DE1490985B1

DE1490985B1 - Anordnung zur Herstellung von gedruckten Stromkreisen

Info

Publication number: DE1490985B1
Application number: DE19631490985
Authority: DE
Inventors: Smith Jun Frederick Henry
Original assignee: Xerox Corp
Current assignee: Xerox Corp
Priority date: 1962-05-31
Filing date: 1963-05-28
Publication date: 1970-11-12
Also published as: US3207127A; DE1490985C2

Description

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Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Her- net ist, daß die Werkstückhalter je mehrere durch

stellung von gedruckten Stromkreisen, die einen einen Abstand voneinander getrennte Isolierplatten

oder mehrere Widerstände und eine oder mehrere enthalten, daß mehrere in Querrichtung verlaufende

Kapazitäten und Verbindungsleitungen enthalten, Tröge und eine aus zwei parallel zueinander geführ-

wobei auf die eine Seite einer aus Isoliermaterial 5 ten Förderbändern bestehende Förderbandeinrich-

bestehenden Unterlageplatte eine Schicht aus Wider- tung mit in der Querrichtung sich erstreckenden

Standsmaterial und auf das Widerstandsmaterial eine Stangen vorgesehen sind, daß die Stangen jeweils

Schicht aus gut den Strom leitendem Material auf- mehrere Greifhaken zum Ergreifen der vordersten

gebracht wird. Werkstückhalter und Eintauchen in die Tröge auf-

Bisher wurden gedruckte Stromkreise mit her- io weisen und daß ein quer zur Förderrichtung der kömmlichen Verfahren und Anordnungen zur Aus- Förderbänder verlaufendes Förderband zum Absetführung derselben durch Aufbringen der Schichten zen der Werkstückhalter nach dem letzten Einauf den Grundkörper mit Hilfe der Technik der tauchen vorgesehen ist.

Vakuumverdampfung oder eines Elektronenbombar- Vorzugsweise ist vorgesehen, daß zusätzlich zu

dements hergestellt. Es traten beim Auftragen der 15 den als Tauchstationen dienenden Trögen Spül- und

elektrischen Schichten auf keramische Träger od. dgl. Trockenstationen vorgesehen sind, die sich ebenfalls

Schwierigkeiten auf. parallel zu den die Tauchflüssigkeiten enthaltenden

Wenn die bekannten Anordnungen zur Ausfüh- Trögen erstrecken.

rung bekannter Verfahrenstechniken sich im übrigen In der deutschen Auslegeschrift 1 202 853 hat der auch als brauchbar erweisen, so sind diese doch 20 Erfinder ein Verfahren zur Herstellung von auf ganz allgemein langwierig herzustellen und ver- einer Isolierplatte aufgebrachten gedruckten Stromgleichsweise teuer und auch strukturell nicht voll kreisen, welche sowohl einen oder mehrere Widerbefriedigend. Beispielsweise dauert es etwa eine stände als auch Kapazitäten und Verbindungsleitun-Stunde, um das Abpumpen durchzuführen und eine gen aufweisen, vorgeschlagen. Die erfindungsgemäße erste Schicht in einem Vakuumverdampfungsverf ah- 25 Anordnung kann besonders vorteilhaft in diesem Verren niederzuschlagen, und weiter etwa eine bis sechs fahren bei der Massenproduktion verwendet werden. Stunden, um vier weitere Schichten aufzubringen. Bei der Durchführung des Verfahrens mit der Gleichzeitig sind mindestens ebenso viele Gefäße Anordnung gemäß der Erfindung kommt man mit notwendig, wie Schichten aufgetragen werden sollen, Temperaturen von etwa 60° C aus, wobei Grundso daß schon allein in räumlicher Hinsicht wegen des 30 platten in Partien von Trägerrohrstücken in etwa Platzbedarfes einer Vakuumanlage Grenzen gesetzt einer halben Stunde oder weniger massengefertigt sind. Ferner ist darauf hinzuweisen, daß das wei- werden können. Das bringt nicht nur den Vorteil tere Aufbringen von Schichten mittels eines Vakuum- mit sich, daß geringere Kapitalinvestitionen erforderabpumpverfahrens die schwierige Aufgabe mit sich lieh sind als bei den Techniken nach dem Stand der bringt, die gerade nicht in Gebrauch befindlichen 35 Technik, sondern auch gleichzeitig die weitere vorTiegel abzudecken, um ein vorzeitiges Verdampfen teilhafte Möglichkeit, unter wesentlich mehr Werkihres Inhalts zu verhindern. Andererseits ist eine stoffarten auswählen zu können, die Produktions-Unterbrechung des Vakuums erforderlich. Insbeson- kosten infolge der Massenanfertigung herabzusetzen dere erfordern sowohl Vakuumverdampfung als und außerdem Erzeugnisse herzustellen, die den auch Elektronenbombardement Temperaturen in der 40 durch die bekannten Verfahren mit den entsprechen-Größenordnung von 2300° C, um die üblichen den Anordnungen gewonnenen Erzeugnissen in dielektrischen und anderen Schichten aufbringen zu struktureller Hinsicht überlegen sind. Bisher konnkönnen, weil es erst bei diesen hohen Temperaturen ten viele Werkstoffe, die sich an sich für die Verzu einem Verdampfen der in Frage kommenden wendung in gedruckten Schaltungen sehr gut eigne-Werkstoffe kommt. So verdampft beispielsweise 45 ten und auch entsprechend vorteilhafte Eigenschaf-Magnesiumoxyd bei Temperaturen über 3000° C, ten besaßen, beispielsweise im Hinblick auf die bei Chrom bei etwa 2500° C und Nickel bei etwa der Vakuumverdampfung auftretenden Beanspru-3000° C. Insofern sind die Kapitalinvestitionen für chungen nicht herangezogen werden, was nunmehr zur Durchführung der bekannten Verfahren geeignete im Rahmen der vorliegenden Erfindung in einfacher Anlagen hoch, während die Verfahren selbst mit 50 Weise möglich ist. Umgekehrt kann jetzt auf die einem vergleichsweise niedrigen Wirkungsgrad arbei- Verwendung an sich recht ungeeigneter Werkstoffe, ten und schwierig durchzuführen sind. die zwar hinsichtlich der Vakuumverdampfung ein

