DE2237041C3 - Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Körpern mittels Interferenzen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen mit Hilfe von Interferenzen, vorzugsweise an Prüflingen mit gekrümmter Oberfläch«;, gemäß dem Ouerbegriff des Anspruchs 1.

Es sind bereits Einrichtungen der genannten Art bekannt, mit welchen Langenmessungen an Prüflingen

jo unter Benutzung vun Zweistrahlinterferenzen, die in der Nähe der beleuchteten Prüflingsflächen erzeugt werden, durchgeführt werden. Zur Erzeugung von Interferenzstreifen wird eine Blende benutzt, die einen Spalt besitzt, der durch den Kollimator einer Beleuchtungseinrichtung nach unendlich abgebildet wird. Das durch den Kollimator parallel gerichtete, von dem Spalt der Blende ausgehende Lichtbündel verläuft geneigt zur Tangentialebene im Meßpunkt der beleuchteten Prüflingsoberfläche und schräg zur optischen Achse der aus Lichtquelle, Blende und Kollimator bestehenden Beleuchtungseinrichtung, derart, daß ein Teil des Lichlbündels am zu messenden Prüflings reflektiert wird und der andere Teil vom Prüfling unbeeinflußt bleibt. Dieser Meßpunkt begren/t die zu messende Strecke. Beide Teilbündel interferieren in der Nähe des Prüflings, wobei ein System aus hellen und dunklen Streifen entsteht, die parallel zur anvisierten Prüflingsfläche verlaufen und durch iin Meßmikroskop beobachtet und mit einer Okularstrichmarke anvisiert werden. Um die

■so Abmessungen eines Prüflings, z. B. eines Zylinders, zu bestimmen, wird dieser nacheinander diametral beleuchtet und die entstehenden Interferenzstreifen werden anvisiert. Aus dem Abstand der nacheinander auf beiden Seiten des Prüflings mit Hilfe der Okularstrichmarke cingefangenen Interferenzstreifen ist nach der bekannten Beziehung

sin

- 2 sin

s It

sin

Wobei Λο der kleinste vorkommende Winkel und k eine natürliche Zahl isl,

der Durchmesser c/des Prüflings berechenbar, wobei
a = der Abstand der eingefarigeneh IhterferenzstreU fen,

A — die Wellenlänge des verwendeten Lichtes,
k = eine von der Streifenanordnung abhängige Kon-

stanteund
Λ = der Winkel, unter dem das Lidhtbündel im Meßpunkt auf die Tangentialebene der Prüflingsöberflüche trifft,

Es ist ein Nachteil dieser bekannten Einrichtungen, daß die entstehenden Zweistrahlinterferenzen relativ breite Stufen bilden, wodurch die Genauigkeit des Einfangens dieser Streifen mit der Okularstrichmarke des Meßmikroskopes eingeschränkt wird. Durch Ver- ^r> wendung nur eines Spaltes in der Blende ist die Beleuchtungsstärke in der Ebene, nt der die Interferenzen entstehen, gering, so daß ein Einsatz fotoelektrischer Mittel zum Anvisieren dieser Interferenzen Schwierigkeiten bereitet. Ferner entstehen am Prüfling meist mehrere, dicht benachbarte Interferenzstreifen, von denen jedoch nur einer zur Messung benötigt wird. Einstellungsfehler am MeBmikroskop können dadurch entstehen, daß von den sehr dicht nebeneinanderliegenden Interferenzstreifen nicht der dem Prüfling nächste i^ri Streifen mit der Okularstrichmarke eingefangen wird. Ein weite: er wesentlicher Nachteil besteht darin, daß das Scharfeinstellen des Meßmikroskopes auf die Ebene der Interferenzen Schwierigkeiten bereitet, da hierbei die Bewegung der Interferenzstreifen .n Meßrichtung, >o also senkrecht zum Streifenverlauf, verfolgt und. auf den Stillstand des Interferenzstreifensd eingestellt werden muß.

