DE509310C - Interferometer - Google Patents

Interferometer

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DE509310C
DE509310C DER72366D DER0072366D DE509310C DE 509310 C DE509310 C DE 509310C DE R72366 D DER72366 D DE R72366D DE R0072366 D DER0072366 D DE R0072366D DE 509310 C DE509310 C DE 509310C
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DE
Germany
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mirror
light
divergence
parallel
bundles
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Expired
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DER72366D
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DR AUGUST REUTER
Original Assignee
DR AUGUST REUTER
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Publication date
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

  • Interferometer Bei den bekannten, z. B. den von Michelson angegebenen Interferometern wird, wie die Abb. i zeigt, das von der Lichtquelle i ausgehende Licht durch eine Linse 2 zu einem Parallelstrahlenbündel gemacht, das unter 45' auf die lichtteilende Platte 3, die halbdurchlässig versilbert ist, fällt. Von dieser Platte wird das Parallelstrahlenbündel zur Hälfte auf den ebenen Spiegel 6, der senkrecht zum Strahlengang steht, durchgelassen und in sich selbst, also wieder als Parallelstrahlenbündel, nach 3 zurückgeworfen, von wo die eine Hälfte des Bündels in das Beobachtungsfernrohr 7 reflektiert wird und die andere Hälfte durch die halbdurchlässig versilberte Platte 3 hindurch nach der Lichtquelle zurückkehrt.
  • Der andere Teil des von z kommenden Strahlenbündels wird nach Reflexion an der lichtteilenden Platte 3 durch die Ausgleichsplatte 4 nach dem ebenen, auf dem Lichtbündel senkrecht stehenden Spiegel 5 geworfen und kehrt nach der hier erfolgenden Reflexion in sich selbst nach 4 und 3 zurück; durch 3 gelangt die Hälfte dieses Parallelstrahlenbündels in das Beobachtungsfernrohr 7, während die andere Hälfte nach 2 und i reflektiert wird.
  • Es besitzen also die beiden durch den halbdurchlässigen Spiegel 3 getrennten und nachher wieder vereinigten, in 7 beobachteten Lichtbündel gleiche Divergenz (die Divergenz o, da sie Parallelbündel sind). Der ebene Spiegel 5, der »Arbeitsspiegel«, läßt sich zum Lichtbündel genau senkrecht einstellen und mittels guter Führung sich selbst parallel bleibend durch eine Schraube oder ähnliches gegen 3 hinschieben oder von 3 wegbewegen. Der ebene Spiegel 6, der »Vergleichsspiegel«, läßt sich durch eine Feinbewegung zum Lichtstrahl senkrecht einstellen und erscheint dem Beobachter in 7, durch 3 gespiegelt, vor oder hinter dem Spiegel 5, so daß durch 7 zwischen 5 und dem Bild von 6 eine planparallele oder nahezu planparallele Luftplatte (mit einer virtuellen, durch das Spiegelbild von 6 gebildeten Grenzfläche) gesehen wird. Durch seine Feineinstellvorrichtung läßt sich der Vergleichsspiegel 6 so einrichten, daß diese Luftplatte genau parallelflächig oder gelegentlich auch keilförmig wird. Die Dicke der Luftplatte oder des Luftkeils wird durch Bewegen des Arbeitsspiegels 5 beliebig geregelt.
  • Im ersten Fall, bei planparalleler Luftplatte, entstehen im Unendlichen die Interferenzringe gleicher Neigung, die durch das Fernrohr 7 beobachtet werden; im zweiten Falle,. bei keilförmiger Luftplatte, treten an der vorderen, dem Beobachter zugekehrten Grenzfläche der Luftplatte die Interferenzen gleicher Dicke auf. Zur Beleuchtung ist in beiden Fällen gut monochromatisches Licht notwendig.
  • Nur dann, wenn sich die gegeneinander geneigten ebenen Grenzflächen der Luftplatte im Gesichtsfeld durchdringen, treten im weißen Licht sichtbare Interferenzstreifen auf, die zu beiden Seiten der Schnittkante liegen.
  • Dabei ist ein auf die Dauer mechanisch kaum erreichbarer hoher Grad von Genauigkeit der Parallelführung des Arbeitsspiegels 5 bei seiner Bewegung notwendig, sonst bleibt die Schnittkante der Grenzflächen während der Verschiebung sich nicht selbst parallel und die Streifen ändern Ort und Richtung in für die okulare Beobachtung sehr störender und für eine Registrierung ganz unzulässiger Weise.
  • Mit diesen bekannten interferometrischen Vorrichtungen, die mit zwei Lichtbündeln genau gleicher Divergenz (der Divergenz o) arbeiten, werden die Abstände spiegelnder Flächen bzw. mit diesen verbundener Gegenstände oder deren gegenseitige Verschiebung durch Auszählen der bei der Bewegung der einen Fläche wandernden Interferenzstreifen in Lichtwellenlängen als Einheit gemessen.
  • Außer diesen Interferometern sind noch andere Einrichtungen (Interferoskope) bekannt, die nicht zu absoluten Messungen in Wellenlängenmaß dienen, sondern z. B. zum Vergleich der ebenen Oberflächen zweier spiegelnder Gegenstände, zum Auffinden von Abweichungen solcher Oberflächen voneinander oder von einer Vergleichsfläche benutzt werden. Auch hier werden bei ebenen Prüfflächen zwei Lichtbündel der Divergenz o, also gleicher Divergenz, benutzt. Die zu prüfende Oberfläche ändert, wenn sie Abweichungen von der Vergleichsfläche aufweist, teilweise die Divergenz des einen der beiden Lichtbündel, so daß dieses mit dem andern Bündel, das seine Divergenz beibehält, Interferenzerscheinungen erzeugt, aus denen die aufzufindenden Unregelmäßigkeiten der zu prüfenden Fläche hervorgehen.
  • Es ist auch bekannt, an Stelle der beiden Lichtbündel mit der Divergenz o, die sich zur Untersuchung ebener Flächen eignen, bei der Prüfung gekrümmter Flächen, z. B. solcher von optischen Linsen, Lichtbündel größerer oder kleinerer (als o) Divergenz zu verwenden, wobei aber wiederum für beide Bündel gleiche Divergenz kennzeichnend ist, die unter Umständen durch passende optische Ausgleichselemente besonders erreicht wird. Flächenfehler zeigen sich dann wieder durch teilweise Änderung der Divergenz der Strahlen des einen Bündels, so daß dieses mit dem andern Bündel zusammen auf die Fehler hinweisende Interferenzen erzeugt.
  • Für alle bisher bekannten interferometrischen oder interferoskopischen Vorrichtungen ist die Verwendung zweier Lichtbündel gleicher Divergenz kennzeichnend. Nach der vorliegenden Erfindung werden nun bei Interferometern oder Interferoskopen zwei Lichtbündel verschiedener Divergenz benutzt, indem die Ebene des Arbeitsspiegels oder des Vergleichsspiegels (oder gleichzeitig beider Spiegel) durch sphärische oder andere Flächen, die konkav oder konvex sein können, ersetzt wird. Es entstehen dann bei der Interferenz Ringe gleicher Dicke (Newtonringe).
  • Die Abb. 2 zeigt für diesen Fall den Strahlengang; die Bezeichnungen stimmen mit denen der Abb. i überein. Die von der Lichtquelle i kommenden Strahlen gehen, .durch die Linse 2 parallel gemacht, zur - Hälfte durch die lichtteilende Platte 3 nach dem beispielsweise ebenen Spiegel 6, der auf der Achse des Strahlenbündels senkrecht steht. Von hier zurückgeworfen, gelangen sie zum Teil nach Reflexion an 3 in das Beobachtungsfernrohr 7, ihr anderer `.Geil geht nach i zurück.
  • Die andere Hälfte der Strahlen von i werden an 3 reflektiert und kommen durch die Ausgleichsplatte 4 nach dem beispielsweise konkaven, zu diesem auftreffenden Lichtbündel gleichachsig angeordneten Spiegel 5. Von hier werden die bisher parallelen Strahlen als konvergentes Bündel durch 4 und 3 ins Beobachtungsfernrohr 7 (und teilweise nach 2 und i) zurückgeworfen und erzeugen in 7 mit dem von 6 und 3 reflektierten Parallelbündel Interferenzen gleicher Dicke (Newtonringe). Die Erscheinung ist genau so, wie wein an beiden Seiten der virtuellen Luftplatte (zwischen 5 und dem in 3 entworfenen Spiegelbild von 6) Reflexionen entstehen, die denen an der Luftplatte zwischen Newtongläsern entsprechen.
  • Die Verwendung der Newtonringe beim Interferometer hat zunächst den Vorzug, da$ man dem sichtbaren Ringsystem durch passende Wahl der Krümmung des Spiegels 5 oder des Spiegels 6 (oder beider Spiegel) jede gewünschte Größe und Form (Ringabstand) geben kann.
  • Während mit den bisher verwendeten Lichtbündeln gleicher Divergenz (gewöhnlich der Divergenz o) der Ring- (bzw. Streifen-) Abstand vom Zentrum bei verschieden dicken Luftplatten sich stark ändert und bei abnehmender Dicke immer größer wird, so daß die Ringe bei geringster Dicke der Luftplatte nicht mehr zu erkennen sind, behält das Newtonringsystem, erzeugt mit zwei Bündeln verschiedener Divergenz auch bei geringstem Abstandsunterschied der Spiegel 5 und 6 von der lichtteilenden Platte 3 noch seine kennzeichnende Gestalt, ja sogar dann noch, wenn das virtuelle Bild von 6 durch den Spiegel 5 hindurchgeführt wird.
