darstellung eines elektronischen Schalter* (U) fur die relativ nicderohmigen «uschaltbaren Kollek- μ torzweige bildet.
- 2. Speicherzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der elektronische Schalter aui je einer Diode (D) pro Multiemittertransistor besteht, die bei Anlegen eines Adressiertmpulse* «5 einen Teil des stromführenden Kollektorwiderstandes (Rc) überbrückt.
- 3. Speicherzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in die epitaktische Schicht (2) zwischen den darin in einem Abstand ausgebil- jo deten MuIiemittertran?;Moren(71,r?) zwei kleinere Zonen komplementär Leitfähigkeit (3' in F i % 2 b) to eingeladen sind, daß der Bahn- »idrrvund r»:sct:?n einer iokhcn Zore und dem dajrugchoiigen Traniiitorkollcktor wesentlich kleinrr Ut alt ein Koücktorwidcniand und der pn-l'tx-rpiinj! r*iuhrn einer «>lchcn Zone und der l-piuxicuinciii Diodenwirkung zeigt.
- 4. Speicherzelle nach Anspruch I1 dadurch gekennzeichnet, dall der elektronische Schalter aus je einer parallel zum Koüekio.-widerstand liegenden Diode (D) pro Muliiemiitertransistor besteht, die den KoücLtorwidcriiand des itromführcnden Traniistori überbrückt, wenn gleichzeitig mit dem AjdreuieriinpuU ein Spannungsimpuls an das gerneinidme Ende der beiden Kollektorwiderstände (R,) gelegt wird.
- 5. Speicherzeil· Jach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der elektronische Schalter aus einem Muhiemiitemamistor besteht, der parallel zu den beiden Kollektcrwiderständen (Rc) liegt und bei Anlegen eines Adressierimpulses an die Basis (A') den stromführenden Kollektorwiderstand (Rc) überbrückt.
- 6. Speicherzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der elektronische Schalter aus je rnem Transistor parallel zum Kollektorwidersta. !^ÄC) besteht, dessen Basis mit einem Abgriff i-es Kollektorw! Jerstandes (Rc) so vbunden ist, daß bei Anlegen eines Adressierimpulses an die Spanrrungsversorgungsklemme der Spannungsabfall am stromführenden Kollektorwiderstand (Rc) eine Anhebung der Basis bewirkt und damit den Transistor leitend steuert.H'. .zu 1 Blatt Zeichnungen009 552/314
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