-
QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNGEN
-
Diese internationale Anmeldung beansprucht die Priorität der am 29. Januar 2016 eingereichten US-Patentanmeldung Nr. 15/010,222 mit dem Titel "Compact Re-RAM Based FPGA", welche den Nutzen der am 12. März 2015 eingereichten vorläufigen US-Patentanmeldung Nr. 62/132,333 mit dem Titel "Compact ReRAM Based FPGA", beansprucht, deren Inhalte in ihrer Gesamtheit durch Verweis in dieser Offenbarung einbezogen sind.
-
HINTERGRUND
-
Resistive Direktzugriffsspeicher-(ReRAM-)Zellen vom Gegentakt- bzw. Push-Pull-Typ wie etwa diejenigen, die in dem
US-Patent Nr. 8,415,650 offenbart sind, sind für die Verwendung in einem Konfigurationsspeicher für konfigurierbare logische integrierte Schaltungen wie etwa feldprogrammierbare Gate-Arrays (FPGAs) interessant.
-
Wenn Schaltungen unter Verwendung von Deep-Sub-Micron-Transistoren (14 nM und darüber hinaus) entworfen werden, zwingt irgendeine Änderung im Transistorabstand Designer dazu, ein großes Übergangsgebiet zu nutzen, um eine fotolithografische Herstellung des Musters bzw. der Struktur zu ermöglichen. Dieses Übergangsgebiet kann von 0,2 µm bis 1 µm oder mehr reichen und kann ein signifikanter Nachteil beim Entwerfen einer konfigurierbaren logischen integrierten Schaltung sein, die Schaltungen mit ReRAM-Konfigurationsspeicherzellen vom Push-Pull-Typ verwendet und die ein kompaktes effizientes Layout aufweist.
-
Ein FPGA erfordert, dass eine Logik, Routing-Schalter und programmierbare Transistoren vermischt werden. Um das Übergangsgebiet zu eliminieren, das wegen Anforderungen einer fotolithografischen Bearbeitung benötigt wird, müssen all die oben aufgelisteten Vorrichtungen den gleichen Abstand einschließlich eines Kanallängenabstands aufweisen. Normalerweise ist diese Anforderung mit Vorrichtungen, die bei verschiedenen Spannungen betrieben werden, nicht kompatibel.
-
Für ReRAM-Speicherzellen werden die Transistorvorrichtungen, die genutzt werden, um sie zu programmieren, höheren Drain- und Gate-Vorspannungen ausgesetzt und werden während einer Programmierung und eines Betriebs verglichen mit anderen Transistoren, die in der integrierten Schaltung verwendet werden, bei einer höheren Gate-Vorspannung schalten.
-
Daher besteht ein Bedarf an einem Entwurf für ReRAM-Konfigurationsspeicherzellen, welcher nicht mit diesen Nachteilen verbunden ist. Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, Schaltungen mit ReRAM-Konfigurationsspeicherzellen vom Push-Pull-Typ vorzusehen, die dieses Übergangsgebiet eliminieren.
-
ZUSAMMENFASSUNG
-
Gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet eine Schaltung mit einer ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ zwei Programmiertransistoren, die ein Reihe kaskadiert sind und den gleichen Abstand und die gleiche Kanallänge aufweisen. Ein Schalttransistor, der in der Schaltung mit einer ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ genutzt wird, hat den gleichen Abstand und die gleiche Kanallänge wie die beiden Programmiertransistoren, um den gleichen Abstand und die gleiche Kanallänge für sowohl die Programmiervorrichtungen als auch die Schalttransistoren beizubehalten, die genutzt werden, um die logischen Zellen zu konfigurieren und/oder miteinander zu verbinden.
-
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird der Schalttransistor, dessen Zustand durch den ReRAM konfiguriert wird, das gleiche dicke Dielektrikum nutzen, das in den Programmiertransistoren genutzt wird, um eine erhöhte Gate-Beanspruchung während einer Programmierung zu mildern. Eine Verwendung eines dickeren Dielektrikums ermöglicht auch, dass das Gate des Konfigurationsschalters während eines Betriebs bei einer höheren Vcc übersteuert wird, was somit den Durchgang des vollen Vcc-Logiksignals erlaubt.
-
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst eine Schaltung mit resistiver Direktzugriffsspeicherzelle vom Push-Pull-Typ einen Ausgangsknoten, eine Wortleitung, eine erste Bitleitung und eine zweite Bitleitung. Eine erste Vorrichtung eines resistiven Direktzugriffsspeichers ist zwischen die erste Bitleitung und den Ausgangsknoten geschaltet, und eine zweite Vorrichtung eines resistiven Direktzugriffsspeichers ist zwischen den Ausgangsknoten und die zweite Bitleitung geschaltet. Ein erster Programmiertransistor weist ein mit der Wortleitung verbundenes Gate, einen mit dem Ausgangsknoten verbundenen Drain und eine Source auf. Ein zweiter Programmiertransistor weist ein mit der Wortleitung verbundenes Gate, einen mit der Source des ersten Programmiertransistors verbundenen Drain und eine Source auf. Die ersten und zweiten Programmiertransistoren haben den gleichen Abstand, die gleiche Kanallänge und die gleiche Dicke eines Gatedielektrikums, wobei die Dicke des Gatedielektrikums gewählt wird, um Programmier- und Löschpotentialen Stand zu halten, auf die man während eines Betriebs der Schaltung mit einer ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ trifft.
-
Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung weist zumindest ein Schalttransistor ein mit dem Ausgangsknoten verbundenes Gate, einen mit einem ersten Logiknetzknoten verbundenen Drain und eine mit einem zweiten Logiknetzknoten verbundene Source auf. Der Schalttransistor hat den gleichen Abstand, die gleiche Kanallänge und die gleiche Dicke eines Gatedielektrikums wie die ersten und zweiten Programmiertransistoren.
-
ZEICHNUNGEN
-
Diese und andere Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden in Bezug auf die folgende Beschreibung, beigefügten Ansprüche und beiliegenden Zeichnungen besser verstanden, wobei:
-
1 ein schematisches Diagramm einer ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist;
-
2 eine Querschnittsansicht eines beispielhaften Layouts der ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ der vorliegenden Erfindung ist;
-
3 eine Draufsicht eines beispielhaften Layouts der ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ der vorliegenden Erfindung ist.
-
BESCHREIBUNG
-
Der Fachmann wird erkennen, dass die folgende Beschreibung der vorliegenden Erfindung nur veranschaulichend und in keiner Weise beschränkend ist. Andere Ausführungsformen der Erfindung werden für den Fachmann ohne weiteres naheliegend sein.
-
Zunächst auf 1 Bezug nehmend, zeigt ein schematisches Diagramm eine veranschaulichende Schaltung 10 mit einer ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung. Eine erste ReRAM-Vorrichtung 12 ist mit einer zweiten ReRAM-Vorrichtung 14 in Reihe gekoppelt, um eine ReRAM-Zelle 16 zu bilden. Ein erstes Ende der in Reihe geschalteten ReRAM-Vorrichtungen 12, 14, an einem Anschluss der ReRAM-Vorrichtung 12, ist mit einer ersten Bitleitung (BL) 18 gekoppelt, und ein zweites Ende der in Reihe geschalteten ReRAM-Vorrichtungen 12, 14, an einem Anschluss der ReRAM-Vorrichtung 14, ist mit einer zweiten Bitleitung (Bl_bar) 20 gekoppelt. Die in 1 dargestellte ReRAM-Zelle 16 ist eine Front-to-Back-ReRAM-Zelle, die insbesondere zum Vorspannen eines Schalters wie gezeigt nützlich ist; aber der Fachmann wird erkennen, dass Back-to-Back-ReRAM-Zellen ebenfalls in der vorliegenden Erfindung verwendet werden könnten.
-
Wie oben beschrieben wurde, umfassen die ReRAM-Vorrichtungen 12 und 14 zusammen eine ReRAM-Zelle 16 vom Push-Pull-Typ. Der gemeinsame Ausgangsknoten 22 zwischen den ReRAM-Vorrichtungen 12 und 14 ist mit dem Gate eines oder mehrerer Schalttransistoren verbunden. 1 zeigt den gemeinsamen Ausgangsknoten 22, der mit den Gates von zwei Schalttransistoren 24a und 24b verbunden ist. Der Schalttransistor 24a ist zwischen zwei Logiknetzknoten 26a und 28a geschaltet dargestellt. Ähnlich ist der Schalttransistor 24b zwischen zwei Logiknetzknoten 26b und 28b geschaltet dargestellt. Der Fachmann wird erkennen, dass die Logiknetzknoten 26a, 26b, 28a und 28b Logikgatter oder andere Vorrichtungen in einer programmierbaren integrierten Schaltung repräsentieren können, die durch die Schalttransistoren 24a bzw. 24b miteinander verbunden werden, und auch Schaltungsnetze in einer einzigen Logikvorrichtung in solch einer integrierten Schaltung repräsentieren können, die die Funktion der Logikvorrichtung definieren, oder eine Verdrahtungsverbindung in einer programmierbaren integrierten Schaltung repräsentieren können.
-
Während 1 mehrere Schalttransistoren 24a und 24b zeigt, so dass mehr als ein Logikschaltungsnetz durch eine einzige ReRAM-Zelle 16 vom Push-Pull-Typ aktiviert werden kann, erkennt der Fachmann, dass ein einziger Schalttransistor mit dem gemeinsamen Ausgangsknoten 22 verbunden sein könnte.
-
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird die ReRAM-Zelle 16 vom Push-Pull-Typ unter Verwendung eines Paars von in Reihe kaskadierten n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 programmiert. Der Drain des N-Kanal-Programmiertransistors 30 ist mit dem gemeinsamen Ausgangsknoten 22 der ReRAM-Zelle 16 vom Push-Pull-Typ verbunden, und dessen Source ist mit dem Drain des n-Kanal-Programmiertransistors 32 verbunden. In einer tatsächlichen Ausführungsform dient ein einziges (n+)-Gebiet als die Source des n-Kanal-Programmiertransistors 30 und der Drain eines n-Kanal-Programmiertransistors 32. Die Source des n-Kanal-Programmiertransistors 32 ist mit einer Wortleitung WLS verbunden. Durch Verbinden von zwei n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 in Reihe können beide n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 mit dem gleichen Abstand und der gleichen Kanallänge wie die n-Kanal-Schalt-transistoren 24a und 24b entworfen werden. Der gleiche Abstand und die gleiche Kanallänge, die für die Schalttransistoren 24a und 24b verwendet werden, werden für die logischen Vorrichtungen in der integrierten Schaltung genutzt.
-
Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung werden n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 und n-Kanal-Schalttransistoren 24a und 24b mit den gleichen Dicken eines Gatedielektrikums hergestellt. Die n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 weisen Dicken von Gatedielektrika auf, die ausgewählt werden, um den Programmier- und Löschpotentialen Stand zu halten, denen die ReRAM-Speicherzelle vom Push-Pull-Typ während ihres Betriebs ausgesetzt sein wird. Die meisten integrierten Schaltungen enthalten Eingangs-/Ausgangs-(I/O-)Transistoren, die genutzt werden, um die integrierte Schaltung über eine Schnittstelle mit externen Komponenten zu verbinden. Da diese Transistoren Schnittstellen mit Komponenten bilden, die oft bei höheren Spannungen als den Spannungen arbeiten, die man normalerweise innerhalb der integrierten Schaltung findet, werden die I/O-Transistoren gewöhnlich mit größeren Dicken von Gatedielektrika als andere, in der integrierten Schaltung intern genutzte Transistoren hergestellt. Es kann daher zweckmäßig sein, n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 mit den gleichen Dicken von Gatedielektrika wie die I/O-Transistoren zu verwenden.
-
Eine Verwendung der gleichen größeren Dicke von Gatedielektrika für die Transistoren 24a und 24b wird eine erhöhte Gate-Beanspruchung mildern, denen die Schalttransistoren 24a und 24b andernfalls während einer Programmierung ausgesetzt wären, da deren Gates mit dem gemeinsamen Knoten 22 der ReRAM-Speicherzelle 16 vom Push-Pull-Typ verbunden sind, und dieser Knoten wird während eines Löschens und Programmierens der Speicherzelle 16 Programmierspannungen erfahren. Die Verwendung eines dickeren Dielektrikums für die Schalttransistoren 24a und 24b ermöglicht auch, dass die Gates der Schalttransistoren 24a und 24b bei höheren Spannungen von Vcc während eines Betriebs übersteuert werden, was folglich ermöglicht, dass die Schalttransistoren 24a und 24b das volle Vcc-Logiksignal durchlassen. Als eine Alternative können dünne Gateoxide für die Schalttransistoren 24a und 24b genutzt werden; es sollte jedoch darauf geachtet werden, eine Beanspruchung während Programmier- und Löschoperationen zu vermeiden. Dies kann geleistet werden, indem die Source/Drain-Vorspannung auf eine Vcc-Logik während einer Programmierung erhöht wird.
-
In einem normalen Betrieb der programmierbaren integrierten Schaltung ist die Bitleitung BL 18 mit einer Spannungsquelle Vcc verbunden, und Bl_bar 20 ist mit einem Potential wie etwa einer Erdung verbunden. Die WLS-Leitung kann mit einer Erdung oder mit einem leicht positiven Potential wie etwa 0,9 V verbunden sein, um eine Leckage in den n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 zu begrenzen. Die ReRAM-Zelle 16 vom Push-Pull-Typ wird so programmiert, dass nur eine der ReRAM-Vorrichtungen 12 und 14 zu irgendeiner Zeit an ist, wobei somit entweder der gemeinsame Knoten 22 zur Spannung auf der Bitleitung BL 18 hochgezogen oder der gemeinsame Knoten 22 zur Spannung auf der Bitleitung Bl_bar 20 (gewöhnlich Erdung) heruntergezogen wird. Die ReRAM-Zelle 16 vom Push-Pull-Typ ist in 1 mit einer eingeschalteten ReRAM-Vorrichtung 12 und einer ausgeschalteten ReRAM-Vorrichtung 14 dargestellt. Der gemeinsame Knoten 22 wird folglich zur Spannung auf der Bitleitung BL 18 (Vcc) hochgezogen, was somit die Schalttransistoren 24a und 24b (in 1 als n-Kanal-Transistoren dargestellt) einschaltet.
-
Bezug nehmend nun auf sowohl 2 als auch 3 ist ein beispielhaftes Layout der ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ der vorliegenden Erfindung dargestellt. 2 ist eine Querschnittsansicht eines beispielhaften Layouts 40 der Schaltung 10 mit einer ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ der vorliegenden Erfindung. 3 ist eine Draufsicht eines beispielhaften Layouts 40 der Schaltung 10 mit einer Re-RAM-Zelle vom Push-Pull-Typ der vorliegenden Erfindung. Der Fachmann wird beachten, dass die in 2 und 3 gezeigten Layouts nur veranschaulichend und nicht beschränkend sind.
-
Die Schaltung 10 mit einer ReRAM-Zelle vom Push-Pull-Typ (1) ist in einem Substrat vom p-Typ oder einer Wanne 42 in einer integrierten Schaltung ausgebildet. Ein (n+)-Gebiet 44 bildet den Drain des n-Kanal-Programmiertransistors 30, und ein (n+)-Gebiet 46 bildet dessen Source, die auch als der Drain des n-Kanal-Programmiertransistors 32 dient. Eine Polysilizium- oder Metallleitung 48 bildet das Gate des n-Kanal-Programmiertransistors 30. Ein (n+)-Gebiet 50 bildet die Source des n-Kanal-Programmiertransistors 32, und eine Polysilizium- oder Metallleitung 52 bildet dessen Gate. Kontakte 54 verbinden die Polysilizium-Gates 48 und 52 der n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 mit der Wortleitung 34, die als aus einer ersten Metallverbindungsschicht (M1) geschaffen dargestellt ist. Der Fachmann wird erkennen, dass in anderen Ausführungsformen der Erfindung p-Kanal-Transistoren ebenfalls genutzt werden können.
-
Der in 3 gezeigte Schalttransistor enthält ein Sourcegebiet 56 und ein Draingebiet 58, getrennt durch ein Gate 60. Es wird besonders erwähnt, dass die Querschnittsansicht von 2 teilweise durch das Sourcegebiet eines der Schalttransistoren 24a und 24b gelegt ist. Die Schalttransistoren können n-Kanal- oder p-Kanal-Vorrichtungen sein.
-
Die ReRAM-Vorrichtung 12 ist zwischen Metallverbindungsschichten auf der integrierten Schaltung (zum Beispiel zwischen ersten und zweiten Metallschichten M1 und M2) ausgebildet. In 2 und 3 ist die ReRAM-Vorrichtung 12 zwischen einem M1-Metallsegment 62 und einem M2-Metallsegment 64 ausgebildet dargestellt. Die ReRAM-Vorrichtung 12 ist über dem Metallsegment 62 ausgebildet und durch einen Kontakt 66 mit dem M2-Metallsegment 64 verbunden. Die ReRAM-Vorrichtung 12 ist über einen Kontakt 68 mit der Bitleitung BL 18 verbunden.
-
Ein Kontakt zum gemeinsamen Knoten 22 wird von dem M2-Segment 64 über einen Kontakt 72 zu einem M1-Metallsegment 70 hergestellt. Ein Kontakt 74 verbindet das M1-Metallsegmet 70 mit dem Polysilizium-Gate 60 des Schalttransistors. Die ReRAM-Vorrichtung 14 ist zwischen dem M1-Metallsegment 70 und dem eine zweite Bitleitung Bl_bar 20 bildenden M2-Metallsegment ausgebildet dargestellt. Ein Kontakt 76 verbindet die M1-ReRAM-Vorrichtung 14 mit der zweiten Bitleitung Bl_bar 20. Ein Kontakt 78 verbindet das M1-Metallsegment 70 mit dem (n+)-Gebiet 44, das den Drain des n-Kanal-Programmiertransistors 30 bildet. Ein Metallsegment 80 bildet die Wortleitung WLS und ist über einen Kontakt 82 mit einem (n+)-Gebiet 50 verbunden, das die Source des Programmiertransistors 32 bildet.
-
Die ReRAM-Zelle 16 vom Push-Pull-Typ wird programmiert, indem die gewünschte der ReRAM-Vorrichtungen 12 und 14 eingeschaltet wird, um so Schalttransistoren 24a und 24b entweder auszuschalten oder einzuschalten. Zuerst werden beide ReRAM-Vorrichtungen 12 und 14 gelöscht. Eine ReRAM-Vorrichtung zu löschen bedeutet, sie auszuschalten, sodass sie keinen Strom durchleitet. Um die ReRAM-Vorrichtung 12 zu löschen, wird die Bitleitung BL 18 auf eine hohe Spannung (z.B. 1,8 V) gebracht und der gemeinsame Knoten 22 auf Erdung gebracht. Um ein Beanspruchen der ReRAM-Vorrichtung 14 zu vermeiden, wird auch die zweite Bitleitung Bl_bar 20 auf Erdung gebracht, so dass es kein über die ReRAM-Vorrichtung 14 angelegtes Potential gibt. Um die ReRAM-Vorrichtung 14 zu löschen, wird der gemeinsame Knoten 22 auf eine hohe Spannung (z.B. 1,8 V) gebracht, und die zweite Bitleitung Bl_bar 20 wird auf Erdung gebracht. Um eine Beanspruchung der ReRAM-Vorrichtung 12 zu vermeiden, wird auch die Bitleitung BL 18 auf die hohe Spannung gebracht, so dass es kein über die ReRAM-Vorrichtung 12 angelegtes Potential gibt.
-
Nachdem beide ReRAM-Zellen 12 und 14 gelöscht wurden, wird die Ausgewählte der beiden ReRAM-Vorrichtungen 12 und 14 programmiert. Um die ReRAM-Vorrichtung 12 zu programmieren, wird die Bitleitung BL 18 auf Erdung gebracht, und der gemeinsame Knoten 22 wird auf eine hohe Spannung (z.B. 1,8 V) gebracht. Um eine Beanspruchung der ReRAM-Vorrichtung 14 während eines Programmierens der ReRAM-Vorrichtung 12 zu vermeiden, wird auch die zweite Bitleitung Bl_bar 20 auf die hohe Spannung gebracht, so dass es kein über die ReRAM-Vorrichtung 14 angelegtes Potential gibt. Um die ReRAM-Vorrichtung 14 zu programmieren, wird der gemeinsame Knoten 22 auf Erdung gebracht, und die zweite Bitleitung Bl_bar 20 wird auf die hohe Spannung gebracht. Um eine Beanspruchung der ReRAM-Vorrichtung 12 zu vermeiden, wird die Bitleitung 18 ebenfalls auf Erdung gebracht, so dass es kein über die ReRAM-Vorrichtung 12 angelegtes Potential gibt.
-
Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung sind zwei, in Reihe geschaltete n-Kanal-Programmiertransistoren 30 und 32 zwischen den gemeinsamen Knoten 22 und die Wortleitung WLS gekoppelt. Die Gates der n-Kanal-Transistoren 30 und 32 sind zusammen mit der Wortleitung WL 34 verbunden.
-
Obgleich die vorliegende Erfindung auf die Anwendung einer ReRAM-Speichervorrichtung gerichtet ist, wo die Logik bei einer ersten Spannung schaltet und die Programmierung und Löschung der ReRAM-Zelle bei einer zweiten Spannung ausgeführt werden, wird der Fachmann erkennen, dass sie auch auf andere Vorrichtungen anwendbar ist, wo es wünschenswert ist, zwei verschiedene Spannungen in verschiedenen Betriebsmodi zu schalten.
-
Obgleich die vorliegende Erfindung recht ausführlich mit Verweis auf bestimmte bevorzugte Ausführungsformen diskutiert worden ist, sind andere Ausführungsformen möglich. Daher soll der Umfang der beigefügten Ansprüche nicht auf die Beschreibung von in dieser Offenbarung enthaltenen bevorzugten Ausführungsformen begrenzt sein.