DE1237344B - Ablesemikroskop - Google Patents

Ablesemikroskop

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DE1237344B
DE1237344B DEZ10023A DEZ0010023A DE1237344B DE 1237344 B DE1237344 B DE 1237344B DE Z10023 A DEZ10023 A DE Z10023A DE Z0010023 A DEZ0010023 A DE Z0010023A DE 1237344 B DE1237344 B DE 1237344B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
parallel mirror
mirror arrangement
microscope
rhombohedral
reflection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEZ10023A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Kurt Raentsch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
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Priority to NL6403208A priority patent/NL6403208A/xx
Priority to US355044A priority patent/US3374046A/en
Priority to GB13326/64A priority patent/GB1066071A/en
Publication of DE1237344B publication Critical patent/DE1237344B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D13/00Component parts of indicators for measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0016Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

  • Ablesemikroskop Die Erfindung betrifft ein Ablesemikroskop für mit durchfallendem Licht beleuchtete Maßstäbe mit einer dem Objektiv vorgeordneten um seine optische Achse drehbaren rhomboedrischen Parallelspiegelanordnung, mittels welcher ein Maßstabstrich eingefangen und sein Bild unter meßbarer Drehung der Reflektoren mit einem festen Index, einer Kante oder einem Spalt in der Objekt- oder Bildebene des Mikroskops zur Deckung gebracht werden kann.
  • Es ist bei mit Auflicht arbeitenden Ablesemikroskopen bekannt, ein; dem Objektiv vorgesetztes drehbares rhombisches Prisma mit einer Mikrometereinrichtung zu verbinden und zur Ermittlung des Feinmeßwertes, z. B. die Relativeinstellung eines Maßstabes gegenüber einem Index, zu benutzen.
  • Ferner ist es bei Meßmikroskopen bekannt, eine um eine zur Sehachse senkrecht stehende Achse drehbar gelagerte planparallele Platte, welche das Sehfeld halbiert, zwischen Beobachtungsgegenstand und dem Objektiv des Mikroskops anzuordnen und durch eine meßbare Drehung der planparallelen Platte die Bilder zweier Punkte, deren Abstand zu messen ist, zur Deckung zu bringen.
  • Bei mit Durchlicht arbeitenden Ablesemikroskopen der eingangs beschriebenen Art, insbesondere wenn diese mit einer photoelektrischen Einfangeinrichtung arbeiten, können bei nicht ganz homogener Ausleuchtung des abzulesenden Maßstababschnittes infolge unterschiedlicher Relativlagen von Leuchtfeld und Gesichtsfeld des Mikroskops sehr leicht Meßfehler auftreten.
  • Derartige Fehler werden nach der Erfindung dadurch ausgeschaltet, daß zwischen der Beleuchtungseinrichtung und dem Maßstab eine rhomboedrische Parallelspiegelanordnung angeordnet ist, die der dem Mikroskopobjektiv vorgeordneten rhomboedrischen Parallelspiegelanordnung gleichartig ist, und beide Parallelspiegelanordnungen um eine gemeinsame Achse, die mit der optischen Achse des Mikroskopobjektivs zusammenfällt und den Ort der ersten Reflexion in der einen Parallelspiegelanordnung sowie den Ort der zweiten Reflexion in der anderen Parallelspiegelanordnung schneidet, drehbar gelagert sind.
  • Hierdurch wird erreicht, daß bei Drehung der dem Objektiv vorgeschalteten Parallelspiegelanordnung eine gleichläufige Verschiebung des den Maßstab beleuchtenden Leuchtfeldes erzielt wird, so daß stets die gleiche Stelle des Leuchtfeldes zur Beaufschlagung des Gesichtsfeldes des Mikroskops insbesondere im Bereich des Spaltes der photoelektrischen Einfangeinrichtung herangezogen wird.
  • Bei lichtelektrischer Auswertung der Messung erfolgt die Drehung der beiden Parallelspiegelanordnungen in an sich bekannter Weise mit Hilfe einer bekannten Nachlaufsteuerung, die beispielsweise stets dann zum Stehen kommt, wenn das Bild des Maßstabstriches symmetrisch innerhalb einer in der Objekt- oder Bildebene des Mikroskops angeordneten Spaltblende erscheint.
  • Die Erfindung sei nun an Hand des in der Figur schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.
  • Hierin wird ein durchsichtiger Skalenträger 1 von einer Lichtquelle 2 über seine Beleuchtungslinse 3 und das rhomboedrische Prisma 4 durchleuchtet. Über eine zweimalige Spiegelung in dem Prisma 5 gelangt bei geeigneter Einstellung dieses Prismas ein Bild eines Skalenstriches über das Mikroskopobjektiv 6 in eine symmetrische Lage zum Spalt der Blende 7. Die Einsteuerung des Skalenstrichbildes in die symmetrische Lage zum Spalt erfolgt über eine von der Photozelle 8 erregte Nachlaufsteuerung 9 bekannter Art, die über den Verstärker 10 die erforderliche Antriebsenergie erhält. Die beiden Prismen 4 und 5 werden um eine Achse 11 gedreht, die mit der optischen Achse des Mikroskopobjektivs 6 zusammenfällt und den Ort der zweiten Reflexion im Prisma 5 sowie den Ort der ersten Reflexion im Prisma 4 schneidet. Zur Anzeige des Drehwinkels dient ein Zählwerk 12, das die der Skalenteilung folgende Dezimale anzeigt.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Ablesemikroskop für mit durchfallendem Licht beleuchtete Maßstäbe mit einer dem Objektiv vorgeordneten um seine optische Achse drehbaren rhomboedrischen Parallelspiegelanordnung, mittels welcher ein Maßstabstrich eingefangen und sein Bild unter meßbarer Drehung der Reflektoren mit einem festen Index, einer Kante oder einem Spalt in der Objekt- oder Bildebene des Mikroskops zur Deckung gebracht werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Beleuchtungseinrichtung (Z, 3) und dem Maßstab (1) eine rhomboedrische Parallelspiegelanordnung (4) angeordnet ist, die der dem Mikroskopobjektiv (6) vorgeordneten rhomboedrischen Parallelspiegelanordnung (5) gleichartig ist, und beide Parallelspiegelanordnungen (4, 5) um eine gemeinsame Achse (11), die mit der optischen Achse des Mikroskopobjektivs (6) zusammenfällt und den Ort der ersten Reflexion in der einen Parallelspiegelanordnung (4) sowie den Ort der zweiten Reflexion in der anderen Parallelspiegelanordnung (5) schneidet, drehbar gelagert sind. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 393 737; britische Patentschrift Nr. 894 525.
DEZ10023A 1963-03-29 1963-03-29 Ablesemikroskop Pending DE1237344B (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEZ10023A DE1237344B (de) 1963-03-29 1963-03-29 Ablesemikroskop
NL6403208A NL6403208A (de) 1963-03-29 1964-03-25
US355044A US3374046A (en) 1963-03-29 1964-03-26 Reading microscope with interpolation prism
GB13326/64A GB1066071A (en) 1963-03-29 1964-03-31 Reading microscope with interpolation prism

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEZ10023A DE1237344B (de) 1963-03-29 1963-03-29 Ablesemikroskop

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ID=7621169

Family Applications (1)

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GB (1) GB1066071A (de)
NL (1) NL6403208A (de)

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Also Published As

Publication number Publication date
GB1066071A (en) 1967-04-19
NL6403208A (de) 1964-09-30
US3374046A (en) 1968-03-19

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