  • Ein weiterer Vorzug der Newtonringe ist der, daß man zu ihrer Erzeugung bei mäßigen Schichtdicken nur angenähert homogenes Licht und bei geringen Schichtdicken, etwa o,oo5 mm beiderseits der Nullstellung (Berührung des Scheitels von 5 mit der Ebene des virtuellen Bildes von 6) weißes Licht verwenden kann. Der letztere Umstand ist besonders für stark vergrößernde objektive Darstellung oder photographische Registrierung der Interferenzerscheinungen des in Tätigkeit befindlichen Interferometers von unschätzbarem Vorteil.
  • Auch bei den bisherigen Interferometern kann man in der Nähe des Nullpunkts mit weißem Licht arbeiten, wenn man die gegeneinander geneigten ebenen Grenzflächen der Luftplatte sich im Gesichtsfeld durchdringen 1ä ßt; dabei ändern aber die Interferenzstreifen dauernd Ort und Richtung, weil es mechanisch unmöglich ist, den Arbeitsspiegel zu sich selbst auf die Dauer genau parallel bleibend zu verschieben. Dadurch ist eine - etwa photographische - Registrierung ausgeschlossen. Bei den nach der Erfindung benutzten Newtonringen ist Art und Form der Interferenzerscheinung nicht diesem störenden Wechsel unterworfen, was besonders bei Registrierung der Stellungen des selbständig arbeitenden Interferometers vorteilhaft ist.
  • Da die Parallelführung des Arbeitsspiegels der bisherigen Interferometer äußerst exakt arbeiten mußte, so war der mit der strammen Führung verbundenen großen Reibung halber eine große Kraft zur Bewegung des Arbeitsspiegels nötig; nach der vorliegenden Erfindung erfordert die Verwendung der Newtonringe keinen so hohen Grad der Genauigkeit bei der Parallelführung des Arbeitsspiegels, trotzdem die Interferenzerscheinung eine gleichmäßige und sogar registrierbare bleibt. Es können also beim neuen Interferometer auch durch kleinste Kräfte veranlaßte Bewegungen und Lagenänderungen des Arbeitsspiegels beobachtet und registriert werden. Dazu wird etwa die Parallelführung nach Art einer Tafelwaage, die auf wenige Milligramm ausbalanciert sein kann, ausgebildet.
  • Beim Newtonringsystem, das durch sphärische Flächen erzeugt wird, folgen sich die Interferenzringe in ungleichmäßigen Abständen; zu manchen Messungen und besonders bei Registrierung kann es vorteilhaft sein, andere, z. B. gleichmäßige Ringabstände zu erzeugen, also die sphärische durch eine andere, z. B. kegelmantelförmige Krümmung zu ersetzen. Durch die Wahl dieser Krümmung kann man die Ringabstände sich nach beliebiger Regel ändern lassen. Dabei bleiben die obenerwähnten Vorteile der gekrümmten Oberfläche des einen oder beider Spiegel ungestört erhalten.
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf alle Interferometer und Interferoskope, die, wie bisher, mit ebenen Spiegeln oder mit eben begrenzten Luft- oder Flüssigkeitsplatten arbeiten.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH ; Interferometer, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Fläche des Arbeits-und bzw. oder die des Vergleichsspiegels sphärisch oder asphärisch, z. B. kegelmantelförmig mit konvexer oder konkaver Krümmung, gestaltet sind, so daß die beiden zur Interferenz kommenden Lichtbündel verschiedene Divergenz haben.
DER72366D 1927-09-20 1927-09-20 Interferometer Expired DE509310C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DER72366D DE509310C (de) 1927-09-20 1927-09-20 Interferometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DER72366D DE509310C (de) 1927-09-20 1927-09-20 Interferometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE509310C true DE509310C (de) 1930-10-08

Family

ID=7414362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DER72366D Expired DE509310C (de) 1927-09-20 1927-09-20 Interferometer

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE509310C (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2580498A (en) * 1948-05-17 1952-01-01 Northrop Aircraft Inc Electrooptical pulse generator
US2641958A (en) * 1951-01-09 1953-06-16 Theodor W Zobel Method and test equipment for measuring the quality of glass surfaces of unusually large dimensions under different supporting and loading conditions
US2679183A (en) * 1950-10-10 1954-05-25 Donald R Buchele Differential interferometer

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US2679183A (en) * 1950-10-10 1954-05-25 Donald R Buchele Differential interferometer
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