DE2237041B2 - Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Körpern mittels Interferenzen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen mit Hilfe von Interferenzen, vorzugsweise an Prüflingen mit gekrümmter Obenfäche, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Es sind bereits Einrichtungen der genannten Art bekannt, mit welchen Längenmessungen an Prüflingen unter Benutzung von Zweistrahlinterferenzen, die in der Nähe der beleuchteten Prüflingsflächen erzeugt werden, durchgeführt werden. Zur Erzeugung von Interferenzstreifen wird eine Blende benutzt, die einen Spalt besitzt, der durch den Kollimator einer Beleuchtungseinrichtung nach unendlich abgebildet wird. Das durch den Kollimator parallel gerichtete, von dem Spalt der Blende ausgehende Lichtbündel verläuft geneigt zur Tangentialebene im Meßpunkt tier beleuchteten Prüflingsoberfläche und schräg zur optischen Achse der aus Lichtquelle, Blende und Kollimator bestehenden Beleuchtungseinrichtung, derart, daß ein Teil des Lichtbündels am zu messenden Prüflings reflektiert wird und der andere Teil vom Prüfling unbeeinflußt bleibt. Dieser Meßpunkt begrenzt die zu messende Strecke. Beide Teilbündel interferieren in der Nähe des Prüflings, wobei ein System aus hellen und dunklen Streifen entsteht, die parallel zur anvisierten Prüflingsfläche verlaufen und duvch ein Meßmikroskop beobachtet und mit einer Okularstrichmarke anvisiert werden. Um die Abmessungen eines Prüflings, z. B. eines Zylinders, zu bestimmen, wird dieser nacheinander diametral beleuchtet und die entstehenden Interferenzstreifen werden anvisiert. Aus dem Abstand der nacheinander auf beiden Seiten des Prüflings mit Hilfe der Okularstrichmarke eingefangenen Interferenzstreifen ist nach der bekannten Beziehung

sin λ

= 2 sin

sin \_k = k sin \_n ,

wobei .»ο der kleinste vorkommende Winkel und k eine natürliche Zahl ist.

tier Durchmesser t/des Prüflings berechenbar, wobei
a = der Abstand der eingefangenen Interferenzstreifen,

λ = die Wellenlänge des verwendeten Lichtes,
k — eine von der Streifenanordnung abhängige Konstantp und

λ = der Winkel, unter dem das Lichtbündel im Meßpunkt auf die Tangentialobene der Prüflingsoberfläche trifft.

Es ist ein Nachteil dieser bekannten Einrichtungen, daß die entstehenden Zweistrahlinterferenzen relativ breite Stufen bilden, wodurch die Genauigkeit des Einfangens dieser Streifen mit der Okularstrichmarke des Meßmikroskopes eingeschränkt wird. Durch Ver- ί wendung nur eines Spaltes in der Blende ist die Beleuchtungsstärke in der Ebene, in der die Interferenzen entstehen, gering, so daß ein Einsatz fotoelektrischer Mittel zum Anvisieren dieser Interferenzen Schwierigkeiten bereitet Ferner entstehen am Prüfling meist mehrere, dicht benachbarte Interferenzstreifen, von denen jedoch nur einer zur Messung benötigt wird. Einstellungsfehler am Meßmikroskop können dadurch entstehen, daß von den sehr dicht nebeneinanderliegenden Interferenzstreifen nicht der dem Prüfling nächste Streifen mit der Okularstrichmarke eingefangen wird. Ein weiterer wesentlicher Nachteil besteht darin, daß das Scharfeinstellen des Meßmikroskopes auf die Ebene der Interferenzen Schwierigkeiten bereitet da hierbei die Bewegung der Interferenzstreifen in Mcßrichiung, also senkrecht zum Streifenverlauf, verfolg·* und auf den Stillstand des Interferenzstreifensd eingestellt werden muß.

Es ist deshalb der Zweck der Erfindung, eine Einrichtung zu schaffen, bei welcher die Nachteile des Standes der Technik beseitigt sind, und mit welcher die Genauigkeit des Anvisierens der Interferenzstreifen erhöht wird.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der die Schärfe des anzuvisierenden Interferenzstreifens erhöht das Verhältnis der Linienbreite des Interferenzstreifens zum Abstand vom Prüfling bzw. zum Abstand vom Prüfling bzw. zum benachbarten Interferenzstreifen günstiger ist und somit das Anvisie- r> ren der Streifen erleichtert wird, und wobei ferner die Helligkeit der Interferenzen gesteigert ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

Hierbei ist es vorteilhaft, wenn die Beleuchtungseinrichtung einen Kollimator und in dessen Brennebene eine Blende aufweist, welche mindestens zwei transparente parallel zueinander und zur zu messenden Körperfläche parallel verlaufende Schlitze in verschiedenen Abständen von der optischen Achse der 4-, Beleuchtungseinrichtung besitzt.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Abstände hu h2...hk der einzelnen Schlitze der Blende von der optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung in folgendem Verhältnis zueinander stehen: h\ :hi:...:hk = 1 : 2 ,..: k, worin k eina natürliche Zahl ist.

Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform besteht darin, wenn die Winkel λ* der von den einzelnen Schlitzen ausgehenden Parallel-Lichtbündel mit der Tangentialebene im Meßpunkt der Prüflingsoberfläche -,-, in folgender gesetzmäßiger Beziehung zueinander stehen:

sin \| =

sin \„

sin

= 2 sin

sin n = k sin \„ ,
wobei «ο der kleinste vorkommende Winkel und k eine natürliche Zahl ist; und wenn die Breite der Schlitze klein ist gegenüber den Abständen dieser Schlitze von der optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung ist.

Zur Erzeugung schmaler Interferenzstreifen ist es vorteilhaft, wenn die Beleuchtungseinrichtung Lichtfilter zur Erzeugung monochromatischen Lichtes besitzt.

Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung besteht darin, daß die Beleuchtungseinrichtung eine oder mehrere Laserlichtquellen zur Erzeugung parallelstrahliger monochromatischer Lichtbündel umfaßt. Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Blende symmetrisch zur optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung angeordnete parallel und transparente Schlitze aufweist

Bei Anwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung entsteht in der Nähe der Prüflings/Iächs jeweils ein sehr scharf begrenzter schmaler Interferenzstreifen, wodurch z'im Einfangen dieses Streifens mit der Okularmeßmarke des Meßmikroskopes' /here Mikroskopvergrößeruiigen anwendbar sind. Dadur-h verringert sich die Unsicherheit des Einfangens der Interferenzstreifen wesentlich und eine höhere Meßgenauigkeit wird erzielt. Durch die Anwendung mehrerer Spalte in der Blen-le bzw. mehrerer Laserlichtquellen wird die Helligkeit der entsprechenden Interferenzen wesentlich geseigert, so daß das Einfangen der Interferenzstreifen mit fotoelektrischen Mitteln und damit die Automatisierung des Meßvorganges begünstigt =vird. Die gesteigerte Bildhelligkeit kann auch dazu genutzt werden, daß Meßmikroskop durch einen in der Bedienung bequemeren Meßprojektor zu ersetzen.

Die Erfindung ist nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert In den Zeichnungen zeigt

Fig. 1 eine erfindungsgemäße Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen,

F i g. 2 die Ausbildung der hierbei verwendeten Blende,

Fig. 3 eine weitere erfindungsgemäße Einrichtung r.-it Laserlichtquellen,

F i g. 4 eine weitere Ausführungsform der verwendeten Blende,

F i g. 5 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Einrichtung.

Die in Fig. 1 schematisch dargestellte erfindungsgemäße Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen umfaßt eine Aufnahmevorrichtung 1 für einen Prüfling 2, eine Beleuchtungseinrichtung 3 und ein Meßmikroskop 4 zur Beobachtung, wobei die optische Achse X-Xder Beleuchtungseinrichtung 3 und des Meßmikroskopes 4 fluchten und die Beleuchtungseinrichtung dem Meßmikroskop zugeordnet ist. Die Beleuchtungseinrichtung 3 enthält eine Lichtquelle 5, eine Kondensorootik 6, die die Lichtquelle in die Ebene einer Blende 7 abbildet und einem !Collimator 8, in dessen vorderer Brennebene die Blende 7 angeordnet ist. Zur Erzeugung monochromatischen Lichtes sind ferner in der Ejleuchtungseinrichtung Lichtfilter Ta vorgesehen. Die Blende 7 besitzt mindestens zwei parallel zueinander verlaufende transparente Schlitze 9, 10, 11, 12 (F i g. 2), die in einem bestimmten Abstand h_u Λ2... h/t von der optischen Achse A"-Xdes Strahlenganges angeordnet sind, wobei die Breite dieser Schlitze klein gegenüber h'irem Abstand von der optischen Achse X-Xist Für die Abstände der Schlitze 9,10,11,12 von der optischen Achse X-Xgilt folgende Proportion: /ii : Λ2 : ■.. Λ*— 1 :2 :...: k, worin k eine natürliche Zahl ist. Diese Schlitze werden bei der Μρ«ιιησ nnrallpl jnr

anzuvisierenden Prüflingsfläche ausgerichtet. Durch den Kollimator 8 werden die beleuchteten Schlitze 9,10, (1, 12 der Blende 7 nach unendlich abgebildet, d. h. die von den Schlitzen ausgehenden Lichtbündel werden durch den Kollimator 8 parallel gerichtet. Diese

Lichtbündel sind unter Winkeln «ι, «2 <x* gegen die

optische Achse X-X, die gleichzeitig parallel zu der Tangentialebene E im Meßpunkt der Prüflingsoberfläche liegt, geneigt, wobei diese Winkel durch den Abstand Λ* der Schlitze von der optischen Achse X-X des Strahlenganges und durch die Brennweite des Kollimators 8 bestimmt sind. Diese Winkel <Xk stehen in folgender gesetzmäßiger Beziehung zueinander

sin χ, = 1 sin x_n
sin \₂ = 2 sin \_n

fens, Λ die Wellenlänge des verwendeten Lichtes und ι der Winkel des Lichtbündels mit der Tangentialebenim Meßpunkt P des Prüflings 2 der mit der optischei Achse X-X der Beleuchtungseinrichtung sind. Werdei bei der Messung mehrere Parallellichtbündel gleichzei tig zur Beleuchtung benutzt, deren Winkel α* dei obengenannten Beziehungen genügen, so gibt e ebenfalls einen Punkt A in einem Abstand c von Prüfling 2, in dem sämtliche verwendeten Lichtbünde Dunkelheit in der Interferenzstreifenanordnung erge ben.

Betrachtet man zunächst das Lichtbündel mit den kleinsten Winkel <Xi, so besitzt der erste dunkli Interferenzstreifen mit k=\ den Abstand c von Prüfling 2 von

c =

1 I · ;.

2 sin ■>,

sin

= k sin

worin \₀ der kleinste vorkommende Winkel ist, den das Lichtbündel des der optischen Achse X-X am nächsten gelegenen Schlitzes 9 und die optischen Achse Λ'-.Υ bilden. Im Ausfiihrungsbeispiel ist «ο = Λ|.

Von den aus den Schlitzen 9 und 10 der Blende 7 (Fig. 1) kommenden, durch den Kollimator 8 parallel gerichteten Lichtbündeln wird jeweils ein Teil, von dem Prüfling 2 reflektiert, in das Meßmikroskop 4 geleitet. Der andere Teil der einzelnen Lichtbündel trifft das Meßmikroskop direkt, d. h. von dem Prüfling 2 unbeeinflußt. Beide Teile eines jeden Lichtbündels interferieren in einer außerhalb des Prüflings 2 liegenden parallel zur anvisierenden Prüflingsfläche verlaufenden Geraden. In F i g. 1 ist diese Stelle, an der sich die Mehrstrahlinterferenzen bilden, mit A bezeichnet.

