DE1521238B2 - Vorrichtung zum herstellen von ueberzuegen auf insbesondere zylindrischen gegenstaenden durch vakuumaufdampfen - Google Patents

Vorrichtung zum herstellen von ueberzuegen auf insbesondere zylindrischen gegenstaenden durch vakuumaufdampfen

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DE1521238B2
DE1521238B2 DE19641521238 DE1521238A DE1521238B2 DE 1521238 B2 DE1521238 B2 DE 1521238B2 DE 19641521238 DE19641521238 DE 19641521238 DE 1521238 A DE1521238 A DE 1521238A DE 1521238 B2 DE1521238 B2 DE 1521238B2
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Katsuo Odawara Makino (Japan) C23d5 04
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Fuji Shashin Film K K , Kanagawa (Japan)
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • C23C14/505Substrate holders for rotation of the substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Description

Auf unterschiedlichen technischen Gebieten werden Überzüge bzw. Beschichtungen im Vakuum aufgedampft, wodurch man Überzüge von 1 μ oder dünner, aber auch von über 2 μ erhält. Als Anwendungsgebiete seien außer Objektiven und durchsichtigen Spiegeln Papier- oder Plastikfolien, die
elektrisch gemessen, und die Meßströme werden über den Kontaktring 12 abgeleitet. Die unter sich gleich ausgebildeten Träger 3 und das Schmelzbad sind von
das Rohr 13, das z. B. mit einer Vakuumpumpe od. dgl. verbunden ist, kann Luft aus dem Behälter 15, 16 gepumpt werden.
Zum Einsetzen oder zum Herausnehmen der mit einem Überzug zu versehenden Gegenstände wird der Behälteroberteil 15 mittels Aufhänge-Stangen 14 und einer darüber angeordneten, nicht dargestellten Hebeeinrichtung angehoben. Die Zylinder 5 läßt man
z. B. zur Herstellung von Kondensatoren dienen, io ger 3, und 10 ist die Antriebseinrichtung. Mittels genannt. einer nicht dargestellten Einrichtung werden die Trä-
Es ist bekannt, zur Herstellung solcher, Überzüge ger 3 und die auf ihnen befindlichen Zylinder 5 auf durch Aufdampfen auf zylindrischen Gegenständen konstanter Temperatur gehalten, z. B. mittels einer diese senkrecht übereinander anzuordnen und ihre Flüssigkeit-Umlauf-Heizung oder einer elektrischen äußeren Oberflächen von einem Metallrohr aus zu 15 Heizung. 11 ist der Auslaß für Heizwasser. Die Tembedampfen (deutsche Patentschrift 897 504). Auch peraturen der Träger 3 und der Zylinder 5 werden hat man schon zylindrische Gegenstände auf Stangen
angeordnet und sie von mehreren in der Hauptdrehachse liegenden Dampfquellen horizontal bedampft
(»Vakuum-Technik«, 1959, H...1, S. 8). Das Aus- 20 dem Behälteroberteil 15 umgeben, der auf dem tretenlassen von Dampfstrahlen in waagerechter plattenartigen Behälterunterteil 16 befestigt ist. Über Richtung (deutsche Patentschrift 976 068) ist bei
einem Verfahren zum laufenden Überziehen band-
oder drahtähnlicher organischer Stoffe bekannt.
Es ist schwierig, bei der Herstellung von Überzügen auf zylindrischen Körpern eine gleichmäßige Bedampfung zu erreichen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gleichmäßigere Beschichtung von zylindrischen Gegenständen möglich zu machen
und den Vorgang des Bedampfens dieser Gegen- 30 auf eine geeignete Aufnahme-Einrichtung fallen, die stände mit einem Überzug zu vereinfachen. rings um die Träger 3 angebracht wird. Dann werden
Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Vorrichtung die Zylinder oder andere mit einem Überzug verder eingangs angegebenen Art gemäß der Erfindung sehene Gegenstände an den zwischen ihnen liegenden durch ein oben offenes senkrecht angeordnetes hohl- Ringscheiben 6 ergriffen und nach oben weggenomzylindrisches Verdampfergefäß gekennzeichnet, an 35 men. Die mit einem Überzug versehenen Flächen dessen Boden das Schmelzbad untergebracht ist und der Zylinder od. dgl. werden also nicht berührt. Die dessen Wandung eine Anzahl von Bohrungen für fertigen Gegenstände können gleichzeitig oder nachden waagerechten Austritt des Dampfes aus dem einander weggenommen werden. Die mit einem Überzugsmaterial aufweist, und durch um das Ver- Überzug zu versehenden Gegenstände werden, ehe dampfergefäß herum angeordnete, auf Achsen dreh- 40 sie auf die Träger gesetzt werden, auf einer Einrichbar gelagerte Träger zur Aufnahme der zu bedamp- tung befestigt, die zum Abnehmen der fertigen fenden Gegenstände.
In der Zeichnung ist- ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung gemäß der Erfindung schematisch dargestellt.
Es zeigt ;Λ ;;
F i g. 1 einen waagerechten Schnitt und F i g. 2 einen Längsschnitt durch die Vorrichtung.
Das Verdampfungsgefäß 1 ist senkrecht angeordnet und hat oben eine Eintrittsöffnung 2 für die mit 50 Gegenstände auf den Trägern 3 angebracht sind, einem Überzug zu versehenden Gegenstände. Das kann mittels eines Druckluftstrahles aus einer zu Verdampfungsgefäß 1 ist so ausgebildet, daß der diesem Zweck vorgesehenen Einrichtung entfernt Dampf in waagerechten Richtungen austritt. Zu die- werden, die an der zum Abnehmen und Anbringen sem Zweck können" z. B. mehrere kleine Löcher der Gegenstände dienenden (nicht dargestellten) oder Bohrungen von 1 bis 2 mm Durchmesser in 55 Hilfseinrichtung angebracht sein kann. Beim Ander Wand des Verdampfungsgefäßes 1 angebracht blasen der Gegenstände wird die Luftdüse in' senksein. Das Schmelzbad steht auf dem Boden des Ver- rechter Richtung geführt, während die Gegenstände dampfungsgefäßes 1 und weist eine geeignete Heiz- sich auf dem Träger 3 drehen. . einrichtung auf. Um zu verhindern, daß sich der Die erwähnte Hilfseinrichtung besteht aus einem
Dampf an der Innenfläche der Wand des Ver- 60 Teil zur Anbringung und zur Reinigung der Gegendampfergefäßes 1 niederschlägt, wird diese Wand stände und einem Teil zum Entfernen der Gegenauf einer entsprechenden Temperatur gehalten, wozu stände aus der Vorrichtung.
zweckentsprechend ausgebildete Heizeinrichtungen Mit einer Vorrichtung, die im wesentlichen so
nahe der inneren Wandung oder der äußeren Wan- aufgebaut ist, wie die zeichnerisch dargestellte, dung des Verdampfungsgefäßes 1 vorgesehen sein 65 wurde z. B. wie folgt gearbeitet: können, z. B. eine in Längsrichtung des Verdamp- Sechzig Aluminium-Zylinder mit einem Außen-
fungsgefäßes liegende Heizwicklung. Die mit einem durchmesser von 20 cm und 30 cm lang wurden auf Überzug zu versehenden Zylinder 5 werden auf den Trägern angebracht, etwa 3 kg Selen wurden in
Gegenstände dient, und dann von oben herab gleitend auf dem Träger 3 angebracht, indem die Gegenstände an den Ringscheiben festgehalten werden. Die mit einem Überzug zu versehenden Oberflächen der Gegenstände kommen daher mit der Halte-Einrichtung nicht in Berührung. Staub, z. B. Textilstaub od. dgl., der an den mit einem Überzug zu versehenden Gegenständen haften kann, nachdem diese
das nicht dargestellte Schmelzbad durch die Einfüllöffnung 2 eingefüllt, die dann geschlossen wurde. Der Luftdruck im Verdampfungsgefäß wurde dann auf etwa 5 · 10~5 mm Quecksilbersäule vermindert und das Selen bei etwa 295° C in Dampfform übergeführt, während die aus den Zylindern gebildeten Säulen sich drehten. So wurden 60 Zylinder mit einem Selenüberzug von gleichmäßiger Stärke im Vakuum zu gleicher Zeit versehen.
Mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung können xo Überzüge nicht nur auf zylindrischen Gegenständen angebracht werden, sondern auch auf Gegenständen, die andere Formen haben, z.B. eben begrenzt sind, wie z. B. Platten oder Bleche, quaderförmige Teile od. dgl.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Vorrichtung zum Herstellen von Überzügen auf insbesondere zylindrischen Gegenständen, die auf einem drehbaren Träger senkrecht übereinander angeordnet sind, durch Vakuumaufdampfen, gekennzeichnet durch ein oben offenes senkrecht angeordnetes hohlzylindrisches Verdampfergefäß (1), an dessen Boden das Schmelzbad untergebracht ist und dessen Wandung eine Anzahl von Bohrungen für den waagerechten Austritt des Dampfes aus dem Überzugsmaterial aufweist, sowie durch um das Verdampfergefäß (1) herum angeordnete, auf Achsen (9) drehbar gelagerte Träger (3) zur Aufnahme der zu bedampfenden Gegenstände (5).
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DE19641521238 1963-12-02 1964-11-28 Vorrichtung zum herstellen von ueberzuegen auf insbesondere zylindrischen gegenstaenden durch vakuumaufdampfen Withdrawn DE1521238B2 (de)

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DE1521238A1 DE1521238A1 (de) 1969-07-24
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US (1) US3417733A (de)
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GB (1) GB1081324A (de)

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GB1081324A (en) 1967-08-31
US3417733A (en) 1968-12-24
DE1521238A1 (de) 1969-07-24

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