DE1521238C - Vorrichtung zum Herstellen von Über zügen auf insbesondere zylindrischen Gegen standen durch Vakuumaufdampfen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Her- · stellen von Überzügen auf insbesondere zylindrischen Gegenständen.

Auf unterschiedlichen technischen Gebieten werden Überzüge bzw. Beschichtungen im Vakuum aufgedampft, wodurch man Überzüge von 1 μ oder dünner, aber auch von über 2 μ erhält. Als Anwendungsgebiete seien außer Objektiven und durchsichtigen. Spiegeln Papier- oder Plastikfolien, die z. B. zur Herstellung von Kondensatoren dienen, genannt. . .

Es ist bekannt, zur Herstellung solcher Überzüge durch Aufdampfen auf zylindrischen Gegenständen diese senkrecht übereinander anzuordnen und ihre äußeren Oberflächen von einem Metallrohr aus zu bedampfen (deutsche Patentschrift 897 504). Auch hat man schon zylindrische Gegenstände auf Stangen angeordnet und sie von mehreren in der Hauptdrehachse liegenden Dampfquellen horizontal bedampft (»Vakuum-Technik«, 1959, H". 1, S. 8). Das Austretenlassen von Dampfstrahlen in waagerechter Richtung (deutsche Patentschrift 976 068) ist bei einem Verfahren zum laufenden Überziehen band- oder drahtähnlicher organischer Stoffe bekannt.

Es ist schwierig, bei der Herstellung von Überzügen auf zylindrischen Körpern eine gleichmäßige Bedampfung zu erreichen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gleichmäßigere Beschichtung von zylindrischen Gegenständen möglich zu machen und den Vorgang des Bedampfens dieser Gegenstände mit einem Überzug zu vereinfachen.

Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Vorrichtung der eingangs angegebenen Art gemäß der Erfindung durch ein oben offenes senkrecht angeordnetes hohlzylindrisches. Verdampfergefäß gekennzeichnet, an dessen Boden das Schmelzbad untergebracht ist und dessen Wandung eine Anzahl von Bohrungen für den waagerechten Austritt des Dampfes aus dem Überzugsmaterial aufweist, und durch um das Verdampfergefäß herum angeordnete, auf Achsen drehbar gelagerte Träger zur Aufnahme der zu bedampfenden Gegenstände.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung gemäß der .Erfindung schematisch dargestellt.

Es zeigt .

F i g. 1 einen waagerechten Schnitt und Fig. 2 einen Längsschnitt durch die Vorrichtung.

Das Verdampfungsgefäß 1 ist senkrecht angeordnet und hat oben eine Eintrittsöffnung 2 für die mit einem Überzug zu versehenden Gegenstände. Das Verdampfungsgefäß 1 ist so ausgebildet, daß der Dampf in waagerechten Richtungen austritt. Zu diesem Zweck können z. B. mehrere kleine Löcher oder Bohrungen von 1 bis 2 mm Durchmesser in der Wand des Verdampfungsgefäßes 1 angebracht sein. Das Schmelzbad steht auf dem Boden des Verdampfungsgefäßes 1 und weist eine geeignete Heizeinrichtung auf. Um zu verhindern, daß sich der Dampf an der Innenfläche der Wand des Verdampfergefäßes 1 niederschlägt, wird diese Wand auf einer entsprechenden Temperatur gehalten, wozu zweckentsprechend ausgebildete Heizeinrichtungen nahe der inneren Wandung oder der äußeren Wandung des Verdampfungsgefäßes 1 vorgesehen sei» können, z. B. eine in Längsrichtung des Verdaitipiungsgefüßes liegende Heizwicklung. Die mit einem Überzug zu versehenden Zylinder 5 werden auf Träger 3 gestellt, die um das Verdampfergefäß 1 angeordnet sind und mittels geeigneter Einrichtungen in Drehung versetzt werden können. Auf einem drehbaren Träger 3 stehen fünf Zylinder 5 (vgl. bei 4 in F i g. 1 und 2), zwischen denen sich Ringscheiben 6 befinden und die mittels des Flansches 7 auf dem Träger 3 befestigt sind. Die Federglieder 8 an der. Außenseite des Trägers 3 dienen zur Halterung der Zylinder 5 von innen. 9 sind die Achsen der Träger3, und 10 ist die Antriebseinrichtung. Mittels einer nicht dargestellten Einrichtung werden die Träger 3 und die auf ihnen befindlichen Zylinder 5 auf konstanter Temperatur gehalten, z. B. mittels einer Flüssigkeit-Umlauf-Heizung oder einer elektrischen Heizung. 11 ist der Auslaß für Heizwasser. Die Temperaturen der Träger3 und der Zylinder5 werden, elektrisch gemessen, und die Meßströme werden über den Kontaktring 12 abgeleitet. Die unter sich gleich ausgebildeten Träger 3 und das Schmelzbad sind von dem Behälteroberteil 15 umgeben, der auf dem plattenartigen Behälterunterteil 16 befestigt ist. Über das Rohr 13, das ζ. B. mit einer Vakuumpumpe od. dgl. verbunden ist, kann Luft aus dem Behälter 15, 16 gepumpt werden.

Zum Einsetzen oder zum Herausnehmen der mit einem Überzug zu versehenden Gegenstände wird der Behälteroberteil 15 mittels Aufhänge-Stangen 14 und einer darüber angeordneten, nicht dargestellten Hebeeinrichtung angehoben. Die Zylinder 5 läßt man auf eine geeignete Aufnahme-Einrichtung fallen, die rings um die Träger 3 angebracht wird. Dann werden die Zylinder oder andere mit einem Überzug versehene Gegenstände an den zwischen ihnen liegenden Ringscheiben 6 ergriffen und nach oben weggenommen. Die mit einem Überzug versehenen Flächen der Zylinder od. dgl. werden also nicht berührt. Die fertigen Gegenstände können gleichzeitig oder nacheinander weggenommen werden. Die mit einem Überzug zu versehenden Gegenstände werden, ehe sie auf die Träger gesetzt werden, auf einer Einrichtung befestigt, die zum Abnehmen der fertigen Gegenstände dient, und dann von oben herab gleitend auf dem Träger 3 angebracht, indem die Gegenstände an den Ringscheiben festgehalten werden. Die mit einem Überzug zu versehenden Oberflächen der Gegenstände kommen daher mit der Halte-Einrichtung nicht in Berührung. Staub, z. B^ Textilstaub od. dgl., der an den mit einem Überzug zu versehenden Gegenständen haften kann, nachdem diese Gegenstände auf den Trägern 3 angebracht sind, kann mittels eines Druckluftstrahles aus einer zu diesem Zweck vorgesehenen Einrichtung entfernt werden, die an der zum Abnehmen und Anbringen der Gegenstände dienenden (nicht dargestellten) Hilfseinrichtung angebracht sein kann. Beim Anblasen der Gegenstände wird die Luftdüse in senkrechter Richtung geführt, während die Gegenstände sich auf dem Träger 3 drehen.

Die erwähnte Hilfseinrichtung besteht aus einem Teil zur Anbringung und zur Reinigung der Gegenstände und einem Teil zum Entfernen der Gegenstände aus der Vorrichtung.

Mit einer Vorrichtung, die im wesentlichen so aufgebaut ist, wie die zeichnerisch dargestellte, wurde z. B. wie folgt gearbeitet:

Sechzig Aluminium-Zylinder mit einem Außendurchmesser von 20 cm und 30 cm lang wurden auf den Trägern angebracht, etwa 3 kg Selen wurden in

das nicht dargestellte Schmelzbad durch die Einfüllöffnung 2 eingefüllt, die dann geschlossen wurde. Der Luftdruck im Verdampfungsgefäß wurde dann auf etwa 5 · 10 ~⁵ mm Quecksilbersäule vermindert und das Selen bei etwa 295° C in Dampf form übergeführt, während die aus den Zylindern gebildeten Säulen sich drehten. So wurden 60 Zylinder mit einem Selenüberzug von gleichmäßiger Stärke im Vakuum zu gleicher Zeit versehen.

Mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung können Überzüge nicht nur auf zylindrischen Gegenständen angebracht werden, sondern auch auf Gegenständen, die andere Formen haben, z. B. eben begrenzt sind, wie z. B. Platten oder Bleche, quaderförmige Teile od. dgl.

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   Vorrichtung zum Herstellen von Überzügen auf insbesondere zylindrischen Gegenständen, die auf einem drehbaren Träger senkrecht übereinander angeordnet sind, durch Vakuumaufdampfen, gekennzeichnet durch ein oben offenes senkrecht angeordnetes hohlzylindrisches Verdampfergefäß (1), an dessen Boden das Schmelzbad untergebracht ist und dessen Wandung eine Anzahl von Bohrungen für den waagerechten Austritt des Dampfes aus dem Überzugsmaterial aufweist, sowie durch um das Verdampfergefäß (1) herum angeordnete, auf Achsen (9) drehbar gelagerte Träger (3) zur Aufnahme der zu bedampfenden Gegenstände (5).

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen