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TECHNISCHES GEBIET
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Schleifscheibe, die zur Verwendung an einem Schleifapparat angebracht ist.
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STAND DER TECHNIK
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In der Präzisionsbearbeitung eines scheibenförmigen Werkstücks, wie z. B. ein Halbleiterwafer, wird herkömmlich eine Schleiftechnik mit der Bezeichnung Doppelseitenschleifen zum gleichzeitigen Schleifen beider Oberflächen verwendet. Beim Doppelseitenschleifen wird im Allgemeinen eine Topfscheibe als Schleifscheibe verwendet, und sie weist eine Vielzahl von Schleifsteinkörnern an einem äußeren Umfang auf.
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Bei der Schleifbearbeitung mit Hilfe dieser Schleifscheibe werden die Schleifsteinkörner beim Schleifen eines Werkstücks abgeschliffen, und der Ersatz der Schleifscheibe wird erforderlich. In Bezug auf die Unterdrückung eines Kostenanstiegs besteht daher ein Bedarf nach einer Verlängerung der Lebensdauer der Schleifscheibe.
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LITERATURLISTE
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PATIENTLITERATUR
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- Patentliteratur 1: Ungeprüfte japanische Patentveröffentlichung (Kokai) Nr. Hei 11-156728
- Patentliteratur 2: Ungeprüfte japanische Patentveröffentlichung (Kokai) Nr. Hei 9-248769
- Patentliteratur 3: Ungeprüfte japanische Patentveröffentlichung (Kokai) Nr. 2009-279742
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OFFENLEGUNG DER ERFINDUNG
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DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE AUFGABE
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Als Verfahren zur Verlängerung der Lebensdauer der Schleifscheibe kann die Erhöhung einer Dimension der Schleifsteinkörner erwogen werden. Wenn jedoch, wie in Patentliteratur 1 beschrieben, die Höhendimension der allgemeinen, eine quadratische Säulenform aufweisenden Schleifsteinkörner einfach erhöht wird, können die Schleifsteinkörner der Biegespannung zum Zeitpunkt des Schleifens eines Werksstücks nicht standhalten und sie zerbrechen.
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Um ein Brechen zu vermeiden, wenn die Schleifsteinkörner eine erhöhte Höhendimension haben, kann die Umsetzung einer Schleifsteinform mit langen Seiten, die im Wesentlichen parallel zu einer Drehrichtung der Schleifscheibe verlaufen, erwogen werden.
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Des Weiteren kann als Form des Schleifsteins mit langen Seiten, die im Wesentlichen parallel zur Drehrichtung verlaufen, die Ausbildung des Schleifsteins in einer rechteckigen Parallelepiped-Form erwogen werden. Im rechteckigen Parallelepiped-Korn schneiden jedoch die Stegabschnitte, die jeweils einen Innenwinkel von 90° aus der Sicht einer Höhenrichtung (d. h. vier Stegabschnitte, die zwischen vier Seitenflächen neben einer rechteckigen Schleifoberfläche im rechteckigen Parallelepiped-Schleifsteinkorn vorgesehen sind) aufweisen, vertikal in einen Mittelpunkt des Werkstücks und eine Bewegungsbelastung in eine Drehrichtung nimmt zu, so dass der mittlere Abschnitt des Werkstücks somit stark beschädigt werden kann und eine Formkontrolle in der Nähe der Werkstückmitte sich als schwierig erweist.
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Daher kann – wie in Patentliteratur 2 oder Patentliteratur 3 zwar mit einem anderen Zweck beschrieben – erwogen werden, dass die Ausbildung einer Form des Schleifsteinkorns in einem regelmäßigen Sechseck oder die Ausbildung eines Endes des Schleifsteinkorns in einer Halbkreisform die Beschädigung unterdrücken kann, jedoch besteht dennoch ein Problem darin, dass die langen Seiten, die im Wesentlichen parallel zur Drehrichtung verlaufen, nicht vorgesehen werden können oder dass die Formausbildung kompliziert wird.
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Angesichts des Problems ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Schleifscheibe bereitzustellen, die zum Schleifzeitpunkt nicht zerbricht und die eine starke Beschädigung eines Werkstücks aufgrund übermäßigen Schneidens in einen mittleren Abschnitt des Werkstücks durch einfache Formausbildung unterdrücken kann.
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MITTEL ZUR LÖSUNG DER AUFGABE
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Um die Aufgabe zu lösen, stellt die vorliegende Erfindung eine Schleifscheibe bereit, die eine Vielzahl von keramisch gebundenen Schleifsteinkörnern umfasst, die auf einem äußeren Umfang eines ringförmigen Basismetalls hiervon angeordnet sind, wobei die Schleifscheibe so konfiguriert ist, dass sie ein Werkstück unter Verwendung der Schleifsteinkörner schleift, während das ringförmige Basismetall gedreht wird,
wobei jedes der keramisch gebundenen Schleifsteinkörner so konfiguriert ist, dass:
in einem rechteckigen Parallelepiped, das eine rechteckige Schleifoberfläche, die auf einer gegenüberliegenden Seite des ringförmigen Basismetalls platziert ist und das Werkstück schleift, und vier Seitenflächen neben der Schleifoberfläche umfasst, vier Stegabschnitte, die jeweils zwischen den Seitenflächen vorgesehen sind, durch C-Abfasung gebildet werden;
jede lange Seite der Schleifoberfläche entlang einem äußeren Umfang des ringförmigen Basismetalls angeordnet ist; und
jeder der vier Stegabschnitte durch C-Abfasung in einem Bereich gebildet wird, der 1/5 oder mehr einer Länge jeder kurzen Seite der Schleifoberfläche beträgt.
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Gemäß der Schleifscheibe gilt, dass selbst wenn eine Höhe (eine Länge jedes C-Abfasung aufweisenden Stegabschnitts) des keramisch gebundenen Schleifsteinkorns (das im Folgenden einfach als Schleifsteinkorn bezeichnet wird) erhöht wird, der Bruch zum Schleifzeitpunkt vermieden werden kann. Daher kann die Höhe des Schleifsteinkorns erhöht werden, um eine Lebensdauer der Schleifscheibe zu verlängern.
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Des Weiteren kann die Schleifscheibe die starke Beschädigung des Werkstücks aufgrund übermäßigen Schneidens in einen mittleren Abschnitt des Werkstücks zum Schleifzeitpunkt des Werkstücks durch die einfache Formausgestaltung sehr effektiv unterdrücken.
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Zu diesem Zeitpunkt kann eine Länge jeder langen Seite der Schleifoberfläche 1/2 oder mehr einer Länge jedes der C-Abfasung aufweisenden Stegabschnitte betragen.
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Mit dieser Struktur kann selbst bei Erhöhung einer Höhendimension des Schleifsteinkorns der Bruch des Schleifsteinkorns aufgrund der Biegespannung zum Zeitpunkt des Schleifens des Werkstücks effektiv vermieden werden.
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Des Weiteren kann die Schleifscheibe für Doppelseitenschleifen bestimmt sein.
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Die Schleifscheibe gemäß der vorliegenden Erfindung ist vorzugsweise für Doppelseitenschleifen vorgesehen.
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EFFEKT DER ERFINDUNG
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Wie oben beschrieben kann gemäß der vorliegenden Erfindung selbst bei Erhöhung der Höhendimension des Schleifsteinkorns der Bruch zum Schleifzeitpunkt vermieden werden, und somit kann eine Höhe des Schleifsteinkorns erhöht werden, um eine Lebensdauer der Schleifscheibe zu verlängern. Außerdem kann die starke Beschädigung des Werkstücks aufgrund des übermäßigen Schneidens in den mittleren Abschnitt des Werkstücks durch Verwendung der einfachen Formausgestaltung effektiv unterdrückt werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine Vorderansicht, die ein Beispiel einer Schleifscheibe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
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2 ist eine Seitenansicht, die ein Beispiel der Schleifscheibe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
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3 ist eine erläuternde Zeichnung, die ein Beispiel von abgefasten Stegabschnitten zeigt (Beispiel 1);
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4 ist eine erläuternde Zeichnung, die ein weiteres Beispiel der abgefasten Stegabschnitte zeigt (Beispiel 2);
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5 ist eine erläuternde Zeichnung, die ein Beispiel eines Doppelseiten-Schleifapparats zeigt;
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6 ist eine erläuternde Zeichnung, die Stegabschnitte in einem Schleifscheibenkorn zeigt, das im Vergleichsbeispiel 1 verwendet wird;
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7 ist eine erläuternde Zeichnung, die Stegabschnitte in einem Schleifscheibenkorn zeigt, das im Vergleichsbeispiel 2 verwendet wird;
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8 ist ein Diagramm, das ein Messergebnis einer Verwölbungsform in Beispiel 1 zeigt;
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9 ist ein Diagramm, das ein Messergebnis einer Verwölbungsform in Beispiel 2 zeigt;
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10 ist ein Diagramm, das ein Messergebnis einer Verwölbungsform in Vergleichsbeispiel 1 zeigt;
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11 ist ein Diagramm, das ein Messergebnis einer Verwölbungsform in Vergleichsbeispiel 2 zeigt; und
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12 ist ein Diagramm, das durchschnittliche Verbiegungs-Variationen vor und nach dem Schleifen in Beispiel 1 und 2 und den Vergleichsbeispielen 1 und 2 zeigt.
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BESTE(R) MODUS/MODI ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
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Obwohl eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung nun im Folgenden beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt.
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Wie oben beschrieben, kann als Methode zur Verlängerung einer Lebensspanne einer Schleifscheibe die Erhöhung einer Höhendimension eines Schleifsteinkorns erwogen werden, jedoch werden Probleme beobachtet, wie z. B. Bruch eines Schleifsteins bei einfacher Erhöhung des Schleifsteinkorns, starke Beschädigung eines mittleren Abschnitts eines Werkstücks als Schleifziel, wenn das Schleifsteinkorn mit einer rechteckigen Parrallelepiped-Form ausgestaltet ist o. ä. Daher hat dieser Erfinder seine Aufmerksamkeit auf eine Form des Schleifsteinkorns zum Schleifen sowie die Anordnung eines ringförmigen Basismetalls gerichtet und verschiedene Versuche durchgeführt.
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Wie oben beschrieben kann folglich, wenn ein Schleifstein mit einer rechteckigen Parallelepiped-Form so angeordnet ist, dass lange Seiten seiner rechteckigen Schleifoberfläche entlang eines äußeren Umfangs eines ringförmigen Basismetalls angeordnet sind (d. h. so, dass sie im Wesentlichen parallel zu einer Drehrichtung einer Schleifscheibe verlaufen), ein Bruch des Schleifsteinkorns zum Schleifzeitpunkt vermieden werden.
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Außerdem kann im Fall, dass das Schleifsteinkorn eine Parallelepiped-Form hat, der mittlere Abschnitt des Werkstücks stark beschädigt werden, da Stegabschnitte, die jeweils einen Innenwinkel von 90° aus der Sicht einer Höhenrichtung (d. h. im die rechteckige Parallelepiped-Form aufweisende Stegabschnitt, vier Stegabschnitte zwischen vier Seitenflächen neben einer rechteckigen Schleifoberfläche) aufweisen, vertikal in die Mitte des Werkstücks schneiden und eine Bewegungsbelastung in die Drehrichtung groß wird. Dieser Erfinder hat jedoch wiederholt Versuche durchgeführt und festgestellt, dass die Durchführung von C-Abfasung an den vier Stegabschnitten in einem Bereich von 1/5 oder mehr der kurzen Seiten der rechteckigen Schleifoberfläche die Unterdrückung von starker Beschädigung am mittleren Abschnitt des Werkstücks ermöglicht, wodurch die vorliegende Erfindung zum Abschluss gebracht wurde.
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Obwohl die vorliegende Erfindung im Folgenden ausführlich als Ausführungsform mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt.
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1 zeigt ein Beispiel einer Schleifscheibe gemäß der vorliegenden Erfindung. Es ist eine Vorderansicht von einer Seite, die in Kontakt mit einem Werkstück als Schleifziel kommt. Weiterhin ist 2 ist eine Seitenansicht. Eine Schleifscheibe 1 gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst ein ringförmiges Basismetall (das im Folgenden auch einfach als Basismetall bezeichnet wird) 2 und eine Vielzahl von keramisch gebundenen Schleifsteinkörnern 3.
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Als Basismetall 2 ist es möglich, ein Basismetall zu übernehmen, auf dem die Schleifsteinkörner 3 angeordnet werden können und das zum Schleifzeitpunkt von einem Motor o. ä. gedreht werden kann. Es wird darauf hingewiesen, dass eine Drehrichtung durch R angegeben ist.
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Weiterhin ist ein Teil eines rechteckigen Parallelepipeds als Form eines jeden Schleifsteinkorns 3 abgefast. 1 und 2 zeigen einen vereinfachten Zustand, bei dem die Abfasung unterlassen wurde.
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Die Form des Schleifsteinkorns 3 wird nun eingehender beschrieben. Erstens hat er eine rechteckige Schleifoberfläche 4 an einer Position gegenüber einer Seite, die am Basismetall 2 befestigt ist, und er weist auch vier rechteckige Seitenflächen 5 neben der Schleifoberfläche 4 auf. Jeder zwischen benachbarten Seitenflächen befindliche Stegabschnitt der vier Seitenflächen 5 weist C-Abfasung auf.
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Es ist zu beachten, dass das rechteckige Parallelepiped des Schleifsteinkorns 3 und die rechteckige Schleifoberfläche 4, die hier beschrieben werden, jeweils eine Form des Schleifsteinkorns 3 vor der Abfasung und eine Form der Schleifoberfläche 4 vor der Abfasung bezeichnen. Außerdem bezeichnen die lange Seite und die kurze Seite der rechteckigen Schleifoberfläche 4, die hierin beschrieben werden, eine lange Seite und eine kurze Seite in einem rechteckigen Zustand vor der Abfasung.
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Hier zeigen 3 und 4 Beispiele der C-Abfasung aufweisenden Stegabschnitte. 3 und 4 zeigen das Schleifsteinkorn 3 aus der Sicht der Schleifoberfläche-4-Seite. Beide Zeichnungen zeigen vier Stegabschnitte 6 nach C-Abfasung.
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Bezüglich des Abfasungsbetrags ist in der vorliegenden Erfindung die C-Abfasung jedes Stegabschnitts in einem Bereich von 1/5 oder mehr einer Länge jeder kurzen Seite 7 (siehe ein Pfeil mit einer durchgezogenen Linie in 3) der rechteckigen Schleifoberfläche 4 ausreichend, und der Abfasungsbetrag ist nicht besonders eingeschränkt. 3 zeigt ein Beispiel, in dem jeder Stegabschnitt C-Abfasung um einen Betrag unterzogen wurde, der 1/5 einer Länge einer kurzen Seite 7 entspricht, und die Schleifoberfläche 4 hat eine achteckige Form. 4 zeigt andererseits ein Beispiel, in dem jeder Stegabschnitt einer C-Abfasung um einen Betrag unterzogen wurde, der 1/2 einer Länge einer kurzen Seite 7 entspricht, und die Schleifoberfläche 4 hat eine sechseckige Form.
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Da die C-Abfasung wie oben beschrieben durchgeführt wird, wird ein mittlerer Teil eines Werkstücks zum Zeitpunkt des Schleifens des Werkstücks nicht übermäßig geschnitten, und eine starke Beschädigung des mittleren Abschnitts des Werkstücks kann verhindert werden. Außerdem kann die einfache Ausführung der Abfasung ausreichend sein, und daher ist die Formausgestaltung einfach.
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Andererseits kann das übermäßige Schneiden nicht effektiv vermieden werden und das Werkstück wird beschädigt, wenn der Abfasungsbetrag weniger als 1/5 der Länge der kurzen Seite 7 beträgt.
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Weiterhin wird die Anordnung der rechteckigen Parallelepiped-Schleifsteinkörner 3 in der vorliegenden Erfindung noch weiter präzisiert. Die Vielzahl der Schleifsteinkörner 3 wird entlang eines äußeren Umfangs des Basismetalls 2 angeordnet. Die Anzahl der anzuordnenden Körner ist nicht besonders eingeschränkt und sie kann entsprechend festgelegt werden. Zu diesem Zeitpunkt sind die Körner so angeordnet, dass die langen Seiten 8 der Schleifoberfläche 4 entlang des äußeren Umfangs des Basismetalls 2 angeordnet sind. Das heißt, da die Schleifsteinkörner 3 so angeordnet sind, dass die langen Seiten 8 dann im Wesentlichen parallel mit einer Drehrichtung der Schleifscheibe 1 verlaufen, ist es möglich, einer Biegespannung zum Zeitpunkt des Schleifens des Werkstücks standzuhalten und einen Bruch der Schleifsteinkörner 3 effektiv zu vermeiden.
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In herkömmlichen Produkten zerbrechen die Schleifsteinkörner aufgrund der Biegespannung, wenn eine Höhe eines jeden Schleifsteinkorns erhöht wird, um eine Lebensdauer der Schleifscheibe zu verlängern. Da die Anordnung ausgefeilt ist und daher Widerstandseigenschaften gegenüber der Biegespannung bereitgestellt werden, kann jedoch in der vorliegenden Erfindung die Höhe jedes Schleifsteinkorns 3 erhöht werden, während die Beschädigung vermieden wird, und die Lebensdauer der Schleifscheibe 1 kann verlängert werden. Es ist zu beachten, dass die Höhe 9 des Schleifsteinkorns 3 eine Länge jedes eine C-Abfasung aufweisenden Stegabschnitts bezeichnet, wie in 2 gezeigt.
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Um die oben beschriebene Beschädigung zu vermeiden, wird der Effekt weiterhin verbessert, wenn eine Länge jeder langen Seite 8 der Schleifoberfläche 4 (siehe ein Pfeil mit gestrichelter Linie in 3) 1/2 oder mehr der Höhe 9 des Schleifsteinkorns beträgt. Je länger die Länge jeder langen Seite 8 der Schleifoberfläche 4 zur Höhe des Schleifsteinkorns 3 ist, desto höher sind die Widerstandseigenschaften gegenüber der Biegespannung, was bevorzugt wird.
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Ein Schleifapparat, einschließlich der Schleifscheibe 1 gemäß der vorliegenden Erfindung, wird im Folgenden beschrieben. Obwohl hier ein Doppelscheiben-Schleifapparat beschrieben wird, ist die Schleifscheibe 1 gemäß der vorliegenden Erfindung nicht auf eine solche für den Doppelscheiben-Schleifapparat beschränkt. Es ist möglich, die Schleifscheibe 1 zu übernehmen, die ein Werkstück mit den Schleifsteinkörnern 3 schleifen kann, während die Schleifscheibe 1 selbst gedreht wird, und die Schleifscheibe 1 kann in einem beliebigen Schleifapparat verwendet werden.
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5 zeigt ein Beispiel eines Doppelscheiben-Schleifapparats 10. Der Doppelscheiben-Schleifapparat 10 umfasst hauptsächlich ein Paar Schleifscheiben 1, einen rotierbaren Träger 12, der ein Werkstück 11 von einer äußeren Umfangsseite entlang einer radialen Richtung des Werkstücks 11 hält, sowie ein Halterteil 13, an dem der Träger 12 angeordnet ist.
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Wenn das Paar Schleifscheiben 1 gedreht werden, während der Träger 12 und das Halterteil 13 gedreht werden, um das Werkstück 11 zu drehen, können beide Oberflächen des Werkstücks 11 gleichzeitig geschliffen werden. Wenn die Schleifscheiben 1 der vorliegenden Erfindung verwendet werden, zerbrechen die Schleifsteinkörner 3 nicht, ein mittlerer Abschnitt des Werkstücks 11 wird nicht stark beschädigt und ein Schleifen von hoher Qualität kann ausgeführt werden.
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BEISPIELE
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Obwohl die vorliegende Erfindung nun im Folgenden ausführlich als Ausführungsform mit Bezug auf Beispiele und Vergleichsbeispiele beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt.
(Beispiele 1 und 2 und Vergleichsbeispiele 1 und 2)
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Ein solcher Doppelscheiben-Schleifapparat 10 für Werkstücke, wie in 5 gezeigt, wurde zur Durchführung eines Doppelscheibenschleifvorgangs an einem Siliziumwafer mit einem Durchmesser von 300 mm verwendet. Dieser Siliziumwafer wurde von einem Rohblock (Ingot) abgeschnitten, der mit einer CZ(Czochralski)-Methode hergestellt wurde.
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Schleifscheiben, die jeweils eine Vielzahl von darauf angeordneten keramisch gebundenen Schleifsteinkörnern aufweisen, wie in 3 gezeigt, die jeweils in einer Form ausgebildet sind, dass eine C-Abfasung aufweisende Region 1/5 einer kurzen Seite einer Schleifoberfläche beträgt, wurden zunächst in einem solchen Doppelscheiben-Schleifapparat 10 bereitgestellt, wie in 5 gezeigt, und fünf Siliziumwafer wurden geschliffen (Beispiel 1).
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Dann wurden Schleifscheiben, die jeweils eine Vielzahl von darauf angeordneten keramisch gebundenen Schleifsteinkörnern aufweisen, wie in 4 gezeigt, die jeweils in einer Form ausgebildet sind, dass eine C-Abfasung aufweisende Region 1/2 einer kurzen Seite einer Schleifoberfläche beträgt, in einem solchen Doppelscheiben-Schleifapparat 10 bereitgestellt, wie in 5 gezeigt, und fünf Siliziumwafer wurden geschliffen (Beispiel 2).
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Anschließend wurden Schleifscheiben, die jeweils eine darauf angeordnete Vielzahl von nicht abgefasten keramisch verbundenen Schleifsteinkörnern, die in 6 gezeigt sind, aufweisen, in einem Doppelscheiben-Schleifapparat bereitgestellt, der der gleiche ist wie der, der in 5 abgebildet ist, und fünf Siliziumwafer wurden geschliffen (Vergleichsbeispiel 1).
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Und schließlich wurden Schleifscheiben, die jeweils eine Vielzahl von darauf angeordneten keramisch gebundenen Schleifsteinkörnern aufweisen, wie in 7 gezeigt, die jeweils in einer Form ausgebildet sind, dass eine C-Abfasung aufweisende Region 1/8 einer kurzen Seite einer Schleifoberfläche beträgt, in einem Doppelscheiben-Schleifapparat bereitgestellt, der der gleiche ist wie der, der in 5 abgebildet ist, und fünf Siliziumwafer wurden geschliffen (Vergleichsbeispiel 2).
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Die Schleifsteinkörner in Beispiel 1 und 2 und Vergleichsbeispiel 1 und 2, die oben beschrieben wurden, sind alle in einer Form ausgebildet, in der eine Höhe 10 mm beträgt, eine Länge jeder langen, im Wesentlichen parallel zu einer Drehrichtung verlaufenden Seite 5 mm beträgt, und eine Länge jeder kurzen Seite 3 mm beträgt.
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Zum Schleifzeitpunkt war in allen Beispielen 1 und 2 sowie in den Vergleichsbeispielen 1 und 2 kein Schleifsteinkorn zerbrochen.
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Es ist zu beachten, dass, abgesehen von den Beispielen 1 und 2 und den Vergleichsbeispielen 1 und 2, Schleifsteinkörner mit quadratischer Säulenform, jeweils mit einer Höhe von 10 mm und einer Seitenlänge von 3 mm (d. h. Körner, die in einer Form ausgebildet sind, dass die jeweiligen Seiten einer Schleifoberfläche die gleiche Länge haben und die Seitenlängen keine Differenz aufweisen), ebenfalls beurteilt wurden (Vergleichsbeispiel 3).
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In diesem Vergleichsbeispiel 3 waren jedoch alle Schleifsteinkörner zerbrochen und kein Siliziumwafer wurde geschliffen.
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Zur Beurteilung des geschliffenen Siliziumwafers kann eine Verwölbungsform jedes geschliffenen Siliziumwafers oder eine Variation (ΔVerbiegung) von Verbiegung (eine Größe und eine Richtung einer Verwölbung) vor und nach dem Schleifen als Index verwendet werden.
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Wenn eine Verwölbungsform eines mittleren Abschnitts (ein Bereich mit einem Radius von ca. 50 mm) nach dem Schleifen eine steilwandige konvexe oder konkave Form hat, ist das so zu verstehen, dass entweder eine vordere oder hintere Oberfläche stark beschädigt wurde und dass an der vorderen und hinteren Oberfläche ein Ungleichgewicht der verbundenen Restspannung verursacht wurde.
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Des Weiteren kann mit ΔVerbiegung die Beschädigung der vorderen und hinteren Oberfläche aufgrund des Schleifens oder ein Gleichgewicht der verbundenen Restspannung als numerischer Wert beurteilt werden. Wenn die vordere und hintere Oberfläche eine ähnliche Beschädigung oder die ähnliche verbundene Restspannung aufweisen, nähert sich ΔVerbiegung Null an.
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Bei der Messung der Verwölbungsform oder Verbiegung wurde SBW-330 (Hersteller: Kobelco Research Institute, Inc.) verwendet.
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Es ist zu beachten, dass ΔVerbiegung vorzugsweise –5 μm oder mehr und 5 μm oder weniger beträgt.
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8 bis 11 zeigen Verwölbungsformen nach dem Schleifen der jeweiligen Siliziumwafer mit den Formen der Schleifsteinkörner gemäß den Beispielen 1 und 2 und den Vergleichsbeispielen 1 und 2.
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Eine steile Veränderung der Verwölbungsform des mittleren Abschnitts wird in Beispiel 1 und 2 nicht beobachtet. Die Bildung eines radikal konvexen Teils wurde jedoch im mittleren Abschnitt in den Vergleichsbeispielen 1 und 2 beobachtet, und das lässt sich so verstehen, dass entweder eine vordere oder eine hintere Oberfläche stark beschädigt wurde und ein Ungleichgewicht der verbundenen Restspannung auf der vorderen und hinteren Oberfläche verursacht wurde.
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12 zeigt durchschnittliche Variationen der Verbiegung vor und nach dem Schleifen, als fünf Siliziumwafer geschliffen wurden, und zwar mit den in Beispiel 1 und 2 und den Vergleichsbeispielen 1 und 2 illustrierten Formen der Schleifsteinkörner.
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Ein Fehlerbalken stellt eine Abweichung dar. Beispiel 1 hat ΔVerbiegung = 0,17 μm, Beispiel 2 hat ΔVerbiegung = 0,57 μm, und beide Werte sind ausgezeichnet. Andererseits hat Vergleichsbeispiel 1 ΔVerbiegung = 5,39 μm, Vergleichsbeispiel 2 hat ΔVerbiegung = 5,10 μm, und das lässt sich so verstehen, dass die Restspannung auf der vorderen und hinteren Oberfläche im Ungleichgewicht ist.
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Es versteht sich aus den vorstehenden Ergebnissen, dass die starke Beschädigung des mittleren Abschnitts jeder Waferoberfläche unterdrückt werden kann, indem die der C-Abfasung unterzogene Region auf 1/5 oder mehr jeder kurzen Seite der rechteckigen Schleifoberfläche eingestellt wird, wie in Beispiel 1 und 2 gezeigt, die die vorliegende Erfindung verkörpern. Andererseits trug der mittlere Abschnitt jeder Waferoberfläche in den Vergleichsbeispielen 1 und 2, die die vorliegende Erfindung nicht verkörpern, eine starke Beschädigung davon, und die Verwölbungsform oder Verbiegung war beeinträchtigt.
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Es ist zu beachten, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die vorstehende Ausführungsform beschränkt ist. Die vorstehende Ausführungsform ist ein Beispiel zu Illustrationszwecken und jedes Beispiel, das im Wesentlichen die gleiche Struktur hat und die gleichen Funktionen und Effekte wie die in den Patentansprüchen der vorliegenden Erfindung beschriebenen technischen Konzepte hat, ist im technischen Geltungsbereich der vorliegenden Erfindung inbegriffen.
