DE2519323C3 - Statisches Drei-Transistoren-Speicherelement - Google Patents
Statisches Drei-Transistoren-SpeicherelementInfo
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- H03K3/02—Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
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- H03K3/356—Bistable circuits
- H03K3/3565—Bistables with hysteresis, e.g. Schmitt trigger
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- G11C11/41—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger
- G11C11/412—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger using field-effect transistors only
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein statisches Drei-Transistoren-Speicherelement nach dem Oberbegriff
des Patentanspruches I.
Ein Speicherelement dieser Art ist aus der US-PS 25 881 bekannt. Es ist mit bipolaren Transistoren
aufgebaut. Andererseits ist dem Aufsatz »ESFi-MOS-Speicher mit hoher Integrationsdichte« in der Zeitschrift
»Internationale Elektronische Rundschau« 1974, Bd. 28, Nr. 8, Seite 164 entnehmbar, daß zur Ansteuerung
eines in KompIementärkanal-ESFI-MOS-Technologie
realisierten, statischen Speicherelements ein Feldeffekttransistor dient, der mit seine Source-Drain-Strecke
zwischen eine Bitleitung und den Ansteuereingang des Speicherelements geschaltet ist und über seine
Gateelektrode mit einer Wortleitung verbunden ist
Statische Speicherelemente haben den Vorteil, daß sie keine Taktspannungen benötigen. Da statische
Speicherelemente jedoch einen verhältnismäßig großen Flächenbedarf aufweisen, sind sie für eine Großintegration,
d. h. für Speicher mit einer Kapazität von mehr als 1024 Bits, weitgehend ungeeignet
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht demgemäß darin, ein statisches Drei-Transistoren-Speicherelement
anzugeben, das gegenüber den bekannten statischen Speicherelementen einen besonders
geringen Platzbedarf aufweist
Diese Aufgabe wird durch ein wie eingangs bereits erwähntes Drei-Transistoren-Speicherelement gelöst,
das durch die in dem Kennzeichen des Patentanspruches 1 aufgeführten Merkmale gekennzeichnet ist
Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, daß das erfindungsgemäße statische Speicherelement in einer
Aluminium-Gate-Technologie realisierbar ist
Ein weiterer wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, daß bei der Realisierung des Speicherelementes
nur ein Kontaktloch benötigt wird und daß zwei oder drei Transistoren unter einem gemeinsamen Gate
angeordnet werden können.
Im folgenden wird die Erfindung an Hand der Figuren und der Beschreibung näher erläutert.
Fig. 1 zeigt das Schaltbild eines erfindungsgemäßen
Drei-Transistoren-Speichereiementes;
F i g. 2 zeigt eine Schaltungsvariante zu der in der
Fig. 1 angegebenen Schaltung;
F i g. 3 zeigt das Layout der Schaltung nach F i g. 2.
Das in Fig. 1 dargestellte erfindungsgemäße statische Speicherelement besteht aus den drei Transistoren
1,2 und 5 und aus den Lastelementen 3 und 4. Dabei sind das Lastelement 4, der Transistor 2 und das Lastelement
3 in der aus der Fig. 1 ersichtlichen Weise in Reihe geschaltet. Das Lastelement 4 ist einerseits mit dem
ersten Versorgungsspannungsanschluß 11 und andererseits mit dem Knoten 23 des Speicherelementes
verbunden. Ebenfalls mit dem Knoten 23 verbunden ist der Source- bzw. Drainanschluß des Transistors 2. Der
Drain- bzw. Sourceanschluß dieses Transistors 2 ist in dem Knoten 22 mit dem einen Anschluß des
Lrstelementes 3 verbunden. Der andere Anschluß dieses Lastelementes 3 ist mit dem zweiten Versorgungsspannungsanschluß
31 verbunden, der vorzugsweise an Masse liegt. Ebenfalls mit dem Knoten 23 ist der Gateanschluß des Transistors 1 verbunden. Der
Source- bzw. Drainanschluß dieses Transistors ist mit dem Knoten 22 und der Drain- b7w. Sourceanschluß mit
dem ersten Versorgungsspannungsanschluß 11 verbunden· Der Knoten 22 steht über den Adreßtransistor 5
mit der Bitleitung 52 in Verbindung. Der Adreßtransistor 5 wird über die Wortleitung 51, die zu diesem
Zweck mit seinem Gateanschluß verbunden ist, angesteuert.