Es ist deshalb der Zweck der Erfindung, eine Einrichtung zu schaffen, bei welcher die Nachteile des y, Standes der Technik beseitigt sind, und mit welcher die Genauigkeit des Anvisierens der Interferenzstreifen erhöht wird.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei jo der die Schärfe des anzuvisierenden Interferenzstreifens erhöht, das Verhältnis der Linienbreite des Interferenzstreifens zum Abstand vom Prüfling bzw. zum Abstand vom Prüfling bzw. zum benachbarten Interferenzstreifen günstiger ist und somit das Anvisieren der Streifen erleichtert wird, und wobei ferner die Helligkeit der Interferenzen gesteigert ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst

Hierbei ist es vorteilhaft, wenn die Beleuchtungseinrichtung einen Kollimator und in dessen Brennebene eine Blende aufweist, welche mindestens zwei transparente parallel zueinander und zur zu messenden Körperfläche parallel verlaufende Schlitze in verschiedenen Absfänden von der optisc'ien Achse der Beleuchtungseinrichtung besitzt.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Abstände h\, hi... hi, der einzelnen Schlitze der Blende von der optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung in folgendem Verhältnis zueinander stehen: Λι : hi:...: Λ* = I : 2 ...:/·, worin k eine natürliche Zahl ist.

Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform besteht darin, wenn die Winkel <χ* der von den einzelnen Schlitzen ausgehenden Parallel-Lichtbündel mit der Tangentialebene im Meßpunkt der Prüflingsoberflache in folgender gesetzmäßiger Beziehung zueinander stehen: sin ·«, = 1 sin \„

sin

= 2 sin

60

65

sin ctk κ» k sin «β ,
wobei «0 der kleinste Vorkommende Winkel und Ic eine natürliche Zahl ist, und wenn die Breite der Schlitze klein ist gegenüber den Abständen dieser Schlitze von der optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung ist.

Zur Erzeugung schmaler Interferenzstreifen ist es vorteilhaft, wenn die Beleuchtungseinrichtung Lichtfilter zur Erzeugung monochromatischen Lichtes besitzt

Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß die Beleuchtungseinrichtung eine oder mehrere Laserlichtquelicii zur Erzeugung parallelstrahliger monochromatischer Lichtbündel umfaßt Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Blende symmetrisch zur optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung angeordnete parallel und transparente Schlitze aufweist

Bei Anwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung entsteht in der Nähe der Prüflingsfläche jeweils ein sehr scharf begrenzter schmaler Interferenzstreifen, wodurch zum Einfangen dieses Streifens mit der Okularmeßmarke des Meßmikroskopes hoherp Mikroskopvergrößerungen anwendbar sind. Daduix*. verringert sich die Unsicherheit des Einfangens der Interierenzstreifen wesentlich und eine höhere Meßgenauigkeit wird erzieh Durch die Anwendung mehrerer Spalte ir der Blende bzw. mehrerer Laserlichtquellen wird die Helligkeit der entsprechenden Interferenzen wesentlich geseigert, so daß das Einfangen der Interferenzstreifen mit fotoelektrischen Mitteln und damit die Automatisierung des Meßvorganges begünstigt wird. Die gesteigerte Bildhelligkeit kann auch dazu genutzt werden, daß Meßmikroskop durch einen in der Bedienung bequemeren Meßprojektor zu ersetzen.

Die Erfindung ist nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt

Fig.1 eine erfindungsgemäße Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen,

F i g. 2 die Ausbildung der hierbei verwendeten Blende,

Fig. 3 eine weitere erfindungsgemäße Einrichtung mit 1 aserlichtquellen,

Fig.4 eine weitere Ausführungsform der verwendeten Blende,

F i g. 5 eine weitere Ausführungsform der erfmdungsgemäßen Einrichtung.

Die in F i g. 1 schematisch dargestellte erfindungsgemäße Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen umfaßt eine Aufnahmevorrichtung 1 für einen Prüfling 2, eine Beleuchtungseinrichtung 3 und ein Meßmikroskop 4 zur Beobachtung, wobei die optische Achse X-X der Beleuchtungseinrichtung 3 und des Meßmikroskopes 4 fluchten und die Beleuchtungs einrichtung dem Meßmikroskop zugeordnet ist. Die Beleuchtungseinrichtung 3 enthält eine Lichtquelle 5, eine Kondensoroptik 6, die die Lichtquelle in die Ebene einer Blende 7 abbildet und einem Kollimator 8, in dessen vorderer Brennebene die Blende 7 angeordnet ist. Zur Erzeugung monochromatischen Lichtes sind ferner in der Beleuchtungseinrichtung Lichtfilter 7a vorgesehen. Die Blende 7 besitzt mindestens zwei parallel zueinander verlaufende transparente Sehlitze 9, 10, 11, 12 (Fig. 2), die in einem bestimmten Abstand h\, hi...hk von der optischen Achse X^X des Strahlenganges angeordnet sind, wobei die Breite dieser Schlitze klein gegenüber ihnm Abstand von der optischen Achse A^Yist. Für die Abstände der Schlitze 9,10,11,12 von der optischen Achse X-X gilt folgende Proportion: h\ · hi:., > hk= 1 :2 :..,: k, worin k eine natürliche Zahl ist. Diese Schlitze werden bei der Messung parallel zur

anzuvisierenden Prüflihgsfläche ausgerichtet. Durch den Kollimator 8 werden die beleuchteten Schlitze 9₍ 10, 11, 12 der Blende 7 nach unendlich abgebildet, d.h. die von den Schlitzen ausgehenden Lichlbündel werden durch den Kollimator 8 parallel gerichtet. Diese Lichtbündel sind unter Winkeln <*|, aj,...,&kgegen die optische Achse X-X, die gleichzeitig parallel zu der Tangentialebene E im Meßpünkl der Prüflingsobcrfläche liegt, geneigt, wobei diese Winkel durch den Abstand /;* der Schlitze von der optischen Achse X-X des Strahlcnganges und durch die Brennweite des Kollimators 8 bestimmt sind. Diese Winkel «* stehen in folgender gesetzmäßiger Beziehung zueinander

sin

sin

= 1 sin \₀

= 2 sin \_n

fens, λ die Wellenlänge des verwendeten Lichtes und « der Winkel des Lichlbündcls mit der Tangentialebene im Meßpunkt P des Prüflings 2 der mit der optischen Achse X-X der Beleuchtungseinrichtung sind. Werden bei der Messung mehrere Parailellichtbündcl gleichzeitig zur Beleuchtung benutzt, deren Winkel «* den obengenannten Beziehungen genügen, so gibt es ebenfalls einen Punkt A in einem Abstand c vom Prüfling 2, in dem sämtliche Verwendeten Lichtbündel Dunkelheit in der Interferenzstreifenanordnung ergeben.

Betrachtet man zunächst das Lichtbündel mit dem kleinsten Winkel äi, so besitzt der erste dunkle Interferenzstreifen mit A^-=I den Abstand c vom Prüfling 2 von

I ·
sin

20

sin \_K = k sin \₀ ,

worin oco der kleinste vorkommende Winkel ist, den das Lichtbündel des der optischen Achse A"-A"am nächsten gelegenen Schlitzes 9 und die optischen Achse X-X bilden. Im Ausführungsbeispiel islao=«i·

Von den aus den Schlitzen 9 und 10 der Blende 7 (Fig. 1) kommenden, durch den Kollimator 8 parallel gerichteten Lichtbündeln wird jeweils ein Teil, von dem Prüfling 2 reflektiert, in das Meßmikroskop 4 geleilet. Der andere Teil der einzelnen Lichtbündel trifft das Meßmikroskop direkt, d. h. von dem Prüfling 2 unbeeinflußt. Beide Teile eines jeden Lichtbündels interferieren in einer außerhalb des Prüflings 2 liegenden parallel zur anvisierenden Prüflingsfläche verlaufenden Geraden. In Fig. 1 ist diese Stelle, an der sich die Mehrstrahlinterferenzen bilden, mil A bezeichnet.

r\...~»U Al_n D_n_..«....—*- «.«I t-:_J

k^ulWI \ΛΙ** Ut.MUll.Ullg HtVtII ^l t.1 , T^/Il , Ct ä«.tll<.UCt ICH

Schlitzen 9,10, It, 12 ausgehender, paralleler Lichtbündel, deren Winkel α* den oben angeführten Beziehungen genügen, entstehen in A Mehrstrahlinterferenzen. In diesem Punkt A zeigen alle Lichtbündel Dunkelheit, und es entsteht somit ein sehr scharf begrenzter parallel zur anvisierten Prüflingskante verlaufender dunkler Interferenzstreifen, der mit Hilfe einer Okularmeßmarke im Meßmikroskop 4 bei der Messung eingefangen wird. Dieser Mehrstrahi/nterferenzstreifen ergibt sich bereits bei Anwendung zweier Schlitze 9 und 10 in der Blende 7, wie es in F i g. 1 dargestellt ist.

Bei Benutzung nur eines Lichtbündels gilt Für den Abstand cdes Punktes A von der Tangentialebene E irr. Meßpunkt Pder Prüflingsfläche (Fig. 1) bei Scharfeinstellung des Mikroskopes auf den Umkehrpunkt

ic-/.

2 sin χ,

oder bei kleinem Winkel

k-λ

30

35

40

45

50

55 Das Lichtbündel mit dem nächslgrößeren Winkel α* wobei sin «2 = 2 · sin «ι ist, erzeugt im Abstand c ebenfalls Dunkelheit, da dort das Minimum zweiter Ordnung, also A-=2, dieses Lichtbündels liegt. Es gilt also

60

65 2/
2 sin

sin \,

worin k eine naturliche Zahl, in diesem Falle die Ordnungszahl des benutzten dunklen Interferenzstrei-Ebenso bildet das Lichtbündel mit dem Winkel «* im Abstand cvom Prüfling 2 das Minimum A--ter Ordnung, so daß sich für cebenfalls die Beziehung

1 ;.

2 sin x,

ergibt.

So fallen also im Punkt A das erste Interferenzminimum des ersten Lichtbündels und das zweite Minimum des zweiten Lichtbündels mit dem Ar-ten Minimum des A--ten Lichtbündels zusammen. Der so entstehende Mehrstrahlinterferenzstreifen ist, wie Theorie und Praxis übereinstimmend zeigen, besonders scharf, d. h.

ucT luici'täiiaiävCt läüi inncffiaiO UlCaCb .Stfciicna lsi annähernd rechteckförmig.

Die Realisierung eines Interferenzstreifens A--ten Ordnung hat eine entsprechend große Kohärenzlänge des verwendeten Lichtes zur Voraussetzung. Ein relativ geringer beleuchtungsseitiger Aufwand ergibt sich, wenn die Beleuchtungseinrichtung 3 mit einer Glühlampe als Lichtquelle 5 und einem Lichtfilter Ta zur Erzeugung annähernd monochromatischen Lichtes versehen ist. Mit einer solchen Beleuchtungseinrichtung 3 sind für die Messung hinreichend deutliche, gut einfangbare Interferenzstreifen dritter Ordnung erzeugbar. Die Blende 7 besitzt in einem solchen Falle drei Schlitze, so daß drei Lichtbündel zur Beleuchtung der Flächen des Prüflings 2 zur Verfugung stehen.

Das vereinfachte Fokussierkriterium, d. h. Fokussierung des Meßmikroskopes 4 auf beste Schärfe des Interferenzstreifens statt, wie beim Stand der Technik, auf den Umkehrpunkt der Bewegung des Interferenzstreifens, resultiert aus der Tatsache heraus, daß bei Benutzung parallelstrahliger Lichtbündel gleichzeitig nur in einem sehr engen Fokussierbereich sämtliche, unter verschiedenen Winkeln α* einfallenden Lichtbündel in einem annähernd gleichen Abstand cvom Prüfling 2 dunkle Interferenzstreifen erzeugen, so daß eine bequeme Fokussierung des Meßmikroskopes 4 auf die größte Schärfe des Interferenzstreifens vornehmbar ist.

el = c -

sin \_k

sin \,

die zu bestimmende Abmessung d des Prüflings 2 zu berechnen.

■ g ι

CImC VVCItCrC /^\Ιί5ιίΐιιΓ

40

Bei der in Fig.3 dargestellten Einrichtung sind als Beleuchtungseinrichtung zur Erzeugung paralleler kohärenter Lichtbündel ein oder mehrere Läserlichtqüellen 13j, 14 vorgesehen. Von jedem Lichtbündel verläuft ein Teil direkt in das Meßmikroskop 4, während der > ändere Teils äfft Prüfling 2 reflektiert, ifi das Meßmikroskop trifft. Auf Grürid der geringen Apertur des Laserlichtes und der Tatsache, daß dieses Licht weitestgehend monochromatisch ist, entstehen parallel zur beleuchteten Priiflingsoberfläche in den Punkten B, B\... Bk (Fig. 3) dunkle Mehrstrahlinterferenzstreifen hervorragender Schärfe, von denen vorzugsweise der in B entstehende Streifen zur Messung mit der Okularmeßmarke des Meßmikroskopes 4 eingefangen wird. Für den Abstand des in S entstehenden Interfrenzstrei- ι > fens von dem Prüfling 2 gilt die obengenannte Beziehung für den Absland canalog.

Zur Bestimmung der Abmessungen des Prüflings 2, z. B. des Durchmessers eines zylindrischen Körpers oder der Länge eines prismatischen Körpers, wird dieser nacheinander an gegenüberliegenden Flächen beleuchtet. Hierzu werden der Prüfling 2 und das Meßmikroskop 4 mit der Beleuchtungseinrichtung 3 relativ zueinander verschoben, wobei ebenfalls die Blende 7 um 180° um die optische Achse X-X der i^r> Beleuchtungseinrichtung 3 gedreht wird. Bei Anwendung von Lasern 13,14 als Lichtquelle ist es erforderlich, diese so zu verschieben, daß sie links von der optischen Achse X-X (gemäß F i g. 3) angeordnet sind. Aus dem Abstand des an der einen beleuchteten Prüflingsfläche m mit der Okularmeßmarke des Meßmikroskopes 4 eingefangenen Interferenzstreifens von dem an der anderen Prüflingsfläche eingefangenen Interferenzstreifen ist nach der bekannten Beziehung

3ΟΓΐΤΐ CT symmetrisch zur Optischen Achse angeordnete Schlitze 9, 10, 11 und 15, 16, 17, die im Abstand h\...ht bzw. Λι... Λ* von der optischen Achse X-X entfernt sind. Diese Blende 7' wird mit Vorteil bei der Messung von Bohrungen bzw. von Prüflingen mit ebenen Flächen angewendet, weil bei der Beleuchtung gegenüberliegender Prüflingsflächen eine Drehung der Blende T in der Beleuchtungseinrichtung unterbleiben kann. Dies ist eine spürbare Biedienungserleichlerung. Damit enlfallen auch etwaige Fehiereinflüsse, die durch Lageänderung der Blende 7'bei einer Drehung um 180° bedingt sind.

F i g. 5 zeigt eine weitere, schematisch dargestellte Ausführungsform der Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen. Die Einrichtung umfaßt wie die in Fig. I dargestellte eine Aufnahmevorrichtung 1 für einen Prüfling 2, eine Beleuchtungseinrichtung 3 und ein Meßmikroskop 4 zur Beobachtung des Interferenzbildes. Zur Beleuchtungseinrichtung 3 gehört eine Lichtquelle 5, die über die Kondensoroptik 6 und ein Lichtfilter Ta die Blende 7 mit den lichtdurchlässigen Schlitzen 9, 10, beleuchtet. Letztere befinden sich außerhalb der optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung, die vor einem Strahlenteilungswürfel 18 senkrecht zur optischen Achse des Meßmikroskopes verläuft, und werden durch den Kollimator 8 über den Strahlenteilungswürfel 18 nach Unendlich abgebildet.

Dadurch trifft das von jedem der Schlitze 9, 10, zunächst divergent ausgehende Licht als zur optischen Achse des Meßmikroskopes geneigtes Parallelichtbündel auf einen Planspiegelreflektor 19, der sich in Beleuchtungsrichtung hinter dem Prüfling 2 befindet.

Der Planspiegelreflektor 19 reflektiert die Parallellichtbündel zum Prüfling 2 hin, wobei das Lichtbündel teils am Prüfling 2 vorbeiläuft und teils von diesem reflektiert wird, so daß es auf die bereits im Ausführungsbeispiel 1 beschriebene Art zur Inlerferenzbildung im Punkt Dkommt.

Die parallel zur Prüflingsfläche verlaufenden Interferenzlinien werden im Meßmikroskop 4 beobachtet.

Blende dargestellt. Diese Blende T besitzt beidseitig jeweiligen Meßaufgabe.

hie* nac

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

1 Patentansprüche:

1. Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Paten an Prüflingen, vorzugsweise mit gekrümmter Oberfläche, mit Hilfe von Interferenzen, die durch geneigt zur Tangentialebene im Meßpunkt der Prüflingsoberfläche von einer Beleuchtungseinrichtung auffallendes annähernd monochromatisches Licht dadurch erzeugt werden, daß ein Teil des Lichtes an der Prüflingsoberfläche reflektiert wird und der andere Teil direkt am Prüfling vorbeiläuft und beide Lichtteile miteinander interferieren, wobei der Abstand der Interferenzstreifen durch ein relativ zum Prüfling verschiebbares Meßmikroskop mit einer starren oder verschiebbaren Meßmarke oder durch fotoelektrische Empfänger gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (3, 13, 14) mindestens zwei unter verschiedenen Winkeln (α,ΐ, &i) zur Tangentialebene (E) im Meßpunkt (P) der Prüflingsoberfläche (2) geneigte kohärente Parallelichtbündel derart gegen die zu messende Fläche des Prüflings (2) aussendet, daß von jedem dieser Parallelichtbündel jeweils ein Teil von der Oberfläche des Prüflings (2) reflektiert wird und danach in die Beobachtungseinrichtung gelangt, während der ändert Teil jedes dieser Parallelichtbündel direkt in die Beobachtungseinrichtung (4) trifft, und daß die in der Umgebung (A. B) des Prüflings (2) parallel zur beleuchteten Prüflingsoberfläche entstehenden Mehrstrahlinterferenzstreifen mit der Beobachtungseinrichtung (4) ausgemessen werden.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtung einrichtung einen Kollimator (8) und in dessen Brennebene eine Blende (7) aufweist, welche mindestens zwei transparente, parallel zueinander und zur zu messenden Körperfläche (P) parallel verlaufende Schlitze (9, 10, 11, 12) in verschiedenen Abständen (h\, h₂... hk) von der optischen Achse X-X der Beleuchtungseinrichtung (3) besitzt.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände (hu fa... hk)der einzelnen Schlitze (9, 10, 11, 12) der Blende (7) von der optischen Achse (X-X)acr Beleuchtungseinrichtung (3) in folgendem Verhältnis zueinander stehen: h\ : Λ?:...: hy = 1 : 2 :...: k, worin k eine natürliche Zahl ist.

4. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3. dadurch gekennzeichnet, daß die Winkel <x* der von den einzelnen Schlitzen (9, 10, 11, 12) ausgehenden Paraileliclubündel mit der Tangentialebene (E) im Meßpunkt (P) der Prüflingsoberfläche (2) in folgender gesetzmäßiger Beziehung zueinander stehen

sin ■>, - I sin \_n

5. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Schlitze (9,10,11, 12) klein ist gegenüber den Abständen (h\, /)?,..- hk) dieser Schlitze von der optischen Achse (X-X)) der Beleuchtungseinrichtung (3).

6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß die Beleuchtungseinrichtung (3) Lichtfilter IJa) zur Erzeugung monochromatischen Lichtes besitzt.

7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung eine oder mehrere Laserlichtquellen (13, 14) zur Erzeugung paralletstrahliger monochromatischer Lichtbündel umfaßt.

8. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende (7') symmetrisch zur optischen Achse (X-X) der Beleuchtungseinrichtung (3) angeordnete parallele und transparente Schlitze (9-11,15-17) aufweist.