Durch die Benutzung mehrerer, von verschiedenen Schlitzen 9, 10, 11, 12 ausgehender, paralleler Lichtbündel. deren Winkel 1X1 den oben angeführten Beziehungen genügen, entstehen in A Mehrstrahlinterferenzen. In diesem Punkt A zeigen alle Lichtbündei Dunkelheit, und es entsteht somit ein sehr scharf begrenzter parallel zur anvisierten Prüflingskante verlaufender dunkler Interferenzstreifen, der mit Hilfe einer Okularmeßmarke im Meßmikroskop 4 bei der Messung eingefangen wird. Dieser Mehrsfrahlinterferenzstreifen ergibt sich bereits bei Anwendung z'veier Schlitze 9 und 10 in der Blende 7, wie es in F i g. 1 dargestellt ist.

Bei Benutzung nur eines Lichtbündels gilt für den Abstand cdes Punktes A von der Tangentialebene E im Meßpunkt Pder Prüflingsfläche (Fig. 1) bei Scharfeinstellung des Mikroskopes auf den Umkehrpunkt

oder bei kleinem Winkel

^c = T

k-λ

sin λ,

Das Lichtbündel mit dem nächstgrößeren Winkel ·\₂ wobei sin #..? = 2 ■ sin At ist, erzeugt im Abstand < ebenfalls Dunkelheit, da dort das Minimum zweitei Ordnung, also k = 2, dieses Lichtbündels liegt. Es gilt alsc

\ 2 λ

2 ' 2sin\,

sin χ.

worin k eine naturliche Zahl, in diesem Falle die Ordnungszahl des benutzten dunklen Interferenzstrei-Ebenso bildet das Lichtbündel mit dem Winkel /x_k in Abstand c vom Prüfling 2 das Minimum jt-ter Ordnung so daß sich für cebenfalls die Beziehung

2 sin χ,

ergibt.

So fallen also irn Punkt A das erste Interferenzminimum des ersten Lichtbündels und das zweite Minimum des zweiten Lichtbündels mit dem Ar-ten Minimum des Α-ten Lichtbündels zusammen. Der so entstehende Mehrstrahlinterferenzstreifen ist, wie Theorie und Praxis übereinstimmend zeigen, besonders scharf, d. h der Intensitätsverlauf innerhalb dieses Streifens isi annähernd rechteckförmig.

Die Realisierung eines Interferenzstreifens k-icn Ordnung hat eine entsprechend große Kohärenzlänge des verwendeten Lichtes zur Voraussetzung. Ein relativgeringer beleuchtungsseitiger Aufwand ergibt sich, wenn die Beleuchtungseinrichtung 3 mit einer Glühlam pe als Lichtquelle 5 und einem Lichtfilter 7a zur Erzeugung annähernd monochromatischen Lichtes versehen ist. Mit einer solchen Beleuchtungseinrichtung 3 sind für die Messung hinreichend deutliche, gui einfangbare Interferenzstreifen dritter Ordnung erzeugbar. Die Blende 7 besitzt in einem solchen Falle drei Schlitze, so daß drei Lichtbündel zur Beleuchtung dei Flächen des Prüflings 2 zur Verfügung stehen.

Das vereinfachte Fokussierkriterium, d. h. Fokussierung des Meßmikroskopes 4 auf beste Schärfe des Interferenzstreifens statt, wie beim Stand der Technik auf den Umkehrpunkt der Bewegung des Interferenzstreifens, resultiert aus der Tatsache heraus, daß bei Benutzung parallelstrahiiger Lichtbündel gleichzeitig nur in einem sehr engen Fokussierbereich sämtliche unter verschiedenen Winkeln α* einfallenden Lichtbündel in einem annähernd gleichen Abstand cvom Prüfling 2 dunkle Interferenzstreifen erzeugen, so daß eine bequeme Fokussierung des Meßmikroskopes 4 auf die größte Schärfe des Interferenzstreifens vornehmbar ist

Bei der in F i g. 3 dargestellten Einrichtung sind als Beleuchtungseinrichtung zur Erzeugung paralleler kohärenter Lichtbündel ein oder mehrere Laserlichtquellen 13, 14 vorges?hen. Von jedem Lichtbündel verläuft ein Teil direkt in das Meßmikroskop 4, während der "". andere Teil, am Prüfling 2 reflektiert, in das Meßmikroskop trifft. Auf Grund der geringen Apertur des Laser!^:,;htes und der Tatsache, daß dieses Licht weitestgehend monochromatisch ist, entstehen parallel zur beleuchteten Prüflingsoberfläche in den Punkten B, in Si ... Bk (F i g. 3) dunkle Mehrstrahlinterfnrenzstreifen hervorragender Schärfe, von denen vorzugsweise der in B entstehende Streifen zur Messung mit der Okularmeßmarke des Meßmikroskopes 4 eingefangen wird. Für den Abstand des in B entstehenden Interfrenzstrei- r> fens von dem Prüfling 2 gilt die obengenannte Beziehung für den Abstand canalog.

Zur Bestimmung der Abmessungen des Prüflings 2, /. B. des Durchmessers eines zylindrischen Körpers oder der Länge eines prismatischen Körpers, wird jo dieser nacheinander an gegenüberliegenden Flächen beleuchtet. Hierzu werden der Prüfling 2 und das Meßmikroskop 4 mit der Beleuchtungseinrichtung 3 relativ zueinander verschoben, wobei ebenfalls die Blende 7 um 180° um die optische Achse X-X der 2> Beleuchtungseinrichtung 3 gedreht wird. Bei Anwendung von Lasern 13,14 als Lichtquelle ist es erforderlich, diese so zu verschieben, daß sie links von der optischen Achse X-X (gemäß Fig. 3) angeordnet sind. Aus dem Abstand des an der einen beleuchteten Prüflingsfläche so mit f'er Okularmeßmarke des Meßmikroskopes 4 eingefangenen Interferenzstreifens von dem an der anderen Prüflingsfläche eingefangenen Interferenzstreifen ist nach der bekannten Beziehung

k ■ '/.

= C- -τ = C —

sin \_k

sin

die zu bestimmende Abmessung d des Prüflings 2 zu berechnen. -to

In Fig.4 ist eine weitere Ausführungsform der Blende dargestellt. Diese Blende T besitzt beidseitig symmetrisch zur optischen Achse angeordnete Schlitze 9, 10, 11 und 15, 16, 17, die im Abstand h\... Λ* bzw. h\... hk von der optischen Achse X-X entfernt sind. Diese Blende T wird mit Vorteil bei der Messung von Bohrungen bzw. von Prüflingen mit ebenen Flächen angewendet, weil bei der Beleuchtung gegenüberliegender Prüflingsflächen eine Drehung der Blende T in der Beleuchtungseinrichtung unterbleiben kann. Dies ist eine spürbare Bedienungserleichterung. Damit entfallen auch etwaige Fehlereinflüsse, die durch Lageänderung der Blende 7' bei einer Drehung um 180° bedingt sind.

Fig. 5 zeigt eine weitere, schematisch dargestellte Ausführungsform der Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen. Die Einrichtung umfaßt wie die in Fig. I dargestellte eine Aufnahmevorrichtung 1 für einen Prüfling 2, eine Beleuchtungseinrichtung 3 und ein Meßmikroskop 4 zur Beobachtung des Interferenzbildes. Zur Beleuchtungseinrichtung 3 gehört eine Lichtquelle 5, die über die Kondensoroptik 6 und ein Lichtfilter la die Blende 7 mit den lichtdurchlässigen Schlitzen 9, 10, beleuchtet. Letztere befinden sich außerhalb der optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung, die vor einem Strahlenteilungswürfel )8 senkrecht zur optischen Achse des Meßmikroskopes verläuft, und werden durch den Kollimator 8 über den Strahlenteilungswürfel 18 nach Unendlich abgebildet.

Dadurch trifft das von jedem der Schlitze 9, 10, zunächst divergent ausgehende Licht als zur optischen Achse des Meßmikroskopes geneigtes Parallelichtbündel auf einen Planspiegelreflektor 19, der sich in Beleuchtungsrichtung hinter dem Prüfling 2 befindet.

Der Planspiegelreflektor 19 reflektiert die Parallellichtbündel zum Prüfling 2 hin, wobei das Lichtbündel teils am Prüfling 2 vorbeiläuft und teils von diesem reflektiert wird, so daß es auf die bereits im Ausführungsbeispiel 1 beschriebene Art zur Interferenzbildung im Punkt Dkommt.

Die parallel zur Prüflingsfläche verlaufenden Interferenzlinien werden im Meßmikroskop 4 beobachtet.

Die Wahl der Blende richtet sich auch hier nach der jeweiligen Meßaufgabe.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:

1. Einrichtung zur Bestimmung geometrischer Daten an Prüflingen, vorzugsweise mit gekrümmter Oberfläche, mit Hilfe von Interferenzen, die durch geneigt zur Tangentialebene im MeBpunkt der Prüflingsoberfläche von einer Beleuchtungseinrichtung auffallendes annähernd monochromatisches Licht dadurch erzeugt werden, daß ein Teil des Lichtes an der Prüflingsoberfläche reflektiert wird und der andere Teil direkt am Prüfling vorbeiläuft und beide Lichtteile miteinander interferieren, wobei der Abstand der Interferenzstreifen durch ein relativ zum Prüfling verschiebbares Meßmikroskop mit einer starren oder verschiebbaren Meßmarke oder durch fotoelektrische Empfänger gemessen wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (3, 13, 14) mindestens zwei unter verschiedenen Winkeln («,ι, «2) zur Tangentialebene (E) im Meßpunkt (P) der Prüflingsoberfiäche (2) geneigte kohärente Parallelichtbündel derart gegen die zu messende Fläche des Prüflings (2) aussendet, daß von jedem dieser Parallelichtbündel jeweils ein Teil von der Oberfläche des Prüflings (2) reflektiert wird und danach in die Beobachtungseinrichtung gelangt, während der andere Teil jedes dieser Parallelichtbündel direkt in die Beobachtungseinrichtung (4) trifft, und daß die in der Umgebung (A, B) des Prüflings (2) parallel zur beleuchteten Prüiiingsoberfläche entstehenden Mehrstrahlinterferenzstreiien mit der Beobachtungseinrichtung (4) ausgemessen werde ■■>.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchte igseinrichtung einen Kollimator (8) und in dessen Brennebene eine Blende (7) aufweist, welche mindestens zwei transparente, parallel zueinander und zur zu messenden Körperfläche (P) parallel verlaufende Schlitze (9, 10, 11, 12) in verschiedenen Abständen (h\, hi... hk) von der optischen Achse X-X der Beleuchtungseinrichtung (3) besitzt.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände (h\, //2... fa) der einzelnen Schlitze (9, 10, 11, 12) der Blende (7) von der optischen Achse (Χ-Χ)άζτ Beleuchtungseinrichtung (3) in folgendem Verhältnis zueinander stehen: Λι : hi:...: Λν = 1 : 2 :...: k, worin k eine natürliche Zahl ist.

4. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Winkel λ* der von den einzelnen Schützen (9, 10, 11, 12) ausgehenden Parallelichtbündel mit der Tangentialebene (E) im MeBpunkt (P) der Prüflingsoberfläche (2) in folgender gesetzmäßiger Beziehung zueinander stehen

sin ·», = I sin \,,

5. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Schlitze (9,10,11, 12) klein ist gegenüber den Abständen (h\, hi,... hi) dieser Schlitze von der optischen Achse (X-X)) der Beleuchtungseinrichtung (3).

6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (3) Lichtfilter (Ja) zur Erzeugung monochromatischen Lichtes besitzt

7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung eine oder mehrere Laserlichtquellen (13, 14) zur Erzeugung parallelstrahliger monochromatischer Lichtbündel umfaßt.

8. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende (7') symmetrisch zur optischen Achse (X-X) der Beleuchtungseinrichtung (3) angeordnete parallele und transparente Schlitze (9-11,15-17) aufweist.