DE1232264B - Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes

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DE1232264B
DE1232264B DEN21216A DEN0021216A DE1232264B DE 1232264 B DE1232264 B DE 1232264B DE N21216 A DEN21216 A DE N21216A DE N0021216 A DEN0021216 A DE N0021216A DE 1232264 B DE1232264 B DE 1232264B
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DEN21216A
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German (de)
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Inventor
Julian Robert Anthony Beale
Henry Edward Brockman
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Koninklijke Philips NV
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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