Durch die erfindungsgemäße Verschaltung der Transistoren 1 und 2 und der Lastelemente 3 und 4
ergibt sich eine bistabile Anordnung, deren Funktion im folgenden beschrieben werden soll. Dabei wird ange-
nommen, daß es sich bei den Transistoren 1 und 5 um n-Kanal-MOS-Transistoren vom Anreicherungstyp
handelt. Eine Realisierug mit p-Kanal-MOS-Transistoren
ist jedoch ebenfalls möglich, wobei dann lediglich die Potentiale der entgegengesetzten Polarität angelegt
werden. Der Transistor 2 ist dabei ein n-Kanal-MOS-Transistor
vom Verarmungstyp. Die Lastelemente 3 und 4 seien zunächst durch MOS-Transistoren vom Verarmungstyp
gebadet Dabei ist der Gateanschluß des Transistors 4 mit dem Knotenpunkt 23 und der
Gateanschluß des Transistors 3 mit dem Anschluß 31 verbunden. Der GateanschluQ 21 des Transistors 2 ist
ebenso wie der Gateanschluß des Adreßtransistors 5 mit der Wortleitung 51 verbunden.
Die Schaltung nach Fig. 1 kann zwei statische Zustände annehmen. Liegt einer dieser Zustände vor, so
sperrt der Transistor 1 und der Transistor 2 leitet. Dies bedeutet, daß der Strom i\ = 0 ist. Liegt der andere
Zustand vor, so sperrt der Transistor 2 und der Transistor 1 leitet Dies bedeutet, daß der Strom /2 = 0
ist in diesem FaJI (fc = 0) wird der Knoten 23 auf das
Versorgungsspannungspotential t/oogezogeii. Dadurch
wird der Transistor 1 geöffnet und der über ihn fließende Strom /Ί erzeugt an dem Punkt 22 ein Potential
das den Transistor 2 sperrt, sofern Up größer ist als die
an dem Gateanschluß 21 des Transistors 2 anliegende, um die Einsatzspannung des Transistors 2 verringerte
Spannung.
In dem anderen statischen Zustand (i\ = 0) sperrt der
Transistor 1. Hierzu muß die Spannung Uas zwischen dem Sourceanschluß und dem Gateanschluß des
Transistors 1 den Wert
UcS=(Un- Up)
< U1 "
haben. Dabei wird die Spannung Ucs aus dem Verhältnis der Widerstände und der Versorgungsspannung Udo
nach der Formel
40
Uas = Un- Ur = Un
R4 +
+ r
bestimmt. In dieser Formel bedeuten rden Widerstand
des leitenden Transistors 2, A3 den Widerstand des Lastelements 3, Ra den Widerstand des Lastelementes 4
und i/v das Potential an dem Knoten 23. Am Punkt 22
herrscht dabei ein Potential von Up= k ■ Ri.
Mit Hilfe des Adreßtransistors 5 kann das Speicherelement in den einen oder in den anderen statischen
Zustand geschaltet werden. Dies geschieht dadurch, daß der Transistor 5 über die Wortleitung 51 leitend
geschaltet wird, wodurch die in Form von einer unterschiedlichen Spannung an der Bitieitung 52
anliegende digitale Information an den Knoten 72 gelangt. Wird der Knoten 22 dabei an ein Potential von
Uod gebrachi, so nimmt das Element den statischen
Zustand /2 = 0 an. Wird der Knoten 22 dagegen an Massepotential gelegt, so stellt sich der statische
Zustand /1 = 0 ein. Wird der Adreßtransistor 5 über die Wortleitung 51 anschließend nicht leitend geschaltet, so
bleibt der in das Element eingeschriebene Zustand erhalten.
