DE1423598A1 - Vergleichsvorrichtung - Google Patents
VergleichsvorrichtungInfo
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
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- G02B21/0016—Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes
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Description
Patentanmeldung
Ervfln. Sick« Xrsohanliaaeeii über .Ebanhausen .(_ Xsartal J
Die Srfinchmg betrifft eine Yorriektujig znn visuellen Vergleichen eines'Prüflings nit einen Meisteratuck, bei welcher
Prüfling und Meisterstück mittels teils liehtdurchlassender,
teila refleicfcierentter optischer Kittel
werden . ..
Ss sind YorriohtunseH äieaer Art bekannt, bei denen die Bilder
▼on Prüfling und Heinterstüolr, irdttels oinos teildt^rcßlüssigea
Spiegels Kur Bec.aiiöjg «fsbr&tfe* wes?den# In der Regel werden dies«
Bilder iVbersitiäjtaer auf .β/ine Mattseheibe projiziert und r.eist
"«.· B» £iit fconpleEien.tären .Farben, gefärbt»
nach der @inim oder andere Richtung
in Erscheinung treten.
Ein öinfaolier teililisrsfeiaseiger Spiö^el nat deä Hac!itsile daß
das durcMalleaie Lioht ( bei bildseiti^er.Verspiegelung )
das ölae d«3 SRiegels.blnfturehläuft vaaä. dabsl eine iresa des? .
Strahlernei^uns abhängige seitliche Versetzung ge^onüfeer dem
reflektierten Liofrt erführt, das nicht dureh eine Glasplatte
hindtirohsttlaufsn liratiöht* Mari hat versucht, diesem
durcih abauaelfiiiSi ünB r«an zxrei aiifeinaMsrlie«2@nds
*3|prsieht tuacl die SpiegeXsohicht si-iieaheii diesen
Amm ääy^^trieohö-Vöi'hältriifc'pe, %-mil dann
wie ^a«l^fj.^ctierte Lieht die n
Aber auch diese Lösung ist für erhöhte Anforderungen noch un-·
befriedigend, '/eil nänlicli eine Glasplatte in einen konvergenter*
Strahlengang bekanntlieh einen Astigmatismus erseugt,
der nicht korrigiert worden kann. Man könnte da3 natürlich-damit
UEi^ehens daß nan den teildurchlässigen Spiegel im parallelen
Strahlengang vorsieht. Aber auch diese Lösung "bringt...in der
Praxis lcsinon Gewinn, weil man· dann nämiieh für das durchgehende
und das reflektierte Licht je ein getrenntes Objektiv
vorsehen müßte und beide Ob;jeküvevollkommen übereinstimmen
müssen. Ein drittes Objektiv müßte dann die überlagerten paralleln Strahlenbündel vieder fokussieren. Abgesehen von
dem erhöhten Aufwand käme durch die getrennten Objektive somit
auch wieder eine Ungenaui^keit in die Apparatur.
Ber Erfindung lie r:t die Aufgabe zugrunde, diese Schwierigkeiten
au
Erfin&üngsgeraäß wird daa dadurch erreicht, daß die überlßßemd«n
optischen Mittel atatt von einem teildurchläsai^en Spiegel J
von einem rotierenden Sektorspiegel gebildet v/erden» der mit einer über der FliEimerfrequenz liegenden Drehzahl umläuft. ;
Ein, Auaführimgsbeispiel der Erfindung iat in den Abbildungen
dargestellt und im folgenden beochrisben.
Fig. 1 seigt schematisßh äen Strahlung e;)ner
nachder Erfindung. . iziK'tt
Fig. 2 zeigt den Sektorspiegel mit dam
und
Pig. 3 zeigt ein anderes Aus filhrunßo bei spiel
der Erfindung.
Mit 1 ist ein zu prüfendes Objekt und mit 2 ( Fi^. 1) ein
Meisterstück bezeichnet. Das Meisterstück kann von einem
Strichbild auf einer polierten Fläche, beispielsweise einem Spiegelgraben oder einer spiegelnden Tripel-Spv„r: gebildet
werden. Dieses Strichbild wird von rechts ( Fig. l) über einen
unter 45° geneigten telldurohläsaigen Spiegel 3 beleuchtet. Mit 4 let ein Sektorspiegel bezeichnet, der von einem Motor 5
angetrieben wird und der in Fig. 2 einzeln dargestellt ist.
Durch ein Objektiv 6 wird ein Bild des Prüflings 1 und des
Meisterstücks 2 erzeugt; und zwar ein Bild des Prüflinge
direkt längs der optischen Achse 7 und ein Bild des Meisterstückes über einen Spiegel 8 und den rotierenden Sektor- i
spiegel 4 längs der Achse 9. !
Der Sektorspiegel rotiert mit einer Drehzahl die oberhalb
der Flimmerfrequens llefltclso eWa oberhalb 16 Hz. Bei
AOtBtIOn1 des SektorSpiegels f811t abwechselnd Licht von Prüfling 1 oder von der. Meisterstück 2 auf das Objektiv 6 , welches
Über einen Spiegel 10 ein Bild auf einer nicht dargestellten j Ke/ttsohelbe proJistiert.
Bs erfolgt aleo eine Abbildung von Prüfling und HeiettWttrt/f;.^
, duroh ein eliiaigee Objektiv 6 , wobei durch den rotierenden
aektorspiegel keinerlei Xdnaenfehler der oben beechritbeaeB \Aj1,^
* r , > ■ VtU*
BAD 0RK3INAL
Art auftreten«
Flg. 3 zeigt eine Abwandlung der in Fig· I dargestellten
Anordnung, Bei dieser ist Brüfling und Meisterstück auf
einem Schnlitten 11 mit Durehbrüehen 12 und 13 angeordnet.
Die Beleuchtung erfolgt hier im durchtretenden Lieht» also
in Fig. 3 von. unten. Die Abbildung erfolgt hier Φα&τ Ura- _
lenkspiegel 14 bzw» 15 und 16, welche bewirken, daß zwischen
Objektiv und Prüf lins und zwischen Objektiv und Meis1;sretück
gleiche*optisch« Weglängen liefen« obwohl Prüfling
imd Meisterstück inoiner Bbesie auf dem Schlitten 11 angeordnet;
öiÄfl wbJl 4i3. eine Abbildung fiber den rotierenden
p.rAem i& durchtratanden Strahlen-
*■:'- ■■
BAD ORKsiNAL
Claims (2)
- PatentansprücheΛ.) Vorrichtung zum visuellen Vergleichen eines Prüflings mit einem Meisterstück, bei welcher Prüfling und Meisterstück mittels teils lichtdurchlassender, teils reflektierender optischer Mittel ubereinandergespiegelt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die besagten opticchen Mittel von einem rotierenden Sektorspiegel gebildet werden, der mit einer über der Flimmerfrequens liegenden Drehzahl umläuft.
- 2.) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein einziges abbildendes Objektiv im Sbrahleiigang hinter dem Sektcrspiegel vorgesehen ist.BAD
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES0075240 | 1961-08-09 | ||
DES0075240 | 1961-08-09 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1423598A1 true DE1423598A1 (de) | 1969-01-30 |
DE1423598B2 DE1423598B2 (de) | 1971-08-12 |
DE1423598C DE1423598C (de) | 1973-04-19 |
Family
ID=
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2443078A1 (fr) * | 1978-03-21 | 1980-06-27 | Thomas Ets Louis Et Pierre | Systeme optique pour controle de fabrication |
EP0059025A1 (de) * | 1981-02-24 | 1982-09-01 | The Commonwealth Of Australia | Optisches System für ein Spektrophotometer |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2443078A1 (fr) * | 1978-03-21 | 1980-06-27 | Thomas Ets Louis Et Pierre | Systeme optique pour controle de fabrication |
EP0059025A1 (de) * | 1981-02-24 | 1982-09-01 | The Commonwealth Of Australia | Optisches System für ein Spektrophotometer |
US4478513A (en) * | 1981-02-24 | 1984-10-23 | Commonwealth Of Australia | Optical system for a spectrophotometer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB971276A (en) | 1964-09-30 |
FR1329272A (fr) | 1963-06-07 |
CH406655A (de) | 1966-01-31 |
DE1423598B2 (de) | 1971-08-12 |
BE620524A (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
SH | Request for examination between 03.10.1968 and 22.04.1971 | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
EHJ | Ceased/non-payment of the annual fee |