Aus der Druckschrift »Printed Circuit Tech- günstiges Verhalten aufweisen, sich dagegen schlecht

niques«, 1947 No. 468, S. 16 und 17, ist eine Anord- einer Ätzbehandlung unterwerfen lassen, verzichtet

nung zur Herstellung von gedruckten Stromkreisen, 55 werden. Ein weiterer Vorteil besteht in folgendem:

die einen oder mehrere Widerstände und eine oder Aktive Bauelemente, wie Dioden, werden in Löchern

mehrere Kapazitäten und Verbindungsleitungen ent- der Platte festgelegt, wobei die Löcher vorzugsweise

halten, der eingangs beschriebenen Art bekannt. leitend ausgekleidet sein sollen. Im Gegensatz zu der

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine solche Anord- Vakuumverdampfungstechnik ermöglicht die erfin-

nung zur Herstellung von gedruckten Stromkreisen 60 dungsgemäße Anordnung diese erwünschte leitende

zu schaffen, die eine besonders rationelle Fertigung Beschichtung der Wandungen der Befestigungs-

gestattet und die insbesondere für die Massenpro- löcher,

duktion verwendet werden kann. Nachstehend wird die Erfindung an Hand der

Die diese Aufgabe lösende Anordnung zur Her- Figuren und von Ausführungsbeispielen beschrieben,

stellung von gedruckten Stromkreisen kennzeichnet 65 Es zeigen

sich dadurch, daß in einer Vielzahl sich parallel Fig. IA und 1B als Blockbilder schematisch den

erstreckender Magazine je eine Vielzahl käfigförmi- Ablauf zweier Verfahren, die mit der Anordnung

ger Werkstückhalter hintereinanderliegend angeord- ausgeführt werden können,

F i g. 2 perspektivisch ein halbautomatisches Gerät, In F i g. 2 ist ein halbautomatisches Gerät für die

F i g. 3 in perspektivischer Ansicht ein vollauto- Durchführung des zuvor beschriebenen Verfahrens

matisches Gerät und wiedergegeben.

F i g. 4 in vergrößertem Maßstab perspektivisch Es enthält einen die verschiedenen Einzelteile auf-

die Ansicht eines Gehäuses für die Aufnahme der 5 nehmenden Fuß 10. Dazu gehört ein zweiarmiger

Waffelkörper während des Herstellungsprozesses. Hebel 11, der mit einer Stange 12 gelenkig verbun-

Gemäß F i g. 1 kann ein waffelartiger Träger den den ist, die ihrerseits in einer von dem Galgen 14

in den Figuren 1 A bzw. 1B angedeuteten Schritten getragenen Buchse 18 gleitend geführt ist. Mittels des

unterworfen werden. Der Träger ist vorzugsweise Zapfens 22 ist der Hebel 11 um den Drehpunkt 13

oben ausgebildet und soll aus einem Werkstoff mit io herum schwenkbar, so daß beim Herabdrücken des

guten dielektrischen Eigenschaften und hoher me- freien Endes des Hebels die Stange 12 entgegen der

chanischer Festigkeit bestehen, beispielsweise aus Wirkung ihres Eigengewichtes und weiterer daran

einer Phenolformaldehyd-Schichtung, keramischem angreifenden Schwerkräfte angehoben werden kann.

Werkstoff od. dgl. Dabei kann der Träger eine be- Am oberen Ende der Stange 12 ragt senkrecht zu

stimmte Querschnittsform oder auch eine sonstige 15 dieser Stange ein Arm 15 vor, an dessen freiem Ende

besondere Ausbildung mit Vorsprüngen, Löchern, sich eine Öffnung 16 für die Aufnahme eines Hakens

Schlitzen od. dgl. entsprechend seiner endgültigen 17 befindet, mittels dessen ein Behälter 19, der im

Verwendung aufweisen. Wie in beiden Verfahrens- einzelnen noch weiter unten beschrieben wird, auf-

schemata nach F i g. 1 gezeigt, werden aufeinander- gehängt ist, in dessen Innerem eine Reihe zu behan-

folgend eine Widerstandsschicht, eine leitende 20 delnder Träger 20 untergebracht ist. Mittels eines

Schicht, eine dielektrische Schicht und anschließend schwenkbar an dem Fuß befestigten Riegels 21 kann

wieder eine leitende Schicht aufgetragen, wobei sich der Hebel 11 in einer Lage festgelegt werden, in der

die Verfahren gemäß den F i g. 1 A und 1B in ehe- der Behälter 19 frei in der Lösung eines ausgewähl-

mischer Hinsicht bezüglich der Verfahrenstechnik ten Behälters hängt.

unterscheiden. 25 Unabhängig von der Stange 12 drehbar gelagert Gemäß F i g. 1 A wird der Träger zunächst in eine sind zwei kreisförmige Teller 25 und 26. Der obere empfindlich machende Lösung wie Zinnchlorid Teller 25 ist auf einem Gleitpfad 27 angeordnet, der od. dgl. getaucht und sodann, nach einer Zwischen- _si_ch oberhalb eines horizontalen Ringflansches der spülung, in eine Impflösung eines Edelmetallsalzes Buchse 18 befindet; zur drehbaren Lagerung ist der wie Palladium- oder Goldchlorid gesenkt und hier- ₃₀ Teller 25 an dem äußeren Laufring eines Kugellagerauf erneut abgespült. paares 28 befestigt. Der untere Teller 26 ist in ähn-Hierauf wird die Widerstandsschicht durch Ein- licher Weise mittels eines Kugellagerpaares 29 drehtauchen des Trägers in eine Metallösung, etwa bar gelagert und ruht auf einem von dem Galgen 14 Chrom, aufgebracht, wobei die Lösung das Metall abgestützten Gleitpfad 30 auf.

sowie ein Reduktionsmittel enthält, das die Metall- ₃₅ Der Teller 25 enthält eine Reihe von Öffnungen salze auf die Metallionen reduzieren kann. Nach 3I₅ 32 und 33, an die sich eine entsprechende Aneiner zwischengeschalteten Spülung wird darauf eine _zahl von Behältern 35, 36 und 37 anschließt, die leitende Schicht aus etwa Kupfer, Nickel od. dgl. jeweils entsprechend der Erfindung eine geeignete durch Eintauchen in eine geeignete Lösung von chemische Lösung enthalten. Eine weitere Öffnung Kupfersulfat oder Nickelchlorid aufgebracht, worauf ₄₀ 38 ermöglicht die Behandlung der Träger mittels der Träger erneut abgespült und anschließend ge- unterhalb des Tellers 25 angeordneter Elemente auf trocknet wird. Um die dielektrische Schicht aufzu- _otj_er über dem Teller 26, wobei eine Wasserdüse 40 bringen, wird der Träger dann in eine alkoholische vorgesehen ist, die über eine Leitung 41 mit einem Lösung eines Metalls getaucht, und es wird der Trä- _unter Druck stehendes Wasser liefernden Anschluß ger nach dem Herausziehen erwärmt, um das Aiko- ₄₅ j_n Verbindung steht, so daß die Träger an entspreholat in ein Metalloxyd mit dielektrischen Eigen- chender Stelle eines Behandlungszyklus abgespült schäften wie beispielsweise Magnesiumoxyd oder werden können. Unterhalb der Wasserdüse Ist ein Bariumtitanat umzuwandeln. Um zu gewährleisten. Sammelbehälter 42 mit einem Ablauf 43 angeordnet, daß keine Feinlunker und Gasporen in den einzelnen _{um das von den} Trägern bei der Spülung ablaufende Schichten mehr enthalten sind, kann es erforderlich ₅₀ Wasser aufzufangen. Auf dem Teller 26 ist ebenfalls sein, die Tauchvorgänge mehrfach zu wiederholen. eine Heizeinrichtung 44 angebracht, die von einem Hierauf wird die leitende, etwa aus Kupfer oder Thermostat 45 gesteuert und mit einer Spannungs-Nickel bestehende Schicht über der vorher aufgetra- quelle 46 in Verbindung steht, so daß Hitze zugegenen dielektrischen Schicht aufgebracht. Nach Spü- führt werden kann, um die Alkoholate, wie oben lung und Trocknung der Platte steht eine tfC-Schal- ₅₅ erwähnt, aufzuschließen.

tungs-Grundplatte für die Herstellung von Schaltun- Bei Betrieb des Gerätes werden die aufgehängten gen in der vorgeschriebenen Weise zur Verfügung. Träger nacheinanderfolgend in die verschiedenen Gemäß dem mit Fig. IB veranschaulichten chemischen Lösungen in der in Verbindung mit den Schema wird zunächst eine Widerstandsschicht durch Fig. IA und IB beschriebenen Weise durch AnEintauchen des Trägers in eine alkoholische Lösung 60 heben und Absenken eingetaucht bzw. daraus enteines Metalls wie Zinn hergestellt, und nach dem f_ernt. Durch Herabdrücken des freien Endes des Herausnehmen aus der Lösung wird der Träger Hebels 11 werden die Träger über dem Teller 25 erwärmt, um eine Umwandlung in das Metalloxyd hinausgeschoben, so daß der Teller frei eingestellt herbeizuführen, das die Eigenschaften einer Wider- werden kann, bis sich ein Behälter mit einer geeignestandsschicht besitzt. Hierauf können die weiteren 65 ten Lösung unterhalb der Träger befindet, der die Schichten in ähnlicher Weise aufgebracht werden, Träger nach dem Absenken der Stange 12 aufnimmt, wie das zuvor in Verbindung mit F i g. 1A erläutert Nach dem Herausziehen der Träger aus dem Behälwurde. ter kann der Teller 25 so eingestellt werden, daß die

Öffnung 38 unterhalb der aufgehängten Träger liegt, so daß die Träger durch die Öffnung 38 hindurch abgesenkt und dann, je nach Bedarf, mittels der Düse 40 oder der Heizeinrichtung 44 behandelt werden können.

Die F i g. 3 veranschaulicht — in Verbindung mit F i g. 4 — eine vollautomatische Anordnung zur Herstellung von gedruckten Stromkreisen. Bei dieser Ausführungsform werden die zu behandelnden Träger 20 in Gehäusen 19 so geschichtet, daß eine Fläche jedes Trägers der chemischen Lösung, in die der Träger eingetaucht wird, frei ausgesetzt ist. Vorzugsweise werden zwei Träger Rücken an Rücken angeordnet, wobei sich ihre aneinander anliegenden Kanten abschirmen. Die Träger können auch einzeln und gesondert untergebracht werden, wobei jeweils eine Fläche davon zuvor abgedeckt wird. Wenn die Herstellung zweiseitiger Grundplatten mit Schaltungen auf beiden Seiten gewünscht wird, so können die Träger unabhängig voneinander abgestützt werden, wobei beide Seiten freiliegen.

Es soll nun weiter im einzelnen auf F i g. 3 eingegangen werden. Die einzelnen Gehäuse 19 werden in einer Anzahl sich in horizontaler Richtung erstreckender, einander benachbarter Magazine 63 gestapelt, in denen die Gehäuse von einer Platte 64, die unter der Einwirkung einer Feder 65 steht, gegen einen Anschlag 67 gedrückt werden.

Das Gerät ist von einem Paar im Abstand parallel zueinander verlaufender, durch einen entsprechenden Boden 66 verbundener Wände 69 und 70 umgeben. In den gegenüberliegenden Wänden 69 und 70 sind zwei Wellen 60 und 61 drehbar gelagert, auf denen Antriebsräder 71 bzw. 72 sitzen, die über die an der Motorwelle 75 befestigten Ritzel 73 bzw. 74 von dem Motor Ml angetrieben werden. Auf den Wellen 60 und 61 sitzen außerdem Kettenräder 76 und 77, bei deren Drehung die Ketten 78 und 79 einen gleichlaufenden Vorschub erfahren.

Jeweils an einander gegenüberliegenden Stellen sind an den Ketten 78 und 79 eine Reihe von Laschen 80 mittels Zapfen 81 drehbar befestigt, zwischen denen sich Stangen 82 von etwa 9,5 cm Stärke erstrecken. Die Stangen enthalten eine Reihe einzelner, in regelmäßigen Abständen angeordneter Ausnehmungen (nicht dargestellt), um die mit 83 bezeichneten Hakenarme aufzunehmen, welche so gelagert sind, daß sie frei um die Stange und parallel zur Richtung der Kettenbewegung schwingen können.

Jeder Arm weist einen unteren, in einen Haken 84 auslaufenden Abschnitt und einen oberen Abschitt 85 auf. Wenn die Stangen zusammen mit den Ketten vorwärts wandern, nähern sich die Haken den Magazinen 63 und werden mittels Führungs-Kettenrädern 87 und 88 hinter die jeweils vordersten Gehäuse 19 in dem Magazin 63 gebracht, bis die einzelnen Haken 84 in eine öse 58 fassen. Bei weiterem Vorschub der Ketten entfernen die Haken das vorderste Gehäuse aus seinem Magazin, das dabei an dem Anschlag 67 entlanggezogen wird. Hierauf hängen die einzelnen Gehäuse frei an den entsprechenden Haken. Mittels der fortlaufenden Ketten gelangen sie über Führungs- und Leitrollen 115, 116, 117, 118 und 119 nacheinander in die einzelnen Behandlungsstationen, in denen der chemische Auftrag der verschiedenen Schichten erfolgt.

Die chemischen Lösungen sind in einzelnen Wannen enthalten, die in den Verlauf der Fortbewegung der Gehäuse 19 geschaltet sind. Das Gerät gemäß dem Ausführungsbeispiel dient zum Auftrag der einzelnen Schichten nach einem dem in F i g. 1A wiedergegebenen Schema entsprechenden Verfahren. Dementsprechend enthalten die Wannen 89 bis 94 aufeinanderfolgend Lösungen zum Sensibilisieren des zum Impfen zur Herstellung der Widerstandsschicht, der leitenden Schicht, der dielektrischen Schicht und der abschließenden leitenden Schicht.

ίο Es wurde festgestellt, daß die Stärke der verschiedenen Schichten weitgehend von der Tauchzeit, der Lösungsviskosität und der Schnelligkeit, mit der der Träger der Lösung entnommen wird, abhängig ist. Die Abmessungen der einzelnen Wannen sind in Richtung der Kettenbewegung daher so gewählt, daß durch sie kompensierend eine gleichwertige Tauchzeit der Gehäuse in den verschiedenen Verfahrensstufen in Abhängigkeit von der Kettengeschwindigkeit erreicht wird. Die Ketten werden zur Gewähr-

ao leistung der Tauchzeit schrittweise bewegt. Die Wannen selbst sollen nach Möglichkeit aus einem Werkstoff bestehen, der von der in der Wanne enthaltenen chemischen Lösung nicht angegriffen wird. Beim Durchlaufen des Gerätes werden die Träger im Anschluß an das Eintauchen in die einzelnen Wannen, ausgenommen die Wanne 93, in einer Spülstation 96 mit aus einer Sprühdüse 95 strömendem Leitungswasser abgespült. Die Sprühdüsen 95 sind über einzelne Sammelleitungen 98 unter Zwischenschaltung einer Mehrzahl einzelner Solenoide SOL I mit einem Anschluß verbunden, der unter Druck stehendes Leitungswasser liefert. Jedes Solenoid wird mittels eines Zapfens 99 unter Strom gesetzt, mit dem jede Stange 82 ausgerüstet ist. Der Zapfen 99 wirkt dabei auf einen MikroschalterMSl ein, wenn er an der jeweiligen Spülstation vorbeiläuft. Jede Spülstation weist außerdem einen Tropfbehälter 97 mit einem geeigneten Ablauf 107 auf, der mit einer entsprechenden Ablauf-Sammelleitung 108 verbunden ist, über die das Spülwasser in ein Auffangbecken od. dgl. geleitet wird.

Die Öfen 101 bzw. 109 dienen zum Trocknen der Träger nach der im Anschluß an den durch Eintauchen erfolgten Auftrag der abschließenden Leitschicht in den Wannen 92 und 94 erfolgten Spülung. Die Öfen 101, 109 sind von einer Reihe im Abstand voneinander angeordneter, strahlender Wicklungen 102 aufgeheizt, die von einer geeigneten, von Thermostaten 104 bzw. 113 gesteuerten Energiequelle 103 gespeist sind. Statt auf elektrischem Wege kann die Erwärmung auch mittels warmer, auf die Träger gerichteter Luftstrahlen erfolgen.

Ferner ist eine Heizeinrichtung 106 vorgesehen, die den Träger nach dem Auftrag der dielektrischen Schicht durch Eintauchen in die Wanne 93 erwärmt, um das Alkoholat in ein Metalloxyd zu überführen. Die Heizeinrichtung kann dabei im wesentlichen den gleichen Aufbau haben wie die zuvor beschriebenen Heizungen.

Die einzelnen chemischen Lösungen stehen jeweils unter Kontrolle, wobei mittels einer Titrationseinheit 105 für die Beständigkeit der Konzentration und der Temperatur Sorge getragen wird.

Sind alle Schichten vollständig aufgetragen, werden die Gehäuse 19 an der Entladestation 110 entleert, wo eine feststehende Stange 111 an den oberen Abschnitten 85 der Arme 83 angreift, so daß diese in rückwärtiger Richtung überschwingen und die ein-

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zelrsen Gehäuse auf ein sich gleichmäßig fortbewegendes Förderband 112 fallen lassen, mitteis dessen die Gehäuse zu einer geeigneten Entladestelle gebracht werden, an der die waflelartig ausgebildeten Träger den Gehäusen entnehmbar sind-Der Antrieb des Förderbandes erfolgt über den Motor Ml, der unmittelbar mit der Achse der Förderband-Antriebsrolle 124 verbunden ist.

Claims

Patentansprüche:

1. Anordnung zur Herstellung von gedruckten Stromkreisen, die einen oder mehrere Widerstände und eine oder mehrere Kapazitäten und Verbindungslcitungen enthüllen, wobei auf die eine Seite einer aus Isoliermaterial bestehenden Unterlageplatte eine Schicht aus Widerstandsmaterial und auf das Widerstandsmaterial eine Schicht aus gut den Strom leitendem Material aufgebracht ist. dadurch gekennzeichnet, daß in einer Vielzahl sich parallel er- ao streckender Magazine (63) je eine Vielzahl käfigförmiizer Werkstückhalter (19) hintereinanderliegcnd angeordnet ist. daß die Werkstückhalter (19) je mehrere durch einen Abstand voneinander getrennte Isolierplattcn (20) enthalten, daß mehrere in Querrichtung verlaufende Tröge (89) und eine aus zwei parallel zueinander geführten Förderbändern (18) bestehende Förderbandeinrichtung mit in der Querrichtung sich erstreckenden Stangen (82) vorgesehen sind, daß die Stangen (82) jeweils mehrere Greifhaken (84) zum Ergreifen der vordersten Werkstückhalter (19) und Eintauchen in die Tröge (89) aufweisen und daß ein quer zur Förderrichtung der Förderbänder (18) verlaufendes Förderband (112) zum Absetzen der Werkstückhalter (19) nach dem letzter. Eintauchen vergesehen ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich zu den als Tauch-Stationen dienenden Trogen (89) Spülstationen (96) und Trockensialionen (102. 106) vorgesehen sind, die sich ebenfalls parallel zu den die Tauchflüssigkeiten enthaltenden Trögen (89 bis 94) erstrecken.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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