DE1521238B2 - Vorrichtung zum herstellen von ueberzuegen auf insbesondere zylindrischen gegenstaenden durch vakuumaufdampfen - Google Patents
Vorrichtung zum herstellen von ueberzuegen auf insbesondere zylindrischen gegenstaenden durch vakuumaufdampfenInfo
- Publication number
- DE1521238B2 DE1521238B2 DE19641521238 DE1521238A DE1521238B2 DE 1521238 B2 DE1521238 B2 DE 1521238B2 DE 19641521238 DE19641521238 DE 19641521238 DE 1521238 A DE1521238 A DE 1521238A DE 1521238 B2 DE1521238 B2 DE 1521238B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- objects
- vessel
- vacuum evaporation
- producing
- coats
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Description
Auf unterschiedlichen technischen Gebieten werden Überzüge bzw. Beschichtungen im Vakuum aufgedampft,
wodurch man Überzüge von 1 μ oder dünner, aber auch von über 2 μ erhält. Als Anwendungsgebiete
seien außer Objektiven und durchsichtigen Spiegeln Papier- oder Plastikfolien, die
elektrisch gemessen, und die Meßströme werden über den Kontaktring 12 abgeleitet. Die unter sich gleich
ausgebildeten Träger 3 und das Schmelzbad sind von
das Rohr 13, das z. B. mit einer Vakuumpumpe od. dgl. verbunden ist, kann Luft aus dem Behälter
15, 16 gepumpt werden.
Zum Einsetzen oder zum Herausnehmen der mit einem Überzug zu versehenden Gegenstände wird
der Behälteroberteil 15 mittels Aufhänge-Stangen 14 und einer darüber angeordneten, nicht dargestellten
Hebeeinrichtung angehoben. Die Zylinder 5 läßt man
z. B. zur Herstellung von Kondensatoren dienen, io ger 3, und 10 ist die Antriebseinrichtung. Mittels
genannt. einer nicht dargestellten Einrichtung werden die Trä-
Es ist bekannt, zur Herstellung solcher, Überzüge ger 3 und die auf ihnen befindlichen Zylinder 5 auf
durch Aufdampfen auf zylindrischen Gegenständen konstanter Temperatur gehalten, z. B. mittels einer
diese senkrecht übereinander anzuordnen und ihre Flüssigkeit-Umlauf-Heizung oder einer elektrischen
äußeren Oberflächen von einem Metallrohr aus zu 15 Heizung. 11 ist der Auslaß für Heizwasser. Die Tembedampfen
(deutsche Patentschrift 897 504). Auch peraturen der Träger 3 und der Zylinder 5 werden
hat man schon zylindrische Gegenstände auf Stangen
angeordnet und sie von mehreren in der Hauptdrehachse liegenden Dampfquellen horizontal bedampft
angeordnet und sie von mehreren in der Hauptdrehachse liegenden Dampfquellen horizontal bedampft
(»Vakuum-Technik«, 1959, H...1, S. 8). Das Aus- 20 dem Behälteroberteil 15 umgeben, der auf dem
tretenlassen von Dampfstrahlen in waagerechter plattenartigen Behälterunterteil 16 befestigt ist. Über
Richtung (deutsche Patentschrift 976 068) ist bei
einem Verfahren zum laufenden Überziehen band-
oder drahtähnlicher organischer Stoffe bekannt.
einem Verfahren zum laufenden Überziehen band-
oder drahtähnlicher organischer Stoffe bekannt.
Es ist schwierig, bei der Herstellung von Überzügen auf zylindrischen Körpern eine gleichmäßige
Bedampfung zu erreichen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gleichmäßigere Beschichtung
von zylindrischen Gegenständen möglich zu machen
und den Vorgang des Bedampfens dieser Gegen- 30 auf eine geeignete Aufnahme-Einrichtung fallen, die
stände mit einem Überzug zu vereinfachen. rings um die Träger 3 angebracht wird. Dann werden
Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Vorrichtung die Zylinder oder andere mit einem Überzug verder
eingangs angegebenen Art gemäß der Erfindung sehene Gegenstände an den zwischen ihnen liegenden
durch ein oben offenes senkrecht angeordnetes hohl- Ringscheiben 6 ergriffen und nach oben weggenomzylindrisches
Verdampfergefäß gekennzeichnet, an 35 men. Die mit einem Überzug versehenen Flächen
dessen Boden das Schmelzbad untergebracht ist und der Zylinder od. dgl. werden also nicht berührt. Die
dessen Wandung eine Anzahl von Bohrungen für fertigen Gegenstände können gleichzeitig oder nachden
waagerechten Austritt des Dampfes aus dem einander weggenommen werden. Die mit einem
Überzugsmaterial aufweist, und durch um das Ver- Überzug zu versehenden Gegenstände werden, ehe
dampfergefäß herum angeordnete, auf Achsen dreh- 40 sie auf die Träger gesetzt werden, auf einer Einrichbar
gelagerte Träger zur Aufnahme der zu bedamp- tung befestigt, die zum Abnehmen der fertigen
fenden Gegenstände.
In der Zeichnung ist- ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung gemäß der Erfindung schematisch dargestellt.
Es zeigt ;Λ ;;
F i g. 1 einen waagerechten Schnitt und F i g. 2 einen Längsschnitt durch die Vorrichtung.
Das Verdampfungsgefäß 1 ist senkrecht angeordnet und hat oben eine Eintrittsöffnung 2 für die mit 50 Gegenstände auf den Trägern 3 angebracht sind,
einem Überzug zu versehenden Gegenstände. Das kann mittels eines Druckluftstrahles aus einer zu
Verdampfungsgefäß 1 ist so ausgebildet, daß der diesem Zweck vorgesehenen Einrichtung entfernt
Dampf in waagerechten Richtungen austritt. Zu die- werden, die an der zum Abnehmen und Anbringen
sem Zweck können" z. B. mehrere kleine Löcher der Gegenstände dienenden (nicht dargestellten)
oder Bohrungen von 1 bis 2 mm Durchmesser in 55 Hilfseinrichtung angebracht sein kann. Beim Ander
Wand des Verdampfungsgefäßes 1 angebracht blasen der Gegenstände wird die Luftdüse in' senksein.
Das Schmelzbad steht auf dem Boden des Ver- rechter Richtung geführt, während die Gegenstände
dampfungsgefäßes 1 und weist eine geeignete Heiz- sich auf dem Träger 3 drehen. .
einrichtung auf. Um zu verhindern, daß sich der Die erwähnte Hilfseinrichtung besteht aus einem
Dampf an der Innenfläche der Wand des Ver- 60 Teil zur Anbringung und zur Reinigung der Gegendampfergefäßes
1 niederschlägt, wird diese Wand stände und einem Teil zum Entfernen der Gegenauf
einer entsprechenden Temperatur gehalten, wozu stände aus der Vorrichtung.
zweckentsprechend ausgebildete Heizeinrichtungen Mit einer Vorrichtung, die im wesentlichen so
nahe der inneren Wandung oder der äußeren Wan- aufgebaut ist, wie die zeichnerisch dargestellte,
dung des Verdampfungsgefäßes 1 vorgesehen sein 65 wurde z. B. wie folgt gearbeitet:
können, z. B. eine in Längsrichtung des Verdamp- Sechzig Aluminium-Zylinder mit einem Außen-
fungsgefäßes liegende Heizwicklung. Die mit einem durchmesser von 20 cm und 30 cm lang wurden auf
Überzug zu versehenden Zylinder 5 werden auf den Trägern angebracht, etwa 3 kg Selen wurden in
Gegenstände dient, und dann von oben herab gleitend auf dem Träger 3 angebracht, indem die Gegenstände
an den Ringscheiben festgehalten werden. Die mit einem Überzug zu versehenden Oberflächen der
Gegenstände kommen daher mit der Halte-Einrichtung nicht in Berührung. Staub, z. B. Textilstaub
od. dgl., der an den mit einem Überzug zu versehenden Gegenständen haften kann, nachdem diese
das nicht dargestellte Schmelzbad durch die Einfüllöffnung 2 eingefüllt, die dann geschlossen wurde.