Beim Auslesen der Information bzw. des Zustandes aus dem Element, wird der Adreßtransistor 5 über die
Wortleitung 51 leitend geschaltet Dabei gelangt das an dem Knotenpunkt 22 anliegende Potential an die
Bitleitung 52, wo es mit Hilfe eines an sich bekannten
Beweries ausgelesen werden kann. Bewerterschaltungen zum Rewerten der an dem Knotenpunkt 22
anliegenden Potentiale sind beispielsweise in der Veröffentlichung »Storage Array and Sense Refersh
Circuit for Single Transistor Memory Cells«, Dr. S t e i η, S i h 1 i η g and D ο e r i η g, IEEE Journal of
Solid State Circuits, Okt. 1972 beschrieben.
In Abweichung von der in F i g. 1 dargestellten Schaltung können die Lastelemente 3, 4 auch als
Widerstände realisiert sein. Andr txseits kann der Transistor 2 auch vorn Anreicherung-iyp sein. Die
Schaltungsvariante der Fig.2 unterscheidet sich von der Schaltung nach der F i g. 1 dadurch, daß auch das
Gate des Transistors 3 mit der Wortleitung 51 verbunden ist
Die Schaltungsvariante nach F i g. 2 hat den Vorteil, daß der Entwurf eine noch weitergehende gemeinsame
Gateverbindung aufweist und damit die Integration der Schaltung noch weiter vereinfacht werden kann.
Die Funktionsweise der Schaltung nach F i g. 2 entspricht der Funktionsweise, wie sie weiter oben
bereits im Zusammenhang mit F i g. 1 beschrieben wurde.
In F i g. 3 ist das Layout der in F i g. 4 dargestellten Schaltungsanordnung in einer Aluminium-Gate-Technologie
dargestellt Einzelheiten der Fig.3, die bereits im Zusammenhang mit den anderen Figuren beschrieben
wurden, tragen dabei die entsprechenden Eszugszeichen. Die in dem Halbleitermaterial angeordneten
Diffusionsbahnen bzw. Diffusionsgebiete sind durch schraffierte Fläche angedeutet. Nicht schraffierte, dick
umrandete Flächen stellen die darüber angeordneten Aluminium-Leiterbahnen bzw. -Bereiche dar. Die
zwischen dem Aluminium und dem Hableiterkörper angeordnete elektrisch isolierende Schicht ist der
Einfachheit halber nicht dargestellt. Gepunktete Bereiche stellen die Kontaktlöcher zwischen einer Aluminium-Leiterbahn
bzw. einem Aluminium-Bereich und einem Diffusionsgebiet in dem Halbleiterkörper dar.
Transistoren vom Verarmungstyp sind durch Flächen, die mit Kreuzchen versehen sind, dargestellt. Transistoren
vom Anreicherungsfyp sind durch Flächen, die mit kleine·;! Kreisen versehen sind, dargestellt.
Bei der Verwendung von p-Kanal-Transisioren sind
die schraffierten Sereiche p-dotiert und die nicht schraffierten Bereiche des Halbleitersubstrates 8 n-dotiert.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Statisches Transistoren-Speicherelement, bei dem ein erstes Lastelement und ein erster Transistor
zueinander in Reihe geschaltet sind, bei dem der eine Anschluß des ersten Lastelementes mit einem ersten
Versorgungsspannungsanschluß verbunden ist, bei dem der andere Anschluß des ersten Lastelementes
mit einem ersten Knoten verbunden ist, bei dem ein ι ο erster Anschluß des ersten Tranistors mit diesem
ersten Knoten und ein zweiter Anschluß des ersten Tranisstors mit einem zweiten Knoten verbunden
ist, bei dem ein erster Anschluß eines zweiten Transistors mit dem ersten Versorgungsspannungsanschluß
verbunden ist, bei dem ein zweiter Anschluß des zweiten Transistors mit dem zweiten
Knoten verbunden ist, und bei dem der Steueranschluß des zweiten Transistors mit dem ersten
Knoten verbunden ist, dadurch gekenn-20 zeichnet, daß das Speicherelement in einer
MOS-Feldeffekttechnologie aufgebaut ist, daß der
zweite Knoten (22) über einen Adreß-Transistor (5) mit einer Bitleitung (52) verbunden ist, daß der
Gateanschluß des Adreß-Transistors (5) mit einer Wortleitung (51) verbunden :st, daß der zweite
Knoten (22) über ein zweites Lastelement (3) mit einem zweiten Versorgungsspannungsanschluß (31)
verbunden ist und daß der erste Transistor (2) und der Adreß-Transistor (5) eine gemeinsame Gate- jo
elektrode auf »'eisen.
2. Speicherelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als erstes Lastelement (4) und
als zweites Lastelement (3} Widerstände verwendet sind und daß der erste Transistor (2), der zweite y>
Transistor (1) und der Adreß-Transistor (5) vom Anreicherungstyp sind.
3. Speicherelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Lastelement (4) und ■
das zweite Lastelement (3) Feldeffekttransistoren vom Verarmungstyp sind, daß die Gateanschlüsse
dieser Feldeffekttransistoren jeweils mit den Drainbzw. Sourceanschlüssen verbunden sind und daß der
zweite Transistor (1) und der Adreß-Tranisstor (5) vom Anreicherungstyp und der erste Transistor (2) 4>
vom Verarmungstyp sind.
4. Speicherelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Transistor (2), der
Adreß-Transistor (5) und das zweite Lastelement (3) eine gemeinsame Gateelektrode aufweisen, daß das ίο
erste Lastelemcnt (4) und das zweite Lastelement (3) Feldeffekttransistoren vom Verarmungstyp sind,
daß der Gateanschluß des das erste Lastelemenl: (4) bildenden Feldeffekttransistors mit seinem Drain-
bzw. Sourceanschluß verbunden ist und daß der >> zweite Transistor (1) und der Adreß-Transistor (5)
vom Anreicherungstyp und der erste Transistor (2) vom Verarmungstyp sind.
Priority Applications (7)
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---|---|---|---|
DE2519323A DE2519323C3 (de) | 1975-04-30 | 1975-04-30 | Statisches Drei-Transistoren-Speicherelement |
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JP51049787A JPS5846796B2 (ja) | 1975-04-30 | 1976-04-30 | 3トランジスタスタテイツク記憶素子 |
GB17621/76A GB1550471A (en) | 1975-04-30 | 1976-04-30 | Static binary data storage elements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2519323A DE2519323C3 (de) | 1975-04-30 | 1975-04-30 | Statisches Drei-Transistoren-Speicherelement |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2519323A1 DE2519323A1 (de) | 1976-11-04 |
DE2519323B2 DE2519323B2 (de) | 1978-11-02 |
DE2519323C3 true DE2519323C3 (de) | 1979-07-12 |
Family
ID=5945460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2519323A Expired DE2519323C3 (de) | 1975-04-30 | 1975-04-30 | Statisches Drei-Transistoren-Speicherelement |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4000427A (de) |
JP (1) | JPS5846796B2 (de) |
DE (1) | DE2519323C3 (de) |
FR (1) | FR2309952A1 (de) |
GB (1) | GB1550471A (de) |
IT (1) | IT1060025B (de) |
NL (1) | NL7604639A (de) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
FR2309952B1 (de) | 1979-04-13 |
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JPS51134035A (en) | 1976-11-20 |
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Legal Events
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8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |