DE1423598A1 - Vergleichsvorrichtung - Google Patents

Vergleichsvorrichtung

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DE1423598A1
DE1423598A1 DE19611423598 DE1423598A DE1423598A1 DE 1423598 A1 DE1423598 A1 DE 1423598A1 DE 19611423598 DE19611423598 DE 19611423598 DE 1423598 A DE1423598 A DE 1423598A DE 1423598 A1 DE1423598 A1 DE 1423598A1
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Erwin Sick
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95607Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
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Description

Patentanmeldung
Ervfln. Sick« Xrsohanliaaeeii über .Ebanhausen .(_ Xsartal J
Die Srfinchmg betrifft eine Yorriektujig znn visuellen Vergleichen eines'Prüflings nit einen Meisteratuck, bei welcher Prüfling und Meisterstück mittels teils liehtdurchlassender, teila refleicfcierentter optischer Kittel werden . ..
Ss sind YorriohtunseH äieaer Art bekannt, bei denen die Bilder ▼on Prüfling und Heinterstüolr, irdttels oinos teildt^rcßlüssigea Spiegels Kur Bec.aiiöjg «fsbr&tfe* wes?den# In der Regel werden dies« Bilder iVbersitiäjtaer auf .β/ine Mattseheibe projiziert und r.eist
"«.· B» £iit fconpleEien.tären .Farben, gefärbt» nach der @inim oder andere Richtung in Erscheinung treten.
Ein öinfaolier teililisrsfeiaseiger Spiö^el nat deä Hac!itsile daß das durcMalleaie Lioht ( bei bildseiti^er.Verspiegelung ) das ölae d«3 SRiegels.blnfturehläuft vaaä. dabsl eine iresa des? . Strahlernei^uns abhängige seitliche Versetzung ge^onüfeer dem reflektierten Liofrt erführt, das nicht dureh eine Glasplatte hindtirohsttlaufsn liratiöht* Mari hat versucht, diesem durcih abauaelfiiiSi ünB r«an zxrei aiifeinaMsrlie«2@nds *3|prsieht tuacl die SpiegeXsohicht si-iieaheii diesen Amm ääy^^trieohö-Vöi'hältriifc'pe, %-mil dann wie ^a«l^fj.^ctierte Lieht die n
Aber auch diese Lösung ist für erhöhte Anforderungen noch un-· befriedigend, '/eil nänlicli eine Glasplatte in einen konvergenter* Strahlengang bekanntlieh einen Astigmatismus erseugt, der nicht korrigiert worden kann. Man könnte da3 natürlich-damit UEi^ehens daß nan den teildurchlässigen Spiegel im parallelen Strahlengang vorsieht. Aber auch diese Lösung "bringt...in der Praxis lcsinon Gewinn, weil man· dann nämiieh für das durchgehende und das reflektierte Licht je ein getrenntes Objektiv vorsehen müßte und beide Ob;jeküvevollkommen übereinstimmen müssen. Ein drittes Objektiv müßte dann die überlagerten paralleln Strahlenbündel vieder fokussieren. Abgesehen von dem erhöhten Aufwand käme durch die getrennten Objektive somit auch wieder eine Ungenaui^keit in die Apparatur.
Ber Erfindung lie r:t die Aufgabe zugrunde, diese Schwierigkeiten au
Erfin&üngsgeraäß wird daa dadurch erreicht, daß die überlßßemd«n optischen Mittel atatt von einem teildurchläsai^en Spiegel J von einem rotierenden Sektorspiegel gebildet v/erden» der mit einer über der FliEimerfrequenz liegenden Drehzahl umläuft. ;
Ein, Auaführimgsbeispiel der Erfindung iat in den Abbildungen dargestellt und im folgenden beochrisben.
Fig. 1 seigt schematisßh äen Strahlung e;)ner
nachder Erfindung. . iziK'tt
Fig. 2 zeigt den Sektorspiegel mit dam und
BAD OR(GlNAL
Pig. 3 zeigt ein anderes Aus filhrunßo bei spiel der Erfindung.
Mit 1 ist ein zu prüfendes Objekt und mit 2 ( Fi^. 1) ein Meisterstück bezeichnet. Das Meisterstück kann von einem Strichbild auf einer polierten Fläche, beispielsweise einem Spiegelgraben oder einer spiegelnden Tripel-Spv„r: gebildet werden. Dieses Strichbild wird von rechts ( Fig. l) über einen unter 45° geneigten telldurohläsaigen Spiegel 3 beleuchtet. Mit 4 let ein Sektorspiegel bezeichnet, der von einem Motor 5 angetrieben wird und der in Fig. 2 einzeln dargestellt ist.
Durch ein Objektiv 6 wird ein Bild des Prüflings 1 und des Meisterstücks 2 erzeugt; und zwar ein Bild des Prüflinge direkt längs der optischen Achse 7 und ein Bild des Meisterstückes über einen Spiegel 8 und den rotierenden Sektor- i spiegel 4 längs der Achse 9. !
Der Sektorspiegel rotiert mit einer Drehzahl die oberhalb der Flimmerfrequens llefltclso eWa oberhalb 16 Hz. Bei AOtBtIOn1 des SektorSpiegels f811t abwechselnd Licht von Prüfling 1 oder von der. Meisterstück 2 auf das Objektiv 6 , welches Über einen Spiegel 10 ein Bild auf einer nicht dargestellten j Ke/ttsohelbe proJistiert.
Bs erfolgt aleo eine Abbildung von Prüfling und HeiettWttrt/f;.^ , duroh ein eliiaigee Objektiv 6 , wobei durch den rotierenden aektorspiegel keinerlei Xdnaenfehler der oben beechritbeaeB \Aj1,^
* r , > ■ VtU*
BAD 0RK3INAL
Art auftreten«
Flg. 3 zeigt eine Abwandlung der in Fig· I dargestellten Anordnung, Bei dieser ist Brüfling und Meisterstück auf einem Schnlitten 11 mit Durehbrüehen 12 und 13 angeordnet. Die Beleuchtung erfolgt hier im durchtretenden Lieht» also in Fig. 3 von. unten. Die Abbildung erfolgt hier Φα&τ Ura- _ lenkspiegel 14 bzw» 15 und 16, welche bewirken, daß zwischen Objektiv und Prüf lins und zwischen Objektiv und Meis1;sretück gleiche*optisch« Weglängen liefen« obwohl Prüfling imd Meisterstück inoiner Bbesie auf dem Schlitten 11 angeordnet; öiÄfl wbJl 4i3. eine Abbildung fiber den rotierenden
p.rAem i& durchtratanden Strahlen-
*■:'- ■■
BAD ORKsiNAL

Claims (2)

  1. Patentansprüche
    Λ.) Vorrichtung zum visuellen Vergleichen eines Prüflings mit einem Meisterstück, bei welcher Prüfling und Meisterstück mittels teils lichtdurchlassender, teils reflektierender optischer Mittel ubereinandergespiegelt werden, dadurch gekennzeichnet, daß die besagten opticchen Mittel von einem rotierenden Sektorspiegel gebildet werden, der mit einer über der Flimmerfrequens liegenden Drehzahl umläuft.
  2. 2.) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein einziges abbildendes Objektiv im Sbrahleiigang hinter dem Sektcrspiegel vorgesehen ist.
    BAD
DE19611423598 1961-08-09 1961-08-09 Vergleichsvornchtung Expired DE1423598C (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES0075240 1961-08-09
DES0075240 1961-08-09

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1423598A1 true DE1423598A1 (de) 1969-01-30
DE1423598B2 DE1423598B2 (de) 1971-08-12
DE1423598C DE1423598C (de) 1973-04-19

Family

ID=

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2443078A1 (fr) * 1978-03-21 1980-06-27 Thomas Ets Louis Et Pierre Systeme optique pour controle de fabrication
EP0059025A1 (de) * 1981-02-24 1982-09-01 The Commonwealth Of Australia Optisches System für ein Spektrophotometer

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2443078A1 (fr) * 1978-03-21 1980-06-27 Thomas Ets Louis Et Pierre Systeme optique pour controle de fabrication
EP0059025A1 (de) * 1981-02-24 1982-09-01 The Commonwealth Of Australia Optisches System für ein Spektrophotometer
US4478513A (en) * 1981-02-24 1984-10-23 Commonwealth Of Australia Optical system for a spectrophotometer

Also Published As

Publication number Publication date
GB971276A (en) 1964-09-30
FR1329272A (fr) 1963-06-07
CH406655A (de) 1966-01-31
DE1423598B2 (de) 1971-08-12
BE620524A (de)

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SH Request for examination between 03.10.1968 and 22.04.1971
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