Der Luftdruck im Verdampfungsgefäß wurde dann auf etwa 5 · 10~5 mm Quecksilbersäule vermindert
und das Selen bei etwa 295° C in Dampfform übergeführt, während die aus den Zylindern gebildeten
Säulen sich drehten. So wurden 60 Zylinder mit einem Selenüberzug von gleichmäßiger Stärke im
Vakuum zu gleicher Zeit versehen.
Mit der Vorrichtung gemäß der Erfindung können xo Überzüge nicht nur auf zylindrischen Gegenständen
angebracht werden, sondern auch auf Gegenständen, die andere Formen haben, z.B. eben begrenzt sind,
wie z. B. Platten oder Bleche, quaderförmige Teile od. dgl.
Claims (1)
- Patentanspruch:Vorrichtung zum Herstellen von Überzügen auf insbesondere zylindrischen Gegenständen, die auf einem drehbaren Träger senkrecht übereinander angeordnet sind, durch Vakuumaufdampfen, gekennzeichnet durch ein oben offenes senkrecht angeordnetes hohlzylindrisches Verdampfergefäß (1), an dessen Boden das Schmelzbad untergebracht ist und dessen Wandung eine Anzahl von Bohrungen für den waagerechten Austritt des Dampfes aus dem Überzugsmaterial aufweist, sowie durch um das Verdampfergefäß (1) herum angeordnete, auf Achsen (9) drehbar gelagerte Träger (3) zur Aufnahme der zu bedampfenden Gegenstände (5).Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6461963 | 1963-12-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1521238A1 DE1521238A1 (de) | 1969-07-24 |
DE1521238B2 true DE1521238B2 (de) | 1971-08-19 |
Family
ID=13263439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19641521238 Withdrawn DE1521238B2 (de) | 1963-12-02 | 1964-11-28 | Vorrichtung zum herstellen von ueberzuegen auf insbesondere zylindrischen gegenstaenden durch vakuumaufdampfen |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3417733A (de) |
DE (1) | DE1521238B2 (de) |
GB (1) | GB1081324A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2854654A1 (de) * | 1978-12-18 | 1980-07-03 | Uk Nii Sp Stalej | Verfahren und einrichtung zum auftragen von schutzueberzuegen auf metallrohre |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3615275A (en) * | 1967-12-12 | 1971-10-26 | Texas Instruments Inc | Homogeneously fine-grained vapor-deposited material in bulk form |
US3770211A (en) * | 1971-11-03 | 1973-11-06 | Gen Electric | Gas distributor for casting mold manufacture |
US3911162A (en) * | 1972-04-17 | 1975-10-07 | Xerox Corp | System for vapor deposition of thin films |
US4440803A (en) * | 1979-11-01 | 1984-04-03 | Xerox Corporation | Process for preparing arsenic-selenium photoreceptors |
ATE7431T1 (de) * | 1980-02-07 | 1984-05-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Verfahren zur bildung eines glaesernen abstandstuecks in der magnetspalte eines magnetkopfes. |
US5038707A (en) * | 1989-12-27 | 1991-08-13 | Xerox Corporation | Modular apparatus for cleaning, coating and curing photoreceptors in an enclosed planetary array |
US5079854A (en) * | 1989-12-27 | 1992-01-14 | Xerox Corporation | Method and apparatus for cleaning, coating and curing receptor substrates in an enclosed planetary array |
US5032052A (en) * | 1989-12-27 | 1991-07-16 | Xerox Corporation | Modular apparatus for cleaning, coating and curing photoreceptors in a dual planetary array |
DE10256038A1 (de) * | 2002-11-30 | 2004-06-17 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Bedampfungsvorrichtung |
JP4447256B2 (ja) * | 2003-06-27 | 2010-04-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
CN112342518A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-02-09 | 派珂纳米科技(苏州)有限公司 | 一种用于磁环镀膜的卧式真空镀膜机 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1965059A (en) * | 1930-04-03 | 1934-07-03 | Seibt Georg | Apparatus for producing high ohmic resistances or the like |
US2439983A (en) * | 1944-01-15 | 1948-04-20 | Libbey Owens Ford Glass Co | Means for thermally evaporating various materials in vacuums for coating purposes |
US3128205A (en) * | 1961-09-11 | 1964-04-07 | Optical Coating Laboratory Inc | Apparatus for vacuum coating |
-
1964
- 1964-11-25 US US413847A patent/US3417733A/en not_active Expired - Lifetime
- 1964-11-28 DE DE19641521238 patent/DE1521238B2/de not_active Withdrawn
- 1964-11-30 GB GB48660/64A patent/GB1081324A/en not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2854654A1 (de) * | 1978-12-18 | 1980-07-03 | Uk Nii Sp Stalej | Verfahren und einrichtung zum auftragen von schutzueberzuegen auf metallrohre |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1081324A (en) | 1967-08-31 |
US3417733A (en) | 1968-12-24 |
DE1521238A1 (de) | 1969-07-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1521238B2 (de) | Vorrichtung zum herstellen von ueberzuegen auf insbesondere zylindrischen gegenstaenden durch vakuumaufdampfen | |
DE2055995C3 (de) | Verfahren zum kontinuierlichen galvanischen Verchromen der Außenoberfläche von Stangen oder Rohren | |
DE2339059C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Arzneimittelkapseln | |
DE2436040C2 (de) | Verfahren zum Aufbringen einer klaren Härtungsbeschichtung aus synthetischen Harzen auf optische Gegenstände, aus insbesondere synthetischen Harzen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE859602C (de) | Vorrichtung zum Bereiten von Loesungen | |
DE1521238C (de) | Vorrichtung zum Herstellen von Über zügen auf insbesondere zylindrischen Gegen standen durch Vakuumaufdampfen | |
DE741506C (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen masshaltiger Formkoerper aus warmformbaren Kunststoffzuschnitten | |
DE1490985C2 (de) | Anordnung zur Herstellung von gedruckten Stromkreisen | |
DE3930832A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum beschichten von werkstuecken mittels bogenentladung | |
DE2133128C3 (de) | Vorrichtung zur Herstellung von Schalenformen für Präzisionsguß | |
DE2548414A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur elektrophoretischen beschichtung von gegenstaenden | |
DE466297C (de) | Mattierungsvorrichtung fuer Zigarren | |
DE734057C (de) | Einrichtung zur Oberflaechenbehandlung von Metallen | |
DE692996C (de) | aus Kupfer oder seinen Legierungen | |
DE897141C (de) | Verfahren und Geraet zum Trocknen von Kuerschnerwaren | |
DE1023652B (de) | Haltevorrichtung mit wendbarem Traeger fuer Gegenstaende, welche im Vakuum mit duennen Schichten belegt werden sollen | |
AT369041B (de) | Verfahren und anlage zum innenemaillieren von hohlgefaessen | |
DE578475C (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung elektrolytischer UEberzuege | |
DE333220C (de) | Vorrichtung zur Herstellung von Zahn- und Gesichtsprothesen u. dgl. unter Verwendung eines Metallspritzverfahrens | |
DE577999C (de) | Vorrichtung zum gleichmaessigen Aufbringen von feinen Stoffteilchen in staubfoermiger oder fluessiger Gestalt, z. B. von kondensiertem Wasserdampf, auf anzufeuchtenden Tabak | |
DE947464C (de) | Vorrichtung zum Ausfiltrieren von Feststoffen aus Fluessigkeiten | |
DE1511082C (de) | Verfahren zur Herstellung von mehr schichtigen Faserstoff Gegenstanden | |
DE1246504B (de) | Vorrichtung zum Herstellen von mit einer Isolierschicht versehenen Stuetzkoerpern fuer feinkeramische Erzeugnisse | |
DE663799C (de) | Verfahren zum Unversehrthalten der scharfen Raender der Kapillarbohrungen beim Polieren von vorzugsweise edelmetallenen Spinnduesen | |
DE3620164A1 (de) | Verfahren zur herstellung von flexiblen einseitig offenen hohlkoerpern wie insbesondere arbeitsschutzhandschuhen aus einem elastischen kunststoff und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |